JPS61425A - 空気清浄方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 この発明はクリーンルームの空気の清浄に適した空気清
浄方式に関する。

〔従来技術とその問題点〕

従来のクリーンルームなどでの空気の清浄化はＨＥ　Ｐ
　Ａフィルタと称される超微粒子ｊ１４１過体を用いて
いるが除去できる塵埃の粒子は０．１ｔｔｍ以上であり
、これよシ粒子の細い塵埃は除去できない。今後ウェハ
ーの微細加工が進むとバタン巾が小さくない０．１μｍ
以下の塵埃が牛導体製造工報の不良原因となる。

〔発明の目的〕

本発明はＨＥＰＡフィルタで除去できない０．１μｍ以
下の塵埃を除去することのできる空気清浄方式を提供す
ることを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明は消゛浄化する空気流の中に多孔円筒を高速回転
させ多孔円筒で塵埃をはじき飛ばして清浄な空気を得る
空気清浄方式である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、フィルタで除去できなかった微粒子の
塵埃を完全に除去でき超ＬＳＩの製造技術の向上に寄与
する。

〔発明の実施例〕

第１図を参照に本発明の一実施例を説明する。

清浄化される空気１は送風機２で加圧され超微粒子濾過
体（以下ＨＥＰＡ　（Ｈｉｇｈ　Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ
　Ｐａｒｔｉ　−ｃｕｌａｔｅ　Ａｉｒ）　フィルタと
称する）３を通過させる。

このときに０．１μｍ以上の塵埃は大部分フィルタのガ
ラス繊維に付着するが０．１μｍ以下の塵埃が取ってい
る。この空気を風洞４の中で電動機６で高速回転してい
る多孔円筒５の孔の中を通すと空気は矢印７又は矢印８
の流れになる。空気中の塵埃は高速回転している多孔円
筒に当シ風洞４の内面にはじかれ底面９に集められる。

無塵の空気は風洞上部の取シ出し口１０から必要な半導
体製造装置又はクリーンルームへ供給する風洞の底面に
集まった塵埃は定期的に作業者が取シ除く。

実施例では商運多孔円筒は１台であったが必要に応じて
増設する事本可能でよシ清浄度の高い空気を得る事が出
来る。なお、高速回転する多孔円筒は、高速回転時の応
力に耐える為ＣＦＲ，Ｐ　（炭素せんい強化プラスチッ
ク）などで製作することにより強度を保ちつつ多孔円筒
とすることが可能となる。また、その形式は羽根車形式
のものでもよい。さらに、塵埃の集まる底面９の下に初
頭取り出し口をとシつけることにより連続的に運転でき
る。

画速多孔円筒、すなわち回転体の取りつけは第ｊ　　　
　　　２図に示すように１円筒体５の上部で回転支持す
ることにより、安定化が企れる。また、回転する円筒体
の風損による温度上昇を防ぐため、風洞部４を冷却する
とか、流入する空気をフィルタの部分で冷却すればさら
に良い。

さらにこの発明に用いる電動機は、高速回転電動機とし
、４〜５万ｒｐｍ程度の回転可能なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す断面図、第２図は本発明
の他の実施例を示す要部断面図である。 １・・・清浄化する空気、２・・・送風機、３・・・Ｈ
ＥＰＡフィルタ、４・・・風洞、５・・・高速多孔円筒
、６・・・電動機、７．８・・・清浄化された空気の流
れ、９・・・塵埃の集まる底面、１０・・・清浄化され
た空気の取り出し口。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高速回転する多孔円筒に清浄化すべき空気を接触させ、
   かつ前記多孔円筒壁を通過させて、空気内の塵埃を除去
   するよう構成したことを特徴とする空気清浄方式。