JPS6142607U - 熱膨張式微少移動アクチユエ−タ - Google Patents

熱膨張式微少移動アクチユエ−タ

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Publication number
JPS6142607U
JPS6142607U JP12485084U JP12485084U JPS6142607U JP S6142607 U JPS6142607 U JP S6142607U JP 12485084 U JP12485084 U JP 12485084U JP 12485084 U JP12485084 U JP 12485084U JP S6142607 U JPS6142607 U JP S6142607U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
sensor
coolant
detects
thermal expansion
Prior art date
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Pending
Application number
JP12485084U
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English (en)
Inventor
勤 汐崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
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Publication of JPS6142607U publication Critical patent/JPS6142607U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２図は動作
説明図である。 １・・・負荷、２・・・熱膨脹体、３・・・加熱材、４
・・・冷却材、５・・・断熱材、６・・・位置センサ、
７・・・第１温度センサ、訃・・第２温度センサ、９・
・・第３温度センサ、１０・・・位置調節計、１１．１
３・・・第１、第２温度調節計、１２．１５・・・電流
制御器、１６・・・変化率監視回路、１７・・・無駄時
間演算回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 位置制御すべき負荷に機械的に結合された熱膨脹体と、
    この膨脹体を囲んで配置された加熱材と、この加熱材囲
    んで配置された冷却材と、この冷却材番囲んで配置され
    た断熱材と、上記負荷の位置を検出する位置センサと、
    このセシサの出力と位置目標値との差に応じた制御出力
    を発信する位置調節計と、上記熱膨脹体の温度を検出す
    る第１温度センサと、このセくサの出力と上記位置調節
    計の制御出力は基づいて上記加熱材の温度を制御する第
    １温度調節計と、上記断熱材又はその周囲温度を検出す
    る第２温度センサと、上記冷却材の温度を検出する第３
    温度センサと、これら第２、第３温度センサの出力に基
    づいて上記冷却材の温度を上記断熱材の周囲温度に対し
    常に一定値だけ低くなるように上記冷却材の温度を制御
    する第２温度調節計とよりなる熱膨脹式微小移動アクチ
    ュエータ
JP12485084U 1984-08-16 1984-08-16 熱膨張式微少移動アクチユエ−タ Pending JPS6142607U (ja)

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JPS6142607U true JPS6142607U (ja) 1986-03-19

Family

ID=30683555

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