JPS61426A

JPS61426A - 空気濾過装置

Info

Publication number: JPS61426A
Application number: JP12232384A
Authority: JP
Inventors: Kouji Nokai; 野開　耕治; Kazuhiko Otsuka; 一彦大塚
Original assignee: Nitta Corp
Current assignee: Nitta Corp
Priority date: 1984-06-14
Filing date: 1984-06-14
Publication date: 1986-01-06
Also published as: JPS6154474B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（技術分野）本発明は、空気濾過装置、特に、　　９９．９７％以上
の捕集効率を有する低騒音で軽量・薄型の送風機付きフ
ィルターユニットを格子状枠体に配置した空気濾過装置
に関する。

（従来技術）半導体製造などの精密工業、バイオテクノロジーあるい
は製薬工業などの分野においては、高度の清浄空間が必
要とされる。清浄空間には２作業環境全域を清浄化する
クリーンルームや作業環境を局部的に清浄化するクリー
ンベンチ、クリーンブースなどがある。このような清浄
空間を創製するために、送風機と高性能フィルターとを
組合わせて一体化した送風機付きフィルターユニットが
使用されている。その使用目的は必要最小限の作業環境
空間を効率よく省エネルギー化を図りつつクリーン化す
ることである。このユニットを清浄度の比較的低いクリ
ーンルーム中でより高い清浄度が要求される区域に設置
することにより、所望の領域を局部的に高度の清浄空間
とすることが可能となる。製造装置の移動やクリーンル
ームのしく　　　　　　　　イアウドの変更などにも容
易に対応し得る。

従来、この種のユニットは、第２図に示すように、送風
機付きのフィルターユニット１００をそれぞれ天井から
の吊り具４００に固定させ、ユニット間の隙間にスペー
サー５００およびコーキング材６００を充填する方式が
採用されている。この方式は。

多数のユニットを併設する場合には多数部所のコーキン
グが必要となり、その作業は極めて繁雑となる。しかも
、空気の漏洩を乗全に防ぎえない。

また、第３図に示すように、天井から吊り下げられた金
属製の角型取付枠１０１にクロロブレンスポンジなどの
ガスケット６０１を介して上記ユニット１００を設置す
る装置もある。この装置では、フィルター枠１０２と取
付枠１０１とを気密状に連結することが構成上難しく、
シたがって、空気の漏洩を完全に防止することができな
い。エアフィルター１０３と送風機１０４との結合部１
０５を気密状に保持することも技術的に困難である。

上記ユニットは、また、用いられるファンモジュールお
よびフィルターモジュールが比較的厚型でかつ重量を有
するため、全体としてかさが高くかつ重くなる傾向にあ
る。それゆえ、取り付けあるいはファンやフィルターの
交換２点検および修理の際の取り外しなどの作業が容易
ではない。騒音も大きい。

（発明の目的）本発明の目的は、極めて高い気密性を維持し得る空気濾
過装置を提供することにある。本発明の他の目的は、捕
集効率が著しく高くかつ送風性能に優れ低騒音でしかも
軽量・薄型の空気濾過装置を提供することにある。本発
明のさらに他の目的は、ファンモジュールおよびフィル
ターモジュールをこれらモジュール間の気密性を損なう
ことなく容易に取り換え・取り外せうる空気濾過装置を
提供することにある。本発明のさらに他の目的は。

ファンモジュールおよびフィルターモジュールが軽量・
薄型であるため、所望の部所に容易に取付け、かつそれ
を取り外すことのできる空気濾過装置を提供することに
ある。

（発明の構成）本発明装置は、（■）エアフィルターモジュールと。

（２）該エアフィルターモジュールの後方に位置するフ
ァンモジュールと、（３）該両モジュールを気密状に連
結する格子状に連絡された複数本の断面Ｈ字形枠体と、
（４）該枠体を介して該両モジュールを水平方向に固定
する固定部材と、を有し、（５）該枠体の上方開口部に
はファンモジュール枠の延設部が配置され、下方端縁は
エアフィルターモジュールの溝条延設部に配置され、そ
のことにより上記目的が達成される。

（実施例）以下に本発明を実施例について説明する。

本発明の空気濾過装置は、第１図に示すように。

エアフィルターモジュール１とこのエアフィルターモジ
ュール１の後方に位置するファンモジュール２とこれら
両モジュール１および２を、気密状に連結する断面Ｈ字
形枠体３とを有する。枠体３は複数本が格子状に配置さ
れ、複数対のエアフィルターモジュール１とファンモジ
ュール２とをそのそれぞれの格子空間に保持しうる。本
発明装置は。

さらに５固定部材４を有する。この固定部材４は。

枠体３を介して両モジュール１および２を水平方向に固
定する。

エアフィルターモジュール１は、主として、エアフィル
ター１１とフィルター枠１２とで構成される。

エアフィルター１１は９例えば、０．３μｌＩｌ単分散
ＤＯＰ　（ダイオクチルフタレー日粒子に対し９９．９
７％以上の捕集効率を有する。このような超高性能エア
フィルター１１には５例えば、ＨＥＰ八（Ｈｉｇｈ　Ｅ
ｆｆｉｃｉｅｍｃｙ　Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ　Ａｉｒ
　）フィルターがある。フィルター枠１２は外方向に溝
条延設部１２０を有する。フィルター枠１２および延設
部１２０の材質には特に制限はなく１例えば、アルミニ
ウム、鉄などの金属やベニヤ板あるいは合成樹脂などが
用いられる。

ファンモジュール２は、主として、送風機２１とファン
モジュール枠２２とで構成される。ファンモジュール枠
２２は延設部２２０を有する。送風機２１としては、小
型軽量・薄型で、送風効率や風速分布の良好なものが採
用され得る。例えば、プロペラｆ　　　　　　　　ファ
ンやシロッコファンなどである。この送風機２Ｉはそれ
が発する振動および騒音を低減するために、防振・吸音
材などを介して１例えば、金属や合成樹脂などでなるフ
ァンモジュール枠２２に支持される。防振・吸音材とし
ては２例えば、グラスウールあるいはポリウレタンフォ
ーム、ポリスチレンフオームなどの発泡性プラスチック
などがあり、送風機の全周もしくはその一部を包囲する
形で配置される。送風機の後方に共鳴防止手段として１
例えば、送風機と連動するフライホイールを配置すれば
、振動および騒音がさらに効果的に低減されうる。また
、吐出空気の風速分布を均一化するために、エアフィル
ター１１の背後に多孔板などが適宜設けられる。さらに
、エアフィルターモジュール１の背後に、盲板を設けて
、クリーンルームの清浄度の調整を行うことも可能であ
る。

断面Ｈ字形枠体３はその複数本が格子状に連絡されてい
る。この枠体３は上方の開口部３１において前記ファン
モジュール延設部２２０を受は入れる。

枠体３の下端縁３２は前記フィルターモジュール１の溝
条延設部１２０内に配置される。この枠体３は。

天井などの適当な固定部に吊り金具などの固定部材４に
より２本装置が水平に保持されるよう支持固定される。

固定部材４は締め付は機構４１を介して枠体３に固定さ
れる。　締め付は機構４１は、上記フィルター枠溝条延
設部１２０をその下方から支える遮へい板４１０と、そ
の遮へい板４１０を下方からフィルター枠延設部１２０
に押しつけるねし手段４１１　とを有する。この遮へい
板４１０は枠体３に対応する形で配置され、枠体３とフ
ィルター枠１２との連結部を視野から遮へいし本装置の
景観を良くする。この締め付は機構４１を開放すれば、
順次。

エアフィルターモジュール１およびファンモジュール２
が個々に取り外されうる。エアフィルターモジュール１
を取り外すだけでファンモジュール２の保守作業が下方
（室内）から行われうる。

上記エアフィルターモジュール１の溝条延設部１２０お
よび格子状枠体３の上方開口部３１のそれぞれには流動
性シール材５が収容される。　シール材５はエアフィル
ターモジュール１の溝条延設部１２０と枠体下端縁３２
との間、および枠体上方開口部３１とファンモジュール
延設部２２０との間をそれぞれ完全な気密状にする。そ
の結果、エアフィルターモジュール１とファンモジュー
ル２とは枠体３を介して完全な気密状に保持される。

流動性シール材５としては９表面粘着性を有し良好なシ
ール性および作業性を有する不揮発性の物質が採用され
る。その例としては、変性ウレタン系シール材やシリコ
ン系シール材などがある。

その中で、化学性、シール性などの点から適当な粘度や
ポットライフを有するものが適宜選択される。

（発明の効果）本発明の濾過装置は、エアフィルターモジュールとファ
ンモジュールとが流動性シール材ニヨリ枠体を介して気
密状に連結される。両モジュールは枠体を介して連結さ
れているため、気密性を損なうことなく１個々の取り外
し・取り付けが可能である。他方、ファンモジュールに
は、超薄型の送風機が使用され、そしてエアフィルター
モジュールには超薄型の高性能エアフィルターが使用さ
れているため、装置全体として軽量かつ薄型であり著し
くかさが低い。それゆえ、騒音も小さく装置の取り付け
や取り外しが著しく容易となる。フィルターや送風機の
交換および送風機の点検・修理などの保守作業も容易に
行われ得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の一実施例を示す要部正面断面図、
第２図および第３図はいずれも従来装置の例を示す要部
正面断面図である。１・・・エアフィルターモジュール、２・・・ファンモ
ジュール、３・・・断面Ｈ字形枠体、４・・・固定部材
。５・・・流動性シール材、　１１，１０３・・・エアフ
ィルター。１２、１０２・・・エアフィルター枠、　２１，１０４
・・・送風機、２２・・・ファンモジュール枠、３１・
・・枠体溝条延設部上方間口部、３２・・・枠体下端縁
、４１・・・締め付けａ構。１００・・・送風機付きフィルターユニット１０１・・
・取付枠、１０５・・・結合部、１２０・・・枠体溝条
延設部。２２０・・・ファンモジュール枠延設部、４００・・・
吊り具。４１０・・・遮へい板、４１１・・・ねじ手段、５００
・・・スペーサー、６００・・・コーキング材、６０１
・・・ガスケット。

Claims

【特許請求の範囲】１、（１）エアフィルターモジュールと、（２）該エアフィルターモジュールの後方に位置するフ
ァンモジュールと、（３）該両モジュールを気密状に連結する格子状に連絡
された複数本の断面Ｈ字形枠体と、（４）該枠体を介し
て該両モジュールを水平方向に固定する固定部材と、を有し、（５）該枠体の上方開口部にはファンモジュール枠の延
設部が配置され、下方端縁はエアフィルターモジュール
の溝条延設部に配置される空気濾過装置。２、前記枠体の上方開口部および前記エアフィルターモ
ジュールの溝条延設部には流動性シール材が収容される
特許請求の範囲第１項に記載の装置。３、前記エアフィルターモジュールは軽量・薄型・高性
能フィルターを有する特許請求の範囲第１項に記載の装
置。４、前記ファンモジュールは軽量・薄型の送風機を有す
る特許請求の範囲第１項に記載の装置。５、前記送風機がプロペラファンである特許請求の範囲
第４項に記載の装置。６、前記送風機がシロッコファンである特許請求の範囲
第４項に記載の装置。７、前記送風機が前記ファンモジュール枠に防振・吸音
材を介して支持される特許請求の範囲第４項に記載の装
置。８、前記送風機の後方に共鳴防止手段が設けられる特許
請求の範囲第４項に記載の装置。９、前記共鳴防止手段がフライホイールである特許請求
の範囲第８項に記載の装置。