JPS6143641B2 - - Google Patents

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JPS6143641B2
JPS6143641B2 JP8791877A JP8791877A JPS6143641B2 JP S6143641 B2 JPS6143641 B2 JP S6143641B2 JP 8791877 A JP8791877 A JP 8791877A JP 8791877 A JP8791877 A JP 8791877A JP S6143641 B2 JPS6143641 B2 JP S6143641B2
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Takeshi Utagawa
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Nikon Corp
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Nippon Kogaku KK
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Description

【発明の詳細な説明】
本発明は、光学像の空間周波数成分中から光電
的に、特定の成分情報を抽出する装置に関する。
特定の空間周波数成分を抽出する方法として、光
電素子の前に設けた明暗格子を機械的に振動させ
る方法、又はCdS受光面に表面弾性波を伝播さ
せ、CdSの導電性を場所場所で時間的に変動せし
め、空間周波数成分の大きさに応じた交流信号を
得る方法が既に知られている。しかしながら、前
者の方法では、機械的可動部の存在の為、装置が
大きくなり更に消費電力も大きくなる欠点を有
し、また後者では、表面弾性波によつて生ずる
CdSの導電性の変化の度合が小さいので、SN比
が悪いという欠点がある。 更に、光像中の特定空間周波数成分を求めるこ
とはフーリエ成分を求めることに相当し、このフ
ーリエ変換演算手続自体はよく知られている。し
かしながら、フーリエ変換演算は複素数の演算で
ありコンピユータ等を使用しなければならず、か
つまたそれでも処理に時間を要すると言つた問題
がある。 そこで、本発明は機械的可動部を用いることな
く比較的簡単な構成により、光学像の空間周波数
成分中から特定の周波数成分を高精度にかつリア
ルタイムで抽出する装置を提供することを目的と
する。 この目的を達成するために、本願の第1の発明
は光学像の空間周波数成分中から特定の周波数成
分情報を抽出する装置において、一列に並んだ複
数個の光電素子からなる光電素子アレイを光学系
の焦点位置又はその近傍に設け各素子出力をそこ
に入射する光の強度に依存させるとともに、それ
らの光電素子を、複数個の素子からなる複数の素
子群に分割し、その各素子群の空間的長さを互に
等しくし、各素子群の光電素子の出力と、該光電
素子と位置的に対応した位置にあるその次の群の
光電素子の出力との間に一周期の位相差が生じる
様に、各素子群の光電素子の出力を、光電素子の
位置に応じた位相差とその光電素子出力に応じた
振幅と互に等しい角周波数とを持つ正弦波状の交
流信号に変調する変調手段を設け、そして該交流
信号を加算する加算手段を設けることを特徴とす
るものであり、第2の発明は光学像の空間周波数
成分中から特定の周波数成分情報を抽出する装置
において、等間隔に一列に並んだ複数個の光電素
子からなる光電素子アレイを光学系の焦点位置又
はその近傍に設け、各素子出力をそこに入射する
光の強度に依存させるとともに、それらの光電素
子を、複数個の素子からなる複数の素子群に分割
し、その各素子群の空間的長さを互に等しくし、
かつ各素子群内の光電素子の数Nを等しくし、各
群の最初に位置する光電素子の出力を加算し、そ
の次に位置する光電素子の出力を加算し以下同様
に各群内の対応位置の光電素子の出力を加算し、
これらの加算出力を、互に等しい角周波数を有す
ると共に、その光電素子の配列順に順次位相が
1/N周期ずれ、かつ振幅が上記加算出力の大き
さに対応した交流信号に変調する変調手段を設
け、そして該交流信号を加算する加算手段を設け
ることを特徴とするものであり、第3の発明は光
学像の空間周波数成分中から特定の周波数成分情
報を抽出する装置において、一列に並んだ複数個
の光電素子からなる光電素子アレイを光学系の焦
点位置又はその近傍に設け各素子出力をそこに入
射する光の強度に依存させるとともに、それらの
光電素子を、複数個の素子からなる複数の素子群
に分割し、その各素子群の空間的長さを互に等し
くし、各素子群の光電素子の出力と、該光電素子
と位置的に対応した位置にあるその次の群の光電
素子の出力との間に一周期の位相差が生じる様
に、各素子群の光電素子の出力を、光電素子の位
置に応じた位相差とその光電素子出力に応じた振
幅と互に等しい角周波数とを持つ交流信号に変調
する変調手段を設け、そして該交流信号加算する
加算手段を設け、更に上記加算手段の出力の位相
を比較位相情報と比べる位相比較手段を設けるこ
とを特徴とするものである。上記加算手段の出力
は、上記角周波数の交流出力であり、その振幅が
特定空間周波数成分の大きさに関連し、その位相
が特定空間周波数成分と光電素子アレイとの相対
位置に関連している。このように、本発明のいず
れも光電素子の出力を所定の交流信号で変調しこ
れらを加算することによつて特定空間周波数成分
を抽出するので、この抽出がリアルタイムで行う
ことができ構成も比較的簡単なものとなる。特に
光像が光電素子アレイ上で運動しているか静止し
ているかに拘らず、光像と光電素子アレイとの相
対位置関係は、交流出力の位相情報から得られる
ので、その取扱いが非常に容易となる。 次に本発明を第1図を用いて、原理的に説明す
る。 一列に互に等間隔に並んだ光電素子1a〜1
d,2a〜2d,3a〜3dからなる光電素子ア
レイ10は、図示なき光学系の焦点面又はその近
傍に配置されている。またその素子アレイは、
夫々等しい個数の素子1a〜1d,2d〜2d及
び3a〜3dからなる素子群,,に分割さ
れている。各素子群の最初に配列された素子1
a,2a,3a同士、その次の素子1b,2b,
3b同士、更に次の素子1c,2c,3c同士、
そして最後の素子1d,2d,3d同士は夫々接
続点11a,11b,11c,11dにおいて互
に接続され変調手段12に接続されている。この
素子アレイ10上には、前記光学系により種々の
空間周波数成分を含む光学像が結像され、各光電
素子は自身に入射した光の強度に関連した直流成
分を有する出力を発生する。変調手段12は接続
点11a,11b,11c,11dでの素子の出
力信号を、夫々順次1/4周期ずつ進んだ又は遅れ
た位相とその出力信号の大きさに関連した振幅と
を有する交流信号に変調する。従つて、各素子群
,,の配列順に対応した位置にある光電素
子例えば、1a,2a,3aの出力は互に同位相
の交流信号に変調され、かつ各群の素子の変調交
流信号は素子の配例順に順次1/4周期ずつ位相が
ずれることになる。尚この1/4周期の位相のずれ
は、各素子群が4固の素子から構成されている為
で、一般的にN個の素子から構成されている時
は、1/N周期の位相のずれとなる。こうして、
変調後の光電素子の交流出力は、光強度に関連し
た振幅と、他素子に対して、上述の特定の位相差
とを有する。この各素子の変調出力を加算手段1
4により、加算すると、この加算手段の出力は各
素子群の空間的長さdmmの逆数即ち1/d本/mm
の空間周波数成分情報を極めて多く含むことにな
る。 次に、多数の空間周波数成分からなる光学像か
ら特定の即ち1/d本/mmの空間周波数成分を抽
出する上述の本発明の原理を、正弦波状の変調を
行う場合について、数式を用いて詳述する。尚以
上の例では、簡単の為に、群の数を3、群内の素
子数を4としたが以下の説明では、一般化の為に
群の数をM、そして各群内の素子数をNとする。
このM×N個の素子上に或る輝度分布をもつた光
像が投影されたとき、その輝度に比例した各素子
の出力を (n=1,2…N,m=1,2…
M)とする。尚この は、例えばn=1,m=
1の時の出力 が第1図の素子1aの出力を表
わし同様にn=2,m=3の時の出力 が素子
3bの出力を表わすことを意味している。各群の
n番目の素子の出力 を変調手段によつて、
【式】なる交流信号で変調すると、その 変調後の出力は
【式】となる。ここ でiは虚数単位、wは角周波数である。従つて変
調後の全素子の出力を加算した加算手段の出力I
【式】となる。この
【式】は1/d本/mmの空間周波数 成分そのものである。従つて加算手段14の交流
出力Iの振幅は1/d本/mmの空間周波数成分の
大きさに比例していることが分る。 この様に本発明によると、素子アレイ10の素
子群,,の空間的長さdを定めることによ
り、光学像中の所望の空間周波数成分を光電的に
抽出することができる。 このように抽出した空間周波数成分の大きさの
情報を用いて、既に知られている様に例えば結像
光学系の合焦状態を検出することができる。即ち
一般の光学系にあつては、合焦時にはその光学像
中の高次の空間周波数成分は大きいが、光学系が
合焦状態からずれるに従つて、その高次の成分は
急激に小さくなることを利用して高次の空間周波
数成分の大きさ情報を抽出して、それの最大を検
出することによつて光学系の合焦状態を検知でき
る。 尚、上述の説明では、加算手段14の出力の交
流成分の振幅情報が、所望の空間周波数成分の大
きさに関連している旨を述べてきたがこの加算手
段14の出力の交流成分の位相を利用すると、光
像の変位即ち光像の動きを検知できる。これを詳
述するとアレイ上の光学像が例えば第1図で左方
向に光電素子1個分だけ変位した時には、加算手
段14の出力I′は となる。ここで{ }内の第1項は像の変位前の
出力Iに等しく、第2項は像の変位によつて素子
アレイ内に入つて来た像の部分とはみ出た部分に
よる影響を表わしている。しかし、この第2項は
一般的な光学像にあつては、第1項に対して無視
し得るので、IとI′との相違はe−2π/Niの存在 による。即ち、このことは像が丁度1素子の幅だ
け横ずれした場合、加算手段の出力の位相が2π/N だけ変化することを示している。更に、加算手段
の出力の直流成分は光像の平均的明るさを表わし
ている。 尚、第1図では、各素子群の対応位置にある素
子即ちその出力が互に同位相の交流信号に変調さ
れる素子1a,2a,3a、1b,2b,3b…
同士を互に接続し、その接続点を変調手段12に
接続しているので、素子アレイからのリード線は
素子群の数によらず群内の素子数によつて決定さ
れる。もちろん本発明はこの様な構成に限るもの
でなく、各光電素子を個々に変調手段12に接続
してもよい。 また、上例では各素子群,,を構成する
素子数をすべて等しくしたが、このことも本発明
に必須のことでなく、素子群の構成素子の数をN
としたとき、その素子出力を順次1/N周期の位
相差を有する交流信号に変調すると言う条件さえ
満たせば、各素子群の構成素子の数を異にしても
よい。 次に本発明の第1実施例を第2図により説明す
る。第1実施例は印加電圧と光強度とに比例した
出力電流を生ずるCdSの如き光導電素子を光電素
子として用い、その印加電圧として交流電圧を使
用することにより光強度に関連した光電素子の出
力電流を変調する例である。第2図において、正
弦状交流電圧供給回路16はその4個の出力端子
16a,16b,16c,16dに第3図a,
b,c,dに夫々示す如く、等しい角周波数W0
を有するが、位相が順次2π/4ずつ遅れた正弦波電 圧を発生する。出力端子16aは第1図と同一配
列の素子アレイ10の各群の最初に位置する光導
電素子1a,2a,3aの1方の端子と接続さ
れ、また他の出力端子16b,16c,16dも
同様に各群の配列順的に対応する光導電素子1
b,2b,3b、1c,2c,3c、1d,2
d,3dに夫々接続されている。これにより、各
光導電素子の出力電流はそこに入射した光強度
と、印加交流電圧に比例したものとなる。即ち、
光強度に比例した各素子の出力電流が印加交流電
圧で変調されたことになる。前記出力端子16a
〜16dと接続されていない方の各光導電素子の
端子は、導線17によつてすべて、互に一緒に接
続され、演算増幅器からなる電流電圧変換回路1
8に接続されている。従つて、各光導電素子の出
力電流はすべて加算され変換回路18に入力され
る。この加算された加算出力電流は第4図aに示
す如く、W0の角周波数を持ち光像の1/d本/
mmの空間周波数成分の情報を有する。この加算出
力電流は変換回路18により電圧に変換され、角
周波数W0のバンドパスフイルタ20により第4
図bに示す交流成分を抽出する。この交流の振幅
が、所望の1/d本/mmの空間周波数成分の大き
さに比例している。このフイルタ20の出力を回
路22により整流し、増幅すれば、所望の空間周
波数成分の大きさに比例した直流出力を得られ
る。また、バンドパスフイルタ20の出力と、正
弦波電圧供給回路16の4個の出力端子のいずれ
か1つの端子(第2図では16dとした)からの
出力との位相差を位相差測定回路24により求め
ると、所望の空間周波数成分についての位相情報
が得られ、これにより光像の変位を検出できる。
更に、変換回路18の出力をローパスフイルタ2
6に通すことにより第4図cに示す光像の平均的
光量に関する情報を得ることができる。 尚、この第1実施例の構成要素と第1図のそれ
とを較べると、正弦波電圧供給回路16が変調手
段12に相当し、また、各光導電素子の他端子同
士を接続している導線17が加算手段14に相当
している。 次にこの様な光導電素子アレイの具体的な構造
例を第5図に示す。第5図aにおいて、受光面と
して働く透明基板30と、その上のIn2O3やSnO2
等の透明共通電極32と、その上のCdS34と、
その上に一例に並んだ複数個Inの電極片36とそ
して、共通電極及び各電極片に夫々接続のリード
線とから素子アレイが構成される。尚、第5図b
は平面図である。この様な構造により互に絶縁さ
れた電極片36の相互間隔を極めて狭く出来、従
つて、素子群を構成する光電素子の数を増すこと
ができるので好ましい。 次に、本発明の第2実施例を第6図により説明
する。本実施例に使用する素子アレイの光電素子
としては、光強度をそれにほぼ比例する電気信号
に変換する素子であれば、いかなる種類のもので
もよい。従つて、CdSの如き光導電素子、シリコ
ン光電池の如き光起素子やフオトダイオード等を
用いることができる。第6図において素子アレイ
10の各光電素子には、一定電圧+Vが印加され
るので各光電素子は光強度にのみほぼ比例した直
流電流を出力する。各群の対応する素子1a,2
a,3aの出力端子はともにアレイ10の出力端
子10aに接続されており従つて、それらの3つ
の素子の出力は加算される。同様に、対応素子1
b,2b,3b,1c,2c,3c及び1d,2
d,3dも夫々出力端子10b,10c,10d
に接続され、各出力はそこで加算される。こうし
て、3出力を夫々加算した4つの加算出力電流は
夫々電流電圧変換回路40a,40b,40c,
40dで直流電圧に変換される。この直流電圧を
第7図a,b,c,dに示す。即ち、第7図a,
b,c,dの直流電圧は夫々光電素子1a,2
a,3aの光強度の合計、1b,2b,3bの光
強度の合計、1c,2c,3cの光強度の合計そ
して1d,2d,3dの光強度の合計に比例した
値を持つ。変調回路42は第7図a,b,c,d
の直流電圧を、第8図a,b,c,dの交流電圧
に夫々変調する。これらの交流電圧はともに等し
い角周波数W0を有するが、それらの振幅は夫々
第7図の直流電圧に比例し、かつそれらの位相は
90゜ずつ遅れている。加算回路44は変調回路4
2の4つの出力を加算し、第9図に示す角周波数
W0の交流出力を発する。この交流出力の振幅は
1/d本/mmの空間周波数成分の大きさに比例し
ており、第1実施例の第4図aの出力に対応す
る。その後この加算回路44の出力を、第1実施
例と同様にバンドパスフイルタ20整流器22や
位相差測定器24及びローパスフイルタ26を通
すことにより夫々所望の情報を得られる。 第10図に変調回路42の具体的一例を示す。
正弦波電圧供給回路42Sは第2図の電圧供給回
路16と同一のもので、その4つの出力端子には
夫々第3図a,b,c,dの如く2π/4ずつ位相の 遅れた角周波数W0の交流電圧を発生する。掛算
器42a,42b,42c,42dは、夫々電流
電圧変換回路40a,40b,40c,40dの
出力電圧と、電圧源42Sの順次2π/4ずつ遅れた 出力電圧を掛け算する。 本発明は素子群を有限数であるN個の素子から
構成している即ち素子群の長さdをN個の素子に
量子化しているので、像の1/d本/mmの空間周
波数成分の大きさは低下する。この低下の程度は
(sinπ/N)/π/Nである。本実施例では図面の複
雑化 を避ける為にN=4としたが、例えばN=8とす
ると(sinπ/8)/π/8=0.974となり、Nが無限大
の 時の値である1に非常に近くなつて、上述の低下
はほとんど無視できるものとなる。この様に所望
の空間周期の幅dを即ち素子群の幅dを比較的小
さな数例えば8個の光電素子で分割することによ
り、十分精度よく像の空間周波数成分の大きさ即
ち振幅情報を抽出できる。尚上では振幅情報につ
いて検討したが、位相情報についても少数の光電
素子N個でdを分割するだけで十分精度よく即ち
2π/Nの数倍の精度で抽出できる。 尚、以上の説明にあつては、特定の1/d本/
mmの空間周波数成分のみを抽出する為に、光電素
子出力を正弦波信号で変調したが、しかしなが
ら、定位相差即ち1/N周期の位相差を有する任
意の波形の周期信号例えば短形波信号で変調を行
つてもよい。この場合、1/d本/mmの空間周波
数成分を比較的多く含んだ信号を抽出できる。も
ちろん上記任意周期信号の基本周波数成分のみを
通過させるバンドパスフイルタを加算手段14の
出力に接続すれば、1/d本/mmの空間周波数成
分を極めて多く含んだ信号を抽出できる。しかし
ながら変調信号が矩形波の場合には加算手段で合
成された交流信号は段階状となり、位相を高精度
に検出する為には上記バンドパスフイルタとして
極めて狭帯域のものを用いなければならない。一
般に狭帯域バンドパスフイルタはピーク位置が温
度により変化し易くまたこれにより入力と出力と
に位相変化が生じ易いという問題がある。これに
対して変調信号を正弦波状とした場合には狭帯域
フイルタを特に必要とせず、簡単なD.C成分除去
フイルタ等のみで充分であると言う利点がある。 以上から明らかな如く、本発明によると、光電
素子群の空間的長さを選定することによつて、光
像の空間周波数成分中から、その長さによつて決
定される特定の成分を抽出でき、更に、素子出力
を変調するのに、電気交流信号を用いているの
で、SN比を向上できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を原理的に示すブロツク図、第
2図は本発明の第1実施例を示すブロツク図、第
3図は正弦波状交流電圧供給回路の各出力電圧を
示すグラフ、第4図a,b,cは、夫々抽出した
空間周波数成分を含む信号、該信号から分離した
交流成分及び該信号の直流成分を表わすグラフ、
第5図a,bは本実施例に用いた素子アレイの具
体的構造例を示す断面図と平面図、第6図は本発
明の第2実施例を示すブロツク図、第7図は第2
実施例の光電素子の出力を示すグラフ、第8図は
変調後の光電素子出力のグラフ、第9図は第4図
aと同様の図、そして第10図は第2実施例の変
調回路の具体的構成例を示すブロツク図である。 図において、1a〜1d,2a〜2d,3a〜
3d;光電素子、,,;素子群、10;素
子アレイ、12;変調手段、14;加算手段。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 光学像の空間周波数成分中から特定の周波数
    成分情報を抽出する装置において、一列に並んだ
    複数個の光電素子からなる光電素子アレイを光学
    系の焦点位置又はその近傍に設け各素子出力をそ
    こに入射する光の強度に依存させるとともに、そ
    れらの光電素子を、複数個の素子からなる複数の
    素子群に分割し、その各素子群の空間的長さを互
    に等しくし、各素子群の光電素子の出力と、該光
    電素子と位置的に対応した位置にあるその次の群
    の光電素子の出力との間に一周期の位相差が生じ
    る様に、各素子群の光電素子の出力を、光電素子
    の位置に応じた位相差とその光電素子出力に応じ
    た振幅と互に等しい角周波数とを持つ正弦波状の
    交流信号に変調する変調手段を設け、そして該交
    流信号を加算する加算手段を設けることを特徴と
    する空間周波数成分抽出装置。 2 光学像の空間周波数成分中から特定の周波数
    成分情報を抽出する装置において、等間隔に一列
    に並んだ複数個の光電素子からなる光電素子アレ
    イを光学系の焦点位置又はその近傍に設け、各素
    子出力をそこに入射する光の強度に依存させると
    ともに、それらの光電素子を、複数個の素子から
    なる複数の素子群に分割し、その各素子群の空間
    的長さを互に等しくし、かつ各素子群内の光電素
    子の数Nを等しくし、各群の最初に位置する光電
    素子の出力を加算し、その次に位置する光電素子
    の出力を加算し以下同様に各群内の対応位置の光
    電素子の出力を加算し、これらの加算出力を、互
    に等しい角周波数を有すると共に、その光電素子
    の配列順に順次位相が1/N周期ずれ、かつ振幅
    が上記加算出力の大きさに対応した交流信号に変
    調する変調手段を設け、そして該交流信号を加算
    する加算手段を設けることを特徴とする空間周波
    数成分抽出装置。 3 光学像の空間周波数成分中から特定の周波数
    成分情報を抽出する装置において、一列に並んだ
    複数個の光電素子からなる光電素子アレイを光学
    系の焦点位置又はその近傍に設け各素子出力をそ
    こに入射する光の強度に依存させるとともに、そ
    れらの光電素子を、複数個の素子からなる複数の
    素子群に分割し、その各素子群の空間的長さを互
    に等しくし、各素子群の光電素子の出力と、該光
    電素子と位置的に対応した位置にあるその次の群
    の光電素子の出力との間に一周期の位相差が生じ
    る様に、各素子群の光電素子の出力を、光電素子
    の位置に応じた位相差とその光電素子出力に応じ
    た振幅と互に等しい角周波数とを持つ交流信号に
    変調する変調手段を設け、そして該交流信号を加
    算する加算手段を設け、更に上記加算手段の出力
    の位相を比較位相情報と比べる位相比較手段を設
    けることを特徴とする空間周波数成分抽出装置。
JP8791877A 1977-07-22 1977-07-22 Space frequency component extraction device for optical images Granted JPS5422848A (en)

Priority Applications (1)

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JP8791877A JPS5422848A (en) 1977-07-22 1977-07-22 Space frequency component extraction device for optical images

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