JPS6146805B2 - - Google Patents
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- JPS6146805B2 JPS6146805B2 JP53012144A JP1214478A JPS6146805B2 JP S6146805 B2 JPS6146805 B2 JP S6146805B2 JP 53012144 A JP53012144 A JP 53012144A JP 1214478 A JP1214478 A JP 1214478A JP S6146805 B2 JPS6146805 B2 JP S6146805B2
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- photoelectric
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- vector
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- Focusing (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
本発明は光学系の自動焦点検出装置に関する。
従来、種々の自動焦点検出装置が提案されてい
る。例えば特開昭51―15432には、結像光学系を
透過した直後の光束のうちからその光軸から離れ
た2位置における第1及び第2光線を分離する
と、その分離された第1及び第2光線は、結像光
学系が合焦及び非合焦状態に応じて、移動するこ
とを利用して、その第1及び第2光線の固定結像
位置に夫々第1及び第2光電素子アレイを配置
し、その第1素子アレイの個々の光電素子出力と
その第2素子アレイの対応した光電素子出力とを
個々に比較して、その個々の比較結果に基づき焦
点検出を行う技術が開示されている。しかしなが
らこの技術では、合焦が非合焦かの判別のみで前
ピンか、後ピンかの判別及び、その非合焦の程度
の判別はできない欠点を有する。他方、この前ピ
ン、合焦、後ピンの判別及びその程度をも検出す
る装置は機械的振動部を必要とし、装置全体の大
きさが大きくなつてしまい、又消費電力も増大し
てしまう欠点を有している。 また、特開昭49―90529号には、一対の光電素
子アレイへの出力信号の位相差が前ピン、合焦、
後ピンおよびその程度をも検出するものが開示さ
れている。 しかしながら、一般の位相弁別器は、入力信号
が正弦波や矩形波のような単純な波形信号である
場合のみ検出が可能である。ところが、任意の被
写体について焦点検出を行うカメラの焦点検出装
置等にあつては、光像は形状やコントラストやそ
こに含まれる空間周波数成分も千差万別であり、
したがつて光電素子アレイの出力波形も正弦波や
矩形波のような単純な波形でなく、非常に複雑な
ものとなり、このような千差万別で、かつ複雑な
波形信号については、通常の位相弁別器では、精
度よく検出することはできない。 この点は、今日実用化されているカメラの焦点
検出装置がいわゆる相関演算(一方の光電素子ア
レイの時系列信号を光電素子1個分ずつ順次ずら
しながら他方の光電素子アレイの時系列信号との
相関を求めその相関の最も強い時の前記ずらし量
から位相差を求める演算)という極めて複雑な手
法を用いて位相差を検出している点から例証する
ことができる。 このような問題を解決するために、本発明は一
対の光電素子アレイの出力信号からそれぞれ光像
中の特定の空間周波数成分を抽出しこれから位相
を比較する。具体的には光電素子アレイの光電素
子出力を光電素子の配列順にf1,……,fNとし
たとき、これらの出力f1,……,fNにベクトル
量a1ei〓i,……,aNei〓i(ψiはベクトル偏角
でψ1<ψ2<……<ψN)を乗じた後、これら
を加算して前記特定空間周波数を表わす合成ベク
トル
従来、種々の自動焦点検出装置が提案されてい
る。例えば特開昭51―15432には、結像光学系を
透過した直後の光束のうちからその光軸から離れ
た2位置における第1及び第2光線を分離する
と、その分離された第1及び第2光線は、結像光
学系が合焦及び非合焦状態に応じて、移動するこ
とを利用して、その第1及び第2光線の固定結像
位置に夫々第1及び第2光電素子アレイを配置
し、その第1素子アレイの個々の光電素子出力と
その第2素子アレイの対応した光電素子出力とを
個々に比較して、その個々の比較結果に基づき焦
点検出を行う技術が開示されている。しかしなが
らこの技術では、合焦が非合焦かの判別のみで前
ピンか、後ピンかの判別及び、その非合焦の程度
の判別はできない欠点を有する。他方、この前ピ
ン、合焦、後ピンの判別及びその程度をも検出す
る装置は機械的振動部を必要とし、装置全体の大
きさが大きくなつてしまい、又消費電力も増大し
てしまう欠点を有している。 また、特開昭49―90529号には、一対の光電素
子アレイへの出力信号の位相差が前ピン、合焦、
後ピンおよびその程度をも検出するものが開示さ
れている。 しかしながら、一般の位相弁別器は、入力信号
が正弦波や矩形波のような単純な波形信号である
場合のみ検出が可能である。ところが、任意の被
写体について焦点検出を行うカメラの焦点検出装
置等にあつては、光像は形状やコントラストやそ
こに含まれる空間周波数成分も千差万別であり、
したがつて光電素子アレイの出力波形も正弦波や
矩形波のような単純な波形でなく、非常に複雑な
ものとなり、このような千差万別で、かつ複雑な
波形信号については、通常の位相弁別器では、精
度よく検出することはできない。 この点は、今日実用化されているカメラの焦点
検出装置がいわゆる相関演算(一方の光電素子ア
レイの時系列信号を光電素子1個分ずつ順次ずら
しながら他方の光電素子アレイの時系列信号との
相関を求めその相関の最も強い時の前記ずらし量
から位相差を求める演算)という極めて複雑な手
法を用いて位相差を検出している点から例証する
ことができる。 このような問題を解決するために、本発明は一
対の光電素子アレイの出力信号からそれぞれ光像
中の特定の空間周波数成分を抽出しこれから位相
を比較する。具体的には光電素子アレイの光電素
子出力を光電素子の配列順にf1,……,fNとし
たとき、これらの出力f1,……,fNにベクトル
量a1ei〓i,……,aNei〓i(ψiはベクトル偏角
でψ1<ψ2<……<ψN)を乗じた後、これら
を加算して前記特定空間周波数を表わす合成ベク
トル
【式】を算出し、これらの合
成ベクトルの位相差を検出する。
このことは千差万別で複雑な光像の波形をある
振幅と位相とをもつ特定の正弦波(特定の空間周
波数成分)に変換してこの正弦波の位相を検出す
ることを意味している。 したがつて、本発明は従来に比べて比較的簡単
な位相比較手段でもつて高精度な焦点検出が可能
となる。 本発明の説明に先だち、本発明の重要な1要素
である光像についての光電変換装置を原理的に説
明する。 第1図において、平面上に配列されたN個の光
電素子P1〜PNからなる素子アレイ1上に結像光
学系により或る輝度分布の光像が結像されると各
素子P1〜PNは、夫々自身への入射光強度に応じ
た光電出力1〜Nを発生する。ベクトル化手
段3は光電出力1〜Nをベクトル化するもの
即ちその各出力に位相情報を付与する働きを果す
もので、N個の乗算手段3A1〜3ANを有する。
各乗算手段3A1〜3ANは夫々関連した光電出力
1〜Nにa1ei 1〜aNei iのベクトル乗数を掛
け、ベクトル出力1a1ei 1〜NaNei Nを発生
する。ただし各ベクトルの偏角1〜Nは1
<2<…<Nを満たすように定めてある加算
手段5は、乗算手段3A1〜3ANのベクトル出力
を加算し、それらの合成ベクトル
振幅と位相とをもつ特定の正弦波(特定の空間周
波数成分)に変換してこの正弦波の位相を検出す
ることを意味している。 したがつて、本発明は従来に比べて比較的簡単
な位相比較手段でもつて高精度な焦点検出が可能
となる。 本発明の説明に先だち、本発明の重要な1要素
である光像についての光電変換装置を原理的に説
明する。 第1図において、平面上に配列されたN個の光
電素子P1〜PNからなる素子アレイ1上に結像光
学系により或る輝度分布の光像が結像されると各
素子P1〜PNは、夫々自身への入射光強度に応じ
た光電出力1〜Nを発生する。ベクトル化手
段3は光電出力1〜Nをベクトル化するもの
即ちその各出力に位相情報を付与する働きを果す
もので、N個の乗算手段3A1〜3ANを有する。
各乗算手段3A1〜3ANは夫々関連した光電出力
1〜Nにa1ei 1〜aNei iのベクトル乗数を掛
け、ベクトル出力1a1ei 1〜NaNei Nを発生
する。ただし各ベクトルの偏角1〜Nは1
<2<…<Nを満たすように定めてある加算
手段5は、乗算手段3A1〜3ANのベクトル出力
を加算し、それらの合成ベクトル
【式】を求めるものである
以下に、こうして求めた加算手段5の出力であ
る合成ベクトルIの性質を考案する。説明の単純
化の為に乗ずるベクトルa1 i 1〜aN i Nのすべ
ての絶対値を等しくその値を1とし即ao=1
(n=1、…N)かつ、左端の素子からn番目の
素子Poの出力に乗ずるベクトルの偏角oをo
=2π×n/N即ちベクトル列ei 1〜ei Nが丁度1 周期(位相的に1回転)となるように定めると
る合成ベクトルIの性質を考案する。説明の単純
化の為に乗ずるベクトルa1 i 1〜aN i Nのすべ
ての絶対値を等しくその値を1とし即ao=1
(n=1、…N)かつ、左端の素子からn番目の
素子Poの出力に乗ずるベクトルの偏角oをo
=2π×n/N即ちベクトル列ei 1〜ei Nが丁度1 周期(位相的に1回転)となるように定めると
【式】
次にこの素子アレイ1上の光像が第1図で素子
の配列方向左方に1素子分だけ変位したときの合
成ベクトルI′を求める。このとき素子Poの光電
出力はo+1となり、これに、ベクトルei2〓×n/N が掛けられる。例えばP1の出力は2でありPN
の出力はN+1となる。尚このN+1は変位前に、
PNの直ぐ右に入射していた光強度に起因する出
力である。 従つて この(2)式の第2項のN+1は光像の変位により新
たにアレイ内に入り込んだ光にそして1はアレ
イ外に出てしまつた光に夫々起因するものであ
り、この第2項が第1項に対して無視し得るもの
であるならば即ちo+1と1がほぼ等しい場合
には(1)式と(2)式の比較により変位後の合成ベクト
ルI′は変位前の合成ベクトルIにe-2〓×1/Niが 付加されたものに等しいことが分る。このこと
は、像が丁度1素子の幅だけ、素子の配列方向に
変位した場合合成ベクトルIの位相がその変位方
向に応じて一義的に2π/Nだけ増加又は減少するこ とを示している。 尚、上述の(2)式の第2項は前述した如く変位に
より新たにアレイ内に入り込んでくる光とアレイ
外に出ていく光がほゞ等しい場合には十分無視し
得るが、それ以外の任意の輝度分布の光像に対し
ても十分無視し得ることを保障する為には、素子
アレイ1を第2図aのような構成にするとよい。
同図において、光電素子アレイ1を、上述の一組
の光電素子P1〜PN即ち一周期分の光電素子を、
何組か図示例では3組を直列に接続し、そして、
各組の対応する位置にある素子の1端を、アレイ
1のN個の外部端子T1〜TNの対応するものに
夫々接続する。この構成により外部端子T1には
各素子組中の素子P1の合計光電出力が出力する。
他の外部端子T2〜TNについても同様である。そ
してこの外部端子T1〜TNに現われる光電出力
に、第1図と同様にa1ei 1〜aNei Nのベクトル
を掛けるようにすればよい。この様に一周期分の
素子組を何組か直列に接続する様なアレイの構成
によつて、アレイの両端に位置する光電素子出力
による合成ベクトルIに対する影響は、アレイ1
を一周期分の素子組のみで構成したものに較べ、
小さくなるので上述の(2)式の第2項を無視し出来
ることになる。更にこのことを徹底する為には、
例えば、複数の素子組からなるアレイの前方に濃
度フイルタを配し、そのフイルタの光透過率特性
をアレイ両端付近における透過率がアレイ中央部
に対して徐々に減少するように定めるとか又は、
アレイ中央部の素子の受光面に比べてその両端付
近の素子の受光面を徐々に減少するようにすると
よい。これによりアレイ1の両端付近の光電素子
出力は、それ以外の光電素子出力に対して相対的
に小さくなるので、合成ベクトルIに対する影響
も小さくできる。 本発明は、上述した如き、アレイの各素子の光
電出力を、そのアレイに対する光像の相対変化に
応じて一義的に位相が変化する電気信号に変換す
る装置を少なくとも2つ用いて結像光学系の焦点
検出を行うものである。以下に実施例に基づき詳
述する。 第3図は、本発明の自動焦点検出装置の実施例
の概略図で、特に光電素子アレイと光学系との関
係を示している。結像レンズL0によつて収れん
された図示なき物体からの光束のうち、そのレン
ズL0の空間的に異なる2つの部分を透過してき
た光束を1対のミラーMaMbによつて反射し他の
光束から分離する。尚この図示例ではこの両ミラ
ーMaMbはレンズL0の光軸に関し対称な位置にあ
り、各々に入射した光線を光軸に垂直方向に反射
する。第2図aに示した如き、複数の周期分の素
子組から構成された光電素子アレイ1Aが、ミラ
ーMaによる反射光の光路中であつて、レンズL0
の固定焦点面と共役な面に配置されている。ま
た、ミラーMbによる反射光の光路中にも、同様
の位置に、同一の光電素子アレイ1Bが配置され
ている。尚、両アレイ1A,1BはレンズL0が
合焦したとき、第4図bのように両アレイの対応
する素子に像が結像するようにする。この第4図
では一周期の素子の数Nを4とし、またその素子
組の数を3としたアレイを示した。このアレイ1
Aと1Bには夫々、その外端出力端子T1〜TNの
光電出力を処理し第1図で述べた合成ベクトルI
の電気信号を発生する位相情報含有出力発生回路
10A,10Bが接続されている。このアレイ1
Aと、回路10Aとの接続関係をこのアレイの任
意の光電素子Poの出力に掛けるベクトルao i
nの偏角oよりも、その素子Poの左に隣接する
光電素子Po+1の出力に掛けるベクトルの偏角の
方が大きくなるように定めた場合、即ち、第3図
において、アレイ1Aが右から左へ素子P1,P2…
…PNと配列してある場合アレイ1Bと回路10
Bとの接続関係はその逆となるように定め換言す
ると第3図において素子の配列を逆にし左から右
に素子P1……PNを配列するように定める。この
ような構成であるので図示の如く、レンズL0が
合焦のとき、前述のように物体の像は両アレイ1
A,1B上に同一位置に結像される(第4図b)
ので、夫々の回路10A,10Bは、同一偏角α
a,αbを持つ合成ベクトルIa,Ibを出力する。
この状態から前ピンになつたとすると物体の像
は、固定焦点面の前方に結像するので、特開昭51
―15432に詳述されているようにアレイ1A及び
1b上の各像は共に第3図において左方向に移動
し、後ピンのときは逆に右方向に移動する。この
前ピンにより第3図で像が左に変化することは、
第4図の如く両素子アレイ1A,1Bの各素子の
配列方向をそろえて、示すと、第4図aに示す如
くアレイ1Aでは像が右方へ、アレイ1Bでは左
方へ移動し、従つてこのときの位相情報含有出力
発生回路10Aの出力ベクトルI′aはその偏角
α′aが合焦時の偏角αより大きくなり、逆に回路
10Bの出力ベクトルI′bの偏角α′bは小さくな
る。後ピンの場合は第4図cの如くそれとは逆に
なる。従つて第3図に示す如く、位相差測定器1
3によつて両方の位相情報含有出力発生回路10
A,10Bの出力の位相差αa−αbを測定すれば
このαa−αb=0のとき合焦状態であり、αa−
αb>0のとき前ピンでありそしてαa−αb<0
のとき後ピンであることが分る。そしてこの位相
差の絶対値|αa−αb|は合焦状態からずれるに
従がい大きくなる。従つてこの位相差測定機13
の出力を表示器15に接続すると、その出力の符
号及びその大きさに基づいて、表示器に前ピン、
合焦及び後ピンの区別そしてその程度を表示でき
る。もちろんこの位相差測定器13の出力に基づ
き、例えばレンズL0の駆動機構を作動させれば
自動合焦を行うことができる。 第5図は結像レンズL0を通つた光軸付近以外
の光束を、その固定焦点面Fの後方に、光軸に対
してほゞ対称に配置された2つの収れんレンズL
a,Lbによつて、2方向に分離して、各レンズL
a,Lbに関してFと共役な面に夫々配置された1
対の素子アレイ1A,1Bに結像させる例を示
す。 以上の第3図及び第5図は一つの結像レンズ
L0の透過光を2つに分離する例であるが次にそ
れとは異つた光学系の例を第6図により説明す
る。第6図において、焦点検出すべきレンズLと
同じ物体Sについての像を作る1対の結像レンズ
L4,L5の夫々の後方には、ミラーM4とM5が夫々
配置されている。このレンズL5に関連ミラーM5
は固定であるが、レンズL4に関連のミラーM4は
結像レンズLと連動しLの光軸方向の移動に応じ
て、矢印方向に揺動する。プリズムPLはミラー
M4,M5の反射光を更に夫々の光電素子アレイ1
A,1Bの方へ反射する。もちろんこの光電素子
アレイ1A,1Bは、レンズL4,L5の固定焦点
面に配置されている。素子アレイ1B上に形成さ
れるレンズL5による物体Sの像位置はレンズL5
に対する物体Sの位置によつて一義的に決まる。
他方、レンズL4による物体Sの像位置は連動ミ
ラーM4の回転角によつて、アレイ1Aの素子の
配列方向に変位するので、結像レンズLが合焦状
態にあるとき、第4図bの如く物体Sの像がアレ
イ1A,1Bについて同一位置にくるように、そ
して、Lが前ピン又は後ピンのとき、夫々第4図
a又はcの如く物体Sの像がアレイ1A,1Bに
対して反対方向に変化するように、レンズLと連
動ミラー及び素子アレイ1A,1Bの関係を定め
れば、素子アレイ1A,1Bの各出力を第3図と
同様の処理によつて結像レンズLの自動焦点検出
を行い得る。 次に、本発明の位相情報含有出力発生回路10
A,10B即ちベクトル化手段と加算手段構成例
を説明する。 この第1構成例は各光電素子出力oにベクト
ルaoei4nを掛けるのに、そのベクトルのx,y
成分を掛け、そしてそのx成分が掛けられた各光
電素子出力を加算し、合成ベクトルIのx成分X
を求め、そして同様に各ベクトルのy成分が掛け
られた各光電素子出力を加算し合成ベクトルIの
y成分Yを求めるものである。即ちこの構成例は
合成ベクトルIをそのx,y成分X,Yの形で算
出するものである。 第7図においては、1周期を構成する素子数を
4としアレイ内の周期数即ち素子組の数を3とし
て示してある。この各素子組の各光電素子P1〜P4
は第2図と同様にアレイの外部出力端子T1〜T4
に夫々接続されている。従つて、端子T1には
夫々各素子組のP4の合計の光電出力が、また端子
T2〜T4にも同様の光電出力が現われる。このT1
〜T4の各出力にベクトルei2〓×1/2,ei2〓×2/
4,ei2〓×3/4およびei2〓×4/4を掛けるのにそ
の各ベクトルのxy成分(cos2π×1/4,sin2π×1/
4) =(0,1),(cos2π×2/4,sin2π×2/4)=
(−1, 0),(cos2π×3/4,sin2π×3/4)=(0,−
1), (cos2π×4/4,sin2π×4/4)=(1,0)を掛
ける。 図において、端子T1〜T4はこのx成分列0,−
1,0,1を乗ずる為に乗算器3x1〜3x4に同様
にy成分列1,0,−1,0を乗ずる為に乗算器
3y1〜3y4に夫々接続されている。加算器5x
は、乗算器3x1〜3x4の出力を合計し合成ベクト
ルIのx成分Xを、同様に加算器5yは乗算器3
y1〜3y4の出力を合計し、合成ベクトルIのy成
分Yを夫々出力する。 このような合成ベクトルIをその成分(X,
Y)の形で算出する位相情報含有出力発生回路を
上述の回路10A,10Bに夫々用いると、回路
10A,10Bの夫々出力Ia,Ibは夫々(X
a,Ya),(Xb,Yb)の形で出力される。この
(Xa,Ya)(Xb,Yb)からIaとIbの位相差は
種々の方法により求め得るが、以下にそのうちで
特に好ましい算出法を説明する。第8図におい
て、Ia=(Xa,Ya),Ib=(Xb,Yb)は光像の
平均輝度によつて、夫々ベクトルの絶対値が大き
く変化するので、その平均輝度に依存しない様に
Xa,Ya,Xb,Ybを夫々演算回路20x,20
y,22x,22yによつて、夫々規格化し に変換する。この規格化されたベクトルIa,Ib
の外積
の配列方向左方に1素子分だけ変位したときの合
成ベクトルI′を求める。このとき素子Poの光電
出力はo+1となり、これに、ベクトルei2〓×n/N が掛けられる。例えばP1の出力は2でありPN
の出力はN+1となる。尚このN+1は変位前に、
PNの直ぐ右に入射していた光強度に起因する出
力である。 従つて この(2)式の第2項のN+1は光像の変位により新
たにアレイ内に入り込んだ光にそして1はアレ
イ外に出てしまつた光に夫々起因するものであ
り、この第2項が第1項に対して無視し得るもの
であるならば即ちo+1と1がほぼ等しい場合
には(1)式と(2)式の比較により変位後の合成ベクト
ルI′は変位前の合成ベクトルIにe-2〓×1/Niが 付加されたものに等しいことが分る。このこと
は、像が丁度1素子の幅だけ、素子の配列方向に
変位した場合合成ベクトルIの位相がその変位方
向に応じて一義的に2π/Nだけ増加又は減少するこ とを示している。 尚、上述の(2)式の第2項は前述した如く変位に
より新たにアレイ内に入り込んでくる光とアレイ
外に出ていく光がほゞ等しい場合には十分無視し
得るが、それ以外の任意の輝度分布の光像に対し
ても十分無視し得ることを保障する為には、素子
アレイ1を第2図aのような構成にするとよい。
同図において、光電素子アレイ1を、上述の一組
の光電素子P1〜PN即ち一周期分の光電素子を、
何組か図示例では3組を直列に接続し、そして、
各組の対応する位置にある素子の1端を、アレイ
1のN個の外部端子T1〜TNの対応するものに
夫々接続する。この構成により外部端子T1には
各素子組中の素子P1の合計光電出力が出力する。
他の外部端子T2〜TNについても同様である。そ
してこの外部端子T1〜TNに現われる光電出力
に、第1図と同様にa1ei 1〜aNei Nのベクトル
を掛けるようにすればよい。この様に一周期分の
素子組を何組か直列に接続する様なアレイの構成
によつて、アレイの両端に位置する光電素子出力
による合成ベクトルIに対する影響は、アレイ1
を一周期分の素子組のみで構成したものに較べ、
小さくなるので上述の(2)式の第2項を無視し出来
ることになる。更にこのことを徹底する為には、
例えば、複数の素子組からなるアレイの前方に濃
度フイルタを配し、そのフイルタの光透過率特性
をアレイ両端付近における透過率がアレイ中央部
に対して徐々に減少するように定めるとか又は、
アレイ中央部の素子の受光面に比べてその両端付
近の素子の受光面を徐々に減少するようにすると
よい。これによりアレイ1の両端付近の光電素子
出力は、それ以外の光電素子出力に対して相対的
に小さくなるので、合成ベクトルIに対する影響
も小さくできる。 本発明は、上述した如き、アレイの各素子の光
電出力を、そのアレイに対する光像の相対変化に
応じて一義的に位相が変化する電気信号に変換す
る装置を少なくとも2つ用いて結像光学系の焦点
検出を行うものである。以下に実施例に基づき詳
述する。 第3図は、本発明の自動焦点検出装置の実施例
の概略図で、特に光電素子アレイと光学系との関
係を示している。結像レンズL0によつて収れん
された図示なき物体からの光束のうち、そのレン
ズL0の空間的に異なる2つの部分を透過してき
た光束を1対のミラーMaMbによつて反射し他の
光束から分離する。尚この図示例ではこの両ミラ
ーMaMbはレンズL0の光軸に関し対称な位置にあ
り、各々に入射した光線を光軸に垂直方向に反射
する。第2図aに示した如き、複数の周期分の素
子組から構成された光電素子アレイ1Aが、ミラ
ーMaによる反射光の光路中であつて、レンズL0
の固定焦点面と共役な面に配置されている。ま
た、ミラーMbによる反射光の光路中にも、同様
の位置に、同一の光電素子アレイ1Bが配置され
ている。尚、両アレイ1A,1BはレンズL0が
合焦したとき、第4図bのように両アレイの対応
する素子に像が結像するようにする。この第4図
では一周期の素子の数Nを4とし、またその素子
組の数を3としたアレイを示した。このアレイ1
Aと1Bには夫々、その外端出力端子T1〜TNの
光電出力を処理し第1図で述べた合成ベクトルI
の電気信号を発生する位相情報含有出力発生回路
10A,10Bが接続されている。このアレイ1
Aと、回路10Aとの接続関係をこのアレイの任
意の光電素子Poの出力に掛けるベクトルao i
nの偏角oよりも、その素子Poの左に隣接する
光電素子Po+1の出力に掛けるベクトルの偏角の
方が大きくなるように定めた場合、即ち、第3図
において、アレイ1Aが右から左へ素子P1,P2…
…PNと配列してある場合アレイ1Bと回路10
Bとの接続関係はその逆となるように定め換言す
ると第3図において素子の配列を逆にし左から右
に素子P1……PNを配列するように定める。この
ような構成であるので図示の如く、レンズL0が
合焦のとき、前述のように物体の像は両アレイ1
A,1B上に同一位置に結像される(第4図b)
ので、夫々の回路10A,10Bは、同一偏角α
a,αbを持つ合成ベクトルIa,Ibを出力する。
この状態から前ピンになつたとすると物体の像
は、固定焦点面の前方に結像するので、特開昭51
―15432に詳述されているようにアレイ1A及び
1b上の各像は共に第3図において左方向に移動
し、後ピンのときは逆に右方向に移動する。この
前ピンにより第3図で像が左に変化することは、
第4図の如く両素子アレイ1A,1Bの各素子の
配列方向をそろえて、示すと、第4図aに示す如
くアレイ1Aでは像が右方へ、アレイ1Bでは左
方へ移動し、従つてこのときの位相情報含有出力
発生回路10Aの出力ベクトルI′aはその偏角
α′aが合焦時の偏角αより大きくなり、逆に回路
10Bの出力ベクトルI′bの偏角α′bは小さくな
る。後ピンの場合は第4図cの如くそれとは逆に
なる。従つて第3図に示す如く、位相差測定器1
3によつて両方の位相情報含有出力発生回路10
A,10Bの出力の位相差αa−αbを測定すれば
このαa−αb=0のとき合焦状態であり、αa−
αb>0のとき前ピンでありそしてαa−αb<0
のとき後ピンであることが分る。そしてこの位相
差の絶対値|αa−αb|は合焦状態からずれるに
従がい大きくなる。従つてこの位相差測定機13
の出力を表示器15に接続すると、その出力の符
号及びその大きさに基づいて、表示器に前ピン、
合焦及び後ピンの区別そしてその程度を表示でき
る。もちろんこの位相差測定器13の出力に基づ
き、例えばレンズL0の駆動機構を作動させれば
自動合焦を行うことができる。 第5図は結像レンズL0を通つた光軸付近以外
の光束を、その固定焦点面Fの後方に、光軸に対
してほゞ対称に配置された2つの収れんレンズL
a,Lbによつて、2方向に分離して、各レンズL
a,Lbに関してFと共役な面に夫々配置された1
対の素子アレイ1A,1Bに結像させる例を示
す。 以上の第3図及び第5図は一つの結像レンズ
L0の透過光を2つに分離する例であるが次にそ
れとは異つた光学系の例を第6図により説明す
る。第6図において、焦点検出すべきレンズLと
同じ物体Sについての像を作る1対の結像レンズ
L4,L5の夫々の後方には、ミラーM4とM5が夫々
配置されている。このレンズL5に関連ミラーM5
は固定であるが、レンズL4に関連のミラーM4は
結像レンズLと連動しLの光軸方向の移動に応じ
て、矢印方向に揺動する。プリズムPLはミラー
M4,M5の反射光を更に夫々の光電素子アレイ1
A,1Bの方へ反射する。もちろんこの光電素子
アレイ1A,1Bは、レンズL4,L5の固定焦点
面に配置されている。素子アレイ1B上に形成さ
れるレンズL5による物体Sの像位置はレンズL5
に対する物体Sの位置によつて一義的に決まる。
他方、レンズL4による物体Sの像位置は連動ミ
ラーM4の回転角によつて、アレイ1Aの素子の
配列方向に変位するので、結像レンズLが合焦状
態にあるとき、第4図bの如く物体Sの像がアレ
イ1A,1Bについて同一位置にくるように、そ
して、Lが前ピン又は後ピンのとき、夫々第4図
a又はcの如く物体Sの像がアレイ1A,1Bに
対して反対方向に変化するように、レンズLと連
動ミラー及び素子アレイ1A,1Bの関係を定め
れば、素子アレイ1A,1Bの各出力を第3図と
同様の処理によつて結像レンズLの自動焦点検出
を行い得る。 次に、本発明の位相情報含有出力発生回路10
A,10B即ちベクトル化手段と加算手段構成例
を説明する。 この第1構成例は各光電素子出力oにベクト
ルaoei4nを掛けるのに、そのベクトルのx,y
成分を掛け、そしてそのx成分が掛けられた各光
電素子出力を加算し、合成ベクトルIのx成分X
を求め、そして同様に各ベクトルのy成分が掛け
られた各光電素子出力を加算し合成ベクトルIの
y成分Yを求めるものである。即ちこの構成例は
合成ベクトルIをそのx,y成分X,Yの形で算
出するものである。 第7図においては、1周期を構成する素子数を
4としアレイ内の周期数即ち素子組の数を3とし
て示してある。この各素子組の各光電素子P1〜P4
は第2図と同様にアレイの外部出力端子T1〜T4
に夫々接続されている。従つて、端子T1には
夫々各素子組のP4の合計の光電出力が、また端子
T2〜T4にも同様の光電出力が現われる。このT1
〜T4の各出力にベクトルei2〓×1/2,ei2〓×2/
4,ei2〓×3/4およびei2〓×4/4を掛けるのにそ
の各ベクトルのxy成分(cos2π×1/4,sin2π×1/
4) =(0,1),(cos2π×2/4,sin2π×2/4)=
(−1, 0),(cos2π×3/4,sin2π×3/4)=(0,−
1), (cos2π×4/4,sin2π×4/4)=(1,0)を掛
ける。 図において、端子T1〜T4はこのx成分列0,−
1,0,1を乗ずる為に乗算器3x1〜3x4に同様
にy成分列1,0,−1,0を乗ずる為に乗算器
3y1〜3y4に夫々接続されている。加算器5x
は、乗算器3x1〜3x4の出力を合計し合成ベクト
ルIのx成分Xを、同様に加算器5yは乗算器3
y1〜3y4の出力を合計し、合成ベクトルIのy成
分Yを夫々出力する。 このような合成ベクトルIをその成分(X,
Y)の形で算出する位相情報含有出力発生回路を
上述の回路10A,10Bに夫々用いると、回路
10A,10Bの夫々出力Ia,Ibは夫々(X
a,Ya),(Xb,Yb)の形で出力される。この
(Xa,Ya)(Xb,Yb)からIaとIbの位相差は
種々の方法により求め得るが、以下にそのうちで
特に好ましい算出法を説明する。第8図におい
て、Ia=(Xa,Ya),Ib=(Xb,Yb)は光像の
平均輝度によつて、夫々ベクトルの絶対値が大き
く変化するので、その平均輝度に依存しない様に
Xa,Ya,Xb,Ybを夫々演算回路20x,20
y,22x,22yによつて、夫々規格化し に変換する。この規格化されたベクトルIa,Ib
の外積
【式】を演算回路2
4によつて求める。この外積Qは周知の如く2つ
のベクトルIa,Ibのなす角と対応関係があるの
で、この回路24の出力に基づき両ベクトルI
a,Ibの偏角の差即ち位相差の大きさをその符号
を含めて知ることができ、よつて、このQの値か
ら前ピン、合焦、後ピンの区別及びその程度を知
ることができる。 上例では1周期を4つの素子で構成し、かつ乗
ずるベクトルの絶対値をすべて等しくしたのでア
レイに一様な輝度分布の光像が結像した場合、合
成ベクトルIは零となつて好ましいがしかしこの
様な結果を得る為には例えば1周期を偶数の素子
で構成し半周期ずれたベクトルどうしの絶対値が
互い等しくなるように定めてもよい。 次にこの第1構成例の具体的回路例を第9図に
より説明する。N=4としたので光電素子アレイ
1Aは第2図bに具体的に示した如く4つの外部
出力端子T1〜T4を有し、そこに現われた各出力
は4つの増幅器26により個々に増幅される。こ
れらの各出力に乗ずるx成分列は前述の如く、
0,−1,0,1であるのでXaを求めるには、
T2とT4の出力に夫々−1と1を掛け、その後両
者を加算すればよいか、本回路例では、T2とT4
の出力に夫々1と1を掛け、その後両者の差を求
めている。即ちT2とT4を増幅器26を介して
夫々等しい抵抗に接続し上述のx成分1を夫々掛
け、そして、差動増幅器28nの両入力に接続
し、増幅後のT4の出力から増幅されたT2の出力
を引いている。またy成分列は1,0,−1,0
であるので、Xaの場合と同様に、T1とT3の出力
を、前述と等しい抵抗26を介して差動増幅器2
8yに入力することによりYaを得られる。もう
1方の素子アレイ1Bと位相情報含有出力発生回
路10Bについても同様の構成によつて、Xb,
Ybを得られる。この(Xa,Ya),(Xb,Yb)よ
り、第8図の構成から合成ベクトルIa,Ibの位
相差を求め得る。 尚、各素子アレイの外部共通端子Tcには、各
アレイ内の各光電素子の他端子が接続されてお
り、その外部共通端子Tcは図示なき電源に接続
されている。 もちろん、上例では光電出力に掛けるべき零以
外のx成分、y成分はすべて等しいので、抵抗の
値を同一としたが、もしそのx成分又はy成分が
種々異なる場合には、その成分の大きさに応じた
値の抵抗を選択することになる。 次に上述の改良的変形例を第10図により説明
する。この変形例は光電素子をフオトダイオード
とし、このフオトダイオードアレイ1A,1Bの
共通端子Tcを互に接続し、この端子と接地間に
FETスイツチング素子swを接続してある。この
FETswは制御回路30によつてオンオフされ
る。従つてアレイ1A内の各フオトダイオードは
このFETswのオンの時、swのオフ時間の長さと
その間の入射光強度とに応じた光電電流を瞬間的
に発生する。この各フオトダイオードからの交流
出力は、すべて共通のFETswで交流化されてい
るので、同一周期同一位相であり、前述同様、抵
抗及び差動増幅器28x,28yに入力される。
サンプルアンドホールド回路32x,32yは制
御回路30からのFETswのオンオフ周期に応じ
た信号に基づき、差動増幅器28x,28yの出
力を整流し、直流出力Xa,Yaに変換する。尚、
制御回路30は、上述のXa,Yaを入力しその絶
対値の和が小さいとき、即ち光像の平均輝度が低
いとき、その程度に応じてFETsw1のオンオフ周
期を大きくし、FETのオフ時間を長くし、各光
電電流を大きくし、光像の平均輝度の変化にかか
わらず、光電電流の大きさをほぼある範囲内に入
るようにしている。もちろん、素子アレイ1Bか
らの光電電流も、同一の処理により、Xb,Ybに
変換される。 この具体的回路例はこのベクトルIa=(Xa,
Ya)Ib=(Xb,Yb)の位相差を求める回路も第
8図のものとは異つた構成を採用している。以下
に詳述する。まず原理的に説明する。Xaに交流
信号sin wtを、Yaに交流cos wtを夫々掛け、そ
して両者を加算すると√a 2+a 2sin(wt+
αa)なる信号が得られる。ここでαaはベクトル
Iaの偏角である。同様にXbにcos wtをYbにsin
wtを掛け前者から後者を引くと√b 2+b 2
cos(wt+αb)を得る。αbはIbの偏角 このよ
うにして、ベクトルIa,Ibの偏角を或る周波数
wの交流信号の位相として表わすことができる
が、Ia,Ibの偏角が一致するとき、即ち合焦時
に、上記両交流信号にπ/4の位相差を与えたこと は、換言すると一方のベクトルについては正弦信
号にまた他方は余弦信号にしたことはこの両信号
を掛けそれを積分することによりsin(αa−α
b)を求めるためである。式で示すと 2/Tp∫To psin(wt+αa) ×cos(wt+αb)dt=sin(αa−αb) 従つてこの積分出力は合焦時に零となり、合焦時
の検出が容易となる。以上を第10図により説明
すると、直流出力Xa,XbはFETスイツチング素
子36x,38xにより同一周波数wでオンオフ
され、直流出力Ya,Ybは夫々同様のFET36
y,38yにより上と同一周波数wであるがそれ
とはπ/4だけずれた位相でオンオフされる。これら の4つのFET36x,36y,38x,38y
は、制御器34からの出力により制御される。こ
うして、Xa,Yaは同一周波数wであるが、π/4だ け位相のずれた矩形波信号に変換され、その後、
加算器40により加算される。wのバンドパスフ
イルタ41Aは、加算器40の出力中からwの周
波数成分を抽出する。従つてこのフイルタ41の
抽出出力は、上述の√a 2+asin(wt+αa)
を多く含むことになる。同様にXb,Ybについて
も、上述の加算器40の代りに減算器42用いる
ことによりバンドパスフイルタ41Bの出力とし
て√b 2+b 2cos(wt+αb)を得られる。波
形整形回路44Aはバンドパスフイルタ41Aの
出力を位相と周波数を同一に保ちながら一様振幅
の矩形波信号に変換する。波形整形回路44Bも
全く同様にバンドパスフイルタ41Bの出力を一
様振幅の矩形波信号に変換する。乗算器46は両
回路44A,44Bの矩形波出力を掛け合わせ積
分平滑回路47はその出力を積分し平滑する。こ
れにより積分平滑回路47の出力はベクトルIa
とIbの偏角差に関連した値となるので、この出
力の正負及びその大きさによつて、前ピン、後ピ
ン及びその程度そして出力零で合焦とを検出でき
る。 尚この第10図の構成において、フオトダイオ
ードの出力を単一のFETsw1で交流化しているの
でそのFETsw1のオンの際に生じるスパイクノイ
ズは、各交流光電出力に等しく発生する。従つて
それらのノイズは差動増幅器28x,28yによ
つて相殺できる。 また、光電素子アレイとしてフオトダイオード
アレイやC,C,D等によつて光像の輝度分布を
時系列化された電気信号として出力し、この光電
出力にcos wtを掛け積分しかつsin wtを掛け積
分することによつてベクトルIをその成分X,Y
の形で求め得る。即ち X=∫I(t)・cos wt dt,Y=∫I(t)sin
wt dtである。 ここでI(t)は時系列化された光電出力であ
る。 次に、本発明の位相情報含有出力発生回路の別
の構成例を説明する。 第11図において、光電素子アレイ1の構成は
第7図と全く同一であり、外部出力端子T1〜T4
に現われる光電出力をg1〜g4とする。この各光電
出力g1〜g4に夫々周波数が等しいが位相が順次
2π/4ずつ進んだ交流ei(wt+〓/2,ei(wt+〓),ei (wt+3/2 〓)及びei(wt+2〓)を乗算器51〜54に
よつて掛ける。即ち、各光電出力g1〜g4を、周波
数が同一であるが、位相が順次2π/4ずつ進みかつ 振幅がその光電出力の大きさに比例した交流出力
g1ei(wt+〓/ 2)〜g4ei(wt+2〓)に変換する。加算器
55は各乗算器51〜54の交流出力を加算し合
成交流出力Ipを発生する。そちろんこの例で4
つの光電素子で1周期としたので各交流出力は
2π/4ずつ位相がずれているが、一般に、N個の素 子で1周期とした場合には、2π×n/Nずつ位相の ずれた交流出力となる。今一般的な場合につい
て、加算器55の合成出力Ipを求めてみると、 この式と(1)式を比較すると明らかなように、この
合成出力Ipは、光像がアレイ1に対しその素子
の配列方向に相対的に移動すると、これに応じて
位相が一義的に変化する。次にこの第2の構成例
の具体的回路例と、位相比較器13の具体的回路
例を第12図により説明する。この例は光電素子
をフオトダイオードとし1周期を6素子で構成し
即ちN=6としたものであり、1対の素子アレイ
1A,1Bの具体的構成は第2図cに示すもので
ある。アレイ1Aと1Bの外部出力端子T1〜T6
は夫々スイツチングFETs1〜s6及びs10〜s60接続
している。これらのスイツチング素子s1〜s6は第
13図に示す如くタイミングパルス発生器60か
らのパルスによつて順次同一周期Tで短時間オン
されるが各スイツチs1〜s6のオンされる時期は順
次T/6だけ位相が遅れている。またアレイ1Bに関 するスイツチング素子s10〜s60も同様にパルス発
生器60によつて同一周期Tでかつ、位相が順次
T/6だけ遅れてオンされる。両スイツチング素子対 s1〜s6とs10〜s60のオンされる時期の関係はスイ
ツチング素子s10のオンがs1のオンよりT/4(位相と してπ/2)だけ遅れるように定められている。従つ て、アレイ1Aと1Bの外部共通端子Tcには、
スイツチング素子s1〜s6,s10〜s60の順次のオン
に応じてフオトダイオードの光電電流(第2図c
のアレイでは、3周期分の素子組であるから、3
つのフオトダイオードの合計出力)が、順次現わ
れる。この光電電流は前述と同様に光強度とスイ
ツチングFETのオフ時間に関連したピーク値を
持つことになる。このアレイ1A,1Bの共通端
子Tcには、パルス整形回路62が接続され、こ
れはOPアンプ62a、帰還コンデンサ62b
と、これに並列に接続され、回路60によつてオ
ンオフされるFET62cとから構成され、Tcか
らの光電電流を、一定のパルス幅と、そのピーク
値に関連した振幅を有するパルス信号に整形す
る。従つて、整形回路62の出力にはパルス振幅
を別にすれば丁度第13図に示したタイミングで
経時的にs1,s60,s2,s10,s3,s20,s4,s30……
のオンに応じたパルス出力が発生する。整形回路
62の出力に直列に接続されたFETs1′〜s6′,
s10′〜s60′は各々はFETs1〜sR,s10〜s60の各々
と同期して(SnがSn′に対応)、パルス発生器6
0によつてオンオフされる。従つて、s1のオンに
よつて発生した光電電流は、波形整形され第13
図s1に示した如き波形のパルスとして整形回路6
2の出力に現われるが、このときs1のみがオンな
ので、このパルス出力は、ピークホールド回路6
4によつてT/2時間だけピークホールドされ第14 図aのに示す如く、長さT/2の矩形波に変換され る。引き続きs60がオンになるとその光電電流は
このときs60′がオンなのでピークホールド回路6
9によつて、同様に矩形波に変換される。更にそ
の後のs2,s10,s3,s20……のオンにより、それ
に対応した光電電流は、夫々関連したFETs2′,
s10′,s3′,s20′によつて選定されたピークホール
ド回路65,67,66,68……によつて矩形
波に変換される。尚この回路側では、スイツチ素
子の対s1とs4、s2とs5及びs3とs6は互にそのオン
周期がT/2だけずれているので、FETs1′とs4′を s2′とs5′を及びs3′とs6′を夫々互に並例に接続し、
共通のピークホールド回路64,65,66を使
用して構成の簡略化を図つている。FETs10′〜
s60′についても同様である。この構成により、ピ
ークホールド回路64には第14図aに示す如く
s1のオンに起因した矩形波とs4のオンに起因し
た矩形波とが交互に現われ、同様に、ピークホ
ールド回路65,66には夫々第14図b,cに
示す如く、s2とs5及びs6とs3に夫々起因した矩形
波,,,が交互に現われる。加算回路7
0Aはこれらの回路64〜66の出力を加算し第
15図に示す出力を発生する。中心周波数2π/Tの バンドパスフイルタ72Aは、その加算出力中か
ら2π/Tの周波数成分を抽出し第16図に示す正弦 波を出力する。この正弦波が第11図において述
べた(3)式の
のベクトルIa,Ibのなす角と対応関係があるの
で、この回路24の出力に基づき両ベクトルI
a,Ibの偏角の差即ち位相差の大きさをその符号
を含めて知ることができ、よつて、このQの値か
ら前ピン、合焦、後ピンの区別及びその程度を知
ることができる。 上例では1周期を4つの素子で構成し、かつ乗
ずるベクトルの絶対値をすべて等しくしたのでア
レイに一様な輝度分布の光像が結像した場合、合
成ベクトルIは零となつて好ましいがしかしこの
様な結果を得る為には例えば1周期を偶数の素子
で構成し半周期ずれたベクトルどうしの絶対値が
互い等しくなるように定めてもよい。 次にこの第1構成例の具体的回路例を第9図に
より説明する。N=4としたので光電素子アレイ
1Aは第2図bに具体的に示した如く4つの外部
出力端子T1〜T4を有し、そこに現われた各出力
は4つの増幅器26により個々に増幅される。こ
れらの各出力に乗ずるx成分列は前述の如く、
0,−1,0,1であるのでXaを求めるには、
T2とT4の出力に夫々−1と1を掛け、その後両
者を加算すればよいか、本回路例では、T2とT4
の出力に夫々1と1を掛け、その後両者の差を求
めている。即ちT2とT4を増幅器26を介して
夫々等しい抵抗に接続し上述のx成分1を夫々掛
け、そして、差動増幅器28nの両入力に接続
し、増幅後のT4の出力から増幅されたT2の出力
を引いている。またy成分列は1,0,−1,0
であるので、Xaの場合と同様に、T1とT3の出力
を、前述と等しい抵抗26を介して差動増幅器2
8yに入力することによりYaを得られる。もう
1方の素子アレイ1Bと位相情報含有出力発生回
路10Bについても同様の構成によつて、Xb,
Ybを得られる。この(Xa,Ya),(Xb,Yb)よ
り、第8図の構成から合成ベクトルIa,Ibの位
相差を求め得る。 尚、各素子アレイの外部共通端子Tcには、各
アレイ内の各光電素子の他端子が接続されてお
り、その外部共通端子Tcは図示なき電源に接続
されている。 もちろん、上例では光電出力に掛けるべき零以
外のx成分、y成分はすべて等しいので、抵抗の
値を同一としたが、もしそのx成分又はy成分が
種々異なる場合には、その成分の大きさに応じた
値の抵抗を選択することになる。 次に上述の改良的変形例を第10図により説明
する。この変形例は光電素子をフオトダイオード
とし、このフオトダイオードアレイ1A,1Bの
共通端子Tcを互に接続し、この端子と接地間に
FETスイツチング素子swを接続してある。この
FETswは制御回路30によつてオンオフされ
る。従つてアレイ1A内の各フオトダイオードは
このFETswのオンの時、swのオフ時間の長さと
その間の入射光強度とに応じた光電電流を瞬間的
に発生する。この各フオトダイオードからの交流
出力は、すべて共通のFETswで交流化されてい
るので、同一周期同一位相であり、前述同様、抵
抗及び差動増幅器28x,28yに入力される。
サンプルアンドホールド回路32x,32yは制
御回路30からのFETswのオンオフ周期に応じ
た信号に基づき、差動増幅器28x,28yの出
力を整流し、直流出力Xa,Yaに変換する。尚、
制御回路30は、上述のXa,Yaを入力しその絶
対値の和が小さいとき、即ち光像の平均輝度が低
いとき、その程度に応じてFETsw1のオンオフ周
期を大きくし、FETのオフ時間を長くし、各光
電電流を大きくし、光像の平均輝度の変化にかか
わらず、光電電流の大きさをほぼある範囲内に入
るようにしている。もちろん、素子アレイ1Bか
らの光電電流も、同一の処理により、Xb,Ybに
変換される。 この具体的回路例はこのベクトルIa=(Xa,
Ya)Ib=(Xb,Yb)の位相差を求める回路も第
8図のものとは異つた構成を採用している。以下
に詳述する。まず原理的に説明する。Xaに交流
信号sin wtを、Yaに交流cos wtを夫々掛け、そ
して両者を加算すると√a 2+a 2sin(wt+
αa)なる信号が得られる。ここでαaはベクトル
Iaの偏角である。同様にXbにcos wtをYbにsin
wtを掛け前者から後者を引くと√b 2+b 2
cos(wt+αb)を得る。αbはIbの偏角 このよ
うにして、ベクトルIa,Ibの偏角を或る周波数
wの交流信号の位相として表わすことができる
が、Ia,Ibの偏角が一致するとき、即ち合焦時
に、上記両交流信号にπ/4の位相差を与えたこと は、換言すると一方のベクトルについては正弦信
号にまた他方は余弦信号にしたことはこの両信号
を掛けそれを積分することによりsin(αa−α
b)を求めるためである。式で示すと 2/Tp∫To psin(wt+αa) ×cos(wt+αb)dt=sin(αa−αb) 従つてこの積分出力は合焦時に零となり、合焦時
の検出が容易となる。以上を第10図により説明
すると、直流出力Xa,XbはFETスイツチング素
子36x,38xにより同一周波数wでオンオフ
され、直流出力Ya,Ybは夫々同様のFET36
y,38yにより上と同一周波数wであるがそれ
とはπ/4だけずれた位相でオンオフされる。これら の4つのFET36x,36y,38x,38y
は、制御器34からの出力により制御される。こ
うして、Xa,Yaは同一周波数wであるが、π/4だ け位相のずれた矩形波信号に変換され、その後、
加算器40により加算される。wのバンドパスフ
イルタ41Aは、加算器40の出力中からwの周
波数成分を抽出する。従つてこのフイルタ41の
抽出出力は、上述の√a 2+asin(wt+αa)
を多く含むことになる。同様にXb,Ybについて
も、上述の加算器40の代りに減算器42用いる
ことによりバンドパスフイルタ41Bの出力とし
て√b 2+b 2cos(wt+αb)を得られる。波
形整形回路44Aはバンドパスフイルタ41Aの
出力を位相と周波数を同一に保ちながら一様振幅
の矩形波信号に変換する。波形整形回路44Bも
全く同様にバンドパスフイルタ41Bの出力を一
様振幅の矩形波信号に変換する。乗算器46は両
回路44A,44Bの矩形波出力を掛け合わせ積
分平滑回路47はその出力を積分し平滑する。こ
れにより積分平滑回路47の出力はベクトルIa
とIbの偏角差に関連した値となるので、この出
力の正負及びその大きさによつて、前ピン、後ピ
ン及びその程度そして出力零で合焦とを検出でき
る。 尚この第10図の構成において、フオトダイオ
ードの出力を単一のFETsw1で交流化しているの
でそのFETsw1のオンの際に生じるスパイクノイ
ズは、各交流光電出力に等しく発生する。従つて
それらのノイズは差動増幅器28x,28yによ
つて相殺できる。 また、光電素子アレイとしてフオトダイオード
アレイやC,C,D等によつて光像の輝度分布を
時系列化された電気信号として出力し、この光電
出力にcos wtを掛け積分しかつsin wtを掛け積
分することによつてベクトルIをその成分X,Y
の形で求め得る。即ち X=∫I(t)・cos wt dt,Y=∫I(t)sin
wt dtである。 ここでI(t)は時系列化された光電出力であ
る。 次に、本発明の位相情報含有出力発生回路の別
の構成例を説明する。 第11図において、光電素子アレイ1の構成は
第7図と全く同一であり、外部出力端子T1〜T4
に現われる光電出力をg1〜g4とする。この各光電
出力g1〜g4に夫々周波数が等しいが位相が順次
2π/4ずつ進んだ交流ei(wt+〓/2,ei(wt+〓),ei (wt+3/2 〓)及びei(wt+2〓)を乗算器51〜54に
よつて掛ける。即ち、各光電出力g1〜g4を、周波
数が同一であるが、位相が順次2π/4ずつ進みかつ 振幅がその光電出力の大きさに比例した交流出力
g1ei(wt+〓/ 2)〜g4ei(wt+2〓)に変換する。加算器
55は各乗算器51〜54の交流出力を加算し合
成交流出力Ipを発生する。そちろんこの例で4
つの光電素子で1周期としたので各交流出力は
2π/4ずつ位相がずれているが、一般に、N個の素 子で1周期とした場合には、2π×n/Nずつ位相の ずれた交流出力となる。今一般的な場合につい
て、加算器55の合成出力Ipを求めてみると、 この式と(1)式を比較すると明らかなように、この
合成出力Ipは、光像がアレイ1に対しその素子
の配列方向に相対的に移動すると、これに応じて
位相が一義的に変化する。次にこの第2の構成例
の具体的回路例と、位相比較器13の具体的回路
例を第12図により説明する。この例は光電素子
をフオトダイオードとし1周期を6素子で構成し
即ちN=6としたものであり、1対の素子アレイ
1A,1Bの具体的構成は第2図cに示すもので
ある。アレイ1Aと1Bの外部出力端子T1〜T6
は夫々スイツチングFETs1〜s6及びs10〜s60接続
している。これらのスイツチング素子s1〜s6は第
13図に示す如くタイミングパルス発生器60か
らのパルスによつて順次同一周期Tで短時間オン
されるが各スイツチs1〜s6のオンされる時期は順
次T/6だけ位相が遅れている。またアレイ1Bに関 するスイツチング素子s10〜s60も同様にパルス発
生器60によつて同一周期Tでかつ、位相が順次
T/6だけ遅れてオンされる。両スイツチング素子対 s1〜s6とs10〜s60のオンされる時期の関係はスイ
ツチング素子s10のオンがs1のオンよりT/4(位相と してπ/2)だけ遅れるように定められている。従つ て、アレイ1Aと1Bの外部共通端子Tcには、
スイツチング素子s1〜s6,s10〜s60の順次のオン
に応じてフオトダイオードの光電電流(第2図c
のアレイでは、3周期分の素子組であるから、3
つのフオトダイオードの合計出力)が、順次現わ
れる。この光電電流は前述と同様に光強度とスイ
ツチングFETのオフ時間に関連したピーク値を
持つことになる。このアレイ1A,1Bの共通端
子Tcには、パルス整形回路62が接続され、こ
れはOPアンプ62a、帰還コンデンサ62b
と、これに並列に接続され、回路60によつてオ
ンオフされるFET62cとから構成され、Tcか
らの光電電流を、一定のパルス幅と、そのピーク
値に関連した振幅を有するパルス信号に整形す
る。従つて、整形回路62の出力にはパルス振幅
を別にすれば丁度第13図に示したタイミングで
経時的にs1,s60,s2,s10,s3,s20,s4,s30……
のオンに応じたパルス出力が発生する。整形回路
62の出力に直列に接続されたFETs1′〜s6′,
s10′〜s60′は各々はFETs1〜sR,s10〜s60の各々
と同期して(SnがSn′に対応)、パルス発生器6
0によつてオンオフされる。従つて、s1のオンに
よつて発生した光電電流は、波形整形され第13
図s1に示した如き波形のパルスとして整形回路6
2の出力に現われるが、このときs1のみがオンな
ので、このパルス出力は、ピークホールド回路6
4によつてT/2時間だけピークホールドされ第14 図aのに示す如く、長さT/2の矩形波に変換され る。引き続きs60がオンになるとその光電電流は
このときs60′がオンなのでピークホールド回路6
9によつて、同様に矩形波に変換される。更にそ
の後のs2,s10,s3,s20……のオンにより、それ
に対応した光電電流は、夫々関連したFETs2′,
s10′,s3′,s20′によつて選定されたピークホール
ド回路65,67,66,68……によつて矩形
波に変換される。尚この回路側では、スイツチ素
子の対s1とs4、s2とs5及びs3とs6は互にそのオン
周期がT/2だけずれているので、FETs1′とs4′を s2′とs5′を及びs3′とs6′を夫々互に並例に接続し、
共通のピークホールド回路64,65,66を使
用して構成の簡略化を図つている。FETs10′〜
s60′についても同様である。この構成により、ピ
ークホールド回路64には第14図aに示す如く
s1のオンに起因した矩形波とs4のオンに起因し
た矩形波とが交互に現われ、同様に、ピークホ
ールド回路65,66には夫々第14図b,cに
示す如く、s2とs5及びs6とs3に夫々起因した矩形
波,,,が交互に現われる。加算回路7
0Aはこれらの回路64〜66の出力を加算し第
15図に示す出力を発生する。中心周波数2π/Tの バンドパスフイルタ72Aは、その加算出力中か
ら2π/Tの周波数成分を抽出し第16図に示す正弦 波を出力する。この正弦波が第11図において述
べた(3)式の
【式】に相当する
ものとなる。またアレイ1Bからの光電出力につ
いても同様によつて、加算回路70B、2π/Tのバ ンドパスフイルタ72Bによつて正弦波に変換さ
れる。この正弦波は、合焦時、即ちアレイ1B上
にアレイ1Aと全く同一に光像が結像した時
いても同様によつて、加算回路70B、2π/Tのバ ンドパスフイルタ72Bによつて正弦波に変換さ
れる。この正弦波は、合焦時、即ちアレイ1B上
にアレイ1Aと全く同一に光像が結像した時
【式】である。この式で
π/4は、アレイ1BのFETs10のオンがアレイ1A
のFETs1のオンより位相的にπ/4遅れていること
に起因している。そしてこの両フイルタ72A,
72Bの出力を第10図と同様の波形整形回路4
4A,44Bで矩形化しその後乗算器46、積分
平滑回路47で乗算し平滑すると、合焦時その積
分平滑回路47の出力が零となり、前ピン後ピン
時に符号の異つた出力が得られる。 本発明によると、2つの光電素子アレイを用
い、両アレイの光電出力に起因した2つの出力の
位相差から前ピン、合焦及び後ピン及びその程度
を高精度に検出できる。
72Bの出力を第10図と同様の波形整形回路4
4A,44Bで矩形化しその後乗算器46、積分
平滑回路47で乗算し平滑すると、合焦時その積
分平滑回路47の出力が零となり、前ピン後ピン
時に符号の異つた出力が得られる。 本発明によると、2つの光電素子アレイを用
い、両アレイの光電出力に起因した2つの出力の
位相差から前ピン、合焦及び後ピン及びその程度
を高精度に検出できる。
第1図は本発明の基礎となる光像についての光
電変換装置を示す図であり、第2図は第1図の光
電変換装置に使用される光電素子アレイの実施例
を示す図であり、第3図は本発明になる自動焦点
検出装置の実施例を示す図であり、第4図は第3
図の装置における光電素子上に結像した像とその
出力ベクトルの様子を示す図であり、第5図は本
発明の他の実施例におけるレンズと光電素子の配
置を示す図であり、第6図は本発明の他の実施例
における光学系の配置を示す図であり、第7図は
出力のベクトル化手段の第1の構成例を示すもの
であり、第8図は2つの出力ベクトルの位相差算
出手段の実施例を示す図であり、第9図は第7図
の構成例の具体的回路を示す図であり、第10図
は第9図の回路例の改良的変形例を示す図であ
り、第11図は本発明の位相情報含有出力発生回
路の第2の構成例を示す図であり、第12図は第
11図の構成例の具体的回路を示す図であり、第
13図は第12図のスイツチングFETを駆動す
るパルスを示す図であり、第14図は第12図の
ピークホールド回路の出力を示す図であり、第1
5図は第12図の加算回路の出力を示す図であ
り、および第16図は第12図のバンドパスフイ
ルタの出力を示す図である。
電変換装置を示す図であり、第2図は第1図の光
電変換装置に使用される光電素子アレイの実施例
を示す図であり、第3図は本発明になる自動焦点
検出装置の実施例を示す図であり、第4図は第3
図の装置における光電素子上に結像した像とその
出力ベクトルの様子を示す図であり、第5図は本
発明の他の実施例におけるレンズと光電素子の配
置を示す図であり、第6図は本発明の他の実施例
における光学系の配置を示す図であり、第7図は
出力のベクトル化手段の第1の構成例を示すもの
であり、第8図は2つの出力ベクトルの位相差算
出手段の実施例を示す図であり、第9図は第7図
の構成例の具体的回路を示す図であり、第10図
は第9図の回路例の改良的変形例を示す図であ
り、第11図は本発明の位相情報含有出力発生回
路の第2の構成例を示す図であり、第12図は第
11図の構成例の具体的回路を示す図であり、第
13図は第12図のスイツチングFETを駆動す
るパルスを示す図であり、第14図は第12図の
ピークホールド回路の出力を示す図であり、第1
5図は第12図の加算回路の出力を示す図であ
り、および第16図は第12図のバンドパスフイ
ルタの出力を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 1つの被写体から、それぞれ空間的に隔てら
れた第1のおよび第2の通路を通つた光線が入射
する第1および第2の結像光学系を有し、該第1
および第2結像光学系の固定焦点面またはその近
傍に、それぞれ第1および第2光電素子アレイを
設け、合焦および非合焦状態に応じて、該第1お
よび第2光電素子アレイ上をそのアレイの光電素
子の配列方向に移動する前記第1および第2結像
光学系による第1および第2の像のおのおのの光
電素子アレイに対する相対的位置関係から光学系
の焦点を検出する装置において、 前記第1素子アレイの各光電素子出力に基づき
前記第1光像の前記第1素子アレイに対する相対
的変位に応じて、位相変化を生ずる第1電気出力
を発生する第1位相情報含有出力発生手段と、前
記第2素子アレイの各光電素子出力に基づき、前
記第2光像の前記第1素子アレイに対する相対的
変位に応じて位相変化を生ずる第2電気出力を発
生する第2位相情報含有出力発生手段とを備え、 該第1および第2電気出力は、それぞれ前記第
1および第2位相情報含有発生手段のおのおのに
対応する光電素子アレイの光電素子出力を光電素
子の配列順にf1,……,fNとしたとき、これら
の出力f1,……,fNにベクトル量a1ei〓1,……
aNei〓N(ψiはベクトル偏角でψ1<ψ2<…
…<ψN)を乗じた後、これらを加算した合成ベ
クトル【式】を算出して電気出力 として発生されたものであり、さらに前記第1お
よび第2電気出力の位相を比較する位相比較手段
とを有し、該位相比較手段の出力に基づき焦点検
出を行うことを特徴とする焦点検出装置。 2 上記ベクトル偏角ψiは2π×i/Nであることを 特徴とする特許請求の範囲第1項記載の焦点検出
装置。 3 前記各位相情報含有出力発生手段は、前記光
電素子出力を、その大きさに対応した振幅と光電
素子の配列位置に対応した位相とを有する交流信
号に変調し、各交流信号を加算することを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の焦点検出装置。 4 前記各位相情報含有出力発生手段は、前記ベ
クトル量aiei〓iとして、そのベクトル量のx成
分とy成分をそれぞれ光電素子出力fに乗じ、前
記x成分に関する乗算結果を加算し同様に前記y
成分に関する乗算結果を加算してそれぞれ前記合
成ベクトルIのx成分とy成分を算出することを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の焦点検出
装置。 5 前記各位相情報含有出力発生手段は、前記合
成ベクトルのx成分とy成分とを、それぞれその
成分の大きさに対応した振幅と、互いに90℃位相
のずれた2つの交流信号に変調し、両交流信号を
加算することを特徴とする特許請求の範囲第4項
記載の焦点検出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1214478A JPS54104859A (en) | 1978-02-06 | 1978-02-06 | Automatic focus detector |
| US05/972,261 US4264810A (en) | 1977-12-24 | 1978-12-22 | Focus detecting apparatus |
| DE19782856233 DE2856233A1 (de) | 1977-12-24 | 1978-12-27 | Vorrichtung zum feststellen der scharfeinstellung bei einem optischen system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1214478A JPS54104859A (en) | 1978-02-06 | 1978-02-06 | Automatic focus detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54104859A JPS54104859A (en) | 1979-08-17 |
| JPS6146805B2 true JPS6146805B2 (ja) | 1986-10-16 |
Family
ID=11797296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1214478A Granted JPS54104859A (en) | 1977-12-24 | 1978-02-06 | Automatic focus detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS54104859A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57165821A (en) * | 1981-04-07 | 1982-10-13 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Ttl automatic focusing device of camera |
| JPS6119211U (ja) * | 1984-07-06 | 1986-02-04 | 株式会社 コシナ | オ−トフオ−カス付ズ−ムレンズ |
| JP3345890B2 (ja) * | 1990-08-06 | 2002-11-18 | 株式会社ニコン | システムカメラおよびリアコンバージョンレンズ鏡筒 |
| WO2016102127A1 (en) | 2014-12-22 | 2016-06-30 | Asml Netherlands B.V. | Level sensor, lithographic apparatus and device manufacturing method |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5928884B2 (ja) * | 1972-12-27 | 1984-07-17 | キヤノン株式会社 | 距離検出方式 |
-
1978
- 1978-02-06 JP JP1214478A patent/JPS54104859A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54104859A (en) | 1979-08-17 |
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