JPS6144631B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体ウエハ、金属片等の被研磨材に
対する研磨装置に関し、更に詳しくは研磨機能と
ともに定盤表面、とりわけスズ定盤等の軟質材表
面を平坦にし且つ定盤表面を水平に調節可能なよ
うに平坦度調節機能を附与した研磨装置に関する
ものである。従来、半導体ウエハ、金属片等を研
磨する研磨装置は各種提供されているが、定盤は
駆動軸にその上端に形成した雄ネジを該定盤の中
心孔に挿通状態で一つの雌ネジで螺着して固定し
たもので、定盤の水平出しをするためには装置全
体を精度よく水平出ししなければならず、水平出
し作業に手間がかかるばかりでなく、回転研磨中
に定盤が偏心及び傾斜し易いといった問題があ
り、また装置に定盤表面の凹凸を平坦化する機構
を設けてないために、回転研磨中あるいは不意の
接触により該定盤表面に凹凸が生じた場合、定盤
を駆動軸から外し施盤等で切削して平坦化した
後、該定盤を駆動軸に対して水平出しをしながら
固定するといつた作業をしなければならず、平坦
化作業には更に手間がかかつており、本発明は上
述の問題点を解決すべく発明されたもので、その
目的とするところは、定盤を装置に取付けた状態
で該定盤の傾斜を検出し水平出しを容易に行える
とともに、その駆動軸への固定も確実にでき、更
に定盤を前記駆動軸に固定状態のままでその表面
を簡単に平坦化し得る研磨装置を提供する点にあ
る。次に、図面に記載した実施例に基づいて本発
明の詳細を説明すれば、図中Ａとして示されるも
のは、研磨材を上置した通常構成の定盤で、Ｂは
該定盤Ａを回転させるための駆動装置、Ｃは被研
磨材取付装置で、Ｄは定盤Ａの上方に設けた平坦
度調節装置である。

即ち、図中Ａは前記の如く定盤を示し、実施例
に記載した定盤Ａは、スズ定盤を採用したもので
あつて、上方に開口した容器状機体１に収容さ
れ、駆動装置Ｂに連結されている。図中２は、中
心部に通孔８を設け下面を球状凹面５となすとと
もに、上面を前記通孔８の周囲に形成した雌ネジ
の螺着段部を除き平面となした被調節体であり、
３は、上面を前記被調節体２の球状凹面５に密接
可能な球状凸面４を形成した調節体である。調節
体３には駆動装置Ｂの駆動軸６を固定し、その上
面には雄ネジ状の調節軸７が駆動軸６を延長し又
は別途立設し、被調節体２に設けた通孔８は、前
記調節軸７を挿通し被調節体２を調節体３上で微
動させ位置調節できるように調節軸７より稍大径
に設定しており、調節軸７を挿通し、前記被調節
体２をネジ止めし、その上面の平面に中心部に孔
を設けた定盤Ａを前記ネジ止めとは別にネジ止め
して固定している。

被研磨材取付装置Ｃは、定盤Ａの上方一側に該
定盤Ａの回転中心と偏心させて試料９を取付けた
皿１０と、モーター１１の回転を減速機およびギ
ヤーにより減速して皿回転軸１２に伝達し皿１０
を回転させる定盤駆動装置とは別体の皿駆動部１
３と、内部に加圧手段を有し皿回転軸１２および
該軸１２に直結している皿１０を介して試料９を
一定荷重で後記回転定盤Ａに押圧する図示しない
加圧部とからなり、該皿１０および試料９を定盤
Ａに押圧しながら一定速度で回転させるようにし
ている。

次に、定盤Ａの上方に設けた平坦度調節装置Ｄ
は、定盤Ａの上方直径方向全長又は一部にわたり
走行して定盤面自体の平坦度を出し、更に前記調
節体３、被調節体２による水平出しをするための
調節用位置指示ができる機能を有するもので、そ
の実施例構成は、機体１の両側に固定した支持部
１４の支持孔１５間にガイドレール１６を横設
し、これにダイヤモンドバイトdb又はダイヤル
インジケータdi等を着脱可能に取付けたガイド１
７を摺動嵌合させ、ガイド１７一側には該ガイド
１７の送り機能を有するネジ部１８を設けこれを
ガイドレール１６と同様に機体両側に設けた軸受
部１９に螺合した走行用螺軸２０に螺合させてな
る走行手段と取付部とより略構成される。２１は
該螺軸２０一側に設けた回転ハンドル、２２は取
付部である。

しかして、ガイド１７の下側に設けた取付部２
２にダイヤルインジケータdiを装着し螺軸２０の
回転ハンドル２１を回転させてインジケーターdi
下端を定盤表面にあててその寸法を測定し、水平
出しがなされていないときには前記定盤Ａ下に設
けている被調節体２と調節体３とを互に摺動させ
て調整した後固定し、水平出しを完了する。又定
盤表面が平坦でないときは、前記ガイドの取付部
２２にバイトdbを装着し、該ガイドを螺軸２０
の回転によって定盤表面を直径方向に走行させバ
イトdb下端を定盤表面と接触させて研削し平坦
化を行う。次いで、定盤Ａを駆動装置Ｂで回転さ
せ、これに駆動装置Ｂとは別途定盤上方に設けた
モーター１１の駆動により皿１０並びに試料９を
定盤Ａ上に押圧回転させながら研磨するものであ
る。

以上のように、駆動装置Ｂの回転動力を伝達す
る駆動軸６の上部に、上面を球状凸面４となした
調節体３を固設し、前記駆動軸６上端部の前記球
状凸面４から突出した雄ネジ状の調節軸７の外径
よりも大きな内径の通孔８を有し、下面を球状凹
面５となすとともに上面を前記通孔８の周囲の段
部を除き平面となした被調節体２を、前記調節体
３に前記球状凸面４と球状凹面５を密接して螺着
して構成したので、平坦度調節装置Ｄによつて検
出した傾斜を、取付ネジを緩め前記被調節体２を
密接した球面に沿つて摺動し、再び前記ネジを締
めるだけで矯正することができ、更に定盤Ａの凹
凸も、平坦度調節装置Ｄにバイトを取付け、定盤
Ａ面を研削することで容易に平坦度を出すことが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の実施例平面図、第２図は
部分断正面図、第３図は第２図の平坦度調節装置
の断面図、第４図はダイヤルインジケータを取付
けた状態の平坦度調節装置の正面図である。 Ａ…定盤、Ｂ…駆動装置、Ｃ…被研磨材取付装
置、Ｄ…平坦度調節装置、１…機体、４…球状凸
面、５…球状凹面、７…調節軸、９…試料、１０
…皿、１２…皿回転軸、１６…ガイドレール、１
７…ガイド、２０…螺軸。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 駆動装置Ｂを下設し、該駆動装置Ｂの回転動
   力を伝達する駆動軸６の上部に、上面を球状凸面
   ４となした調節体３を固設し、前記駆動軸６上端
   部の前記球状凸面４から突出した雄ネジ状の調節
   軸７の外径よりも大きな内径の通孔８を有し、下
   面を球状凹面５となすとともに上面を前記通孔８
   の周囲の段部を除き平面となした被調節体２を、
   前記調節体３の上部に前記調節軸７を前記通孔８
   に挿通し且つ前記球状凸面４と前記球状凹面５が
   密接した状態で前記段部内に位置させた雌ネジを
   用いて螺着し、該被調節体２上面に中心部に取付
   孔を有する定盤Ａを前記調節軸７を用いて螺着
   し、更に被研磨材９を取付けた皿１０を押圧する
   押圧装置と前記駆動装置Ｂとは別体で該皿１０を
   回転する回転手段とを有する被研磨材取付装置Ｃ
   を、前記定盤Ａの上方に該定盤Ａの回転中心と偏
   心させて設け、又該定盤Ａの傾斜を検出する為に
   ガイドレール１６に遊嵌したガイド１７一側をス
   ライド送り用の螺軸２０に螺合してなる走行手段
   とダイヤルインジケータ又はバイト取付部２２を
   有する平坦度調節装置Ｄを前記定盤Ａ上方に横設
   したことを特徴とする研磨装置。