JPS6145419Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6145419Y2 JPS6145419Y2 JP19317282U JP19317282U JPS6145419Y2 JP S6145419 Y2 JPS6145419 Y2 JP S6145419Y2 JP 19317282 U JP19317282 U JP 19317282U JP 19317282 U JP19317282 U JP 19317282U JP S6145419 Y2 JPS6145419 Y2 JP S6145419Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- roller
- desk
- stopper
- spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 2
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical compound Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は高真空ゲートバルブに関するものであ
る。
る。
従来、此の種高真空ゲートバルブにおいては潤
滑油が使用出来ない為、その移動部分にローラと
その支持ピンを用いたものはカジリ防止対策が必
要となり製作が困難であつたばかりでなくその動
作抵抗に欠点があつた。
滑油が使用出来ない為、その移動部分にローラと
その支持ピンを用いたものはカジリ防止対策が必
要となり製作が困難であつたばかりでなくその動
作抵抗に欠点があつた。
本考案の高真空ゲートバルブはこのような欠点
を除くようにしたものであつて、弁デスクと、弁
抑えと、この両者間に介挿され弁デスクの半径方
向における弁デスクと弁抑えの相対的移動により
前記弁デスクを弁座に押圧せしめるようにする機
構と、前記弁デスクの底面を横方向に移動自在に
支承するコロと、このコロのコロ受けとより成る
ことを特徴とする。
を除くようにしたものであつて、弁デスクと、弁
抑えと、この両者間に介挿され弁デスクの半径方
向における弁デスクと弁抑えの相対的移動により
前記弁デスクを弁座に押圧せしめるようにする機
構と、前記弁デスクの底面を横方向に移動自在に
支承するコロと、このコロのコロ受けとより成る
ことを特徴とする。
以下図面によつて本考案の実施例を説明する。
第１図、第２図は従来の高真空ゲートバルブを
示し、１は直径略100mmの弁座、２はこれに対接
される円板状弁デスク、３はこの弁デスク２を前
記弁座１に押圧する弁抑え、４はこの弁抑え３と
弁デスク２の間に連結したスプリング、５は前記
弁抑え３をピストンロツド６を介して弁デスク２
の半径方向に往復移動せしめるためのピストンシ
リンダ、７は弁デスクストツパー、８はこのスト
ツパー７に突き当るよう前記弁デスク２の端部に
設けたローラ、９，１０は弁デスク２と弁抑え３
の互いに対向する面に夫々設けた矩形断面の凹
溝、１１はこの凹溝９，１０に共通に挿入せしめ
た長手方向の軸に直角な断面が菱形の角柱体を示
し、ピストンシリンダ５を駆動して第１図、第２
図においてピストンロツド６を下方に移動せしめ
れば弁抑え３がスプリング４を介して弁デスク２
と共に下方に移動し、弁デスク２のローラ８が前
記ストツパー７に突き当つた後はスプリング４に
抗して弁抑え３のみが弁デスク２の半径方向に移
動され、この結果互いに対応する凹溝９，１０が
ずれ、柱体１１の作用により弁デスク２が弁座１
に対接されてシールが達成される。
示し、１は直径略100mmの弁座、２はこれに対接
される円板状弁デスク、３はこの弁デスク２を前
記弁座１に押圧する弁抑え、４はこの弁抑え３と
弁デスク２の間に連結したスプリング、５は前記
弁抑え３をピストンロツド６を介して弁デスク２
の半径方向に往復移動せしめるためのピストンシ
リンダ、７は弁デスクストツパー、８はこのスト
ツパー７に突き当るよう前記弁デスク２の端部に
設けたローラ、９，１０は弁デスク２と弁抑え３
の互いに対向する面に夫々設けた矩形断面の凹
溝、１１はこの凹溝９，１０に共通に挿入せしめ
た長手方向の軸に直角な断面が菱形の角柱体を示
し、ピストンシリンダ５を駆動して第１図、第２
図においてピストンロツド６を下方に移動せしめ
れば弁抑え３がスプリング４を介して弁デスク２
と共に下方に移動し、弁デスク２のローラ８が前
記ストツパー７に突き当つた後はスプリング４に
抗して弁抑え３のみが弁デスク２の半径方向に移
動され、この結果互いに対応する凹溝９，１０が
ずれ、柱体１１の作用により弁デスク２が弁座１
に対接されてシールが達成される。
而して上記のような従来のゲートバルブにおい
ては弁デスク２が弁座１に向つて横方向に移動す
る際ローラ８とこれを回動自在に支持するピン
８′との間に大きなすべり抵抗を生じカジリの発
生及び真空中での摩擦増大による押し出し力の損
失を生ずる欠点があつた。
ては弁デスク２が弁座１に向つて横方向に移動す
る際ローラ８とこれを回動自在に支持するピン
８′との間に大きなすべり抵抗を生じカジリの発
生及び真空中での摩擦増大による押し出し力の損
失を生ずる欠点があつた。
本考案においてはこのような欠点を除くためロ
ーラ８とピン８′を使用せず第３図、第４図に示
すように独立したコロ１２を用い、又弁デスクス
トツパー７として弁座１より離れる方向の端面に
上方に延びる壁１３を有するコロ受け１４を用
い、このコロ受け１４とコロ１２間を復帰用スプ
リング１５で連結し、弁デスク２が弁座１に向つ
て横方向に移動する際は弁デスク２の底面がコロ
１２上に載置されコロ１２と一体に移動し、弁デ
スク２が弁座１から離れる方向に移動するときは
コロ１２が復帰用スプリング１５の作用によつて
元の位置に復帰されるようにする。
ーラ８とピン８′を使用せず第３図、第４図に示
すように独立したコロ１２を用い、又弁デスクス
トツパー７として弁座１より離れる方向の端面に
上方に延びる壁１３を有するコロ受け１４を用
い、このコロ受け１４とコロ１２間を復帰用スプ
リング１５で連結し、弁デスク２が弁座１に向つ
て横方向に移動する際は弁デスク２の底面がコロ
１２上に載置されコロ１２と一体に移動し、弁デ
スク２が弁座１から離れる方向に移動するときは
コロ１２が復帰用スプリング１５の作用によつて
元の位置に復帰されるようにする。
尚１６は弁抑え３の背面に形成した溝、１７は
この溝１６と弁外匣１８間に介挿したコロ、１９
はこのコロ１７を常時溝１６内に下方に抑制する
ためのスプリングである。
この溝１６と弁外匣１８間に介挿したコロ、１９
はこのコロ１７を常時溝１６内に下方に抑制する
ためのスプリングである。
本考案ゲートバルブにおいては上記のように弁
デスク２をコロ１２を介して横方向に移動自在に
支承したので両者間にカジリ及び摩擦を生じるこ
とがなく潤滑油が使用出来ない真空中においても
弁の開閉動作を容易に且つ確実になし得る大きな
利益がある。
デスク２をコロ１２を介して横方向に移動自在に
支承したので両者間にカジリ及び摩擦を生じるこ
とがなく潤滑油が使用出来ない真空中においても
弁の開閉動作を容易に且つ確実になし得る大きな
利益がある。
第１図は従来の高真空ゲートバルブの縦断正面
図、第２図はその縦断側面図、第３図は本考案の
高真空ゲートバルブの要部の縦断正面図、第４図
はコロ部分の説明図である。 １……弁座、２……弁デスク、３……弁抑え、
４……スプリング、５……ピストンシリンダ、６
……ピストンロツド、７……ストツパー、８……
ローラ、８′……ピン、９，１０……凹溝、１１
……柱体、１２……コロ、１３……壁、１４……
コロ受け、１５……スプリング、１６……溝、１
７……コロ、１８……弁外匣、１９……スプリン
グ。
図、第２図はその縦断側面図、第３図は本考案の
高真空ゲートバルブの要部の縦断正面図、第４図
はコロ部分の説明図である。 １……弁座、２……弁デスク、３……弁抑え、
４……スプリング、５……ピストンシリンダ、６
……ピストンロツド、７……ストツパー、８……
ローラ、８′……ピン、９，１０……凹溝、１１
……柱体、１２……コロ、１３……壁、１４……
コロ受け、１５……スプリング、１６……溝、１
７……コロ、１８……弁外匣、１９……スプリン
グ。
Claims (1)
- 弁デスクと、弁抑えと、この両者間に介挿され
弁デスクの半径方向における弁デスクと弁抑えの
相対的移動により前記弁デスクを弁座に押圧せし
めるようにする機構と、前記弁デスクの底面を横
方向に移動自在に支承するコロと、このコロのコ
ロ受けとより成ることを特徴とする高真空ゲート
バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19317282U JPS5998165U (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 高真空ゲ−トバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19317282U JPS5998165U (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 高真空ゲ−トバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5998165U JPS5998165U (ja) | 1984-07-03 |
| JPS6145419Y2 true JPS6145419Y2 (ja) | 1986-12-20 |
Family
ID=30415532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19317282U Granted JPS5998165U (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 高真空ゲ−トバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5998165U (ja) |
-
1982
- 1982-12-22 JP JP19317282U patent/JPS5998165U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5998165U (ja) | 1984-07-03 |
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