JPS614956U - 縮小投影露光装置 - Google Patents

縮小投影露光装置

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Publication number
JPS614956U
JPS614956U JP1984088060U JP8806084U JPS614956U JP S614956 U JPS614956 U JP S614956U JP 1984088060 U JP1984088060 U JP 1984088060U JP 8806084 U JP8806084 U JP 8806084U JP S614956 U JPS614956 U JP S614956U
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JP
Japan
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reticle
projection exposure
reduction projection
movement stage
exposure equipment
Prior art date
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Pending
Application number
JP1984088060U
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English (en)
Inventor
繁夫 大月
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPS614956U publication Critical patent/JPS614956U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第１図はレテイクルの移動ステージ機構図、第２図は移
動ステージ制御ブロック線図を示す。 １・・・レテイクル、２・・・位置決めピン、３・・・
移動ステージ、４・・・Ｙ駆動部、５・・・Ｘ駆動部、
６・・・θ回転駆動部、７・・・Ｘ−Ｙ合せマーク検出
器、８・・・θ合せマーク検出器、９・・・位置検出器
、１０・・・移動ステージ、１１・・・インターフエイ
ス、１２・・・制御機能、１３・・・移動ステージ駆動
機構。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レテイクル上の原画パターンを縮小レンズを通し、ウエ
    ハ上に転写するためのレテイクル移動ステージおよびウ
    エハ移動ステージを有する縮小投影露光装置において、
    レテイクルの基準位置設定時、レテイクル移動ステージ
    がリミット状態とな、つた時、レテイクル上の合せマー
    クを見失うことなく、レテイクル移動ステージのみを原
    点に複帰させ、再度、基準位置設定シーケンスを継続す
    ることを特徴とする縮小投影露光装置。
JP1984088060U 1984-06-15 1984-06-15 縮小投影露光装置 Pending JPS614956U (ja)

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JP1984088060U JPS614956U (ja) 1984-06-15 1984-06-15 縮小投影露光装置

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JPS614956U true JPS614956U (ja) 1986-01-13

Family

ID=30640844

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JP (1) JPS614956U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01183300A (ja) * 1988-01-14 1989-07-21 Yamaha Corp スピーカ
JPH01218200A (ja) * 1988-02-25 1989-08-31 Yamaha Corp 楽器用電気音響変換器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01183300A (ja) * 1988-01-14 1989-07-21 Yamaha Corp スピーカ
JPH01218200A (ja) * 1988-02-25 1989-08-31 Yamaha Corp 楽器用電気音響変換器

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