JPS5845533U - 照度分布測定装置 - Google Patents
照度分布測定装置Info
- Publication number
- JPS5845533U JPS5845533U JP1981140413U JP14041381U JPS5845533U JP S5845533 U JPS5845533 U JP S5845533U JP 1981140413 U JP1981140413 U JP 1981140413U JP 14041381 U JP14041381 U JP 14041381U JP S5845533 U JPS5845533 U JP S5845533U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- distribution measuring
- measuring device
- illuminance distribution
- masking blade
- illuminance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Control Of Exposure In Printing And Copying (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は縮小投影露光装置の概略図、第２図はマスキン
グ・ブレードの概略図である。 １・・・光源、２・・・レティクル、３・・・縮小レン
ズ、４・・・ウェーハ、５・・・ウェーハ、６・・・遮
光板、７・・・照度計。
グ・ブレードの概略図である。 １・・・光源、２・・・レティクル、３・・・縮小レン
ズ、４・・・ウェーハ、５・・・ウェーハ、６・・・遮
光板、７・・・照度計。
Claims (1)
- 縮小投影露光装置又は類似装置においてレティフル面上
のパターンの大きさに合わせて光束を絞る装置（マスキ
ング・ブレード装置）を有するものにおいて、該マスキ
ング・ブレード装置に照度計を設けたことを特徴とする
照度分布測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981140413U JPS5845533U (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 照度分布測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981140413U JPS5845533U (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 照度分布測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5845533U true JPS5845533U (ja) | 1983-03-26 |
Family
ID=29933574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981140413U Pending JPS5845533U (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 照度分布測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5845533U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6045252A (ja) * | 1983-08-23 | 1985-03-11 | Canon Inc | 投影露光装置の照明系 |
| JPS60162258A (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-24 | Canon Inc | 露光装置 |
| JPS6323318A (ja) * | 1987-04-13 | 1988-01-30 | Canon Inc | 投影露光装置 |
-
1981
- 1981-09-24 JP JP1981140413U patent/JPS5845533U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6045252A (ja) * | 1983-08-23 | 1985-03-11 | Canon Inc | 投影露光装置の照明系 |
| JPS60162258A (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-24 | Canon Inc | 露光装置 |
| JPS6323318A (ja) * | 1987-04-13 | 1988-01-30 | Canon Inc | 投影露光装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5838445U (ja) | レ−ザ印字装置 | |
| JPS6181657U (ja) | ||
| JPS6033342U (ja) | フィルム拡大装置 | |
| JPS606148U (ja) | 投影露光装置 | |
| JPS5920541U (ja) | 露光装置 | |
| JPS58105553U (ja) | 画像形成装置に於ける露光装置 | |
| JPS59104145U (ja) | フオトマスク | |
| JPS5828854U (ja) | スリツト露光方式の複写機の露光装置 | |
| JPS5862344U (ja) | 製版装置における倍率調整機構 | |
| JPS58185851U (ja) | 露光装置用レテイクル | |
| JPS62104440U (ja) | ||
| JPS614955U (ja) | 縮小投影露光装置 | |
| JPS58148612U (ja) | 非接触形状測定器 | |
| JPS6015750U (ja) | 陰極線管の目盛露光装置 | |
| JPS5871741U (ja) | 露光装置 | |
| JPS58149742U (ja) | 感光材用露光装置 | |
| JPS58166647U (ja) | 露光装置 | |
| JPS60173952U (ja) | 写真蝕刻露光装置 | |
| JPS606149U (ja) | 半導体露光装置 | |
| JPS59119411U (ja) | 投影露光装置 | |
| JPS63198036U (ja) | ||
| JPS5925436U (ja) | 露光判定器用測光器 | |
| JPS5989352U (ja) | 縮小投影露光用フォトマスク | |
| JPS59156219U (ja) | カメラの絞り装置 | |
| JPS6382933U (ja) |