JPS6149779B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は表示パネルの製造方法に関する。 表示パネル、例えばガス放電パネル、EL表示
パネル、平板表示パネル、平板状電子線表示パネ
ル等においては、二枚のガラス基板上にそれぞれ
互いに直交するごとく真空蒸着またはスパツタリ
ング等により、電極が設けられ、その内部を画像
表示領域とすべく二枚のガラス基板の縁部が低融
点ガラスにより封着される。 しかるに、従来のこのような方法により作られ
た表示パネルでは、電極が封着時その封着温度に
おいて低融点ガラスと化学反応し断線する欠点が
あつた。 その原因は、低融点ガラスには通常酸化鉛が約
70％も含まれており、一般にこの酸化鉛の結合自
由エネルギーが大きいことにあり、例えば電極金
属としてアルミニウムまたはニツケルを使用した
場合、封着温度約400〜500℃において、酸化アル
ミニウムまたは酸化ニツケルが生成され、酸化鉛
が還元されることによるものであることがわかつ
た。 本発明はこのような点にかんがみてなされたも
のであり、以下その実施例を図面とともに説明す
る。 第１図において、まず、厚さが400μｍのソー
ダガラスからなるガラス基板１上に真空蒸着、ス
パツタリング、印刷法などにより厚さが0.5μの
アルミニウムからなる電極２を形成する。電極２
としてはアルミニウムの他に、アルミニウムを主
成分とする合金、例えばアルミニウム―銅合金、
ニツケル、鉄―ニツケル合金などのガラス基板１
と、接着しやすく、またガラス封着温度400〜500
℃において大気中で酸化し難い金属であることが
望ましい。また、酸化インジウム、酸化スズなど
の透明電極であつてもよい。次に、後述する低融
点ガラスの接着温度における金属酸化物の結合自
由エネルギーが酸化鉛の結合自由エネルギーより
小さい金属例えば厚さ0.3μの銅またはこの金属
を主成分とする合金３を前記と同様の方法によつ
て電極２上に被覆する。この金属としては銅の他
に、例えば白金、パラジウムが使用される。しか
るのち、前記金属、または合金３に酸化鉛を主成
分とする低融点ガラス４（例えば商品名岩崎ガラ
ス＃TO29）を厚さ10μにして接触させ、ガラス
基板１とこれに対向するガラス基板５とを封着す
る。この低融点ガラス４の熱膨張係数は、ガラス
基板１，５の熱膨張係数とほぼ等しいものがよ
い。 かくして得られた表示パネルは、電極２の断
線、剥離等が全くみられず、きわめて良好であつ
た。 なお、上記金属または合金３として、大気中に
おいてガラス封着温度で酸化されやすいもの、例
えば銅、パラジウムなどを使用する場合は、第２
図に示されているように、前記金属または合金３
上に、酸化膜、例えば酸化シリコン膜、窒化膜、
弗化膜、金属膜、例えばアルミニウム膜などの酸
化防止膜６を形成するのがよい。このようにする
と、金属または合金３が酸化して黒ずむのが防止
され、外観がきれいなものとなる。 上記実施例においては、前記金属または合金と
して銅（酸化銅の450℃における結合自由エネル
ギー―34Kcal／ｇ・atom）の例を説明したが、
本発明においては酸化鉛の結合自由エネルギー―
37Kcal／ｇ・atomより小さな結合エネルギーを
持つた金属またはこれを主成分とする合金であれ
ばよく、その金属酸化物の例を第１表に示す。

【表】 もし、本発明のような方法を採らず、一般に結
合自由エネルギーの大きい金属、例えば金、銀、
銅などをガラス基板上に直接形成してこれを電極
とした場合には、これとガラス基板との接着が弱
いため、ガラス封着後に電極がガラス基板から剥
離して、ガス漏れを生じたり、電極が低融点ガラ
スの流動に伴つて断線するという、欠点を招くも
のである。 以上説明したように、本発明は表示パネルの電
極の断線、剥離などを確実に防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法によつて作られた表示パ
ネルの一例の断面図、第２図は同じく表示パネル
の他の例の断面図である。 １……ガラス基板、２……電極、３……金属ま
たは合金。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 二枚のガラス基板のうち少なくとも一方に電
   極を形成する工程と、酸化鉛を含有する低融点ガ
   ラスの封着温度における金属酸化物の結合自由エ
   ネルギーが前記酸化鉛の結合自由エネルギーより
   小さな金属またはこの金属を主成分とする合金を
   前記電極上に被覆する工程と、前記金属または前
   記合金に前記低融点ガラスを接触させて前記二枚
   のガラス基板を封着する工程とを備えたことを特
   徴とする表示パネルの製造方法。