JPS6155334U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6155334U JPS6155334U JP13937584U JP13937584U JPS6155334U JP S6155334 U JPS6155334 U JP S6155334U JP 13937584 U JP13937584 U JP 13937584U JP 13937584 U JP13937584 U JP 13937584U JP S6155334 U JPS6155334 U JP S6155334U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- push rod
- semiconductor manufacturing
- flexible body
- expands
- workpiece
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の半導体製造装置の一実施例
の構成を示す断面図、第２図は第１図の円Ａの部
分の拡大断面図、第３図および第４図はそれぞれ
従来の熱処理装置の断面図である。 ４…炉芯管、５…ガス流入口、６…押し棒挿入
用穴、７…キヤツプ、９…押し棒空間、１０…押
し棒、１２…フレキシブル体。
の構成を示す断面図、第２図は第１図の円Ａの部
分の拡大断面図、第３図および第４図はそれぞれ
従来の熱処理装置の断面図である。 ４…炉芯管、５…ガス流入口、６…押し棒挿入
用穴、７…キヤツプ、９…押し棒空間、１０…押
し棒、１２…フレキシブル体。
Claims (1)
- 熱処理炉に被処理物を自動挿入する押し棒に圧
縮ガスのガス圧力で膨張および収縮するフレキシ
ブル本体を設けたことを特徴とする半導体製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13937584U JPS6155334U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13937584U JPS6155334U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6155334U true JPS6155334U (ja) | 1986-04-14 |
Family
ID=30697752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13937584U Pending JPS6155334U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6155334U (ja) |
-
1984
- 1984-09-17 JP JP13937584U patent/JPS6155334U/ja active Pending