JPS6157920A - フアブリペロ型赤外線変調器 - Google Patents
フアブリペロ型赤外線変調器Info
- Publication number
- JPS6157920A JPS6157920A JP59179831A JP17983184A JPS6157920A JP S6157920 A JPS6157920 A JP S6157920A JP 59179831 A JP59179831 A JP 59179831A JP 17983184 A JP17983184 A JP 17983184A JP S6157920 A JPS6157920 A JP S6157920A
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- JP
- Japan
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- holding member
- fabry
- etalon
- reference plate
- infrared
- Prior art date
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- Pending
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、計測器、若しくは宇宙用機器に用いるファブ
リペロ型赤外線変調器に関するものである。
リペロ型赤外線変調器に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来よシ、赤外線変調器はモータなどの駆動によるチョ
ッパによって赤外線を断続する方式が一般的に用いられ
ているが、この方式では機械的に回転する部分があり、
特に高真空の宇宙空間では、その機械的摩擦を少くする
ための潤滑方法が難しく、信頼性の高い変調器を得るこ
とは困難であった。
ッパによって赤外線を断続する方式が一般的に用いられ
ているが、この方式では機械的に回転する部分があり、
特に高真空の宇宙空間では、その機械的摩擦を少くする
ための潤滑方法が難しく、信頼性の高い変調器を得るこ
とは困難であった。
そこで機械的摩擦の少い構造の各種の赤外線変調器が検
討されておシ、その中でも干渉現象を利用したファブリ
ペロ型赤外線変調器が注目されている。この変調器の原
理を第１図を用いて説明する。透明なエタロン板１１と
１２を間隔ｄをもだせて平行におくと、いわゆる７アブ
リベロ干渉器になり、第２図に示すような透過特性にな
る。ここて内側の向い合う面１３が反射面となり、外側
の面１４の反射率をゼロとすると、λ＝ ２ ｎ ｄ／
ｍの波長の光の透過率は１００％となる。前夫でｎは空
気または真空の屈折率で、ｎ ＝ １であり、ｍは正の
整数である。従ってエタロン板１１と１２の間隔ｄを変
化させることにより必要な特定波長帯域の断続が可能と
なり、間隔ｄを変化させるに ・は積層圧電素子
などを用いることが考えられる。
討されておシ、その中でも干渉現象を利用したファブリ
ペロ型赤外線変調器が注目されている。この変調器の原
理を第１図を用いて説明する。透明なエタロン板１１と
１２を間隔ｄをもだせて平行におくと、いわゆる７アブ
リベロ干渉器になり、第２図に示すような透過特性にな
る。ここて内側の向い合う面１３が反射面となり、外側
の面１４の反射率をゼロとすると、λ＝ ２ ｎ ｄ／
ｍの波長の光の透過率は１００％となる。前夫でｎは空
気または真空の屈折率で、ｎ ＝ １であり、ｍは正の
整数である。従ってエタロン板１１と１２の間隔ｄを変
化させることにより必要な特定波長帯域の断続が可能と
なり、間隔ｄを変化させるに ・は積層圧電素子
などを用いることが考えられる。
この原理を応用した従来のファブリペロ型赤外線変調器
の一例は第３図に示すように２枚の赤外線透過性のエタ
ロン板３１ａ、３１ｂがそれぞれ基準板３２上の圧電素
子３３ａ 、３３ｂに支持され、各エタロン板３Ｍ ａ
、 ３１ ｂを圧電素子３３ａ。
の一例は第３図に示すように２枚の赤外線透過性のエタ
ロン板３１ａ、３１ｂがそれぞれ基準板３２上の圧電素
子３３ａ 、３３ｂに支持され、各エタロン板３Ｍ ａ
、 ３１ ｂを圧電素子３３ａ。
３３ｂに対し押えて保持させる保持部材３４ａ。
３４ｂは保持板３５ａ 、３５ｂと可動軸３６ａ。
ｓｓｂよ）なシ、保持板３５ａ、３５ｂに可動軸３６ａ
、３６ｂが螺着され、可動軸３６ ａ、３６ｂは基準
板３２の孔３７ａ 、３７ｂに摺動可能に挿通され、可
動軸３６ａ 、３６ｂの頭部３８ａ 、 ３８ｂと基準
板３２の裏面との間にスプリング３９ａ。
、３６ｂが螺着され、可動軸３６ ａ、３６ｂは基準
板３２の孔３７ａ 、３７ｂに摺動可能に挿通され、可
動軸３６ａ 、３６ｂの頭部３８ａ 、 ３８ｂと基準
板３２の裏面との間にスプリング３９ａ。
３ｓｂが介在され、可動軸３６ａ 、３６ｂ及び保持板
３５ａ 、３５ｂがスプリング３９ａ 、ｓｅｂの弾性
によ）エタロン板３１ａ、３１ｂの抑圧方向に付勢され
ている。而して圧電素子３３ａ、３３ｂ艶
に外部より電圧・が加わって伸縮すると、その厚み変
化分は可動軸３６ａ 、３６ｂが基準板３２に対し摺動
して吸収する。従って可動軸３６ａ、３６ｂと基準板３
２の孔３７ａ 、３７ｂとの摩擦が問題になり、特に熱
膨張などの影響を考慮すると、同種類の材質を用いるの
で、特に宇宙環境下では油やグリースの使用ができない
ため、所謂「噛み」の現象や摩擦による熱歪などを生じ
、不良動作の原因となっていた。
３５ａ 、３５ｂがスプリング３９ａ 、ｓｅｂの弾性
によ）エタロン板３１ａ、３１ｂの抑圧方向に付勢され
ている。而して圧電素子３３ａ、３３ｂ艶
に外部より電圧・が加わって伸縮すると、その厚み変
化分は可動軸３６ａ 、３６ｂが基準板３２に対し摺動
して吸収する。従って可動軸３６ａ、３６ｂと基準板３
２の孔３７ａ 、３７ｂとの摩擦が問題になり、特に熱
膨張などの影響を考慮すると、同種類の材質を用いるの
で、特に宇宙環境下では油やグリースの使用ができない
ため、所謂「噛み」の現象や摩擦による熱歪などを生じ
、不良動作の原因となっていた。
また従来のファブリペロ型赤外線変調器の他の列として
第４図に示すように２枚の赤外線透過性のエタロン板３
１ａ、３１ｂがそれぞれ基準板３２上の圧電素子３３ａ
、３３ｂに支持され、各エフ０フ板３１ ａ 、３３
ｂを圧電素子３３ａ 、３３ｂに対し押えて保持させる
板状の保持部材３４ａ。
第４図に示すように２枚の赤外線透過性のエタロン板３
１ａ、３１ｂがそれぞれ基準板３２上の圧電素子３３ａ
、３３ｂに支持され、各エフ０フ板３１ ａ 、３３
ｂを圧電素子３３ａ 、３３ｂに対し押えて保持させる
板状の保持部材３４ａ。
３４ｂはその孔４０ａ、４０ｂが基準板３２に螺着され
て立設された支持軸４１ａ、４１ｂに摺動可能に嵌合さ
れ、支持軸４１ａ、４１ｂの頭部４２ａ、４２ｂと保持
部材３４ａ 、３４ｂとの間にスプリング３９ａ 、３
９ｂが介在され、このスプリング３９ａ 、３９ｂの弾
性により保持部材３４ａ 、３４ｂがエタｏ７板３１ａ
、３１ｂの抑圧方向に付勢されている。而して圧電素子
３３ａ。
て立設された支持軸４１ａ、４１ｂに摺動可能に嵌合さ
れ、支持軸４１ａ、４１ｂの頭部４２ａ、４２ｂと保持
部材３４ａ 、３４ｂとの間にスプリング３９ａ 、３
９ｂが介在され、このスプリング３９ａ 、３９ｂの弾
性により保持部材３４ａ 、３４ｂがエタｏ７板３１ａ
、３１ｂの抑圧方向に付勢されている。而して圧電素子
３３ａ。
３３ｂに外部より電圧が加わり伸縮ヲすると、その厚み
変化分は保持部材３４ａ 、３４ｂが支持軸４１ ａ
、 ４１ ｂに沿って摺動して吸収する。従って上記と
同様に保持部材３４ａ 、３４ｂと支持軸４１ａ、４１
ｂとの摩擦が問題となシ、いわゆる「噛み」や摩擦によ
る熱歪などを生じ、不良動作の原因となっていた。
変化分は保持部材３４ａ 、３４ｂが支持軸４１ ａ
、 ４１ ｂに沿って摺動して吸収する。従って上記と
同様に保持部材３４ａ 、３４ｂと支持軸４１ａ、４１
ｂとの摩擦が問題となシ、いわゆる「噛み」や摩擦によ
る熱歪などを生じ、不良動作の原因となっていた。
発明の目的
本発明は、上記のようないわゆる「噛み」の現象や摩擦
による熱歪を防止して不良原因を除去することができ、
これにより高信頼性・再現性を確保することができるよ
うにしたファブリペロ型赤外線変調器を提供することを
目的とする。
による熱歪を防止して不良原因を除去することができ、
これにより高信頼性・再現性を確保することができるよ
うにしたファブリペロ型赤外線変調器を提供することを
目的とする。
発明の構成
本発明は前記の直接接触する部分にルーロンなどの固体
潤滑材を用いた部品を使用する構成とし、摩擦を少くし
、スムースにエタロン板の間隔を変化させるようにした
ものである。
潤滑材を用いた部品を使用する構成とし、摩擦を少くし
、スムースにエタロン板の間隔を変化させるようにした
ものである。
実施例の説明
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。先ず、第１実施例について説明すると、第６図に示す
ように２枚の赤外線透過性のエタロン板３１ａ、３１ｂ
がそれぞれ基準板３２上の圧電素子３３ａ 、 ３３ｂ
に支持されている。各エタ（）７板３１ａ、３１ｂを圧
電素子３３ａ 、３３ｂに対し押えて保持させる保持部
材３４ａ 、 ３４ｂは保持板３５ａ 、３５ｂと可動
軸３６ａ 、３６ｂよりなシ、保持板３５ａ 、３５ｂ
に可動軸３６ａ。
。先ず、第１実施例について説明すると、第６図に示す
ように２枚の赤外線透過性のエタロン板３１ａ、３１ｂ
がそれぞれ基準板３２上の圧電素子３３ａ 、 ３３ｂ
に支持されている。各エタ（）７板３１ａ、３１ｂを圧
電素子３３ａ 、３３ｂに対し押えて保持させる保持部
材３４ａ 、 ３４ｂは保持板３５ａ 、３５ｂと可動
軸３６ａ 、３６ｂよりなシ、保持板３５ａ 、３５ｂ
に可動軸３６ａ。
３６ｂが螺着等の手段によシ連結されている。一方、可
動軸３６ａ 、３６ｂの支持部である基準板３２の孔４
３ａ、ａ３ｂに例えばルー ０７と称する第６図の如き
筒状の固体潤滑材（厚さは大きさにもよるがＱ、６〜１
１＋ＩＩ＋１が適当）４４ａ、４４ｂが固定されている
。この固体潤滑材４４ａ 、４４ｂに上記可動軸３ｅａ
、ｓｅｂが摺動可能に挿通されている。可動軸３６ａ
、 ３６ｂの頭部３８ａ。
動軸３６ａ 、３６ｂの支持部である基準板３２の孔４
３ａ、ａ３ｂに例えばルー ０７と称する第６図の如き
筒状の固体潤滑材（厚さは大きさにもよるがＱ、６〜１
１＋ＩＩ＋１が適当）４４ａ、４４ｂが固定されている
。この固体潤滑材４４ａ 、４４ｂに上記可動軸３ｅａ
、ｓｅｂが摺動可能に挿通されている。可動軸３６ａ
、 ３６ｂの頭部３８ａ。
３８ｂと基準板３２の裏面との間にスプリング３９ａ
、ｓｅｂが介在され、可動軸ｓｅａ、３ｅｂ及び保持板
３５ａ 、３５ｂよりなる保持部材３４ａ。
、ｓｅｂが介在され、可動軸ｓｅａ、３ｅｂ及び保持板
３５ａ 、３５ｂよりなる保持部材３４ａ。
３４ｂがスプリング３９ａ、３９ｂの弾性によりエタロ
ン板３１ａ、３１ｂの抑圧方向に付勢されている。
ン板３１ａ、３１ｂの抑圧方向に付勢されている。
而して圧電素子３３ａ 、ｓｓｂに外部より電圧が加わ
シ伸縮すると、その厚み変化分は保持部材３４ａ 、
３４ｂがスプリング３９ａ 、３９ｂによシ追従して吸
収することができる。このとき可動軸３６ａ 、３６ｂ
と支持部である基準板３２の孔４３ａ、４３ｂとに筒状
の固体潤滑材４４ａ、４４ｂが介在されているので、こ
の固体潤滑材４４ａ。
シ伸縮すると、その厚み変化分は保持部材３４ａ 、
３４ｂがスプリング３９ａ 、３９ｂによシ追従して吸
収することができる。このとき可動軸３６ａ 、３６ｂ
と支持部である基準板３２の孔４３ａ、４３ｂとに筒状
の固体潤滑材４４ａ、４４ｂが介在されているので、こ
の固体潤滑材４４ａ。
４４ｂにより可動軸３６ａ 、 ３ｓｈと基準板３２と
の間の摩擦を少くし、「噛み」や熱歪などをなくし、動
作の再現性、高信頼性を確保することができる。
の間の摩擦を少くし、「噛み」や熱歪などをなくし、動
作の再現性、高信頼性を確保することができる。
第７図は本発明の第２実施例を示すものである。
本実施例においては、２枚の赤外線透過性のエタロン板
ｓ１ａ、ｓ１ｂがそれぞれ基準板３２上の圧電素子３３
ａ 、３３ｂに支持されている。各エタｏ７板３１ａ、
３１ｂを圧電素子３３ａ、３３ｂに対し押えて保持させ
る板状の保持部材３４ａ。
ｓ１ａ、ｓ１ｂがそれぞれ基準板３２上の圧電素子３３
ａ 、３３ｂに支持されている。各エタｏ７板３１ａ、
３１ｂを圧電素子３３ａ、３３ｂに対し押えて保持させ
る板状の保持部材３４ａ。
３４ｂはその孔４６ａ、４５ｂに上記実施例と同様の筒
状の固体潤滑材４６ａ、４６ｂが固定されている。一方
、基準板３２には支持軸４１ ａ 、 ４１ ｂが螺着
等の手段により立設されている。この支持軸４１ａ、ｚ
ｂに保持部材３４ａ、’３４ｂの固体潤滑材４６ａ 、
４６ｂが摺動可能に支持されている。支持軸４１ ａ
、 ４１ ｂの頭部４２ａ、４２ｂと保持部材３４ａ
、３４ｂとの間にはスプリング３９ａ 、３９ｂが介在
され、このスプリング３９ａ。
状の固体潤滑材４６ａ、４６ｂが固定されている。一方
、基準板３２には支持軸４１ ａ 、 ４１ ｂが螺着
等の手段により立設されている。この支持軸４１ａ、ｚ
ｂに保持部材３４ａ、’３４ｂの固体潤滑材４６ａ 、
４６ｂが摺動可能に支持されている。支持軸４１ ａ
、 ４１ ｂの頭部４２ａ、４２ｂと保持部材３４ａ
、３４ｂとの間にはスプリング３９ａ 、３９ｂが介在
され、このスプリング３９ａ。
３９ｂの弾性により保持部材３４ａ 、３４ｂがエタロ
ン板３１ａ、３１ｂの抑圧方向に付勢されている。
ン板３１ａ、３１ｂの抑圧方向に付勢されている。
而して圧電素子３３ａ 、３３ｂに外部より電圧が加：
ｂす、伸縮すると、その厚み変化分は保持部材３４ａ
、３４ｂがスズリング３９ａ 、３９ｂにより追従して
吸収することができる。このとき保持部材３４ａ 、
３４ｂと支持部である支持軸４１ａ。
ｂす、伸縮すると、その厚み変化分は保持部材３４ａ
、３４ｂがスズリング３９ａ 、３９ｂにより追従して
吸収することができる。このとき保持部材３４ａ 、
３４ｂと支持部である支持軸４１ａ。
４１ｂとに筒状の固体潤滑材４６ａ、４６ｂが介在され
ているので、この固体潤滑材４ｅａ、４６ｂにより保持
部材３４ａ 、３４ｂと支持軸４１ａ。
ているので、この固体潤滑材４ｅａ、４６ｂにより保持
部材３４ａ 、３４ｂと支持軸４１ａ。
４１ｂとの間の摩擦を少くし、「噛み」や熱歪などをな
くし、動作の再現性、高信頼性を確保することができる
。
くし、動作の再現性、高信頼性を確保することができる
。
発明の効果
以上の説明よシ明らかなように本発明によれば、エタロ
ン板を圧電素子に対し押えて保持させると共に微変動す
るエタロン板に追従する保持部材と、この保持部材を移
動可能に支持する支持部との機械的摩擦の発生する部分
に、固体潤滑材を介在させているので、両者間の摩擦を
少くし、「噛み」や熱歪などをなくし、動作の再現性、
高信頼性を得ることができる等の利点がある。
ン板を圧電素子に対し押えて保持させると共に微変動す
るエタロン板に追従する保持部材と、この保持部材を移
動可能に支持する支持部との機械的摩擦の発生する部分
に、固体潤滑材を介在させているので、両者間の摩擦を
少くし、「噛み」や熱歪などをなくし、動作の再現性、
高信頼性を得ることができる等の利点がある。
第１図はファブリペロ型赤外線変調器の原理図、第２図
乃至第４図はそれぞれ従来の７７プリペロ型赤外線変調
器の正面図、第５図は本発明の７アプリペロ型赤外線変
調器の第１実施例を示す正面図、第６図は本発明に用い
る固体潤滑材の拡大斜視図、第７図は本発明の第２実施
例を示す正面図である。 ３１ａ、３１ｂ・・・・−エタロン板、３２・・・・・
基準板、３３ａ 、３３ｂ−一圧電素子、３４ａ、 ３
４ｂ・・・・・保持部材、３９ａ 、３９ｂ・・・・・
スプリング、４１ ａ 、 ４１ ｂ−−・−支持軸、
４４ａ 、４４ｂ、４６ａ。 ４６ｂ・・・・・固体潤滑材。
乃至第４図はそれぞれ従来の７７プリペロ型赤外線変調
器の正面図、第５図は本発明の７アプリペロ型赤外線変
調器の第１実施例を示す正面図、第６図は本発明に用い
る固体潤滑材の拡大斜視図、第７図は本発明の第２実施
例を示す正面図である。 ３１ａ、３１ｂ・・・・−エタロン板、３２・・・・・
基準板、３３ａ 、３３ｂ−一圧電素子、３４ａ、 ３
４ｂ・・・・・保持部材、３９ａ 、３９ｂ・・・・・
スプリング、４１ ａ 、 ４１ ｂ−−・−支持軸、
４４ａ 、４４ｂ、４６ａ。 ４６ｂ・・・・・固体潤滑材。
Claims (1)
- 複数のエタロン板と、その対向する反射面の間隔を微変
動させる圧電素子と、この圧電素子に対し上記エタロン
板を押えて保持させ、微変動するエタロン板に追従し得
る保持部材と、この保持部材を移動可能に支持する支持
部とを備え、これら保持部材と支持部の摺動面に固体潤
滑材を介在させたことを特徴とするファブリペロ型赤外
線変調器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59179831A JPS6157920A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | フアブリペロ型赤外線変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59179831A JPS6157920A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | フアブリペロ型赤外線変調器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6157920A true JPS6157920A (ja) | 1986-03-25 |
Family
ID=16072654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59179831A Pending JPS6157920A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | フアブリペロ型赤外線変調器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6157920A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0269968U (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-28 | ||
| JPH0478811U (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-09 |
-
1984
- 1984-08-29 JP JP59179831A patent/JPS6157920A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0269968U (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-28 | ||
| JPH0478811U (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-09 |
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