JPS6158201A - 部分グレ−ズドセラミツク基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、セラミック基板上に部分的にガラス層を被覆
した。所謂部分グレーズドセラミック基板の製造方法に
係わシ、特に、絶縁性セラミック基板上に膜厚が均一で
位置精度のすぐれたガラス層を部分的に形成した電子部
品例えばサーマルヘッド用の部分グレーズドセラミック
基板の製造法に関する。

〔従来の技術〕

従来は、セラミック基板の一生面にガラス層を被覆する
ことが行われており、このようにして製造されたグレー
ズドセラミック基板は、サーマルヘッド用の基板として
用いられていた。

このような、グレーズドセラミック基板を用いたサーマ
ルヘッドの一例を第４図により説明すると、セラミック
基板４１の一部分にガラス層４２を形成し、この上に多
結晶シリコン層４３．導電層４４．保護層４５を形成す
るとともに、ガラス層が形成されていないセラミック基
板上に選択駆動用のＩＣチップ４６を搭載したものであ
る。

この場合、ガラス層４２は、セラミック基板４１の一部
に形成されているので、このような部分グレーズドセラ
ミック基板を製造するために、セラミック基板にスクリ
ーン印刷などの印刷法により部分的にガラスフリットを
印刷し、ガラス層を形成することが試みられた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、サーマルヘッドのなかには９例えばＢ４
用紙に適用できるようにするため長さ３００１１ｍ以上
のものがある。このように３００１１ＥＩ以上の長い距
離のあるものを、従来の印刷法により印刷すると９位置
精度が悪くなってしまう。

、例えば、長さ３００厘のガラスペーストをスクリーン
印刷法で基板に印刷する場合、スクリーン印刷のスクリ
ーンのテンションのずれのため（スキージでかく時、ス
クリーンが少しのびるので）。

３００μｍ程度の位置ズレが生じてしまう。また。

厚さ精度も最良の条件で行なっても±２０％が限度であ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、ガラスフリットまたはガラス化可能な物質を
含む分散物をドクターブレード法によりベースフィルム
上に、このベースフィルムよシも狭幅の少くとも一本の
グリーンシートとして形成し２次いでこのグリーンシー
トをセラミック基板に貼り合わせ、転写した後、ベース
フィルムのみを剥離し、その後熱処理によりガラスフリ
ットまたはガラス化可能な物質をガラス化し、前記セラ
ミック基板上に帯状のガラス層を設けることを特徴とす
るものである。

このように、ドクターブレード法により一度シート上に
帯状のグリーンシートを形成した後、セラミック基板上
に転写するという本発明の方法によると１位置および厚
さの精度を上げることができる。サーマルヘッドのよう
な精密性を必要とされるものにとっては、上記のような
高精度な方法が必要である。

〔実施例〕

次に本発明の一実施例を第１図〜第３図にもとづき説明
する。

先ず第３図に示す如く、ベースフィルム３１上にガラス
フリットの分散物が収納された容器３５を配置する。こ
の容器３５の下にはロール３６に巻かれるベースフィル
ムが巻取機３３に巻取られ。

矢印Ａ方向に移動される。また前記容器３５の側壁には
複数個の溝３７が形成されておシ、ドクターブレードを
構成している。したがってベースフィルム３１を矢印人
の方向に移動させると、ドクターブレード法により複数
本の帯状のグリーンシート３２がベースフィルム３１上
に形成される。

このようなドクターブレード法によると長いグリーンシ
ート３２を精度よく製造できる。なお、この溝３７の幅
、深さを調節することによりャグリーンシート３２の幅
、厚みを正確にコントロールすることができる。

次に第１図を参照して１部分グレーズドセラミック基板
の製造方法を説明する。

ベースフィルム１１上には、ガラスフリットのグリーン
シート１２が前記第３図に説明した如き手法でドクター
ブレード法により帯状に形成されている。このように形
状されたグリーンシート１２が、セラミック基板１３に
接するように圧着などにより貼り合わせる。貼り合わせ
た後、ベースフィルム１１を剥離し、グリーンシート１
２をベースフィルム１１に転写する。転写されたグリー
ンシート１２を乾燥した後、焼成してガラスフリットを
ガラス化することによりセラミック基板１３上に帯状の
ガラス層１４を形成する。しかる後。

化２ミック基板１３を一個分毎に切断し、その上にサー
マルヘッドのパターンを形成してもよいし。

またサーマルヘッドのパターンを形成した後１個々のサ
ーマルヘッドに分割してもよい。

本発明の製造方法をまとめると、第２図のようになる。

本発明の特徴の一つは、テープ化の際に。

ベースフィルム上に複数本の、帯状のグリーンシートを
形成し、これをセラミック基板に転写する点にある。こ
れにより精度よくガラス層を形成することができる。

上記実施例において使用されたペースフイルムは、ポリ
塩化ビニルまたはポリエステルなどの有機フィルムであ
る。

また、ガラスフリットを含む分散物の一例をあげると次
の通シである。

ガラス７リツト　　　　　　　　　３００ｙアクリル系
樹脂　　　　　　　　　１５グヤシ脂肪酸ジエタノール
アマイ）”　　　　　　ＩＰＨＰブタノール　　　　　
　　　　　７０４１フタル酸ジエチル　　　　　　　　
２２１前記ガラスフリツトの組成の一例は１８１０２７
６重Ｒ％　、ＡＪＩｚ　Ｏｓ　１０重量％　、　ｃａｏ
　７重量％、ＢａＯ２重Ｒ％　、　Ｐｂ０１　重量％　
、に２０１　重ｆｉｔ　％　、Ｂ２Ｏ３３重量％である
。

上記分散物中のアクリル系樹脂はバインダーであシ、ブ
タノールは溶剤、フタル酸ジエチルは可塑剤であシ、ま
た。ヤシ脂肪酸ジェタノールアマイドは分散剤である。

上記実施例のグリーンシートの焼成条件は。

１２００℃で１時間程度であるが、焼成条件はガラスフ
リットの組成により変えることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように１本発明の方法によ９１部分グレー
ズドセラミック基板におけるガラス層の位置および厚さ
の精度を向上させることができる。

例えば、ガラス層の位置ズレを５０μｍ程度とし。

厚さの精度を±５％程度にできる。

また、グリーンシートをセラミック基板に転写している
ので、セラミック基板の反シや凹凸に関係なく精度のよ
いガラス層が得られる。さらに。

グリーンシートは、ベースフィルム上に形成されている
ので、グリーンシートの不良は検出しやすく、圧着前に
削除できるので２部分グレーズドセラミック基板の製造
歩留まシを向上させることができる。

また２本発明により部分グレーズドセラミック基板の製
造工程を自動化でき、大量生産をすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の特徴を最もよく表わす部分グレーズド
セラミック基板の製造工程を示す概略説明図、第２図は
本発明の全製造工程を示す概略図。 第３図は本発明の一工程であるドクターブレード法によ
り帯状グリーンシートをベースフィルム上に形成するテ
ープ化工程を示す説明図、第４図は部分グレーズドセラ
ミック基板を用いたサーマルヘッドの断面図である。 １１．３１・・・・・・ベースフィルム　１２．３２・
・・・・・グリーンシート１３．４１・・・・・・セラ
ミック基板　１４．４２・・・・・・ガラス層３３　・
・・・・・・・・　巻取機　　　３４・・・・・・ガラ
スフリットの分散物３５　・・・・・・・・・容器３６
　　・・・・・・・・・　ロール３７　・・・・・・・
・・　溝　　　　　　　４３　・・・・・・　多結晶シ
リコン層４４　・・・・・・・・・導電層　　　４５　
・・・叩・・保護層４６　・・・・・・・・・　ＩＣチ
ップ特許出願人　　ティーディーケイ株式会社代理人弁
理士　　山　谷　晧　榮 第１図 第３回

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ガラスフリットまたはガラス化可能な物質を含む分
   散物をドクターブレード法によりベースフィルム上に、
   このベースフィルムよりも狭幅の少なくとも一本のグリ
   ーンシートとして形成し、次いでこのグリーンシートを
   セラミック基板に貼り合わせた後、ベースフィルムを剥
   離し、その後熱処理により前記セラミック基板上に帯状
   のガラス層を設けることを特徴とする部分グレーズドセ
   ラミック基板の製造方法。 ２、上記グリーンシートはベースフィルム上に複数本形
   成されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   部分グレーズドセラミック基板の製造方法。