JPS6161263B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6161263B2 JPS6161263B2 JP54092748A JP9274879A JPS6161263B2 JP S6161263 B2 JPS6161263 B2 JP S6161263B2 JP 54092748 A JP54092748 A JP 54092748A JP 9274879 A JP9274879 A JP 9274879A JP S6161263 B2 JPS6161263 B2 JP S6161263B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- area
- light
- color
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はCCD（チヤージ・カツプルド・デバ
イス）又はBBD（バケツト・ブリゲート・デバ
イス）等の電荷転送素子を用いて成る固体撮像素
子、特に色フイルターが撮像素子の受光面上に直
接被着形成されて成るカラー固体撮像素子に係わ
る。
イス）又はBBD（バケツト・ブリゲート・デバ
イス）等の電荷転送素子を用いて成る固体撮像素
子、特に色フイルターが撮像素子の受光面上に直
接被着形成されて成るカラー固体撮像素子に係わ
る。
カラー固体撮像素子における色フイルターの形
成には、色フイルターを別個に作り之を撮像素子
の受光面上に貼合せる場合と、撮像素子の受光面
上に直接色フイルターを形成する場合とがある。
別個に色フイルターを作る場合には受光面上に貼
合せる以前に色フイルター単独でそのフイルター
の分光特性を測定できるが、受光面上に直接色フ
イルターを被着形成した場合には実際に撮像して
その状態から測定するしかなく、フイルターの分
光特性の測定が困難である。
成には、色フイルターを別個に作り之を撮像素子
の受光面上に貼合せる場合と、撮像素子の受光面
上に直接色フイルターを形成する場合とがある。
別個に色フイルターを作る場合には受光面上に貼
合せる以前に色フイルター単独でそのフイルター
の分光特性を測定できるが、受光面上に直接色フ
イルターを被着形成した場合には実際に撮像して
その状態から測定するしかなく、フイルターの分
光特性の測定が困難である。
本発明は、上述の点に鑑み受光面上に直接色フ
イルターを被着形成した場合においても容易にそ
の色フイルターの分光特性を測定できるようにし
た固体撮像素子を提供するものである。
イルターを被着形成した場合においても容易にそ
の色フイルターの分光特性を測定できるようにし
た固体撮像素子を提供するものである。
以下、図面を参照して本発明による固体撮像素
子を説明する。
子を説明する。
本発明は、第１図に示すように例えばCCD又
はBBD等の電荷転送素子よりなる固体撮像素子
１において、その色フイルターを直接被着形成し
た所謂有効撮像領域２外の同一基板内に有効撮像
領域２上に形成される色フイルターの分光特性を
測定評価するための専用の測定領域３を形成す
る。
はBBD等の電荷転送素子よりなる固体撮像素子
１において、その色フイルターを直接被着形成し
た所謂有効撮像領域２外の同一基板内に有効撮像
領域２上に形成される色フイルターの分光特性を
測定評価するための専用の測定領域３を形成す
る。
有効撮像領域２は第２図の断面図で示すように
絵素となる複数の受光部４と、この受光部４に隣
接して夫々転送電極５を有し例えば２相又は３相
のクロツク電圧によつて電荷を一方向に転送する
転送領域６とを有し、その受光面上において直接
色フイルター７を被着形成して成る。この色フイ
ルター７は所謂染色フイルターをもつて形成し得
るもので、例えば複数の受光部４のうち第１色目
のフイルター成分を形成すべき受光部４上に直接
被染色層例えば染色用のゼラチン層を形成し、之
に第１色目例えば緑の染色を施して緑のフイルタ
ー成分７Ｇを形成して後、混合（にじみ）を防止
するための透明な隔離層８を被着し、次に２色目
のフイルター成分を形成すべき受光部４のみに染
色用のゼラチン層を形成し之に染色を施して２色
目の例えば赤のフイルター成分７Ｒを形成し、次
いで再び全面に透明な隔離層８を被着して後３色
目のフイルター成分を形成すべき受光部４上に染
色用ゼラチン層を形成し之に染色を施して３色目
の青のフイルター成分７Ｂを形成する。
絵素となる複数の受光部４と、この受光部４に隣
接して夫々転送電極５を有し例えば２相又は３相
のクロツク電圧によつて電荷を一方向に転送する
転送領域６とを有し、その受光面上において直接
色フイルター７を被着形成して成る。この色フイ
ルター７は所謂染色フイルターをもつて形成し得
るもので、例えば複数の受光部４のうち第１色目
のフイルター成分を形成すべき受光部４上に直接
被染色層例えば染色用のゼラチン層を形成し、之
に第１色目例えば緑の染色を施して緑のフイルタ
ー成分７Ｇを形成して後、混合（にじみ）を防止
するための透明な隔離層８を被着し、次に２色目
のフイルター成分を形成すべき受光部４のみに染
色用のゼラチン層を形成し之に染色を施して２色
目の例えば赤のフイルター成分７Ｒを形成し、次
いで再び全面に透明な隔離層８を被着して後３色
目のフイルター成分を形成すべき受光部４上に染
色用ゼラチン層を形成し之に染色を施して３色目
の青のフイルター成分７Ｂを形成する。
一方、測定領域３は第３図Ａ及び第４図に示す
ようにデバイス面に多数のホトセンサー、例え
ば、第１導電形基板１０の表面に第２導電形の半
導体層１１を拡散して成る多数のホトダイオード
９を形成する。１４はSiO2等の絶縁膜である。
そして、この多数配列されたホトダイオード９の
領域１２を色フイルター７の色成分の数に応じて
複数の領域部に区分し、すなわち本例に於ては
緑、赤及び青の３色成分であるので４つの領域部
１２Ｇ，１２Ｒ，１２Ｂ及び１２Ｗに区分し、第
３図Ｂで示すようにその内の３つの領域部１２
Ｇ，１２Ｒ及び１２Ｂ上の夫々に色フイルター７
と同じ色フイルター成分７Ｇ，７Ｒ及び７Ｂを被
着形成する。残りの１つの領域部１２Ｗ上には何
も形成しない。なお、各領域部１２Ｇ，１２Ｒ及
び１２Ｂ上の色フイルター成分７Ｇ，７Ｒ及び７
Ｂは上記の色フイルター７の形成すなわちその各
色フイルター成分７Ｇ，７Ｒ及び７Ｂの形成と同
時工程で形成するものである。又、ホトダイオー
ド９の領域１２の両側には各ダイオード９のカソ
ード同志、及びアノード同志を共通接続して成る
カソード電極１３Ｋ及びアノード電極１３Ａを設
ける。
ようにデバイス面に多数のホトセンサー、例え
ば、第１導電形基板１０の表面に第２導電形の半
導体層１１を拡散して成る多数のホトダイオード
９を形成する。１４はSiO2等の絶縁膜である。
そして、この多数配列されたホトダイオード９の
領域１２を色フイルター７の色成分の数に応じて
複数の領域部に区分し、すなわち本例に於ては
緑、赤及び青の３色成分であるので４つの領域部
１２Ｇ，１２Ｒ，１２Ｂ及び１２Ｗに区分し、第
３図Ｂで示すようにその内の３つの領域部１２
Ｇ，１２Ｒ及び１２Ｂ上の夫々に色フイルター７
と同じ色フイルター成分７Ｇ，７Ｒ及び７Ｂを被
着形成する。残りの１つの領域部１２Ｗ上には何
も形成しない。なお、各領域部１２Ｇ，１２Ｒ及
び１２Ｂ上の色フイルター成分７Ｇ，７Ｒ及び７
Ｂは上記の色フイルター７の形成すなわちその各
色フイルター成分７Ｇ，７Ｒ及び７Ｂの形成と同
時工程で形成するものである。又、ホトダイオー
ド９の領域１２の両側には各ダイオード９のカソ
ード同志、及びアノード同志を共通接続して成る
カソード電極１３Ｋ及びアノード電極１３Ａを設
ける。
上述せる構成において、その受光面上に直接被
着して成る色フイルター７の分光特性を測定する
場合には、その有効撮像領域２外に設けた測定領
域３を用いる。すなわち、先ず測定領域３におい
て、フイルターの形成されない領域部１２Ｗにの
み光を当ててホトダイオード９を介して領域１２
Ｗの出力を測定し、次に例えば緑のフイルター成
分７Ｇの形成された領域部１２Ｇにのみ光を当て
てその領域部１２Ｇの出力を測定して後、両者の
値を割算することによつて、緑フイルター成分７
Ｇのみの値を算出する。以下、同様にして赤のフ
イルター成分７Ｒの形成された領域部１２Ｒ或は
青のフイルター成分の形成された領域部１２Ｂの
みに光を当てて、その出力を測定し、各出力と領
域部１２Ｗの出力を割算して夫々赤フイルター成
分７Ｒ及び青フイルター成分７Ｂのみの値を算出
し、以つて色フイルター７の分光特定を測定評価
するようになす。
着して成る色フイルター７の分光特性を測定する
場合には、その有効撮像領域２外に設けた測定領
域３を用いる。すなわち、先ず測定領域３におい
て、フイルターの形成されない領域部１２Ｗにの
み光を当ててホトダイオード９を介して領域１２
Ｗの出力を測定し、次に例えば緑のフイルター成
分７Ｇの形成された領域部１２Ｇにのみ光を当て
てその領域部１２Ｇの出力を測定して後、両者の
値を割算することによつて、緑フイルター成分７
Ｇのみの値を算出する。以下、同様にして赤のフ
イルター成分７Ｒの形成された領域部１２Ｒ或は
青のフイルター成分の形成された領域部１２Ｂの
みに光を当てて、その出力を測定し、各出力と領
域部１２Ｗの出力を割算して夫々赤フイルター成
分７Ｒ及び青フイルター成分７Ｂのみの値を算出
し、以つて色フイルター７の分光特定を測定評価
するようになす。
尚、上例では多数のホトダイオード９の各カソ
ード及びアノードを共通接続して両電極１３Ｋ及
び１３Ａに接続するようにしているので、光を個
別に当てる必要があるが、例えば各ホトダイオー
ドを夫々独立に電極を導出するように構成した場
合には、領域部１２Ｇ，１２Ｒ，１２Ｂ及び１２
Ｗの全体に一度に光を当て、各領域部１２Ｇ，１
２Ｒ，１２Ｂ及び１２Ｗ毎の出力を同時に測定す
ることが可能となる。
ード及びアノードを共通接続して両電極１３Ｋ及
び１３Ａに接続するようにしているので、光を個
別に当てる必要があるが、例えば各ホトダイオー
ドを夫々独立に電極を導出するように構成した場
合には、領域部１２Ｇ，１２Ｒ，１２Ｂ及び１２
Ｗの全体に一度に光を当て、各領域部１２Ｇ，１
２Ｒ，１２Ｂ及び１２Ｗ毎の出力を同時に測定す
ることが可能となる。
上述せる本発明によれば、色フイルター７を直
接受光面上に被着して成るカラー固体撮像素子に
おいて、その有効撮像領域外に同様の色フイルタ
ーを有した測定用領域３が一体に設けられている
ので、色フイルター７のみの分光特性が容易に測
定評価出来る。また、撮像素子上の色フイルター
７と同時に測定用領域３上へ同じ色フイルターが
形成されるので、実際の撮像素子と色フイルター
とが一体になつたものの特性が正確、且つ簡単に
測定評価できる。
接受光面上に被着して成るカラー固体撮像素子に
おいて、その有効撮像領域外に同様の色フイルタ
ーを有した測定用領域３が一体に設けられている
ので、色フイルター７のみの分光特性が容易に測
定評価出来る。また、撮像素子上の色フイルター
７と同時に測定用領域３上へ同じ色フイルターが
形成されるので、実際の撮像素子と色フイルター
とが一体になつたものの特性が正確、且つ簡単に
測定評価できる。
第１図は本発明による固体撮像素子の概略的平
面図、第２図はその有効撮像領域の断面図、第３
図Ａは測定用領域の色フイルターを形成しない状
態の平面図、第３図Ｂは色フイルターを形成した
状態の測定用領域の平面図、第４図は測定用領域
の要部の断面図である。 １は撮像素子、２は有効撮像領域、３は測定用
領域、４は受光部、７は色フイルター、７Ｒ，７
Ｇ，７Ｂは色フイルター成分、９はホトセンサー
である。
面図、第２図はその有効撮像領域の断面図、第３
図Ａは測定用領域の色フイルターを形成しない状
態の平面図、第３図Ｂは色フイルターを形成した
状態の測定用領域の平面図、第４図は測定用領域
の要部の断面図である。 １は撮像素子、２は有効撮像領域、３は測定用
領域、４は受光部、７は色フイルター、７Ｒ，７
Ｇ，７Ｂは色フイルター成分、９はホトセンサー
である。
Claims (1)
- １ 固体撮像素子の有効撮像領域外に該撮像領域
上に形成される色フイルターの分光特性を測定す
る測定用領域が設けられ、該測定用領域は上記色
フイルターと同時に形成された色フイルターを有
する第１領域部と該色フイルターの形成されない
第２領域部とから成る固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9274879A JPS5617085A (en) | 1979-07-20 | 1979-07-20 | Solid imaging element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9274879A JPS5617085A (en) | 1979-07-20 | 1979-07-20 | Solid imaging element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5617085A JPS5617085A (en) | 1981-02-18 |
| JPS6161263B2 true JPS6161263B2 (ja) | 1986-12-24 |
Family
ID=14063029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9274879A Granted JPS5617085A (en) | 1979-07-20 | 1979-07-20 | Solid imaging element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5617085A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0364153U (ja) * | 1989-10-27 | 1991-06-21 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58125866A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-27 | Sanyo Electric Co Ltd | 色センサ− |
| JP2728901B2 (ja) * | 1988-10-25 | 1998-03-18 | 大日本印刷株式会社 | カラー撮像素子の製造方法 |
-
1979
- 1979-07-20 JP JP9274879A patent/JPS5617085A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0364153U (ja) * | 1989-10-27 | 1991-06-21 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5617085A (en) | 1981-02-18 |
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