JPS616270A - 蒸着装置の熱エネルギ回生装置 - Google Patents
蒸着装置の熱エネルギ回生装置Info
- Publication number
- JPS616270A JPS616270A JP12789084A JP12789084A JPS616270A JP S616270 A JPS616270 A JP S616270A JP 12789084 A JP12789084 A JP 12789084A JP 12789084 A JP12789084 A JP 12789084A JP S616270 A JPS616270 A JP S616270A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- heater
- heat energy
- crucible
- deposition source
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、蒸着装置において高温のるつぼ等から放出
される熱エネルギを電気エネルギに変換して、エネルギ
を回収することによって蒸着装置の省エネルギ化を図る
熱エネルギ回生装置に関するものである。
される熱エネルギを電気エネルギに変換して、エネルギ
を回収することによって蒸着装置の省エネルギ化を図る
熱エネルギ回生装置に関するものである。
従来の蒸着装置は、第１図に示すようなものであった。
図において（１） ＃−１真空容器、（２）＃−するつ
ぼ、（３）はヒーター、（４）はヒーター電源、（５）
は基板、（６）は蒸着材料である。
ぼ、（３）はヒーター、（４）はヒーター電源、（５）
は基板、（６）は蒸着材料である。
次に動作について説明する。ヒーター（３）によってる
つぼ（２）内に収納された蒸着材料（６）が蒸発し、基
板（５）の表面上に蒸着材料（６）が堆積する。この時
、高温に加熱されたるつぼ（２）、ヒーター（３）およ
び蒸着材料（６）から熱輻射によって、ヒーター加熱に
消費されるヒーター電源（４）の電力の一部が外部へ放
散する。
つぼ（２）内に収納された蒸着材料（６）が蒸発し、基
板（５）の表面上に蒸着材料（６）が堆積する。この時
、高温に加熱されたるつぼ（２）、ヒーター（３）およ
び蒸着材料（６）から熱輻射によって、ヒーター加熱に
消費されるヒーター電源（４）の電力の一部が外部へ放
散する。
従来の装置は上記のように、ヒーター電源（４）の電力
の一部が熱輻射によって外部へ放散してしまうので、熱
損失が大きかった。
の一部が熱輻射によって外部へ放散してしまうので、熱
損失が大きかった。
〔発明の概要Ｊ
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、るつぼおよびヒーター等高温物体
を囲続するように熱電変換素子を配置することによって
、るつぼおよびヒーター等から外部へ放出していた熱エ
ネルギの一部を電気エネルギに変換して、電力を回収す
る装置を提供することを目的さしている。
めになされたもので、るつぼおよびヒーター等高温物体
を囲続するように熱電変換素子を配置することによって
、るつぼおよびヒーター等から外部へ放出していた熱エ
ネルギの一部を電気エネルギに変換して、電力を回収す
る装置を提供することを目的さしている。
〔発明の実施例］
以下この発明の一実施例を図について説明する。
第２図において（１）は真空容器、（２） Ｖｉるつぼ
、（３） ｉｌｌヒーター、（４）はヒーター電源、（
５）は基板、（６）は蒸着材料、（７）は熱電変換素子
、（８）は電圧変換装置である。ここで、熱電変換素子
（７）としては高温で効率的に適用できる例えば２ケイ
化＆ （Ｆ’ｅＳｉｚ）等を素材とするものが適当であ
る。
、（３） ｉｌｌヒーター、（４）はヒーター電源、（
５）は基板、（６）は蒸着材料、（７）は熱電変換素子
、（８）は電圧変換装置である。ここで、熱電変換素子
（７）としては高温で効率的に適用できる例えば２ケイ
化＆ （Ｆ’ｅＳｉｚ）等を素材とするものが適当であ
る。
蒸着の動作は従来技術と同様に、ヒーター（３）によっ
てるつぼ（２）を加熱し、蒸着材料（６）を蒸発させ、
基板（５）に蒸着材料（６）を堆積させる。
てるつぼ（２）を加熱し、蒸着材料（６）を蒸発させ、
基板（５）に蒸着材料（６）を堆積させる。
この時、従来技術の蒸着装置では、るつは（２）および
ヒーＰ−（３）から熱エネルギーが外部へ放散していた
。これをこの発明では、るつぼ（２）およびヒーター（
３）から外部へ放牧しようとする熱エネルギーの一部を
熱電変換素子（７）を用いて、電気エネルギーに変換し
、これを電圧変換し、ヒーター電源（４）の入力に加え
ているので、エネルギー損失が低減し装置全体として省
エネルギーを図ることができる。
ヒーＰ−（３）から熱エネルギーが外部へ放散していた
。これをこの発明では、るつぼ（２）およびヒーター（
３）から外部へ放牧しようとする熱エネルギーの一部を
熱電変換素子（７）を用いて、電気エネルギーに変換し
、これを電圧変換し、ヒーター電源（４）の入力に加え
ているので、エネルギー損失が低減し装置全体として省
エネルギーを図ることができる。
以上のように１この発明によれば、蒸着装置のるつぼお
よびヒーター等の高温物体を囲続するように熱電変換素
子を配置し、これＫよって発生した電力をヒーター電源
の入力として回生ずるようにしたので、エネルギ損失を
低減できる効果がある。
よびヒーター等の高温物体を囲続するように熱電変換素
子を配置し、これＫよって発生した電力をヒーター電源
の入力として回生ずるようにしたので、エネルギ損失を
低減できる効果がある。
第１図は従来の蒸着装置を示す構成図、第２図はこの発
明の一実施例による蒸着装置とその熱エネルギ回生装置
を示す構成図である。 図において、（２）はるつぼ、（３） ＃ｉヒーター、
（７）け熱電変換素子である。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。
明の一実施例による蒸着装置とその熱エネルギ回生装置
を示す構成図である。 図において、（２）はるつぼ、（３） ＃ｉヒーター、
（７）け熱電変換素子である。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 蒸着装置におけるるつぼおよびヒーター等の高温物体の
周囲に熱電変換素子を配置し、これによつて発生した電
力を回収することを特徴とする蒸着装置の熱エネルギ回
生装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12789084A JPS616270A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 蒸着装置の熱エネルギ回生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12789084A JPS616270A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 蒸着装置の熱エネルギ回生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS616270A true JPS616270A (ja) | 1986-01-11 |
Family
ID=14971189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12789084A Pending JPS616270A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 蒸着装置の熱エネルギ回生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS616270A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6319067U (ja) * | 1986-07-24 | 1988-02-08 | ||
| US5216742A (en) * | 1992-02-19 | 1993-06-01 | Leybold Aktiengesellschaft | Linear thermal evaporator for vacuum vapor depositing apparatus |
| JP2007214435A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Sharp Corp | 電子機器、液晶表示装置 |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP12789084A patent/JPS616270A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6319067U (ja) * | 1986-07-24 | 1988-02-08 | ||
| US5216742A (en) * | 1992-02-19 | 1993-06-01 | Leybold Aktiengesellschaft | Linear thermal evaporator for vacuum vapor depositing apparatus |
| JP2007214435A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Sharp Corp | 電子機器、液晶表示装置 |
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