JPS6163072A - ガスレ−ザ - Google Patents
ガスレ−ザInfo
- Publication number
- JPS6163072A JPS6163072A JP18484084A JP18484084A JPS6163072A JP S6163072 A JPS6163072 A JP S6163072A JP 18484084 A JP18484084 A JP 18484084A JP 18484084 A JP18484084 A JP 18484084A JP S6163072 A JPS6163072 A JP S6163072A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- laser
- laser tube
- discharge
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野」
本発明は、エキシマレーザ等のパルス発根カスレーザの
改良に関するものである。
改良に関するものである。
ｉ３図は、エキシマレーザ、Ｔｌｌ！Ａ ００．レーザ
等のパルス発振形ガスレーザにおける放電部の電気回路
を示し、同図中、符号１．２は図示していないレーザ管
内に配設された１対の放電電極を示している。
等のパルス発振形ガスレーザにおける放電部の電気回路
を示し、同図中、符号１．２は図示していないレーザ管
内に配設された１対の放電電極を示している。
いま、高電圧によってコンデンサＣ□が充電されたのち
スイッチＳが一閉成されると、コンデンｔｏ、に充電さ
れた電荷がコンデンサＣ８に流入しそ該コンデンサＣ８
の充電が行なわれる。
スイッチＳが一閉成されると、コンデンｔｏ、に充電さ
れた電荷がコンデンサＣ８に流入しそ該コンデンサＣ８
の充電が行なわれる。
コノトキ、回路のもつインダクタンスＬとコン７’７？
Ｃ，、Ｏ，でＬＯ共振を生じるので、いわユルヒーキン
グ効果によりコンデンサｃ意ｆ）端子電圧がコンデンサ
Ｃ８のそれよりも高くなる。
Ｃ，、Ｏ，でＬＯ共振を生じるので、いわユルヒーキン
グ効果によりコンデンサｃ意ｆ）端子電圧がコンデンサ
Ｃ８のそれよりも高くなる。
そしてコンデンサＣ１の端子電圧が放電開始電圧まで上
昇すると、上記放電電極１．２間で放電が開始され、こ
の放電は上記放電電極間を通過するレーザ媒質ガスを励
起してレーザ発振を生起させる。なお、上記放電はコン
デンサＣ１に蓄わえられた電荷が一定以下になるまで持
続される。
昇すると、上記放電電極１．２間で放電が開始され、こ
の放電は上記放電電極間を通過するレーザ媒質ガスを励
起してレーザ発振を生起させる。なお、上記放電はコン
デンサＣ１に蓄わえられた電荷が一定以下になるまで持
続される。
ところで、上記放電によってレーザ媒質ガスを効率よく
励起させるには、コンデンサｃ２と電極１，２間のイン
ピーダンスを小さくして放電電流を急速に流す必要があ
る。上記インピーダンスは、主に放電回路のもつ浮遊イ
ンダクタンスに基づくものであるから、これを小さくす
るにＶ工、コンデンサ０．を極力電極１．２ Ｋ近づけ
て配置すればよ（、そのため従来、第ら図および第７図
に示す如く上記コンデンサＣ８をレーザ管３内に配置す
ることが実施されている。
励起させるには、コンデンサｃ２と電極１，２間のイン
ピーダンスを小さくして放電電流を急速に流す必要があ
る。上記インピーダンスは、主に放電回路のもつ浮遊イ
ンダクタンスに基づくものであるから、これを小さくす
るにＶ工、コンデンサ０．を極力電極１．２ Ｋ近づけ
て配置すればよ（、そのため従来、第ら図および第７図
に示す如く上記コンデンサＣ８をレーザ管３内に配置す
ることが実施されている。
なお第６図およば第７図は各々上記コンデンサＣ１とし
て同軸形コンデンサ４（たとえば貫通形コンデンサ）お
よび平行平板形コンデンサ５を使用した例を示し【いる
。
て同軸形コンデンサ４（たとえば貫通形コンデンサ）お
よび平行平板形コンデンサ５を使用した例を示し【いる
。
第ら図および第７図に示したように、コンデンサ４およ
び５をレーザ管３の内部に配置したガスレーザは、放電
回路の低リアクタンス化を図れる半面、レーザ管３内に
封入されたレーザ媒質ガス（たとえばハロゲンガス）に
よってコンデンサ４および５が犯され易（、またＪコン
デンサの交換操作にきわめて手間を要するという問題点
があった。
び５をレーザ管３の内部に配置したガスレーザは、放電
回路の低リアクタンス化を図れる半面、レーザ管３内に
封入されたレーザ媒質ガス（たとえばハロゲンガス）に
よってコンデンサ４および５が犯され易（、またＪコン
デンサの交換操作にきわめて手間を要するという問題点
があった。
本発明は、かかる問題点を解決しようとするものである
。
。
なお、第６図、第７図において、レーザ管３内に配置さ
れたブ四ワ６はレーザ媒質ガスを矢印で示す方向に循環
させるものである。
れたブ四ワ６はレーザ媒質ガスを矢印で示す方向に循環
させるものである。
上記問題点を解決するため、本発明では、放電電極に並
列接続される放電用コンデンサをレーザ管内に配置した
ガスレーザにおいて、上記レーザ管を閉基する着脱自在
な蓋体と、該蓋体の上記レーザ管の内方に位置する側に
該レーザ管内部とは隔絶する態様で形成したコンデンサ
収納室とを備え、上記コンデンサ収納室内に上記放電用
コンデンサを配置するようにしている。
列接続される放電用コンデンサをレーザ管内に配置した
ガスレーザにおいて、上記レーザ管を閉基する着脱自在
な蓋体と、該蓋体の上記レーザ管の内方に位置する側に
該レーザ管内部とは隔絶する態様で形成したコンデンサ
収納室とを備え、上記コンデンサ収納室内に上記放電用
コンデンサを配置するようにしている。
また、本発明では、上記コンデンサ収納室内の気圧を調
整する手段を設けている。
整する手段を設けている。
本発明によれば、放電用コンデンサがレーザ管内のガス
が絶縁され、かつコンデンサ収納室内の気圧が調整され
る・ 〔実施例〕 以下、１図面を参照して本発明の詳細な説明する。
が絶縁され、かつコンデンサ収納室内の気圧が調整され
る・ 〔実施例〕 以下、１図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は、放電用コンデンサ（第３図のコンデンサＣ８
に相当）として貫通形コンデンサ等の同軸形コンデ／１
１０を使用した本発明に係るガスレーザ装置の一実施例
を示す＠ このガスレーザ装置は、レーザ媒質ガスが封入されるレ
ーザ管１１の上方開口部に嵌着された蓋体）・１２と、
この蓋体の下面側っまりレーザ管１１の内部側に設け１
；断面コ字状のハウジング１３とからなるコンデンサホ
ルダ１４を備え、蓋体１２とハウジング１３は上記コン
デンサ１０を収納するコンデンサ収納室１５を形成して
いる。
に相当）として貫通形コンデンサ等の同軸形コンデ／１
１０を使用した本発明に係るガスレーザ装置の一実施例
を示す＠ このガスレーザ装置は、レーザ媒質ガスが封入されるレ
ーザ管１１の上方開口部に嵌着された蓋体）・１２と、
この蓋体の下面側っまりレーザ管１１の内部側に設け１
；断面コ字状のハウジング１３とからなるコンデンサホ
ルダ１４を備え、蓋体１２とハウジング１３は上記コン
デンサ１０を収納するコンデンサ収納室１５を形成して
いる。
上記蓋体１２は、その下面に設けた段部１２ａをレーザ
管１１の上方開口部に嵌合させ、その両端部をレーザ管
１１に形成されたフランジｌｌａにネジ止めしである。
管１１の上方開口部に嵌合させ、その両端部をレーザ管
１１に形成されたフランジｌｌａにネジ止めしである。
なお、この蓋体１２と上記フランジｌｌａ間にはシール
材１６が配設されている。
材１６が配設されている。
上記ハウジング１３は耐ガス性および電気絶縁性を有す
る材料で形成され、シール材１７を介して上記蓋体１２
の下面にネジ等で固定されている。
る材料で形成され、シール材１７を介して上記蓋体１２
の下面にネジ等で固定されている。
上記コンデンサ収納室１５内に配置された同軸形コンデ
ンサ１０は、中心′電極１０ａと両側方に突設された外
部電極端子１０ｂとを備えている。そして中心電極１０
”の上端部は蓋体１２を貫通し、て該蓋体上面側に導出
され、下端部はハウジング１３を貫通して一方の放電電
極１８に螺着等の手段により連結されている。また、外
部−極端子１０ｂは放電時のリターン電流が流れるリタ
ーンロッド１９および導電性の支持プレート２０を介し
て他方の電極２１に連結されている。なお、上記中心電
極１０ａと蓋体１２問およびハウジング１３間には各々
シール材２２および２３が介在されている。
ンサ１０は、中心′電極１０ａと両側方に突設された外
部電極端子１０ｂとを備えている。そして中心電極１０
”の上端部は蓋体１２を貫通し、て該蓋体上面側に導出
され、下端部はハウジング１３を貫通して一方の放電電
極１８に螺着等の手段により連結されている。また、外
部−極端子１０ｂは放電時のリターン電流が流れるリタ
ーンロッド１９および導電性の支持プレート２０を介し
て他方の電極２１に連結されている。なお、上記中心電
極１０ａと蓋体１２問およびハウジング１３間には各々
シール材２２および２３が介在されている。
上記コンデンサ収納室１５は、レーザ管１１の内部とは
隔絶されており、その上部には上記蓋体１２をに通ずる
チ嘉−プ２５が連結されている。
隔絶されており、その上部には上記蓋体１２をに通ずる
チ嘉−プ２５が連結されている。
なおブロワ２４は、レーザ管工１内に封入されたレーザ
媒質ガスを矢印で示す方向く循環させる作用をなす。
媒質ガスを矢印で示す方向く循環させる作用をなす。
第２図は、放電用コンデンサとして平行平板形コンデン
サ１００を使用した本発明の他の実施例を示している。
サ１００を使用した本発明の他の実施例を示している。
この実施例では、上記蓋体１２と同様な形状を有する導
電性の蓋体１２０の下面側に一方の電極１８がネジ止め
され、この電極１８および前記プレートに螺着された他
方の電極ｚ１の両側方にコンデンサ収納室１５０，１５
０が各々形成されている。
電性の蓋体１２０の下面側に一方の電極１８がネジ止め
され、この電極１８および前記プレートに螺着された他
方の電極ｚ１の両側方にコンデンサ収納室１５０，１５
０が各々形成されている。
各コンデンサ収納室１５０，１５Ｇは、上記蓋体１２０
の“下面側に突出する態様で設けられた断面コ字状の耐
ガス性および電気絶縁性の材料からなるハウジングＩ３
０，１３０で各々形成されており、これらのハウジング
と上記蓋体１２０とは回示していないシール材を介して
ネジ等で連結されている。そして上記各コンデンサ収納
室１５０の上部には、蓋体１２０を貫通するチューブ２
５０が連結されている。なお、蓋体１２Ｇとハウジング
１３０，１３０はコンデンサホルダ１４０を構成してい
る。
の“下面側に突出する態様で設けられた断面コ字状の耐
ガス性および電気絶縁性の材料からなるハウジングＩ３
０，１３０で各々形成されており、これらのハウジング
と上記蓋体１２０とは回示していないシール材を介して
ネジ等で連結されている。そして上記各コンデンサ収納
室１５０の上部には、蓋体１２０を貫通するチューブ２
５０が連結されている。なお、蓋体１２Ｇとハウジング
１３０，１３０はコンデンサホルダ１４０を構成してい
る。
レーザ管１１内部とは隔絶された上記各コンデンサ収納
室１５０内には、各々平行平板形コンデンサ１００が配
置され、これらのコンデンサ１００の一方のリード線は
上記蓋体１２０に、また他方のリード線は上記ハウジン
グ１３０を貫通させた前記プレート２０の側端部に各々
接続されている・したがって、これらのコンデンサ１０
０は前記実施例の同軸形コンデンサ１０と同様に電極１
８．２１に並列接続されている。
室１５０内には、各々平行平板形コンデンサ１００が配
置され、これらのコンデンサ１００の一方のリード線は
上記蓋体１２０に、また他方のリード線は上記ハウジン
グ１３０を貫通させた前記プレート２０の側端部に各々
接続されている・したがって、これらのコンデンサ１０
０は前記実施例の同軸形コンデンサ１０と同様に電極１
８．２１に並列接続されている。
なお上記ハウジング１３０は、第３図に示す如くイーザ
管１１の長手方向に所定の間隔で形成されるので、この
ハウジング１３０によってレーザ媒質ガスの流れが阻止
されることはない。
管１１の長手方向に所定の間隔で形成されるので、この
ハウジング１３０によってレーザ媒質ガスの流れが阻止
されることはない。
第１図およびｌＸ２図に示した各実施例によれば、各々
同１１市カコンデンサ１０および平行平板形コンデンサ
１０ｏがレーザ管１１の内部と隔絶されるいるので、そ
れらのコンデンサがレーザ媒質ガスによって犯されるこ
とがない。また、ホルダ１４または１４０とともにコン
デンｔｌｏまたは１００をレーザ管から取外すことがで
きるので、それらのコンデンサのメインテナンスモキわ
めて容易である。
同１１市カコンデンサ１０および平行平板形コンデンサ
１０ｏがレーザ管１１の内部と隔絶されるいるので、そ
れらのコンデンサがレーザ媒質ガスによって犯されるこ
とがない。また、ホルダ１４または１４０とともにコン
デンｔｌｏまたは１００をレーザ管から取外すことがで
きるので、それらのコンデンサのメインテナンスモキわ
めて容易である。
第４図は、上記コンデンサ収納室１５ ｅ ｉｓＯ内の
気圧を調整する装置を示している。この調圧装置は、上
記チ晶−ブ２５ 、２５０の途中に介在させた電磁弁２
６と、この電磁弁２６に連結されたエアボ／プ２７と、
上記コンデンサ収納室１５，１５０内の気圧を検出する
圧力センサ２８と、上記レーザ管１１内の気圧を検出す
る圧力センサ２９と、これらのセンサの出方に基づいて
上記コンデンサ収納室１５．１００内の気圧がレーザ管
１１内の気圧と等しくなるよう忙上記電磁９Ｐ２６を側
斜する電磁弁駆動回路３゜とからなっている。
気圧を調整する装置を示している。この調圧装置は、上
記チ晶−ブ２５ 、２５０の途中に介在させた電磁弁２
６と、この電磁弁２６に連結されたエアボ／プ２７と、
上記コンデンサ収納室１５，１５０内の気圧を検出する
圧力センサ２８と、上記レーザ管１１内の気圧を検出す
る圧力センサ２９と、これらのセンサの出方に基づいて
上記コンデンサ収納室１５．１００内の気圧がレーザ管
１１内の気圧と等しくなるよう忙上記電磁９Ｐ２６を側
斜する電磁弁駆動回路３゜とからなっている。
かかる調圧装置を用いれば、上記コンデンサ収納室とレ
ーザ管１１内の気圧を常にほぼ等しくすることができる
ので、ハウジング１３，１３０に機械的強度が要求され
ず、それだけ該ハウジングを小形、軽量に構成すること
ができる＠なお、上記レーザ管１１の内部圧は真空〜え
。
ーザ管１１内の気圧を常にほぼ等しくすることができる
ので、ハウジング１３，１３０に機械的強度が要求され
ず、それだけ該ハウジングを小形、軽量に構成すること
ができる＠なお、上記レーザ管１１の内部圧は真空〜え
。
３気圧ＱＩＮの範囲で変化される。
本発明によれば、レーザ管内のガスかう放電用コンデン
サが隔絶されるので、該コンデンサがレーザ管内のレー
ザ媒質によって犯されることがなく、それだけ該コンデ
ンサの長寿命化図れる◎またコンデンサをレーザ管内部
から容易に取外すことができるので、そのメインテナン
スが容易である。さらに放電用コンデンサを収納するコ
ンデンサ収納室内の気圧を調整する手段を備えているの
で、該収納室内の気圧をレーザ、管内の気圧と等しくす
ることが可能であり、かくすれば上記収納室の構造的強
度を低減することができる。
サが隔絶されるので、該コンデンサがレーザ管内のレー
ザ媒質によって犯されることがなく、それだけ該コンデ
ンサの長寿命化図れる◎またコンデンサをレーザ管内部
から容易に取外すことができるので、そのメインテナン
スが容易である。さらに放電用コンデンサを収納するコ
ンデンサ収納室内の気圧を調整する手段を備えているの
で、該収納室内の気圧をレーザ、管内の気圧と等しくす
ることが可能であり、かくすれば上記収納室の構造的強
度を低減することができる。
第１図は本発明に係るガスレーザの一実施例を概念的に
示した断面図、第２図は本発明の他の実施例を概念的に
示した断面図、第３図は第２図の実施例におけるハウジ
ングの配置態様を示した概念的斜視図、第４図は調圧装
置の一例を概念的に示したプロ・り図、第５図はパルス
発振形レーザの放電部の回路例を示した回路図、第６図
および第７図は各々放電用コンデンサとして同軸形コン
デンサおよび平行平板形コンデンサを使用した従来のガ
スレーザの一例を概念的に示した断面図である。 １Ｏ−１Ｊｅｂ形コンデンサ、１１−レーザ管、１２
、 ｌ ２０−・・蓋体、１３，１３０・・・ハウジン
グ、１４ 、１４０ ・・・コンデンサホルダ、１５゜
１５０・−コンデンサ収納室、ｌ ８ 、２ ＋ −・
放電電極、２４−ブロワ、２６−電磁弁、２７・軸エア
ポンプ、２８ ｔ ２９−圧力センサ、３０・−電磁弁
駆動回路、１００−平行平板形コンデンサ第３図 第４図
示した断面図、第２図は本発明の他の実施例を概念的に
示した断面図、第３図は第２図の実施例におけるハウジ
ングの配置態様を示した概念的斜視図、第４図は調圧装
置の一例を概念的に示したプロ・り図、第５図はパルス
発振形レーザの放電部の回路例を示した回路図、第６図
および第７図は各々放電用コンデンサとして同軸形コン
デンサおよび平行平板形コンデンサを使用した従来のガ
スレーザの一例を概念的に示した断面図である。 １Ｏ−１Ｊｅｂ形コンデンサ、１１−レーザ管、１２
、 ｌ ２０−・・蓋体、１３，１３０・・・ハウジン
グ、１４ 、１４０ ・・・コンデンサホルダ、１５゜
１５０・−コンデンサ収納室、ｌ ８ 、２ ＋ −・
放電電極、２４−ブロワ、２６−電磁弁、２７・軸エア
ポンプ、２８ ｔ ２９−圧力センサ、３０・−電磁弁
駆動回路、１００−平行平板形コンデンサ第３図 第４図
Claims (2)
- （１）放電電極に並列接続される放電用コンデンサをレ
ーザ管内に配置したガスレーザにおいて、上記レーザ管
を閉塞する着脱自在な蓋体と、該蓋体の上記レーザ管の
内方に位置する側に該レーザ管内部とは隔絶する態様で
形成したコンデンサ収納室とを備え上記コンデンサ収納
室内に上記放電用コンデンサを配置したことを特徴とす
るガスレーザ。 - （２）放電電極に並列接続される放電用コンデンサをレ
ーザ管内に配置したガスレーザにおいて、上記レーザ管
を閉塞する着脱自在な蓋体と、該蓋体の上記レーザ管の
内方に位置する側に該レーザ管内部とは隔絶する態様で
形成したコンデンサ収納室と、上記コンデンサ収納室内
の気圧を調整する手段とを備え、上記コンデンサ収納室
内に上記放電用コンデンサを配置したことを特徴とする
ガスレーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18484084A JPS6163072A (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 | ガスレ−ザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18484084A JPS6163072A (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 | ガスレ−ザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6163072A true JPS6163072A (ja) | 1986-04-01 |
Family
ID=16160230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18484084A Pending JPS6163072A (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 | ガスレ−ザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6163072A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01175274A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-11 | Hamamatsu Photonics Kk | ガスレーザ発振装置 |
| JPH03127882A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-05-30 | Toshiba Corp | ガスレーザ装置 |
| JPH0672158A (ja) * | 1990-07-31 | 1994-03-15 | Avl Ges Verbrennungskraftmas & Messtech Mbh | 内燃機関 |
| WO2015186480A1 (ja) * | 2014-06-05 | 2015-12-10 | ギガフォトン株式会社 | レーザチャンバ |
-
1984
- 1984-09-04 JP JP18484084A patent/JPS6163072A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01175274A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-11 | Hamamatsu Photonics Kk | ガスレーザ発振装置 |
| JPH03127882A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-05-30 | Toshiba Corp | ガスレーザ装置 |
| JPH0672158A (ja) * | 1990-07-31 | 1994-03-15 | Avl Ges Verbrennungskraftmas & Messtech Mbh | 内燃機関 |
| WO2015186480A1 (ja) * | 2014-06-05 | 2015-12-10 | ギガフォトン株式会社 | レーザチャンバ |
| US9742141B2 (en) | 2014-06-05 | 2017-08-22 | Gigaphoton Inc. | Laser chamber |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4691322A (en) | Gas laser device | |
| US4363126A (en) | Tuned-circuit RF-excited laser | |
| US6639969B2 (en) | Open type X-ray generating apparatus | |
| US20220061385A1 (en) | Electronic cigarette | |
| JPS6163072A (ja) | ガスレ−ザ | |
| JPS59851A (ja) | 蒸気放電灯装置 | |
| EP0348689B1 (en) | High-voltage through-type ceramic capacitor | |
| JPS59200480A (ja) | 横励起ガスレ−ザ− | |
| US4359777A (en) | High efficiency transversely excited electrodeless gas lasers | |
| JP2001068075A (ja) | ヘッダー絶縁体 | |
| US5072153A (en) | Discharge tube for ignition apparatus | |
| US4509174A (en) | Capacitor discharge excited gas laser | |
| US2816245A (en) | Device for producing ultra-short waves | |
| JP2659730B2 (ja) | 金属蒸気レーザ装置 | |
| US2809331A (en) | Sealing apparatus for electrical unit | |
| US4724403A (en) | Microwave oscillator | |
| JPH06105804B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS639184A (ja) | 気体レ−ザ装置の放電回路 | |
| JP2890900B2 (ja) | 連結型同軸コンデンサ | |
| RU2310977C1 (ru) | Бесконтактный пьезоэлектрический резонатор | |
| JPH02132735A (ja) | 高圧コンデンサ型入力端子の製造方法 | |
| GB2125219A (en) | Moisture removal within capacitors | |
| CN1003966B (zh) | 组合式tea二氧化碳激光器 | |
| KR100595205B1 (ko) | 마그네트론의 콘덴서 | |
| US20110043108A1 (en) | Seal and leg design for ceramic induction lamp |