JPS6165151A - ガス検知素子 - Google Patents
ガス検知素子Info
- Publication number
- JPS6165151A JPS6165151A JP18648684A JP18648684A JPS6165151A JP S6165151 A JPS6165151 A JP S6165151A JP 18648684 A JP18648684 A JP 18648684A JP 18648684 A JP18648684 A JP 18648684A JP S6165151 A JPS6165151 A JP S6165151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alumina
- gas
- oxide
- gas detection
- detection element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、燃焼排気ガスやガスもれ等を検知するため
のガス検知素子に関するものである。
のガス検知素子に関するものである。
従来から種々のガス検知素子が提案されているが、一般
にアルコールなどの雑ガスに対する選択性がないため酒
かん等による雑ガスをガスもれと判断してしまう。しか
も、経時的に高感度化の傾向にあり、特に雑ガスに討て
る／ｌｉＪ！時高感度化率カー大きいため家庭用ガスも
れ警報ｄの誤報の原因となって（・る。
にアルコールなどの雑ガスに対する選択性がないため酒
かん等による雑ガスをガスもれと判断してしまう。しか
も、経時的に高感度化の傾向にあり、特に雑ガスに討て
る／ｌｉＪ！時高感度化率カー大きいため家庭用ガスも
れ警報ｄの誤報の原因となって（・る。
このような雑ガスの対策として、Ｍｎ２Ｏ３とアルミナ
の混合物、あるいはＣｏ３ ｏ、−α−Ａ１２０．をフ
ィルタとしてガス検知素子の表面に塗布したものが提案
されているが、これらは高温高湿中通電、あるいは長期
通電においてアルコールに対して経時高感度化の傾向か
みられる。これはＭｎ２Ｏ３’ＰＣｏ３０４粉末がシン
クし易いことなどのため酸化触媒としての活性が徐々に
低下して、アルコールを酸化除去するフィルタ効果が低
下していく結果と考えられろ。
の混合物、あるいはＣｏ３ ｏ、−α−Ａ１２０．をフ
ィルタとしてガス検知素子の表面に塗布したものが提案
されているが、これらは高温高湿中通電、あるいは長期
通電においてアルコールに対して経時高感度化の傾向か
みられる。これはＭｎ２Ｏ３’ＰＣｏ３０４粉末がシン
クし易いことなどのため酸化触媒としての活性が徐々に
低下して、アルコールを酸化除去するフィルタ効果が低
下していく結果と考えられろ。
この発明は、上述したアルコールなどの雑ガスに対する
感度を抑え、かつ、その特性を高湿中・還元性雰囲気、
被毒性雰囲気などの苛酷条件下にお（・でも長期間安定
に維持するよ５にすることを目的とする。
感度を抑え、かつ、その特性を高湿中・還元性雰囲気、
被毒性雰囲気などの苛酷条件下にお（・でも長期間安定
に維持するよ５にすることを目的とする。
この発明は、雑ガスの除去層として、銅フルＳネート、
ニッケルフルミネートなど、フルξすと他の金属とのＵ
含酸化物を用いて、これケ金属酸化物十４体ガス検知素
子の外層に多孔質１層として被覆したものである。
ニッケルフルミネートなど、フルξすと他の金属とのＵ
含酸化物を用いて、これケ金属酸化物十４体ガス検知素
子の外層に多孔質１層として被覆したものである。
この発明の複合酸化物は、活性アルミナにＣｕ。
Ｃｏ、 Ｍｎ＋ Ｎｉ＋ Ｆｅなとの塩の希薄水溶液を
含浸して焼成したとき、アルミナとこれらの金属イオン
とが結合して、Ｃｕ人１□０４などの耐熱性、耐久性の
ある複合酸化物が形成され易く、α−Ａ Ｉ ２０ Ｂ
とではこのような結合は起らないことを見出したことに
基づくものである。例えばＣＬＩＯ，Ｃｏ３Ｏ４゜Ｎ
ｉ Ｏは黒色の酸化物であるが、活性アルミナと結合し
て形成された複合酸化切、例えばＣｕＡｌ□０４゜Ｃｏ
Ａｌ２Ｏ４１Ｎｉ Ａｈ Ｏ，はスピネル型結晶構造を
とり、淡青色を呈する。
含浸して焼成したとき、アルミナとこれらの金属イオン
とが結合して、Ｃｕ人１□０４などの耐熱性、耐久性の
ある複合酸化物が形成され易く、α−Ａ Ｉ ２０ Ｂ
とではこのような結合は起らないことを見出したことに
基づくものである。例えばＣＬＩＯ，Ｃｏ３Ｏ４゜Ｎ
ｉ Ｏは黒色の酸化物であるが、活性アルミナと結合し
て形成された複合酸化切、例えばＣｕＡｌ□０４゜Ｃｏ
Ａｌ２Ｏ４１Ｎｉ Ａｈ Ｏ，はスピネル型結晶構造を
とり、淡青色を呈する。
従来から、Ｍ ｎ ２０３とアルミナと混合して素子に
被覆する試みがある。また、α−ＡＩ ２０３に硝酸コ
バルトの水溶液を含浸して焼成しＣｏ３０４−α〜Ａｌ
ρ。
被覆する試みがある。また、α−ＡＩ ２０３に硝酸コ
バルトの水溶液を含浸して焼成しＣｏ３０４−α〜Ａｌ
ρ。
を得てこれを用いることも提案されているが、この場合
、α−Ａ１２０ｓはアルミナの中でも最も化学的に安定
な構造でありＣＯと反応することはなく、コバルトとア
ルミニウムはそれぞれの単独の酸化物として混合状、西
にあるにすぎない。この場合は黒色のＣｏ３Ｏ４として
の色を呈する。
、α−Ａ１２０ｓはアルミナの中でも最も化学的に安定
な構造でありＣＯと反応することはなく、コバルトとア
ルミニウムはそれぞれの単独の酸化物として混合状、西
にあるにすぎない。この場合は黒色のＣｏ３Ｏ４として
の色を呈する。
また、Ｃｕ、 Ｇｏなどの含有量は、従来例ではアルミ
ナに対してこれら金属の酸化物として５〜５゜ｗｔ、％
の高濃度であるが、この発明では活性アルミナの表面に
吸着した金属イオンのみを用いるもので、従来例に換算
丁れば七の濃度は５％以下でも有効であり、従来の常識
をはずれた領域に注目したものである。
ナに対してこれら金属の酸化物として５〜５゜ｗｔ、％
の高濃度であるが、この発明では活性アルミナの表面に
吸着した金属イオンのみを用いるもので、従来例に換算
丁れば七の濃度は５％以下でも有効であり、従来の常識
をはずれた領域に注目したものである。
アルミナとの複合酸化物であるフルミネートは、熱的に
非常に安定で、ガス検知素子の動作温度の範囲（１５０
〜５００℃）では、銅やコバルトの単独の位化物のよう
な・シンクなどによる活性低下を起てことはない。また
、還元性雰囲気におかれても、単独酸化物に比べ桁違い
に還元されにくく安定である。しかも、適度の酸化活性
を■することが見出された。すなわち、 （１） アルコールなどの雑ガスに対する燃焼活性は
非常に大きく、メタンやブタンに対するそれは小さい。
非常に安定で、ガス検知素子の動作温度の範囲（１５０
〜５００℃）では、銅やコバルトの単独の位化物のよう
な・シンクなどによる活性低下を起てことはない。また
、還元性雰囲気におかれても、単独酸化物に比べ桁違い
に還元されにくく安定である。しかも、適度の酸化活性
を■することが見出された。すなわち、 （１） アルコールなどの雑ガスに対する燃焼活性は
非常に大きく、メタンやブタンに対するそれは小さい。
金属酸化物半導体ガス倹兄素子の外層にこれら複合酸化
物を多孔質層として被覆することによって、雑ガスを燃
焼除去し、素子の雑ガス感度を抑制することができる。
物を多孔質層として被覆することによって、雑ガスを燃
焼除去し、素子の雑ガス感度を抑制することができる。
（ｉｔ） フルミネートは熱的にも化学的にも非常に
安定であり、単独酸化物では得られない耐久性が得られ
た。丁なわち、単独酸化物では、高温高湿雰囲気では水
蒸気の介在によって酸化物粒子の活性低下が起り易く、
ま１こ、水素などの還元性雰囲気では酸化物が還元され
ることによって特性も変りシンクなども起き易いが、こ
れらの点に関しこの複合酸化物は単独酸化物に比べて桁
違いに安定である。
安定であり、単独酸化物では得られない耐久性が得られ
た。丁なわち、単独酸化物では、高温高湿雰囲気では水
蒸気の介在によって酸化物粒子の活性低下が起り易く、
ま１こ、水素などの還元性雰囲気では酸化物が還元され
ることによって特性も変りシンクなども起き易いが、こ
れらの点に関しこの複合酸化物は単独酸化物に比べて桁
違いに安定である。
（ｉ＋ｉｌ 活性アルミナの細孔内面に複合酸化物が
形成され酸化触媒としての活性を呈するため、有機シリ
コーンや８０２などの被毒性物質はこの細孔被毒性ガス
の共存する雰囲気におし・でも耐久性に丁ぐれている。
形成され酸化触媒としての活性を呈するため、有機シリ
コーンや８０２などの被毒性物質はこの細孔被毒性ガス
の共存する雰囲気におし・でも耐久性に丁ぐれている。
活性なガンマアルミナ（比表面積１ｏ ｏ ｍ”／ｇ）
を濃度０．１モル／ｌ の硝酸銅水溶液中に投入し、−
昼夜放置して含浸吸着させたのち、余剰液をろ過し、乾
燥後９００℃で２時間焼成する。この場合の鋼の含有率
はガンマアルミナの吸着能力にもよるが、酸化銅換算で
ガンマアルミナに対して５％以下であった。他の金属塩
の場合も同様にして作成される。
を濃度０．１モル／ｌ の硝酸銅水溶液中に投入し、−
昼夜放置して含浸吸着させたのち、余剰液をろ過し、乾
燥後９００℃で２時間焼成する。この場合の鋼の含有率
はガンマアルミナの吸着能力にもよるが、酸化銅換算で
ガンマアルミナに対して５％以下であった。他の金属塩
の場合も同様にして作成される。
この粉末を少量のアルミナ系バインダと共に水ねりして
金属酸化物半導体ガス検知素子の外層に盪布し、７００
°Ｃで１時間焼結した。このようにして製造されたガ′
ス検知素子全第１図圧示す。
金属酸化物半導体ガス検知素子の外層に盪布し、７００
°Ｃで１時間焼結した。このようにして製造されたガ′
ス検知素子全第１図圧示す。
第１図で、１はアルミナ基孜（３Ｘ１．５Ｘ０．４問）
であり、下面に白金膜ヒータ２を備え、その上をヒータ
保護膜３で覆っている。アルミナ基或１の上面には白金
膜電極４が設けられ、その上をＳｎＯ□焼結層５でおお
い、厚膜タイプの金属酸化物半導体ガス検知素子が構成
されている。そして、この金：％ ｔ’＆化物半４体ガ
ス検知素子の外層に上述した手順によって形成した複合
酸化物である銅フルミネートの多孔質層６が設げられて
、この発明のガス検知素子が構成される。
であり、下面に白金膜ヒータ２を備え、その上をヒータ
保護膜３で覆っている。アルミナ基或１の上面には白金
膜電極４が設けられ、その上をＳｎＯ□焼結層５でおお
い、厚膜タイプの金属酸化物半導体ガス検知素子が構成
されている。そして、この金：％ ｔ’＆化物半４体ガ
ス検知素子の外層に上述した手順によって形成した複合
酸化物である銅フルミネートの多孔質層６が設げられて
、この発明のガス検知素子が構成される。
第２図は熱線型半導体素子に適用した場合の実施例で、
Ｔはフィル状の白金ｔａ兼上ヒータ５はＳ ｎ Ｏを焼
結層で白金電極兼ヒータＴのコイル部をおおうように形
成されている。この５ｎ０２！結眉５の外ノーに上述の
手順圧よってアルミネートの多孔質層６を塗布ｇ８Ｍ乙
たものである。
Ｔはフィル状の白金ｔａ兼上ヒータ５はＳ ｎ Ｏを焼
結層で白金電極兼ヒータＴのコイル部をおおうように形
成されている。この５ｎ０２！結眉５の外ノーに上述の
手順圧よってアルミネートの多孔質層６を塗布ｇ８Ｍ乙
たものである。
なお、Ｃｕ、 Ｃｏ＋ Ｍｎ、 Ｎ＋、 Ｆｅとアルミ
ナとの複合酸化物をつくる方法としては、共沈法、競争
吸着法など通常の触媒製造手段が適用できることはいう
までもない。
ナとの複合酸化物をつくる方法としては、共沈法、競争
吸着法など通常の触媒製造手段が適用できることはいう
までもない。
第３図は厚膜タイプのガス検知素子にこの発明による銅
フルミ不一トの被覆を実施した場合のガス検知素子のガ
ス感度の一度依存特性である。第４図の被覆しない従来
の素子にＺける場合と比較するとエタノール感度が顕著
に抑制されていることがわかる。なお、この図の縦軸表
示はガス検知素子のガス感度な示すコンダクタンス変化
率で、Ｇｏは大気中での素子のコンタクタンス、Ｇｇは
ガス中でのコンタクタンスである。
フルミ不一トの被覆を実施した場合のガス検知素子のガ
ス感度の一度依存特性である。第４図の被覆しない従来
の素子にＺける場合と比較するとエタノール感度が顕著
に抑制されていることがわかる。なお、この図の縦軸表
示はガス検知素子のガス感度な示すコンダクタンス変化
率で、Ｇｏは大気中での素子のコンタクタンス、Ｇｇは
ガス中でのコンタクタンスである。
第１表は高温高湿雰囲気におかれたときの素子の耐久性
を示すもので、Ｈ，０，１％共存、５０℃。
を示すもので、Ｈ，０，１％共存、５０℃。
９５％の高湿中に３０日間通を状聾で封入したのち通常
湿度にもどしてＷ綴器としての警報濃度を測定したもの
である。初期値と比較すると、Ｍ ｎ２０３ ＊Ｃｕｂ
、 Ｃｏ５ｔ、の単独酸化物とアルミナの混合物を被覆
した例では、エタノール２水素に対して著しく鋭敏化し
ており誤報につながることが水硬される。この発明の各
独フルミネートでは耐久性良好である。第２表はＳＯ２
０，５ｐｐｍの被毒性雰囲気中１０日間封入テストの結
果である。同様にして各徨アルミネートにおいては初期
値と比較してあまり変化しておらず、耐毒性良好である
。
湿度にもどしてＷ綴器としての警報濃度を測定したもの
である。初期値と比較すると、Ｍ ｎ２０３ ＊Ｃｕｂ
、 Ｃｏ５ｔ、の単独酸化物とアルミナの混合物を被覆
した例では、エタノール２水素に対して著しく鋭敏化し
ており誤報につながることが水硬される。この発明の各
独フルミネートでは耐久性良好である。第２表はＳＯ２
０，５ｐｐｍの被毒性雰囲気中１０日間封入テストの結
果である。同様にして各徨アルミネートにおいては初期
値と比較してあまり変化しておらず、耐毒性良好である
。
この発明は以上説明したように、金属酸化物半導体ガス
検知素子の外層に、Ｃｕ ｒ Ｃｏ ｒ Ｍｎ ＋ Ｎ
＋ ｒＦｅのアルミナとの複合酸化物のうちの少なく
とも−１１からな乙多孔負層を被覆したので、アルコー
ルなどの雑ガスに対する感度を抑えることができ、しか
も、その特性を高温高湿の還元性雰囲気中、被毒性雰囲
気などの苛酷条件下においても、長期間安定に維持する
ことができる効果がある。
検知素子の外層に、Ｃｕ ｒ Ｃｏ ｒ Ｍｎ ＋ Ｎ
＋ ｒＦｅのアルミナとの複合酸化物のうちの少なく
とも−１１からな乙多孔負層を被覆したので、アルコー
ルなどの雑ガスに対する感度を抑えることができ、しか
も、その特性を高温高湿の還元性雰囲気中、被毒性雰囲
気などの苛酷条件下においても、長期間安定に維持する
ことができる効果がある。
第１図はこの発明の一夷２ｉ！！ｉ汐１］を示す厚膜型
のガス検知素子の断面図、第２図はこの発明の他の実施
−ｊを示す熱線型のガス暎知素子の断面図、餓３図はこ
の発明によるガス検知素子のガス濃度依存特性図、第４
図は従来のガス検知素子のガスａ度１ム存特性図である
。 図中、１はアルミナ基板、２は白金膜ヒータ、３はヒー
タ保護膜、４は白金膜厄極、５はＳ ｎ Ｏ！焼結層、
６は腹合酸化物の多孔式層、７はコイル状の白金＋１極
兼ヒータである＠ 第２図
のガス検知素子の断面図、第２図はこの発明の他の実施
−ｊを示す熱線型のガス暎知素子の断面図、餓３図はこ
の発明によるガス検知素子のガス濃度依存特性図、第４
図は従来のガス検知素子のガスａ度１ム存特性図である
。 図中、１はアルミナ基板、２は白金膜ヒータ、３はヒー
タ保護膜、４は白金膜厄極、５はＳ ｎ Ｏ！焼結層、
６は腹合酸化物の多孔式層、７はコイル状の白金＋１極
兼ヒータである＠ 第２図
Claims (1)
- 金属酸化物半導体ガス検知素子の外層に、Ｃｕ、Ｃｏ、
Ｍｎ、Ｎｉ、Ｆｅのアルミナとの複合酸化物のうちの少
なくとも一種からなる多孔質層を被覆したことを特徴と
するガス検知素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18648684A JPS6165151A (ja) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | ガス検知素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18648684A JPS6165151A (ja) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | ガス検知素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6165151A true JPS6165151A (ja) | 1986-04-03 |
| JPH053897B2 JPH053897B2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=16189326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18648684A Granted JPS6165151A (ja) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | ガス検知素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6165151A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995016646A1 (de) * | 1993-12-18 | 1995-06-22 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum ausbilden eines oder mehrerer hohlräume in oder unter einer beschichtung eines grundkörpers |
| GB2503231A (en) * | 2012-06-19 | 2013-12-25 | Crowcon Detection Instr Ltd | Flameproof barrier for a gas detector |
| EP2884273A1 (en) * | 2013-12-12 | 2015-06-17 | Delphi Technologies, Inc. | Thermal shock resistant coated exhaust sensor |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51130299A (en) * | 1975-05-07 | 1976-11-12 | Fuigaro Giken Kk | A gas detector which has selectirity of detectingas |
| JPS51151193A (en) * | 1975-06-20 | 1976-12-25 | C-Hoo Beririumu Switch Kogyo Kk | Gas detector |
| JPS5739341A (en) * | 1980-08-22 | 1982-03-04 | Toyota Motor Corp | Oxygen sensor |
| JPS57200844A (en) * | 1981-06-04 | 1982-12-09 | Ngk Insulators Ltd | Oxygen concentration detector |
| JPS5822947A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-10 | Yazaki Corp | ＳｎＯ↓２系ガスセンサ− |
| JPS5892850A (ja) * | 1982-11-12 | 1983-06-02 | Fuigaro Giken Kk | 検知ガスの選択性を有するガス検知素子 |
| JPS58191962A (ja) * | 1982-05-07 | 1983-11-09 | Hitachi Ltd | ガス検出素子 |
-
1984
- 1984-09-07 JP JP18648684A patent/JPS6165151A/ja active Granted
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51130299A (en) * | 1975-05-07 | 1976-11-12 | Fuigaro Giken Kk | A gas detector which has selectirity of detectingas |
| JPS51151193A (en) * | 1975-06-20 | 1976-12-25 | C-Hoo Beririumu Switch Kogyo Kk | Gas detector |
| JPS5739341A (en) * | 1980-08-22 | 1982-03-04 | Toyota Motor Corp | Oxygen sensor |
| JPS57200844A (en) * | 1981-06-04 | 1982-12-09 | Ngk Insulators Ltd | Oxygen concentration detector |
| JPS5822947A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-10 | Yazaki Corp | ＳｎＯ↓２系ガスセンサ− |
| JPS58191962A (ja) * | 1982-05-07 | 1983-11-09 | Hitachi Ltd | ガス検出素子 |
| JPS5892850A (ja) * | 1982-11-12 | 1983-06-02 | Fuigaro Giken Kk | 検知ガスの選択性を有するガス検知素子 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995016646A1 (de) * | 1993-12-18 | 1995-06-22 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum ausbilden eines oder mehrerer hohlräume in oder unter einer beschichtung eines grundkörpers |
| GB2503231A (en) * | 2012-06-19 | 2013-12-25 | Crowcon Detection Instr Ltd | Flameproof barrier for a gas detector |
| GB2503231B (en) * | 2012-06-19 | 2017-07-12 | Crowcon Detection Instr Ltd | Flameproof barrier |
| EP2884273A1 (en) * | 2013-12-12 | 2015-06-17 | Delphi Technologies, Inc. | Thermal shock resistant coated exhaust sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH053897B2 (ja) | 1993-01-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4199425A (en) | Solid electrolyte exhaust gas sensor with increased NOx sensitivity | |
| US4535315A (en) | Alkane gas sensor comprising tin oxide semiconductor with large surface area | |
| JPS62847A (ja) | アルコール選択用検知素子 | |
| JPS6165151A (ja) | ガス検知素子 | |
| JPH06504368A (ja) | 一酸化炭素を検出するためのセンサー | |
| JPS62269747A (ja) | 排ガス浄化用触媒 | |
| JPS61149856A (ja) | ガス検知素子 | |
| JPS5822947A (ja) | ＳｎＯ↓２系ガスセンサ− | |
| JP7500283B2 (ja) | 半導体式ガス検知素子 | |
| JP2570440B2 (ja) | ガスセンサ | |
| JPH04269650A (ja) | 酸化物半導体ガスセンサ | |
| KR100814459B1 (ko) | 센서 소자 및 그 제조 방법 | |
| US8257576B2 (en) | Ammonia gas sensors with lanthanide vanadate sensing electrode | |
| JPS58118953A (ja) | 感ガス素子 | |
| JPH02208549A (ja) | ガスセンサ | |
| JP3485148B2 (ja) | 低沸点燃料ガス漏れ検出用接触燃焼式ガスセンサ | |
| JP2573323B2 (ja) | ガスセンサ | |
| JPH0252247A (ja) | ガスセンサ | |
| JPH0682112B2 (ja) | 半導体式ガスセンサー | |
| JPS61178653A (ja) | ガス検知素子用フイルタの製法 | |
| JPH0390848A (ja) | ガスセンサ | |
| JPS623375B2 (ja) | ||
| JPS608459B2 (ja) | ガス検知素子 | |
| JPS61149855A (ja) | 可燃性ガス検知素子 | |
| JPH03138556A (ja) | 接触燃焼式一酸化炭素センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |