JPS6167536U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6167536U JPS6167536U JP15273584U JP15273584U JPS6167536U JP S6167536 U JPS6167536 U JP S6167536U JP 15273584 U JP15273584 U JP 15273584U JP 15273584 U JP15273584 U JP 15273584U JP S6167536 U JPS6167536 U JP S6167536U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epitaxial growth
- layer
- epitaxial
- growth layer
- aluminum pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図、第２図、第３図、第４図は従来より一
般に使用されている従来例の構成説明図で、第１
図は平面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第
３図は第１図のＢ−Ｂ断面図、第４図は第１図の
Ｃ−Ｃ断面図、第５図、第６図は本考案の一実施
例の要部拡大構成説明図で、Ａは平面図、Ｂは側
断面図である。 １…半導体基板、１１…基準室、１２…ダイア
フラム、２…エピタキシヤル成長層、２１，２３
…凹部、２２…測定室、３…基板、３１…固定電
極、３１１…リード、３２…ガード電極、４１…
絶縁層、４２…移動電極、４２１…埋込みｎ＋層
、４３，４４…ｎエピタキシヤル層、５１，５２
…リード、５３…絶縁層、６１ａ…パツド、６１
１…一端、６１２…他端、６２，６３…外部端子
、６４ａ…パツド、６４１…一端、６４２…他端
、７１…誘電体膜、７２，７３，７４…保護膜、
８…絶縁カバー。
般に使用されている従来例の構成説明図で、第１
図は平面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第
３図は第１図のＢ−Ｂ断面図、第４図は第１図の
Ｃ−Ｃ断面図、第５図、第６図は本考案の一実施
例の要部拡大構成説明図で、Ａは平面図、Ｂは側
断面図である。 １…半導体基板、１１…基準室、１２…ダイア
フラム、２…エピタキシヤル成長層、２１，２３
…凹部、２２…測定室、３…基板、３１…固定電
極、３１１…リード、３２…ガード電極、４１…
絶縁層、４２…移動電極、４２１…埋込みｎ＋層
、４３，４４…ｎエピタキシヤル層、５１，５２
…リード、５３…絶縁層、６１ａ…パツド、６１
１…一端、６１２…他端、６２，６３…外部端子
、６４ａ…パツド、６４１…一端、６４２…他端
、７１…誘電体膜、７２，７３，７４…保護膜、
８…絶縁カバー。
Claims (1)
- 一面側にエピタキシヤル成長層が形成された半
導体基板と、該エピタキシヤル成長層の所要個所
に不純物が拡散されて形成された拡散層と、前記
エピタキシヤル成長層に対向して設けられた基板
と、該基板の前記エピタキシヤル成長層対向面に
設けられた固定電極とガード電極と、一端が前記
それぞれの電極に他端が前記所要の拡散層に電気
的に接続されたアルミパツドとを具備してなる半
導体容量形圧力センサにおいて、前記アルミパツ
ドの一端に対向して前記半導体基板に設けられた
エピタキシヤル層と、該エピタキシヤル層上で一
端が前記それぞれの電極に接続されたアルミパツ
ドとを具備したことを特徴とする半導体容量形圧
力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15273584U JPS6167536U (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15273584U JPS6167536U (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6167536U true JPS6167536U (ja) | 1986-05-09 |
Family
ID=30710787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15273584U Pending JPS6167536U (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6167536U (ja) |
-
1984
- 1984-10-09 JP JP15273584U patent/JPS6167536U/ja active Pending
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