JPS6168713A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
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- JPS6168713A JPS6168713A JP18952984A JP18952984A JPS6168713A JP S6168713 A JPS6168713 A JP S6168713A JP 18952984 A JP18952984 A JP 18952984A JP 18952984 A JP18952984 A JP 18952984A JP S6168713 A JPS6168713 A JP S6168713A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- film
- thin film
- conductor coil
- magnetic circuit
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は薄膜磁気ヘッドに係り、特に書込みおよび読取
りの両方の変換器を持つ薄膜磁気ヘッドに関する。
りの両方の変換器を持つ薄膜磁気ヘッドに関する。
第３図に一般的な書込み、読取り兼用の薄膜磁気ヘッド
の構成を示す。第３図（ａ）は外観図、第３図（ｂ）は
第３図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
の構成を示す。第３図（ａ）は外観図、第３図（ｂ）は
第３図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
記録媒体に対して浮動体あるいは摺動体となる非磁性体
の基体１の一面に薄膜磁気ヘッド素子２．３が形成され
る。薄膜磁気ヘッド素子２゜３は基体１上に下地絶縁膜
４を形成した後下部磁性膜５が形成され・この上に絶縁
膜６３介して導体コイル７が形成され、さらに絶縁膜６
を介して上部磁性膜８が形成され、これらの上に絶縁体
からなる保護膜９が形成されて成っている。なお前記上
部および下部の磁性膜は、媒体対向部で開放されており
、その反対側において磁気的に結合されている。導体コ
イル７は下部磁性膜５と上部磁性膜８とから構成される
磁気回路と鎮交している。
の基体１の一面に薄膜磁気ヘッド素子２．３が形成され
る。薄膜磁気ヘッド素子２゜３は基体１上に下地絶縁膜
４を形成した後下部磁性膜５が形成され・この上に絶縁
膜６３介して導体コイル７が形成され、さらに絶縁膜６
を介して上部磁性膜８が形成され、これらの上に絶縁体
からなる保護膜９が形成されて成っている。なお前記上
部および下部の磁性膜は、媒体対向部で開放されており
、その反対側において磁気的に結合されている。導体コ
イル７は下部磁性膜５と上部磁性膜８とから構成される
磁気回路と鎮交している。
このような構成の薄膜磁気ヘッドにおいて、書込効率の
向上のためには上下磁性膜５，８の磁極先端部５’、８
’を厚く、そして磁気ギャップくするのが望ましい。こ
のように高密度記録におけるｍ込み、読取りに要求され
る簿膜磁気ヘッドの構造は相反するものとなり、−個の
薄膜磁気へ、ドで書込みと読取りを兼用することは困難
になってきている。
向上のためには上下磁性膜５，８の磁極先端部５’、８
’を厚く、そして磁気ギャップくするのが望ましい。こ
のように高密度記録におけるｍ込み、読取りに要求され
る簿膜磁気ヘッドの構造は相反するものとなり、−個の
薄膜磁気へ、ドで書込みと読取りを兼用することは困難
になってきている。
そこで第４図に示すような、書込みおよび読取りの両方
の変換器を持つ薄膜磁気ヘッドが特開昭５５−８４０１
８号で提案された。これは非磁性体の基体１１の上に絶
縁体１２を介して第１の変換器１６を形成し、この上に
絶縁体１４を平担な面となるように形成した後筒２の変
換器１５を形成するもので、これによれば夫々の変換器
を書込用と読取用として形成できるが、基体上に二つの
変換器を積み上げるため、上部に形成する薄膜の精度が
出しずらく、製造歩留りが悪いという欠点がある。従っ
て工業製品とはなり値いものである。
の変換器を持つ薄膜磁気ヘッドが特開昭５５−８４０１
８号で提案された。これは非磁性体の基体１１の上に絶
縁体１２を介して第１の変換器１６を形成し、この上に
絶縁体１４を平担な面となるように形成した後筒２の変
換器１５を形成するもので、これによれば夫々の変換器
を書込用と読取用として形成できるが、基体上に二つの
変換器を積み上げるため、上部に形成する薄膜の精度が
出しずらく、製造歩留りが悪いという欠点がある。従っ
て工業製品とはなり値いものである。
本発明の目的は、書込変換器と読取変換器を有する薄膜
磁気ヘッドの製造歩留りを向上させることである。
磁気ヘッドの製造歩留りを向上させることである。
本発明の特徴とするところは、少なくとも２つの磁性膜
からなる第１の磁気回路とこの；ｇｌの磁気回路と鎖交
する第１の導体コイルとから構成される読取変換器と、
第１の磁気回路とこの上に形成された磁￥Ｊｌ瞑とから
なる第２の磁気回路とこの第２の磁気回路と鎖交する第
２の導体コイルとから構成される書込変換器とを具備し
た薄膜磁気ヘッドにあり、これによって積層する：Ｉ７
ｖ膜の暦数を減らすことができるので製造歩留りを向上
することができる。
からなる第１の磁気回路とこの；ｇｌの磁気回路と鎖交
する第１の導体コイルとから構成される読取変換器と、
第１の磁気回路とこの上に形成された磁￥Ｊｌ瞑とから
なる第２の磁気回路とこの第２の磁気回路と鎖交する第
２の導体コイルとから構成される書込変換器とを具備し
た薄膜磁気ヘッドにあり、これによって積層する：Ｉ７
ｖ膜の暦数を減らすことができるので製造歩留りを向上
することができる。
以下本発明の一実施例を第１図および第２図を参照して
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図は第３図（ｂ）に阻害する図であり、薄膜磁気ヘ
ッドの断面を示す。記録媒体に対して浮動体あるいは摺
動体となる基体２３の上に、薄膜形成技術により、下地
絶縁膜２４を形成し、この上に下８（Ｓ磁性膜２５．第
１の導体コイル２７．第１の上部磁性膜２９を形成して
読取変換器２１を構成している。下部磁性膜２５と第１
の上ａｔ磁性膜２９は、先Ｉ′５部で開放され後端部で
磁気的に結合されて一気回路を’Ｉｎ成し、導体コイル
２７はこの磁気＠路に鎖交している。この読取度ＰＡａ
２１の上に絶縁体３１を介して第２の導体コイル３２
と第２の上部磁性膜３４を形成する。８Ｉ２の上部磁性
膜３４は後端部で下部磁性膜２５と磁気的に結合され先
端部で開放されて下部磁性膜２５とで磁気回路を構成し
、この磁気回路に＃！２の導体コイル３２が鎖交して書
込変換器２２を構成している。書込変換器２２の上部は
絶縁体からなる保護膜６６で覆われている。
ッドの断面を示す。記録媒体に対して浮動体あるいは摺
動体となる基体２３の上に、薄膜形成技術により、下地
絶縁膜２４を形成し、この上に下８（Ｓ磁性膜２５．第
１の導体コイル２７．第１の上部磁性膜２９を形成して
読取変換器２１を構成している。下部磁性膜２５と第１
の上ａｔ磁性膜２９は、先Ｉ′５部で開放され後端部で
磁気的に結合されて一気回路を’Ｉｎ成し、導体コイル
２７はこの磁気＠路に鎖交している。この読取度ＰＡａ
２１の上に絶縁体３１を介して第２の導体コイル３２
と第２の上部磁性膜３４を形成する。８Ｉ２の上部磁性
膜３４は後端部で下部磁性膜２５と磁気的に結合され先
端部で開放されて下部磁性膜２５とで磁気回路を構成し
、この磁気回路に＃！２の導体コイル３２が鎖交して書
込変換器２２を構成している。書込変換器２２の上部は
絶縁体からなる保護膜６６で覆われている。
次に前述の構成を有する薄膜磁気ヘッドの具体的な製造
方法を説明する。
方法を説明する。
基体２３はセラミック材等の非磁性体からなり、この上
にＡｊｚＯｓ （アルミナ）等の絶縁材をスパッタリン
グして下地絶縁膜２４を形成する。次にメッキあるいは
スパッタリングでＦｅ −ＮＱ（ハーマロイ）の下部磁
性膜２５を形成する。続いて有機樹脂等の層間絶縁膜２
６を塗布法により形成し、この上にメッキあるいはスパ
ッタリングによりＯｐあるいはＡ１等の第１導体コイル
２７を形成する。
にＡｊｚＯｓ （アルミナ）等の絶縁材をスパッタリン
グして下地絶縁膜２４を形成する。次にメッキあるいは
スパッタリングでＦｅ −ＮＱ（ハーマロイ）の下部磁
性膜２５を形成する。続いて有機樹脂等の層間絶縁膜２
６を塗布法により形成し、この上にメッキあるいはスパ
ッタリングによりＯｐあるいはＡ１等の第１導体コイル
２７を形成する。
この導体コイル２７上に再度有ＰＡ樹脂等の層間絶縁膜
２日を形成し、続いてメッキあるいはスパックリングに
よりＦ、 −Ｎ、、の第１の下部磁性膜２９を形成する
。第１の上部磁性膜２９の先端部は層間絶縁膜２６によ
り下部磁性膜２・５と離隔されて磁気ギャップ３０を構
成し、後端部は下部磁性膜の予め絶縁体が除去された部
分に磁気的に結合される。このようにして下部磁性膜２
５と第１の上部磁性膜２９とからなる磁気回路に第１の
導体コイル２７が鎖交する読取変換器２１を形成する。
２日を形成し、続いてメッキあるいはスパックリングに
よりＦ、 −Ｎ、、の第１の下部磁性膜２９を形成する
。第１の上部磁性膜２９の先端部は層間絶縁膜２６によ
り下部磁性膜２・５と離隔されて磁気ギャップ３０を構
成し、後端部は下部磁性膜の予め絶縁体が除去された部
分に磁気的に結合される。このようにして下部磁性膜２
５と第１の上部磁性膜２９とからなる磁気回路に第１の
導体コイル２７が鎖交する読取変換器２１を形成する。
読取変換器２１を形成する場合、下部磁性膜２５と第１
の上部磁性膜２９の厚さは薄く形成し、磁気ギャップ３
０も狭く形成する。
の上部磁性膜２９の厚さは薄く形成し、磁気ギャップ３
０も狭く形成する。
続い℃゛読取変換器２１の上に有機樹脂等の絶縁体３１
を塗布法により形成し、この上にメッキあるいはスパッ
タリングによりＯｖＬ、Ａ４等の第２の導体コイル３２
を形成する。さらに有機樹脂による層間絶縁膜３３を形
成し、この上に？４−ＮＡをメッキあるいはスパッタリ
ングして第２の上部磁性膜３４を形成する。先端部にお
いて第２の上部磁性膜３４は下部磁性膜２５．第１の上
部磁性膜２９とｗ１隔されており、後端部は、下部磁性
膜２５上の絶縁膜を局部的に除去して、この部分に磁気
的に結合される。従って下部磁性膜２５と第２の下部磁
性膜３４とで先端部に磁気ギャップ３５を有する磁気回
路が構成され、この磁気回路に第２の導体コイル５２が
鎖交する書込変換器２２が形成される。第２の上部磁性
膜３４は書込特性に必要な膜厚で形成される。さらにこ
の上にＡＪ０３等からなる１呆護膜３６をスパッタリン
グ等で形成し、最後に媒体対向面となる磁気ヘッド先端
部３７を研磨加工する。
を塗布法により形成し、この上にメッキあるいはスパッ
タリングによりＯｖＬ、Ａ４等の第２の導体コイル３２
を形成する。さらに有機樹脂による層間絶縁膜３３を形
成し、この上に？４−ＮＡをメッキあるいはスパッタリ
ングして第２の上部磁性膜３４を形成する。先端部にお
いて第２の上部磁性膜３４は下部磁性膜２５．第１の上
部磁性膜２９とｗ１隔されており、後端部は、下部磁性
膜２５上の絶縁膜を局部的に除去して、この部分に磁気
的に結合される。従って下部磁性膜２５と第２の下部磁
性膜３４とで先端部に磁気ギャップ３５を有する磁気回
路が構成され、この磁気回路に第２の導体コイル５２が
鎖交する書込変換器２２が形成される。第２の上部磁性
膜３４は書込特性に必要な膜厚で形成される。さらにこ
の上にＡＪ０３等からなる１呆護膜３６をスパッタリン
グ等で形成し、最後に媒体対向面となる磁気ヘッド先端
部３７を研磨加工する。
次に本実施例による薄膜磁気ヘッドの特徴および動作を
説明する。
説明する。
読取変換器２１の磁気回路となる下部磁性膜２５と第１
の上部磁性膜２９は、再生分解能を高めるために極力薄
く形成され、また第１の導体コイル２７には励磁電流を
流す必要がないので、エレクトロマイグレーションある
いは発熱等の問題を考慮する必要がなく、薄く形成する
ことができる。従って読取変換Ｂ２１の全体の高さは、
書込変換器２２のそれと比較すれば、はるかに低いもの
となる。読取変換器２１としての動作は、記録媒体に書
込まれている情報すなわち磁化反転信号をＩａ１気ギャ
ップ３０で検知し、笥１の導体コイル２７の両端に所要
の電圧を生じさせる。このとき、第１の導体コイル２７
は書込変換器２２の磁気回路の内部に配百されており、
この磁気回路と鎖交していないため、書込変換器２２の
磁気ギヤノブ３５で検知した位相のズした磁化ｙ転信号
の影響は無く、信号品質を劣化させることはない。但し
、この第１の導体コイル２７の引出し線を外部に引出す
際、第２図に示す如く磁気回路の両側から導体４４．４
５として引出した場合は書込変換器２２の磁気回路に対
して１ターン鎖交するため再生信号の品質をある程度劣
化させるこλ とになる。この場合は、第４＝図の導体４４’、４５と
して同一側から引出すことが望ましい。
の上部磁性膜２９は、再生分解能を高めるために極力薄
く形成され、また第１の導体コイル２７には励磁電流を
流す必要がないので、エレクトロマイグレーションある
いは発熱等の問題を考慮する必要がなく、薄く形成する
ことができる。従って読取変換Ｂ２１の全体の高さは、
書込変換器２２のそれと比較すれば、はるかに低いもの
となる。読取変換器２１としての動作は、記録媒体に書
込まれている情報すなわち磁化反転信号をＩａ１気ギャ
ップ３０で検知し、笥１の導体コイル２７の両端に所要
の電圧を生じさせる。このとき、第１の導体コイル２７
は書込変換器２２の磁気回路の内部に配百されており、
この磁気回路と鎖交していないため、書込変換器２２の
磁気ギヤノブ３５で検知した位相のズした磁化ｙ転信号
の影響は無く、信号品質を劣化させることはない。但し
、この第１の導体コイル２７の引出し線を外部に引出す
際、第２図に示す如く磁気回路の両側から導体４４．４
５として引出した場合は書込変換器２２の磁気回路に対
して１ターン鎖交するため再生信号の品質をある程度劣
化させるこλ とになる。この場合は、第４＝図の導体４４’、４５と
して同一側から引出すことが望ましい。
書込変換器２２の磁気回路は、下部磁性膜２５と第２の
上部磁性膜６４とで構成されているが・前述の如く読取
変換器２１の高さが低いため、読取変換器２１の磁気回
路は書込変換器２２の磁気回路の一部として作用するこ
とになる。すなわち下部磁性膜２５と第１の上部磁性膜
２９が下部磁性膜となり、書込特性に必要な厚さの磁気
回路とするには非常に都合が良い。書込変換器２２の動
作としては、第２の導体コイル３２に励磁電流を流すこ
とにより、１Ｂ気回路に磁束が流れ磁気ギヤノブ３５よ
り発生する漏れ磁束により記蜂媒体に情報を書込む。こ
のとき、第２の上部磁性膜３４および下部磁性膜２５と
第１の下部磁性膜２９からなる下部磁性膜には書込効率
向上のために必要な多電の磁束を流すことができる。
上部磁性膜６４とで構成されているが・前述の如く読取
変換器２１の高さが低いため、読取変換器２１の磁気回
路は書込変換器２２の磁気回路の一部として作用するこ
とになる。すなわち下部磁性膜２５と第１の上部磁性膜
２９が下部磁性膜となり、書込特性に必要な厚さの磁気
回路とするには非常に都合が良い。書込変換器２２の動
作としては、第２の導体コイル３２に励磁電流を流すこ
とにより、１Ｂ気回路に磁束が流れ磁気ギヤノブ３５よ
り発生する漏れ磁束により記蜂媒体に情報を書込む。こ
のとき、第２の上部磁性膜３４および下部磁性膜２５と
第１の下部磁性膜２９からなる下部磁性膜には書込効率
向上のために必要な多電の磁束を流すことができる。
以上の説明の知く本実施例によれば、読取変換器の磁気
回路を書込変換器の磁気回路の一部きる。
回路を書込変換器の磁気回路の一部きる。
本発明によれば、読取変換器の磁気回路を酪込変換器の
磁気回路の一部とする構成を採ることにより、薄膜の積
層数を減らすことができるので、製造歩留りを向上させ
ることができる。
磁気回路の一部とする構成を採ることにより、薄膜の積
層数を減らすことができるので、製造歩留りを向上させ
ることができる。
第１図は本発明の一実施例による薄膜磁気ヘッドの断面
図、第２図は第１図の一部を示す図で読取変換器部分の
平面図・第３図は薄膜磁気ヘッドの一般的な構成を示す
図で（Ｌ）は斜視図１（１））は（、）のＡ−ＡＭ断面
図、第４図は従来の書込変換器と読取変換器を有する薄
膜磁気ヘッドの断面図である。 ２１・・・読取変換器 ２２・・・書込変換器 ２３・・・基体 ２５・・・下部磁性膜 ２７・・・第１の導体コイル ２９・・・第１の上部磁性膜 ３２・・・第２の導体フィル
図、第２図は第１図の一部を示す図で読取変換器部分の
平面図・第３図は薄膜磁気ヘッドの一般的な構成を示す
図で（Ｌ）は斜視図１（１））は（、）のＡ−ＡＭ断面
図、第４図は従来の書込変換器と読取変換器を有する薄
膜磁気ヘッドの断面図である。 ２１・・・読取変換器 ２２・・・書込変換器 ２３・・・基体 ２５・・・下部磁性膜 ２７・・・第１の導体コイル ２９・・・第１の上部磁性膜 ３２・・・第２の導体フィル
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基体と、該基体上に形成された、媒体対向端が開放
され他端が接続された少なくとも２つの磁性膜からなる
第１の磁気回路と該第１の磁気回路と鎖交する第１の導
体コイルとから構成される読取変換器と、前記読取変換
器の第１の磁気回路とこの上に形成された磁性膜とから
なる媒体対向端が開放され他端が接続された第２の磁気
回路と該第２の磁気回路と鎖交する第２の導体コイルと
から構成される書込変換器とを具備したことを特徴とす
る薄膜磁気ヘッド。 ２、前記読取変換器上に形成された磁性膜の厚さは、前
記第１の磁気回路を構成する磁性膜の厚さよりも大きい
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気
ヘッド。 ３、前記第１の導体コイルの厚さは、前記第２の導体コ
イルの厚さよりも小さいことを特徴とする特許請求の範
囲第１項若しくは第２項記載の薄膜磁気ヘッド。 ４、前記第１の導体コイルの外部接続端子を外部に引出
す場合、その引出し方向を同一方向とすることを特徴と
する特許請求の範囲第１項若しくは第２項若しくは第３
項記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59189529A JPH0673167B2 (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59189529A JPH0673167B2 (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6168713A true JPS6168713A (ja) | 1986-04-09 |
| JPH0673167B2 JPH0673167B2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=16242815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59189529A Expired - Lifetime JPH0673167B2 (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0673167B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4907113A (en) * | 1987-07-29 | 1990-03-06 | Digital Equipment Corporation | Three-pole magnetic recording head |
| US5103553A (en) * | 1987-07-29 | 1992-04-14 | Digital Equipment Corporation | Method of making a magnetic recording head |
| JPH05120626A (ja) * | 1991-04-22 | 1993-05-18 | Sharp Corp | 複合型薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59117726A (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-07 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
-
1984
- 1984-09-12 JP JP59189529A patent/JPH0673167B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59117726A (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-07 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4907113A (en) * | 1987-07-29 | 1990-03-06 | Digital Equipment Corporation | Three-pole magnetic recording head |
| US5103553A (en) * | 1987-07-29 | 1992-04-14 | Digital Equipment Corporation | Method of making a magnetic recording head |
| US5311387A (en) * | 1987-07-29 | 1994-05-10 | Digital Equipment Corporation | Three-pole magnetic recording head with high readback resolution |
| JPH05120626A (ja) * | 1991-04-22 | 1993-05-18 | Sharp Corp | 複合型薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0673167B2 (ja) | 1994-09-14 |
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