JPS6169129A

JPS6169129A - 原版自動交換装置

Info

Publication number: JPS6169129A
Application number: JP59190672A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Kuroki; 黒木　洋一; Shigeo Takenaka; 竹中　成夫
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1984-09-13
Filing date: 1984-09-13
Publication date: 1986-04-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、原版自動交換装置に関し、特に半導体焼付装
置で用いられるフォトマスクまたはレチクルの如き原版
を自動交換する原版自動交換装置に関する。

［従来技術の説明］半導体焼付装置のレチクル自動交換芸術として、従来よ
り、第５図（Ａ）またはく８）に示す層成のものが知ら
れている。

第３図（△）において、１０は焼付装置本体、２０は本
体１０に付設されたレチクル自動交換装置である。また
、レチクル自動交１％装置２０内の２２はレチクルホル
ダ、２４はレチクル搬送装置で、レチクルホルダ２２は
複数段のスロット、２６　（２６ａ〜２６ｎ）を有し、
各スロットにはレチクルカセット２８　（２８ａ〜２８
ｎ）が装填されている。このレチクルカセット２８には
、不図示の半導体ウェハに焼付けるべきパターンが形成
されたレチクル３０（３０８〜３００）がそれぞれ１枚
ずつ収納される。

レチクル搬送装置２４は、図中の矢印Ｙ方向に移動して
スロット２６内のカセット２８との間でレチクル３０の
取り出しおよび収納の動作を行なうとどもに、この取り
出しおよび収納場所と所定の受け渡し場所との間の搬送
と、受け渡し場所での焼付装置本体１０とのレチクルの
受け取りおよび引き渡しを行ない、これらの動作は入力
ターミナル３２からと　　　　の指令情報など１基づく
所定の制御手順１従″ｊ　　　　行なわれる。

このような構成において、自動運転中の焼付装置本体１
０のレチクルを、ロフトまたは工程の切替え時等に自動
交換する場合、レチクル自０Ｊ交換装置２０は、本体１
０にセットされていたレチクル（旧レチクル）が前記受
け渡し場所に持ち来たされたことを検知してそれを受け
取り、元のカセットに収納した後、次のレチクルを別の
カセットから取り出し、この新たなレチクルを前記受け
渡しＪｌ所へ搬送して本体１０に引き渡すが、この際に
はレチクル搬送装置２４に対して、本体１０から受け取
った旧レチクルをどのスロットに入っているカセットに
収納するのか、また新レチクルはどのスロットのカセッ
トから取り出すのかなど、レチクルの交換のための情報
を与えてやらなければならない。

従って、このような従来装置においては、このレチクル
交換の情報をレチクル搬送装置２４に与えるに際して、
工程のｔａ替順序（またはレチクルの交換順序）等の情
報の他に、ホルダ２２の各スロット２６にはどの工程用
のレチクルが収納されているのかを予め入力ターミナル
３２等を介して入力しておく必要があり、このため、レ
チクルホルダ２２のスロット数が多くなるにつれてオペ
レータの手間も増えるという問題があった。また、例え
ばスロット数が数十にも及ぶ場合でも、各々のスロット
とその吊のカセットに収納されているレチクルとの対応
関係をすべて入力しておかなければならず、この場合、
オペレータの手間が増加するという問題の他に、さらに
入力ミスの確率が増えるという問題点があった。

一方、レチクルには一般に例えばバーコードのような識
別マークが付されているので、これを利用するシステム
も考えられている。すなわち、第３図（８）に示すよう
に、レチクル搬送装置２４にレチクルマーク読取装置３
４を設け、これによってレチクル搬送装置２４がレチク
ルを取出す際、あるいはレチクルを保持している間にレ
チクル上の識別マークを読取り、レチクルを識別するよ
うにしている。

しかし、レチクルは、汚染や破１０などを防ぐため専用
のレチクルカセットに収納された状態で取扱われるのが
酋通である。このため、レチクルカセット内に収納され
ているレチクルを識別するのには、使用の都度、カセッ
トからレチクルを引出してマークを読取らなければなら
なかった。すなわら、レチクルが−Ｈレチクルカセット
内に収められてしまうと、どのカセットにどのレチクル
が入っているかわからなくなるので、カセットにレチク
ルを収納した後は、いちいちカセットからレチクルを引
出してマークを読取り、再び収納するという動作を繰り
返さなければならなかった。

従って、このような装置においては、レチクルを交換す
る場合には、交換の都度、レチクルの識別動作を行なう
ので、交換Ｏ」作が繁雑となって処理時間が増大し、焼
付装置におけるスルーブツトの低下を沼いていた。特に
収納されているレチクル枚数が多くなる程、スループッ
トの低下は著しいものであった。

［発明の目的］本発明の目的は、前述の従来技術における問題点を解決
し、レチクルとスロットとの対応関係を予めデータとし
て入力する手間を不要にし、操作性に富んだ信頼性の高
いレチクル自動交換装置を捉供することにある。

［実施例の説明］以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

なお、従来例と共通または対応する部分については同一
の符号で表わす。

第１図は、本発明の一実施例に係るレチクル自動交換装
置を適用した半導体焼付装置の構成を示す。同図の装置
は、第３図（Ａ）のちのに対し、使用する各カセット２
８の外面上に、第２図に示すようにカセット識別マーク
４０を付し、レチクル自動交換装置２０には、各カセッ
ト２８の識別マーク４０を読取るカセットマーク読取装
Ｍ３６を付加したものである。

第２図は、第１図の装置に用いられるカセット２８の一
例を示す。同図において、レクチル３０は、れ　　　　
カレット２８にａの方向より出し入れされる。そして出
し入れ方向と反対側の面に、そのカセット３゜従ってそ
のカセット３０の中に収納されるべきレクチルを識別す
るためのカセット識別マーク（例えば光学読取可能なバ
ーコード）４０が付されている。

このカセット識別マーク４０としては、例えばそのカセ
ット２８に収納されるレチクル３０に付されている前述
のレチクル識別マークと同一の内容を示すものを付すこ
とが好ましい。なお、カセット識別マーク４０は、図示
の位置に限ることなく、読取装置３６によって読取可能
な位置であればカセット２８の前後、上下または側面等
どこに配置してもよい。

第１図に戻って、カセットマーク読取装置３Ｇは、レチ
クルホルダ２２を挟んでレチクル搬送別構２４の反対側
の位置に、該搬送機偶２４と運動してホルダ２２のスロ
ット段方向（Ｙ方向）に移動可能に設けられており、搬
送機慴２４が各スロット２６の前へ移動する毎に、その
スロット２６に入っているレクチルカセット２８の識別
マーク４０を読取る。この読取装置３６は、識別マーク
４０がバーコードであれば、バーコードリーダである。

このような構成において、レチクルの自動交換時の作動
を説明すると以下の通りである。

今、仮に焼付装置本体１０が所定のウェハに対する処理
を終了し、工程の切替えに入ったとする。

レチクル自動交換装置２０は、焼付装置本体１０からレ
チクル交換の指示を図示しない通信ラインを介して受け
とると、予め入力ターミナル３２より入力されている工
程順に従って、次に使用すべきレチクルのコードを判断
する。そして、搬送装置２４おＪ：び読取装置３６を例
えばホルダ２２の最上段のスロット２６ａから下段へ向
けて移動し、この時読取装置３６によって各カセット２
８に設けられている識別マーク４０を走査して順次ｗＩ
読し、所望のレチクル３０が収納されているカセットを
探し出す。目的の識別マーク４０の付されたカセットが
見付かったときは、搬送装置２４をそのスロット位置に
停止して該カセット内からレチクルを取出し、次いで搬
送装置２４によってそのレチクルを焼付装置本体１０と
の受け渡し場所へ搬送する。

Ｌ実施例の変形例Ｊなお、本発明は上述の実施例に限定されることなく適宜
変形して実施することができる。例えば上述の実施例に
おいては、識別マーク４０としてバーコードを用い、読
取装置３６としてはバーコードリーダを用いているが、
この識別マーク４０としては英数字等の文字もしくは符
号または図案等を使用するようにしてもよい。この場合
、読取装置３６としては公知の光学式文字読取装置（Ｏ
ＣＲ）またはパターン判別装置を用いればよい。また、
識別マーク４０として磁気記録による識別マーク（Ｅ４
１気信号）を用い、読取装置３６として磁気読取装置を
用いるようにしてもよい。これらの識別マーク４０また
は磁気記録の為の磁気ストライブ等は、例えばラベル上
に形成してこのラベルをレチクルまたはカセットに貼付
することによりカセットまたはレチクルに付することか
できる。

また、上述においては、カセットをスロットに装填した
状態で該カセットの識別マークを読取って所望のカセッ
トを探し出し、この装填されたままのカセットからレチ
クルを取出ずようにしているが、探し出したカセットを
スロットから引出しまたはさらに所定位置までＩ！！２
送した後、レチクルを取出すようにしてもよい。あるい
は、所望の力セットをスロット番号で検索して一旦取出
しまたはざらに所定位置まで搬送した後、カセットの識
別マークを読取るようにしてもよい。

さらに、上述においては、カセットの検索時は、常に、
読取装置３６による各カセットの走査を行なっているが
、所望のカセットをスロット番号で検索して識別マーク
の確認を行ない、この識別マークが所望のものと一致し
ないときだけ上記走査を行なうようにすれば、カセット
配置が正常な時の処理速度を向上させることができる。

「発明の効果」以上に述べたように本発明によると、レチクルカセット
に識別符号を付けることにより、レチクルカセットから
レチクルを取出すことなしに、レチクルの識別を行なう
ことができるので、■レチクル識別時間を短縮し、装置
のスルーブツトを向上させることができる、 ””　　　　ＯＬ／−ｙつい／Ｌ／　ｇ（７）　！　２
゜ッ８．９、え。

入るべきレチクルの識別番号を入力する手間が省け、入
力ミスを少なくすることができる、■レヂクル識別機構
を簡■１にすることができる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る半導体焼付装置の主要
構成を示す模式図、第２図はレチクルカセット上の識別
マークの設置位置の一例を示す斜視図、そして第３図（
Ａ＞および（Ｂ）はそれぞれ従来の半導体焼付装置の主
要構成を示す模式図である。１０・・・焼付装置、２０・・・レチクル自動交換装置
、２２・・・レチクルホルダ、２４・・・レチクル搬送
装置、２６（２６ａ〜２６ｎ）・・・スロット、２８　
（２８ａ〜２８ｎ）・・・レチクルカセット、３０　（
３０ａ〜３０ｎ　）・・・レチクル、３２・・・入力タ
ーミナル、３６・・・カセットマーク読取装置、４０・
・・カセット識別マーク。

Claims

【特許請求の範囲】１、原版収納用カセット複数個が装填されるホルダと、
該ホルダに装填されているカセットのうち所望のものを
選択する手段と、該選択されたカセットから原版を取出
して所定の受渡場所まで搬送するとともに該受渡場所で
受け取つた原版を元のカセット内へ収納する原版搬送手
段とを具備する原版自動交換装置であつて、上記各カセ
ットの外面にそのカセット内に収納されるべき原版に対
応する識別マークを付し、上記原版自動交換装置には、
上記各カセットの識別マークを読取る手段を設けたこと
を特徴とする原版自動交換装置。２、前記識別マークがバーコードからなる特許請求の範
囲第１項記載の原版自動交換装置。３、前記読取手段が、前記カセットの識別マークを該カ
セットが前記ホルダ内に装填された状態で読取るように
なされた特許請求の範囲第１または２項記載の原版自動
交換装置。４、前記読取手段が原版搬送装置と運動して移動するよ
うになされた特許請求の範囲第１または２項記載の原版
自動交換装置。５、前記原版の出し入れに先立ち、前記読取手段によつ
て前記カセットの識別マークを解読することにより、該
カセット内に収納されている原板または原版を収納すべ
きカセットを識別するようにした特許請求の範囲第１〜
４項のいずれか１つに記載の原版自動交換装置。