JPS6169961A - 霧化薄膜作製装置用ノズル - Google Patents
霧化薄膜作製装置用ノズルInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野）
この発明は、霧化した原料溶液を加熱された基板に吹き
付け、その表面に５ｎ０２．Ｉｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｓ
ｉ０２等の薄膜を作製する装置において、基板に霧状
の原料溶液を吹き付けるのに使用されるノズルに関する
。
付け、その表面に５ｎ０２．Ｉｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｓ
ｉ０２等の薄膜を作製する装置において、基板に霧状
の原料溶液を吹き付けるのに使用されるノズルに関する
。
この種の霧化薄膜作製装置の°構成を第５図により説明
すると９反応室１の中に表面（薄膜を作製する側の面を
いう、以下同じ）を下方へ向けて基板２．２−が設置さ
れ、これらが背面側からヒータ３によって４００〜５０
０℃に加熱される。図示の場合、これら基板２．２−・
−は２図中布から左側へと送られていく。基板２．２−
の下位には、霧化器４と給気器５が備えられ、霧化器４
に連結されたノズル６が基板２．２−へ向けて設置され
ている。
すると９反応室１の中に表面（薄膜を作製する側の面を
いう、以下同じ）を下方へ向けて基板２．２−が設置さ
れ、これらが背面側からヒータ３によって４００〜５０
０℃に加熱される。図示の場合、これら基板２．２−・
−は２図中布から左側へと送られていく。基板２．２−
の下位には、霧化器４と給気器５が備えられ、霧化器４
に連結されたノズル６が基板２．２−へ向けて設置され
ている。
原料溶液には、Ｓｎ、Ｉｎ等の塩化物溶液が使用され、
これが霧化器４において霧化され。
これが霧化器４において霧化され。
給気器５に備えたファン９によってノズル６から基板２
，２−・・の表面に緩やかに吹き付けられる。霧状の原
料溶液は、その一部が基板２，２・・−の表面付近で加
熱されることによって脱水されると共に気化され、かつ
空気中の酸素や水蒸気と反応して基板２．２−の表面に
Ｓｎ、Ｉｎの酸化物等からなる薄膜が作製される。
，２−・・の表面に緩やかに吹き付けられる。霧状の原
料溶液は、その一部が基板２，２・・−の表面付近で加
熱されることによって脱水されると共に気化され、かつ
空気中の酸素や水蒸気と反応して基板２．２−の表面に
Ｓｎ、Ｉｎの酸化物等からなる薄膜が作製される。
従来における霧化薄膜作製装置では、第５図で示すよう
なノズル６が使用されている。このノズル６は、霧化器
４側に連結された導管１１の先端に漏斗状のノズルヘッ
ド１２が連結されたもので、同ヘッド１２の先端が基板
２，２・・・−より幅の広い矩形の吐出口１０となって
いる。
なノズル６が使用されている。このノズル６は、霧化器
４側に連結された導管１１の先端に漏斗状のノズルヘッ
ド１２が連結されたもので、同ヘッド１２の先端が基板
２，２・・・−より幅の広い矩形の吐出口１０となって
いる。
ところが、上記ノズル６において、導管１１の流路面積
に比べて吐出口１０の開口面積が広い場合は、同吐出口
１０から吐出される霧の流速が導管１１の延長部で特に
速くなり、これから離れるに従って次第に遅くなるとい
うように、その流れに不均一な状態が生じる。そうする
と、基板２．２−の表面に作製される薄膜にも、この流
速に対応した膜厚等の不均一が生じ、均一な状態の薄膜
が作製されにくいという問題を生じる。
に比べて吐出口１０の開口面積が広い場合は、同吐出口
１０から吐出される霧の流速が導管１１の延長部で特に
速くなり、これから離れるに従って次第に遅くなるとい
うように、その流れに不均一な状態が生じる。そうする
と、基板２．２−の表面に作製される薄膜にも、この流
速に対応した膜厚等の不均一が生じ、均一な状態の薄膜
が作製されにくいという問題を生じる。
この発明は、従来のノズル６における上記の問題を解消
すべくなされたものであって、ノズル６の吐出口１０か
らはソ゛均一に霧が吐出されるようになし、これによっ
て基板２．２−・に均一な状態の薄膜が形成されるよう
にしたものである。
すべくなされたものであって、ノズル６の吐出口１０か
らはソ゛均一に霧が吐出されるようになし、これによっ
て基板２．２−・に均一な状態の薄膜が形成されるよう
にしたものである。
以下、この発明の構成を第１図〜第３図で示した各実施
例に基づき、説明すると、この発明は、ノズルヘソ・ド
１２への導管１１から霧が導入される導入口１３と吐出
口１０との間に、多数の通孔を有する霧拡散用のフィル
タ１４を設けたものである。
例に基づき、説明すると、この発明は、ノズルヘソ・ド
１２への導管１１から霧が導入される導入口１３と吐出
口１０との間に、多数の通孔を有する霧拡散用のフィル
タ１４を設けたものである。
このフィルタ１４としては、多数の通孔を有する多孔質
体が使用されるが、第１図では１通孔の方向が不規則な
海綿状の−ものが使用されている。これに対して、第２
図のものでは、細いガラス管を多数束ねたもの、薄い板
を細かく格子状に組んだもの、あるいはハニカム状に組
んだもの等１通孔が一定の方向性を持った多孔質体から
なっている。さらに第３図では９通孔の方向が不規則な
多孔質体と９通孔が方向性を持った多孔質体とを重ね合
わせ、後者を吐出口１０側に配置したものである。
体が使用されるが、第１図では１通孔の方向が不規則な
海綿状の−ものが使用されている。これに対して、第２
図のものでは、細いガラス管を多数束ねたもの、薄い板
を細かく格子状に組んだもの、あるいはハニカム状に組
んだもの等１通孔が一定の方向性を持った多孔質体から
なっている。さらに第３図では９通孔の方向が不規則な
多孔質体と９通孔が方向性を持った多孔質体とを重ね合
わせ、後者を吐出口１０側に配置したものである。
導管１１からノズル６へと送られた霧は、導管１１に比
べて流路断面積が広いノズルヘッド１２において流速が
低下し、一旦フィルタ１４の手前で停滞し、そこに充満
する。しかる後、これがフィルタ１４の通孔１１から吐
出口１０へと流れ出るため、霧が同吐出口１０から均一
な状態で緩やかに吐出される。これによって基板２．２
・−の表面にはノズルへラド１２の幅方向に沿ってはり
均一な量の原料溶液が供給され、均一な厚さの薄膜が作
製される。
べて流路断面積が広いノズルヘッド１２において流速が
低下し、一旦フィルタ１４の手前で停滞し、そこに充満
する。しかる後、これがフィルタ１４の通孔１１から吐
出口１０へと流れ出るため、霧が同吐出口１０から均一
な状態で緩やかに吐出される。これによって基板２．２
・−の表面にはノズルへラド１２の幅方向に沿ってはり
均一な量の原料溶液が供給され、均一な厚さの薄膜が作
製される。
なお、方向性の無い通孔を持つ第１図で示すようなフィ
ルタ１４は、一般に霧の拡散作用が高い反面、霧の流量
抵抗が高く、吐出口１０から吐出される霧の方向性が一
定しないという特性を持つ。これに対して１通孔が方向
性を持った第２図で示すようなフィルタ１４では、一般
に霧の拡散作用が比較的低いが、逆に流量抵抗が低く。
ルタ１４は、一般に霧の拡散作用が高い反面、霧の流量
抵抗が高く、吐出口１０から吐出される霧の方向性が一
定しないという特性を持つ。これに対して１通孔が方向
性を持った第２図で示すようなフィルタ１４では、一般
に霧の拡散作用が比較的低いが、逆に流量抵抗が低く。
吐出される霧の方向性も揃っているという特質を有する
。さらに、これらを２層に重ね合わせた第３図で示すよ
うなフィルタ１４では、これらの特質を併せ持った中間
的な性質を有し、特に後者の方向性を持った通孔を有す
る層を吐出口１０側に配置した第３図のものでは、吐出
された霧の方向性が良く揃っており、均一な薄膜を作製
しやすい。
。さらに、これらを２層に重ね合わせた第３図で示すよ
うなフィルタ１４では、これらの特質を併せ持った中間
的な性質を有し、特に後者の方向性を持った通孔を有す
る層を吐出口１０側に配置した第３図のものでは、吐出
された霧の方向性が良く揃っており、均一な薄膜を作製
しやすい。
次ぎにこの発明の実施例と比較例について説明する。
（実施例１）
四塩化錫（三水塩）を２５ｇ、三酸化アンチモンＩｇ、
塩酸５ｍｌを純水１５０ｃｃに順次溶解して原料溶液を
作り、霧化器４に入れた。
塩酸５ｍｌを純水１５０ｃｃに順次溶解して原料溶液を
作り、霧化器４に入れた。
基板２．２−は、厚さ１ 、 Ｏｎ＋ 、縦横１００
ｍのガラス基板を用い、これを背面側からヒータ３によ
って加熱した。このときの基板２．２−の表面温度は約
４００℃であった。
ｍのガラス基板を用い、これを背面側からヒータ３によ
って加熱した。このときの基板２．２−の表面温度は約
４００℃であった。
ノズル６には１幅１２０１ｍ、縦２０龍の吐出口１０を
有するものを使用し、このノズルヘッド１２に２〜３φ
の表裏に貫通する多数の通孔を有する厚さ２０ｍ−のコ
ージライト多孔質磁器（空隙率８５％）製のフィルタ１
４を設けた。
有するものを使用し、このノズルヘッド１２に２〜３φ
の表裏に貫通する多数の通孔を有する厚さ２０ｍ−のコ
ージライト多孔質磁器（空隙率８５％）製のフィルタ１
４を設けた。
基板２．２−を第５図において右から左へと毎分１５ｍ
ｍの速度で送ると共に、霧化器４で毎分１ｍｌの原料液
を霧化し、これを上記ノズル６から基板２，２−・・に
緩やかに吹き付け、その表面に酸化錫の薄膜を作製した
。
ｍの速度で送ると共に、霧化器４で毎分１ｍｌの原料液
を霧化し、これを上記ノズル６から基板２，２−・・に
緩やかに吹き付け、その表面に酸化錫の薄膜を作製した
。
薄膜が作製された基板２．２−の内、一枚を試料ｌとし
、この表面の第６図においてＡ−Ｅで示した各点の膜厚
をそれぞれ測定し、その最大値と最少値の差δｍａｘを
別表に示した。
、この表面の第６図においてＡ−Ｅで示した各点の膜厚
をそれぞれ測定し、その最大値と最少値の差δｍａｘを
別表に示した。
（実施例２）
上記実施例１と同じノズル６に、フィルタ１４として内
径２φ、外形３φ、長さ３０ｗｎの多数のガラス管を束
ねた多孔質体を取り付け、同実施例と同様にして基板２
，２・−の表面に薄膜を作製した。
径２φ、外形３φ、長さ３０ｗｎの多数のガラス管を束
ねた多孔質体を取り付け、同実施例と同様にして基板２
，２・−の表面に薄膜を作製した。
そして同様に一枚の基板２を試料２とし、第６図で示す
Ａ−Ｅの各点で測定した膜厚の最大と最少の差δｍａｘ
を別表に示した。
Ａ−Ｅの各点で測定した膜厚の最大と最少の差δｍａｘ
を別表に示した。
（実施例３）
上記実施例１と同じノズル６に、フィルタ１４として同
実施例で使用されたものと同じコージライト多孔質磁器
に、−辺が５ｎの多数の規則正しい通孔を有する厚さ７
０ｍのハニカム構造の多孔質体を重ねたものを、後者が
吐出口１０１１Ｊになるよう取り付け、同実施例と同様
にして基板２．２−の表面に薄膜を作製した。
実施例で使用されたものと同じコージライト多孔質磁器
に、−辺が５ｎの多数の規則正しい通孔を有する厚さ７
０ｍのハニカム構造の多孔質体を重ねたものを、後者が
吐出口１０１１Ｊになるよう取り付け、同実施例と同様
にして基板２．２−の表面に薄膜を作製した。
そして同様に一枚の基板２を試料３とし、第６図で示す
Ａ−Ｅの各点で測定した膜厚の最大と最少の差δｍａｘ
を別表に示した。
Ａ−Ｅの各点で測定した膜厚の最大と最少の差δｍａｘ
を別表に示した。
別表
単位（μｍ）
（比較例）
上記実施例１と同じノズル６に、フィルタ１４を取り付
けずに、同実施例と同様にして基板２゜２−の表面に薄
膜を作製した。
けずに、同実施例と同様にして基板２゜２−の表面に薄
膜を作製した。
そして同様に一枚の基板２を比較例とし、第６図で示す
Ａ−Ｈの各点で測定した膜厚の最大と最少の差δｍａｘ
を別表に示した。
Ａ−Ｈの各点で測定した膜厚の最大と最少の差δｍａｘ
を別表に示した。
別表から明らかなように、試料１と３では。
０．００３μｍ、試料２では０．０１４μｍといったよ
うに、膜厚のばらつきδｍａｘが極めて小さいのに対し
、従来のノズルを使用した比較例では。
うに、膜厚のばらつきδｍａｘが極めて小さいのに対し
、従来のノズルを使用した比較例では。
０．１８０μｍといったように比較的大きなばらつきδ
ｗａｘが見られた。なおこれらの試料の膜厚は０．３４
〜０．３８μｍであった。
ｗａｘが見られた。なおこれらの試料の膜厚は０．３４
〜０．３８μｍであった。
なお、上記実施例は、何れも５ｎ０２膜を作製する場合
のものであるが、他の薄膜１例えばＩｎ２０３．ＴｉＯ
２、Ｓ ｉ０２等の薄膜を作製する場合も概ね同様の結
果が得られる。
のものであるが、他の薄膜１例えばＩｎ２０３．ＴｉＯ
２、Ｓ ｉ０２等の薄膜を作製する場合も概ね同様の結
果が得られる。
以上説明した通り、この発明によればノズル６の吐出口
１０から均一に霧化された原料液を吐出させることがで
きるため、基板２．２−の表面に均一な状態の薄膜を作
製することができるようになる。
１０から均一に霧化された原料液を吐出させることがで
きるため、基板２．２−の表面に均一な状態の薄膜を作
製することができるようになる。
第１図〜第３図は、この発明の各実施態様を示すノズル
の一部切欠の斜視図、第４図は、ノズルの従来例を示す
一部切欠の斜視図、第５図は、霧化薄膜作製装置の概略
を示す説明図、第６図は、この発明の実施例における膜
厚測定位置を示す基板の表面図である。 ２・一基板 ４−霧化器５−給気器
６−ノズル １〇−吐出口 １１−導管１２−・−ノズ
ルヘッド １３−導入口１４− フィルタ 特許出願人 通商産業省工業技術院長 間 上 太陽誘電株式会社 代 理 人 弁理士 北條和由 第５図 第６［！１ ｘ ｘ 第１１！１ 第３圀 纂２１！２１ ＩＰ、４１！ｌ
の一部切欠の斜視図、第４図は、ノズルの従来例を示す
一部切欠の斜視図、第５図は、霧化薄膜作製装置の概略
を示す説明図、第６図は、この発明の実施例における膜
厚測定位置を示す基板の表面図である。 ２・一基板 ４−霧化器５−給気器
６−ノズル １〇−吐出口 １１−導管１２−・−ノズ
ルヘッド １３−導入口１４− フィルタ 特許出願人 通商産業省工業技術院長 間 上 太陽誘電株式会社 代 理 人 弁理士 北條和由 第５図 第６［！１ ｘ ｘ 第１１！１ 第３圀 纂２１！２１ ＩＰ、４１！ｌ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、原料溶液を霧化する霧化器と、霧状の原料溶液をノ
ズルへ送る給気器を備え、基板を表面が下方へ向くよう
設置し、同基板へ向けてその下位にノズルを設置し、基
板を加熱しながらノズルから霧化された原料溶液を同基
板の表面に緩やかに吹き付け、同表面に薄膜を作製する
装置において、霧化器から導管を通って先広がり状のノ
ズルヘッドへ霧が導入される導入口と、同ノズルヘッド
の吐出口との間に、多数の細かい通孔を有する霧拡散用
のフィルタを設けたことを特徴とする霧化薄膜作製装置
用ノズル。 ２、フィルタが方向性の不規則な多数の通孔を有する多
孔質体からなる特許請求の範囲第１項記載の霧化薄膜作
製装置用ノズル。 ３、フィルタが霧を吐出する方向に並んだ多数の通孔を
有する多孔質体からなる特許請求の範囲第１項記載の霧
化薄膜作製装置用ノズル。 ４、フィルタが方向性の不規則な多数の通孔を有する多
孔質体と、霧を吐出する方向に並んだ多数の通孔を有す
る多孔質体との２層体からなり、後者の多孔質体がノズ
ルヘッドの吐出口側に設けられている特許請求の範囲第
１項記載の霧化薄膜作製装置用ノズル。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59192332A JPS6169961A (ja) | 1984-09-13 | 1984-09-13 | 霧化薄膜作製装置用ノズル |
| FR8513281A FR2569999B1 (fr) | 1984-09-13 | 1985-09-06 | Ajutage pour emploi dans un dispositif de formation de fines pellicules |
| AU47383/85A AU572345B2 (en) | 1984-09-13 | 1985-09-11 | Thin film forming device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59192332A JPS6169961A (ja) | 1984-09-13 | 1984-09-13 | 霧化薄膜作製装置用ノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6169961A true JPS6169961A (ja) | 1986-04-10 |
| JPH0247540B2 JPH0247540B2 (ja) | 1990-10-22 |
Family
ID=16289520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59192332A Granted JPS6169961A (ja) | 1984-09-13 | 1984-09-13 | 霧化薄膜作製装置用ノズル |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6169961A (ja) |
| AU (1) | AU572345B2 (ja) |
| FR (1) | FR2569999B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0316612U (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-19 | ||
| WO2012124047A1 (ja) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 成膜装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0390578A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-16 | Taiyo Yuden Co Ltd | 薄膜形成装置 |
| JPH0390579A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-16 | Taiyo Yuden Co Ltd | 薄膜形成装置 |
| US6024090A (en) * | 1993-01-29 | 2000-02-15 | Aradigm Corporation | Method of treating a diabetic patient by aerosolized administration of insulin lispro |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB667396A (en) * | 1949-05-05 | 1952-02-27 | Apv Co Ltd | Improvements in or relating to nozzles for liquids |
| GB1516032A (en) * | 1976-04-13 | 1978-06-28 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
| CH643469A5 (fr) * | 1981-12-22 | 1984-06-15 | Siv Soc Italiana Vetro | Installation pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide. |
-
1984
- 1984-09-13 JP JP59192332A patent/JPS6169961A/ja active Granted
-
1985
- 1985-09-06 FR FR8513281A patent/FR2569999B1/fr not_active Expired
- 1985-09-11 AU AU47383/85A patent/AU572345B2/en not_active Ceased
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0316612U (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-19 | ||
| WO2012124047A1 (ja) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 成膜装置 |
| CN103314134A (zh) * | 2011-03-15 | 2013-09-18 | 东芝三菱电机产业系统株式会社 | 成膜装置 |
| JP5529340B2 (ja) * | 2011-03-15 | 2014-06-25 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 成膜装置 |
| KR101454566B1 (ko) * | 2011-03-15 | 2014-10-23 | 도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤 | 성막 장치 |
| TWI466731B (zh) * | 2011-03-15 | 2015-01-01 | Toshiba Mitsubishi Elec Inc | 成膜裝置 |
| US10121931B2 (en) | 2011-03-15 | 2018-11-06 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Film formation device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2569999A1 (fr) | 1986-03-14 |
| FR2569999B1 (fr) | 1988-01-08 |
| JPH0247540B2 (ja) | 1990-10-22 |
| AU572345B2 (en) | 1988-05-05 |
| AU4738385A (en) | 1986-03-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |