JPS6173023A - 熱式質量流量計 - Google Patents
熱式質量流量計Info
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- JPS6173023A JPS6173023A JP59196268A JP19626884A JPS6173023A JP S6173023 A JPS6173023 A JP S6173023A JP 59196268 A JP59196268 A JP 59196268A JP 19626884 A JP19626884 A JP 19626884A JP S6173023 A JPS6173023 A JP S6173023A
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- thermistor
- fluid
- flow
- flow rate
- flow path
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はサーミスタを用いた熱式質量流量計に関するも
のである。
のである。
従来の技術
従来より存在する熱線式流量計は、毛細管に白金等の発
熱抵抗線を巻き付け、内部を流れる流体流量に応じた放
熱量が前記抵抗線の抵抗値変化を生ずることを利用して
前記流量を測定するものである。しかしながら、この方
式による流量計は抵抗線の抵抗一温度係数が低く、動作
温度範囲が比較的高いこと、及び湿気や塵埃による故障
の多いことが欠点となっている。
熱抵抗線を巻き付け、内部を流れる流体流量に応じた放
熱量が前記抵抗線の抵抗値変化を生ずることを利用して
前記流量を測定するものである。しかしながら、この方
式による流量計は抵抗線の抵抗一温度係数が低く、動作
温度範囲が比較的高いこと、及び湿気や塵埃による故障
の多いことが欠点となっている。
−ｌ ｔ−ミスタ流速計は、サーミスタの温度係数が通
常金属のｌＯ〜１５倍程度に倍速度、動作温度も低いた
め、高感度な流量測定器として期待されるものであるが
、実際には工業計測用としての実用化はそれほど進んで
いない。これはサーミスタの本質的な問題である個々の
温度特性のバラツキによる測定誤差等が十分解決されて
いないこと、及び流路内におけるサーミスタ（概してサ
ーミスタ先端が、流路横断方向に突出する）にゴミ等が
付着して被膜となり、流れに干渉すること等によるもの
である。
常金属のｌＯ〜１５倍程度に倍速度、動作温度も低いた
め、高感度な流量測定器として期待されるものであるが
、実際には工業計測用としての実用化はそれほど進んで
いない。これはサーミスタの本質的な問題である個々の
温度特性のバラツキによる測定誤差等が十分解決されて
いないこと、及び流路内におけるサーミスタ（概してサ
ーミスタ先端が、流路横断方向に突出する）にゴミ等が
付着して被膜となり、流れに干渉すること等によるもの
である。
発明の目的
本発明は従来の毛細管流路や、サーミスタ突出流路等の
流路干渉問題、及びサーミスタ温度特性のバラツキ問題
を解消した新規のサーミスタ型熱式質量流量計を提供し
ようとするものである。
流路干渉問題、及びサーミスタ温度特性のバラツキ問題
を解消した新規のサーミスタ型熱式質量流量計を提供し
ようとするものである。
発明の構成
略述すれば、本発明は上記の目的を達するため、
被検流体のための流路を有するセンサブロックと、
前記流路内において先端を上流側に向け、かつ自身の軸
が流路方向と一致するように配置された流量検出用のガ
ラスビード封入型サーミスタと、 前記流路内に嵌入された本体に、前記流量は検出用サー
ミスタの先端部を流体流通間隙をあけて同軸的に包囲す
る中心軸孔、及びその周囲に平行して配列された複数の
整流孔を貫設してなる整流エレメントと、 前記流量検出用サーミスタと同型で同様な抵抗一温度特
性を有するサーミスタからなり、先端部が前記流路に近
接しかつ小孔によシ連通した小室に収納された温度補償
用サーミスタと、前記流量検出用サーミスタ及び温度補
償用サーミスタの抵抗値差を較正及び演算して流体の質
量流量を指示するための演算処理回路を備えたことを特
徴とする熱式質量流量計を構成するものである。
が流路方向と一致するように配置された流量検出用のガ
ラスビード封入型サーミスタと、 前記流路内に嵌入された本体に、前記流量は検出用サー
ミスタの先端部を流体流通間隙をあけて同軸的に包囲す
る中心軸孔、及びその周囲に平行して配列された複数の
整流孔を貫設してなる整流エレメントと、 前記流量検出用サーミスタと同型で同様な抵抗一温度特
性を有するサーミスタからなり、先端部が前記流路に近
接しかつ小孔によシ連通した小室に収納された温度補償
用サーミスタと、前記流量検出用サーミスタ及び温度補
償用サーミスタの抵抗値差を較正及び演算して流体の質
量流量を指示するための演算処理回路を備えたことを特
徴とする熱式質量流量計を構成するものである。
上記の構成において、整流エレメントはセンサブロック
の流路に導入された流体流量の一部を正確な分流比にお
いてその軸孔に通じるため、これに接する流量検出用サ
ーミスタは流体の質量流量及び温度に応じて放熱し、抵
抗値はそれによる平衡温度を表わす値となる。一方温度
補償用サーミスタは流体温度に応じた抵抗値を示すため
、両サーミスタの抵抗値の実効的な差を演算処理回路に
より演算すると、正確々流体の質量流量が得られるわけ
である。
の流路に導入された流体流量の一部を正確な分流比にお
いてその軸孔に通じるため、これに接する流量検出用サ
ーミスタは流体の質量流量及び温度に応じて放熱し、抵
抗値はそれによる平衡温度を表わす値となる。一方温度
補償用サーミスタは流体温度に応じた抵抗値を示すため
、両サーミスタの抵抗値の実効的な差を演算処理回路に
より演算すると、正確々流体の質量流量が得られるわけ
である。
実施例
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施例につき説
明する。
明する。
第１図は本発明の構成原理に従った基本的実施例を示す
断面図である。この実施例において、流量計本体部とし
てのセンサブロック（１）はアルミニウム等の金属又は
アクリルその他の樹脂材料からなる直方体であり、この
ブロック（１）には図の下端面に開口した流体入口（２
）から上向に延びる垂直流路部（３）と、この流路部（
３）のブロック（１）内における上端から白液して横向
に延び図の右側面に開口した流体出口（４）を有する水
平流路部（５）とからなる流体流路が形成されている。
断面図である。この実施例において、流量計本体部とし
てのセンサブロック（１）はアルミニウム等の金属又は
アクリルその他の樹脂材料からなる直方体であり、この
ブロック（１）には図の下端面に開口した流体入口（２
）から上向に延びる垂直流路部（３）と、この流路部（
３）のブロック（１）内における上端から白液して横向
に延び図の右側面に開口した流体出口（４）を有する水
平流路部（５）とからなる流体流路が形成されている。
流量検出用サーミスタ（６ン及び温度補償用サーミ７り
（７）は実質上置−又は類似の特性を有するガラスビー
ド封入型サーミスタからなり、前者（６）はセンサブロ
ック（１）の上端壁（８）を貫通して垂直流路（３）内
に垂下・突入し、後者（７）もまた上端壁（８）を貫通
し、垂直流路（３）に近接・平行して図の左側壁（９）
に形成された小室α１内に突入している。
（７）は実質上置−又は類似の特性を有するガラスビー
ド封入型サーミスタからなり、前者（６）はセンサブロ
ック（１）の上端壁（８）を貫通して垂直流路（３）内
に垂下・突入し、後者（７）もまた上端壁（８）を貫通
し、垂直流路（３）に近接・平行して図の左側壁（９）
に形成された小室α１内に突入している。
小室α０は小孔αＮ）に上り流路（３）、（５）と連通
している。サーミスタ（６）、 （７）の上端つけ根部
はそれぞれナツト０２．α艶によりブロック上端に固定
され、ナラ１−の下側にはＯリングα荀が挿着される。
している。サーミスタ（６）、 （７）の上端つけ根部
はそれぞれナツト０２．α艶によりブロック上端に固定
され、ナラ１−の下側にはＯリングα荀が挿着される。
本発明によれば、センサブロックの流路（３）には流量
検出用サーミスタ（６）と協同する整流エレメントαＱ
が嵌入される。整流エレメント０９は流路（３）の断面
形状に従って、この場合外周面が円筒形の流路内壁に嵌
合する円柱体からなシ、流量検出用サーミスタ（６）の
先端（感熱部）を余裕をもって、すなわちそのサーミス
タ先端との間に環状間隙を形成して安定した流体流通を
保証するための中心軸孔αＱと、各々この軸孔Ｍに平行
するようにその周りの同心円上に配列された複数の管状
流路からなる整流孔α力とを貫通形成したものである。
検出用サーミスタ（６）と協同する整流エレメントαＱ
が嵌入される。整流エレメント０９は流路（３）の断面
形状に従って、この場合外周面が円筒形の流路内壁に嵌
合する円柱体からなシ、流量検出用サーミスタ（６）の
先端（感熱部）を余裕をもって、すなわちそのサーミス
タ先端との間に環状間隙を形成して安定した流体流通を
保証するための中心軸孔αＱと、各々この軸孔Ｍに平行
するようにその周りの同心円上に配列された複数の管状
流路からなる整流孔α力とを貫通形成したものである。
上記の構成において、センサブロック（１） Ｏ流体入
口（２）及び出口（４）に図示しないが適宜の流体供給
管及び排出管を接続し、流路（３）、 （５）に被検流
体を通ずると、整流エレメントαＧの前記軸孔α→には
、流路（３）の全流量に対する正確な分流比（整流エレ
メントの軸孔開口面積と、全開口面積との比。但し、軸
孔開口面積はサーミスタ先端の周囲間隙の断面積である
。）で微少流を通じ、自己発熱したサーミスタ（６）の
先端はこの微少流の質量流量（及び温度の低さ）に応じ
て吸熱されるものである。
口（２）及び出口（４）に図示しないが適宜の流体供給
管及び排出管を接続し、流路（３）、 （５）に被検流
体を通ずると、整流エレメントαＧの前記軸孔α→には
、流路（３）の全流量に対する正確な分流比（整流エレ
メントの軸孔開口面積と、全開口面積との比。但し、軸
孔開口面積はサーミスタ先端の周囲間隙の断面積である
。）で微少流を通じ、自己発熱したサーミスタ（６）の
先端はこの微少流の質量流量（及び温度の低さ）に応じ
て吸熱されるものである。
一方、サーミスタ（６）をこのような整流エレメントが
存在しない流路中に配置した場合を検討すると、このと
きサーミスタ先端付近においては流路（３）、 （５）
がＬ型に屈折していることや、サーミスタ（６）に比し
て流路径が広いこと等によシ乱流を生じるか、又は秩序
圧しい層流であってもサーミスタの相対的な細さ故にそ
の表面の流れが流路（３）全体の流れの状態を正確に代
表することにならないと考えられる。この意味で、本発
明の整流エレメントはきわめて重要な役目を果たしてい
ることがわかる。
存在しない流路中に配置した場合を検討すると、このと
きサーミスタ先端付近においては流路（３）、 （５）
がＬ型に屈折していることや、サーミスタ（６）に比し
て流路径が広いこと等によシ乱流を生じるか、又は秩序
圧しい層流であってもサーミスタの相対的な細さ故にそ
の表面の流れが流路（３）全体の流れの状態を正確に代
表することにならないと考えられる。この意味で、本発
明の整流エレメントはきわめて重要な役目を果たしてい
ることがわかる。
結局、整流エレメントαＱによって一定条件にされた流
体はその比熱と密度に関係した率でサーミスタ（６）か
ら熱を奪うので、その抵抗値変化により質量流量の関数
としての信号が得られる。
体はその比熱と密度に関係した率でサーミスタ（６）か
ら熱を奪うので、その抵抗値変化により質量流量の関数
としての信号が得られる。
従って、質量流量の一般的な公式として知られている下
記の公式が本発明においても明確に成立していると考え
られる。
記の公式が本発明においても明確に成立していると考え
られる。
ｃｐ；流体の定圧比熱
θ：イ、と口、の温度差
Ｅ；流体に与えるエネルギー
ここで補足しておくことは、サーミスタ（６）及び（７
）は初期条件において同じ抵抗値を有し同じ定電流によ
って同じ発熱量で働いていることである。このことによ
って上記の式のＥが両サーミスタについて同一であると
言える。この実施例において、サーミスタ（６）が装着
された軸孔流路の径は２〜３φ、周辺部の”整流孔流路
は０，５〜３、σφあシ、これら整流孔αηは流量に応
じて最も適当な個数だけ設けて軸孔部分での流速及び熱
放散等の条件が広い流量範囲においても同一となるよう
に機能するものである。
）は初期条件において同じ抵抗値を有し同じ定電流によ
って同じ発熱量で働いていることである。このことによ
って上記の式のＥが両サーミスタについて同一であると
言える。この実施例において、サーミスタ（６）が装着
された軸孔流路の径は２〜３φ、周辺部の”整流孔流路
は０，５〜３、σφあシ、これら整流孔αηは流量に応
じて最も適当な個数だけ設けて軸孔部分での流速及び熱
放散等の条件が広い流量範囲においても同一となるよう
に機能するものである。
第３図は本発明の質量流量計の別の実施例を示すもので
ある。この実施例において、流量計は縦続結合された４
つのブロック、すなわち、図の右から左にかけて、入口
ブロック（ホ）、センサブロックＱ］）、サーミスタ支
持ブロック（イ）、及び制御ブロック四を含むものであ
る。入ロブロック翰はその貫通流路（２０Ｂ）の中間部
にフィルター（２０ｂ）を挿着し、後端部を前記センサ
ブロックＱυの開口に螺入することによシ、その開口の
中間に挿入された整流エレメントαυを固定するように
なっている。サーミスタ支持グロック（イ）は流量検出
用サーミスタ（６）を自身の中心軸上においてその先端
がセンサブロックＱ１）の開口内に突入するように支持
すると共に、ブロック（イ）後部において中心軸に直交
する配置の小室（２２ａ）内に先端を突入させた温度補
償用サーミスタ（７）を支持している。サーミスタ（６
）に関してはＩＪ−ド線引き出孔（ハ）が、また、サー
ミスタ（７）の小室（２２ａ）［関してはブロック後端
面（２２ｂ）に開口したポート（ハ）がそれぞれ形成さ
れる。さらに、センサ支持ブロック（イ）には中心軸の
サーミスタ（６）に等間隙で平行し、前記センサブロッ
クＩ２υの開口及び制御ブロック翰の入口室（２３ａ）
に連なる４条の貫通孔（ハ）が形成される。制御ブロッ
ク翰には前記サーミスタ支持ブロック（イ）の貫通孔（
１）及びボート（ハ）に連通した入口室（２３ａ）と、
これに背反した出口側流路室（２８ｂ）とが形成され、
これらは各垂直流路によりブロック上側面の制御室（イ
）に通じている。この場合、後方の垂直流路弼は制御室
■中央の底面突起内において開口し、上方より装着され
たコントロールピース翰の近接状態に応じて流量計全体
としての流量が制御できるようになっている。なお、コ
ントロールピース翰の先端面には突起開口に対応する凹
部を有し、ピース本体の周囲には駆動用ソレノイド（７
）が配置されている。
ある。この実施例において、流量計は縦続結合された４
つのブロック、すなわち、図の右から左にかけて、入口
ブロック（ホ）、センサブロックＱ］）、サーミスタ支
持ブロック（イ）、及び制御ブロック四を含むものであ
る。入ロブロック翰はその貫通流路（２０Ｂ）の中間部
にフィルター（２０ｂ）を挿着し、後端部を前記センサ
ブロックＱυの開口に螺入することによシ、その開口の
中間に挿入された整流エレメントαυを固定するように
なっている。サーミスタ支持グロック（イ）は流量検出
用サーミスタ（６）を自身の中心軸上においてその先端
がセンサブロックＱ１）の開口内に突入するように支持
すると共に、ブロック（イ）後部において中心軸に直交
する配置の小室（２２ａ）内に先端を突入させた温度補
償用サーミスタ（７）を支持している。サーミスタ（６
）に関してはＩＪ−ド線引き出孔（ハ）が、また、サー
ミスタ（７）の小室（２２ａ）［関してはブロック後端
面（２２ｂ）に開口したポート（ハ）がそれぞれ形成さ
れる。さらに、センサ支持ブロック（イ）には中心軸の
サーミスタ（６）に等間隙で平行し、前記センサブロッ
クＩ２υの開口及び制御ブロック翰の入口室（２３ａ）
に連なる４条の貫通孔（ハ）が形成される。制御ブロッ
ク翰には前記サーミスタ支持ブロック（イ）の貫通孔（
１）及びボート（ハ）に連通した入口室（２３ａ）と、
これに背反した出口側流路室（２８ｂ）とが形成され、
これらは各垂直流路によりブロック上側面の制御室（イ
）に通じている。この場合、後方の垂直流路弼は制御室
■中央の底面突起内において開口し、上方より装着され
たコントロールピース翰の近接状態に応じて流量計全体
としての流量が制御できるようになっている。なお、コ
ントロールピース翰の先端面には突起開口に対応する凹
部を有し、ピース本体の周囲には駆動用ソレノイド（７
）が配置されている。
上記第３図の実施例において、整流エレメント０Ｑ１及
びサーミスタ（６）、 （７）は第１の実施例における
整流エレメント及びサーミスタと同じものであり、従っ
てこの実施例のものはフィルター （２０ｂ）によって
除塵等がなされ、制御部におけるコントロールピース位
置により適当に制御された流量において、前記第１の実
施例と同様に作用するものである。
びサーミスタ（６）、 （７）は第１の実施例における
整流エレメント及びサーミスタと同じものであり、従っ
てこの実施例のものはフィルター （２０ｂ）によって
除塵等がなされ、制御部におけるコントロールピース位
置により適当に制御された流量において、前記第１の実
施例と同様に作用するものである。
整流エレメントの軸孔ＯＱ内に露出した先端を有するサ
ーミスタ（６）及びこれに並設されたサーミスタ（７）
の抵抗変化から流体流量を演算する回路は第４図に示す
通シである。第４図において、流速用サーミスタ（６）
及び温度補償用サーミスタ（７）は直列に定電流回路Ｇ
υに接続され、各サーミスタ（６）、 （７）の両端は
対応する差動増幅器ｏｚ、ｔ；ｎの各入力端子に接続さ
れる。これら増幅器（イ）及び（至）の出力は、それぞ
れ第３の差動増幅器■の負入力及び正入力に接続される
。この増幅器−の出力は流体の質量流量に対応する大き
さを有するものである。この場合、演算増幅器■にはバ
イアス調整手段からなるゼロ調整器（至）と、増幅率調
整手段からなるスパン調整器（至）が接続される。
ーミスタ（６）及びこれに並設されたサーミスタ（７）
の抵抗変化から流体流量を演算する回路は第４図に示す
通シである。第４図において、流速用サーミスタ（６）
及び温度補償用サーミスタ（７）は直列に定電流回路Ｇ
υに接続され、各サーミスタ（６）、 （７）の両端は
対応する差動増幅器ｏｚ、ｔ；ｎの各入力端子に接続さ
れる。これら増幅器（イ）及び（至）の出力は、それぞ
れ第３の差動増幅器■の負入力及び正入力に接続される
。この増幅器−の出力は流体の質量流量に対応する大き
さを有するものである。この場合、演算増幅器■にはバ
イアス調整手段からなるゼロ調整器（至）と、増幅率調
整手段からなるスパン調整器（至）が接続される。
上記の回路において、サーミスタ（６）及び（７）は流
通する電流に応じて発熱し、自身の雰囲気と平衡した温
度（従って抵抗値）に維持される。
通する電流に応じて発熱し、自身の雰囲気と平衡した温
度（従って抵抗値）に維持される。
いま、サーミスタ（６）及び（７）の抵抗一温度特性が
等しいものとすれば、第１のサーミスタ（６）は流体の
流速（質量流量）が零であれば実質上第２のサーミスタ
（７）と同じ温度となり、零でなければその流速に応じ
て冷却され、従って両者の抵抗値の差は流体の流量を表
わすことになる。しかしながら、両者の抵抗一温度特性
は実際には敞妙に相Ｊαするであろうから、上記のよう
に抵抗値に対応する値から流体流量を求めるには、対応
する増幅器０諺及び（ト）のバイアス及び増幅率を適当
に調整することによシその特性の相違を補償しなければ
ならない。これにより、演算増幅器［有］Ｋ入力される
二つの信号は見かけ上、同一特性の二つのサーミスタに
おける各別の温度に応じた抵抗値を表わすことになる。
等しいものとすれば、第１のサーミスタ（６）は流体の
流速（質量流量）が零であれば実質上第２のサーミスタ
（７）と同じ温度となり、零でなければその流速に応じ
て冷却され、従って両者の抵抗値の差は流体の流量を表
わすことになる。しかしながら、両者の抵抗一温度特性
は実際には敞妙に相Ｊαするであろうから、上記のよう
に抵抗値に対応する値から流体流量を求めるには、対応
する増幅器０諺及び（ト）のバイアス及び増幅率を適当
に調整することによシその特性の相違を補償しなければ
ならない。これにより、演算増幅器［有］Ｋ入力される
二つの信号は見かけ上、同一特性の二つのサーミスタに
おける各別の温度に応じた抵抗値を表わすことになる。
演算増幅器■は零調整器（至）及びスパン調整器（至）
の操作により、設定及び較正されたスケールによって、
センサブロック（１）又はＱｌ）の流路に流れる流体流
量を正確に指示することが明らかである。
の操作により、設定及び較正されたスケールによって、
センサブロック（１）又はＱｌ）の流路に流れる流体流
量を正確に指示することが明らかである。
第５図は本発明の第１図に示した質量流量計における圧
力−流量特性を示すグラフである。
力−流量特性を示すグラフである。
この場合のテスト条件は、本発明の流量計の上流に定流
量制御弁を設け、下流に圧力計と絞シ弁を接続し、大気
開放された出口に標準となる流量計を接続して流量を測
定しながら絞り弁によって圧力を０から５ ｋｇ ／
ｄまで変化させたものである。パラメータとして採用し
た実流量０．２ 。
量制御弁を設け、下流に圧力計と絞シ弁を接続し、大気
開放された出口に標準となる流量計を接続して流量を測
定しながら絞り弁によって圧力を０から５ ｋｇ ／
ｄまで変化させたものである。パラメータとして採用し
た実流量０．２ 。
０．４ 、０．６１１ ／ ｍｉｎにおいて、標準流量
計の指示値は、いずれもそれら実流量をほぼ正確に表わ
していることがわかる。
計の指示値は、いずれもそれら実流量をほぼ正確に表わ
していることがわかる。
第６図は同じく本発明の第１図に示しだ質量流量計の温
度−流量特性を示すグラフである。
度−流量特性を示すグラフである。
この場合のテスト条件は、恒温槽の中に本発明の流量計
を入江、２０°Ｃで実流量値に校正した後、５°Ｃから
４０°Ｃまでの温度変化における流量側定直としての出
力信号変化を縦軸にプロットしたものである。この間、
実流量としては各々１，５，９ｅ／Ｉ旧ｎの定流量のＮ
２ガスを流して測定したが、各グラフ共温度の上昇に従
って、流量指示値がわずかに降下していくが、通常室内
における１０度程度の室温変化に対しては、実用上問題
とならないことがわかる。
を入江、２０°Ｃで実流量値に校正した後、５°Ｃから
４０°Ｃまでの温度変化における流量側定直としての出
力信号変化を縦軸にプロットしたものである。この間、
実流量としては各々１，５，９ｅ／Ｉ旧ｎの定流量のＮ
２ガスを流して測定したが、各グラフ共温度の上昇に従
って、流量指示値がわずかに降下していくが、通常室内
における１０度程度の室温変化に対しては、実用上問題
とならないことがわかる。
第７図は同じく本発明の第１図に示した質量流量計にお
ける応答速度特性を示すグラフである。この場合のテス
ト条件は、Ｎ２ガスを５００ｍ１１分の定流量に設定し
、電磁弁で急速に開閉した時の立ち上がりの応答速度を
本発明の流量計と、従来の毛細管型流量計について同時
に測定及び比較したものである。記録計のフルスケール
は１０００ｚ／／分、チャートスピードは６０α／分、
そして周囲温度は２０°Ｃであり、定差圧型定流量弁で
５００ ｗｔｌ ／分を設定した。
ける応答速度特性を示すグラフである。この場合のテス
ト条件は、Ｎ２ガスを５００ｍ１１分の定流量に設定し
、電磁弁で急速に開閉した時の立ち上がりの応答速度を
本発明の流量計と、従来の毛細管型流量計について同時
に測定及び比較したものである。記録計のフルスケール
は１０００ｚ／／分、チャートスピードは６０α／分、
そして周囲温度は２０°Ｃであり、定差圧型定流量弁で
５００ ｗｔｌ ／分を設定した。
結果は、本発明の記録計においてはＮ２流通後数秒以内
で通常測定値となる（従来型装置においては１２〜１３
秒を要する）ことを示している。
で通常測定値となる（従来型装置においては１２〜１３
秒を要する）ことを示している。
第８図及び第９図はそれぞれ実流量、０〜１．０４７ｍ
Ｉｎ及び０〜２００ ｔｘｔ ／ ｍａｎにツイテ流量
−出力信号の関係、いわゆる検量線を確認したものであ
る。計測条件及び計測結果は下記の通りである。
Ｉｎ及び０〜２００ ｔｘｔ ／ ｍａｎにツイテ流量
−出力信号の関係、いわゆる検量線を確認したものであ
る。計測条件及び計測結果は下記の通りである。
流値−出力特性 Ｉ
計測条件 計測結果
単位〔・ 〕ｌ／ｆｒ１１ｎ 流量−出力特性 ■ 計測条件 計測結果 単
位〔Ｈｌ／ｍ”０〕云値 り０ これらの結果より、特性曲線はＯ〜０．５（１／ｍｉｎ
の範囲において若干の湾曲を有するものの、不規則性゛
は見られず、通じてＬｇ／ｍ１ｎａｌｆ以下の流量にお
いてメータの目盛設定等もきわめて容易に行いうろこと
を示している。
単位〔・ 〕ｌ／ｆｒ１１ｎ 流量−出力特性 ■ 計測条件 計測結果 単
位〔Ｈｌ／ｍ”０〕云値 り０ これらの結果より、特性曲線はＯ〜０．５（１／ｍｉｎ
の範囲において若干の湾曲を有するものの、不規則性゛
は見られず、通じてＬｇ／ｍ１ｎａｌｆ以下の流量にお
いてメータの目盛設定等もきわめて容易に行いうろこと
を示している。
発明の効果
本発明は以上の通り正確かつ安定な質量流量計を提供す
るものであり、特に流体の安定な被検流路を形成する役
目を果たす整流エレメントは着脱自在であって、必要に
応じて取りはずし清掃すること、又は新品と交換するこ
とができるため、きわめて実用的である。
るものであり、特に流体の安定な被検流路を形成する役
目を果たす整流エレメントは着脱自在であって、必要に
応じて取りはずし清掃すること、又は新品と交換するこ
とができるため、きわめて実用的である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被検流体のための流路を有するセンサブロックと、 前記流路内において先端を上流側に向け、かつ自身の軸
が流路方向と一致するように配置された流量検出用のガ
ラスビード封入型サーミスタと、 前記流路内に嵌入された本体に、前記流量検出用サーミ
スタの先端部を流体流通間隙をあけて同軸的に包囲する
中心軸孔、及びその周囲に平行して配列された複数の整
流孔を貫設してなる整流エレメントと、 前記流量検出用サーミスタと同型で同様な抵抗−温度特
性を有するサーミスタからなり、先端部が前記流路に近
接しかつ小孔により連通した小室に収納された温度補償
用サーミスタと、前記流量検出用サーミスタ及び温度補
償用サーミスタの抵抗値差を較正及び演算して流体の質
量を指示するための演算処理回路 を備えたことを特徴とする熱式質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59196268A JPS6173023A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | 熱式質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59196268A JPS6173023A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | 熱式質量流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6173023A true JPS6173023A (ja) | 1986-04-15 |
| JPH0324973B2 JPH0324973B2 (ja) | 1991-04-04 |
Family
ID=16354975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59196268A Granted JPS6173023A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | 熱式質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6173023A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2940453B1 (fr) | 2008-12-19 | 2011-03-25 | Commissariat Energie Atomique | Sonde anemometrique a fils en "x" et son procede de realisation |
| FR2940434B1 (fr) | 2008-12-19 | 2011-01-21 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de regulation d'un anemometre a fil |
-
1984
- 1984-09-18 JP JP59196268A patent/JPS6173023A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0324973B2 (ja) | 1991-04-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |