JPS6174250A - 荷電ビーム装置の制御方法 - Google Patents
荷電ビーム装置の制御方法Info
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- JPS6174250A JPS6174250A JP59198122A JP19812284A JPS6174250A JP S6174250 A JPS6174250 A JP S6174250A JP 59198122 A JP59198122 A JP 59198122A JP 19812284 A JP19812284 A JP 19812284A JP S6174250 A JPS6174250 A JP S6174250A
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- feedback
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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- H01J37/248—Components associated with high voltage supply
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
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- H01J37/243—Beam current control or regulation circuits
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明け、放電による負荷短絡金、短時間内に自効復
帰させる高電圧、高出力のｔ源装置全備えた荷電ビーム
装置の制一方式に関するものである。
帰させる高電圧、高出力のｔ源装置全備えた荷電ビーム
装置の制一方式に関するものである。
第５図げ従来装置の一例として電子ビーム溶接機の構成
？示した原理図である。図において、（１１げインバー
タの可制御電源、（２）は可制御電源（１１の出力側の
昇圧トランス、（３）に可制御電源＋１１から出力さｈ
た交流の整流回路、（４）げ平滑用リアクトル。
？示した原理図である。図において、（１１げインバー
タの可制御電源、（２）は可制御電源（１１の出力側の
昇圧トランス、（３）に可制御電源＋１１から出力さｈ
た交流の整流回路、（４）げ平滑用リアクトル。
（６１は平滑用キャパシタ、（６）は溶接機の陰極、ｔ
７＋け溶接機の陽極、（８）は陰極（６）から発生した
電子ビーム、（９）は１子ビーム（８）の電流値全制御
するウェネルト電極、（１０）は電子ビーム（８）が照
射する被加工物、（＋ｏｕウェネルト電極（９）に電圧
を供給する可制御ノくイアスミ源、（１２１は高電位の
可制御）くイアスミＶ東、、１１）Ｋ電力全供給する絶
縁トランス、１ｊ３）はビーム加速電圧（ＶＡ）の検出
抵抗、（１４）げビーム加速電圧（ｖＡ）の定電圧制御
回路、Ｑ５１ぼ電源電流（Ｉｆ）の検出抵抗、（１６１
は電源電流（工Ｋ）の定電流制御回路、０ηは定電流制
御回路（１６１の出力を高電位の町制釧）（イアスミ源
（１１）に云達する光ファイノ；−１ｆ１８１１−ｊウ
ェネルト電極（９）或いは陰極（６）と陽極（７）の間
に生じた負荷短絡（以下、アーキングと称す）である。
７＋け溶接機の陽極、（８）は陰極（６）から発生した
電子ビーム、（９）は１子ビーム（８）の電流値全制御
するウェネルト電極、（１０）は電子ビーム（８）が照
射する被加工物、（＋ｏｕウェネルト電極（９）に電圧
を供給する可制御ノくイアスミ源、（１２１は高電位の
可制御）くイアスミＶ東、、１１）Ｋ電力全供給する絶
縁トランス、１ｊ３）はビーム加速電圧（ＶＡ）の検出
抵抗、（１４）げビーム加速電圧（ｖＡ）の定電圧制御
回路、Ｑ５１ぼ電源電流（Ｉｆ）の検出抵抗、（１６１
は電源電流（工Ｋ）の定電流制御回路、０ηは定電流制
御回路（１６１の出力を高電位の町制釧）（イアスミ源
（１１）に云達する光ファイノ；−１ｆ１８１１−ｊウ
ェネルト電極（９）或いは陰極（６）と陽極（７）の間
に生じた負荷短絡（以下、アーキングと称す）である。
第６図は定電圧制御回路（Ｉ４）また社定電流制御回路
０６）の構成を示し之ものであり、す９）げビーム力ロ
速電圧（ＶＡ ）の検出抵抗Ｑ３１ま之げ電源電流（工
Ｋ）の検出抵抗（１５）からの帰還信号、■に帰還信号
中に含まれるノイズを除去するローノくス・フィルタ、
ｃｕｉ設定信号、四は帰還信号（１９と設定百号３υの
比較器、ＯばＩＪ御濱号である。
０６）の構成を示し之ものであり、す９）げビーム力ロ
速電圧（ＶＡ ）の検出抵抗Ｑ３１ま之げ電源電流（工
Ｋ）の検出抵抗（１５）からの帰還信号、■に帰還信号
中に含まれるノイズを除去するローノくス・フィルタ、
ｃｕｉ設定信号、四は帰還信号（１９と設定百号３υの
比較器、ＯばＩＪ御濱号である。
ボア図、第８図げ、アーキング（１８１示発生した場合
の各部の電圧・電流波形を示したものであり、（ＶＡ）
はビーム０口速成圧、（工０）は可制御電源ｉｌｌの、
に源出力電流（実際の（１０）は高周波の波形であるが
、第７図、第８図ではビーク値の巳絡纒を示しである）
、（工Ｋ）は電源電流、（ＩＣ）はビーム電流、（ｔｌ
は時間、（至）にアーキング発生時刻、＠ｒｔ第２のア
ーキング発生時刻、（至）に電源遮断時刻である。
の各部の電圧・電流波形を示したものであり、（ＶＡ）
はビーム０口速成圧、（工０）は可制御電源ｉｌｌの、
に源出力電流（実際の（１０）は高周波の波形であるが
、第７図、第８図ではビーク値の巳絡纒を示しである）
、（工Ｋ）は電源電流、（ＩＣ）はビーム電流、（ｔｌ
は時間、（至）にアーキング発生時刻、＠ｒｔ第２のア
ーキング発生時刻、（至）に電源遮断時刻である。
・鳥９図は、アーキ／グ発生による浴固ど−ドの欠陥全
治したものであり、□□□け溶成ビードの上面形状、Ｉ
２８け溶凄礫、ｃ！９げ浴後ビードの縦断面形状である
。
治したものであり、□□□け溶成ビードの上面形状、Ｉ
２８け溶凄礫、ｃ！９げ浴後ビードの縦断面形状である
。
次に動作について第５図乃至第９図に基ついて説明する
。第５図に示すように可制御４源（１１から供給さねる
電力げ、昇圧トランス（２）で昇圧され、整流回路（３
）で整流さね、平滑用リアクトル（４）および平滑用キ
ャパシタ（５）で平滑され、陰極（６）と陽極（７１の
間に供給さねて、亀子ビーム（８）となり、被加工物（
１０）に照射さｈる。電子ビーム（８）の゛電流値げ、
ウェネルト化＋ｆｉｉ９１と陰極（６）の闇に印加さハ
る可制御バイアス電源（１１１のバイアス電圧によって
制御される。バイアス電圧は絶縁トランスα２１．可制
御バイアス電ｐＨ２介して供給さね、ビーム加速電圧（
ＶＡ）に１畳しているため、例えば光ファイバー咥によ
り制御さｈる。ビーム加速電圧（ＶＡ）およびビーム電
流（工Ｃ） （アーキング発生時以外は、電源電流（工
Ｉ）に等しい）け、そハぞれビーム加速電圧（ＶＡ）の
検出抵抗αＪ、電源電流（工Ｋ）の検出抵抗＋１５）に
より検出さね、ビーム加速電圧（ＶＡ）は定電圧制御回
路圓により、電源型ｉ（ｒに）に定電流制御回路（１６
）によりそねぞね制御される。定電圧および定電流の澗
−は、第６図に示すように、帰還信号９９）と設定信号
Ｃ２１１の差を比較４四により検出し、比較器■の出力
である制御信号脅により、ビーム加速電圧（ＶＡ）の場
合は、ｆｌＪえはインバータの通流重音、戚源′市流（
工Ｋ）の場合は光ファイバーｔＪ７１ｆ！：介して可制
御バイアス電源ｉ Ｉｌ＋のバイアス電圧を変化させ、
帰還信号（１９）と設定ｔｇ５＋Ｑ刀が等しくなるよう
に行なわｈる。ここで、溶成が実行されると、被加工物
１１０１の溶融部分から発生した金属蒸気が陰極（６）
或いはウェネルト電極（９）と陽極（７）の間に流入し
、両電極間全短絡してアーキング１１８１ｉ生じること
がしばしばある。この真空中ＶＣおけるアーキング０８
１はパルス的に発生し、約１００声Ｓで終了する。アー
キング、１８１発生前後の谷部の電圧・１流波形を第７
図に示す。ビーム加速電圧（Ｖ、４）けアルキング（１
８１発生期間（極めて短時間のため、図中では示してい
ない）が終了すると、平滑用キャパシタ（６）の電荷が
なくなるため、−変事ボルトになる。しかし、定電圧制
０ｉＬｌを行なっているため、再開（′ｉＩＩルｇｉｌ
ｌの電源出力電流（工０）が急激に増大し、ビーム加速
′市圧（ＶＡ） 。
。第５図に示すように可制御４源（１１から供給さねる
電力げ、昇圧トランス（２）で昇圧され、整流回路（３
）で整流さね、平滑用リアクトル（４）および平滑用キ
ャパシタ（５）で平滑され、陰極（６）と陽極（７１の
間に供給さねて、亀子ビーム（８）となり、被加工物（
１０）に照射さｈる。電子ビーム（８）の゛電流値げ、
ウェネルト化＋ｆｉｉ９１と陰極（６）の闇に印加さハ
る可制御バイアス電源（１１１のバイアス電圧によって
制御される。バイアス電圧は絶縁トランスα２１．可制
御バイアス電ｐＨ２介して供給さね、ビーム加速電圧（
ＶＡ）に１畳しているため、例えば光ファイバー咥によ
り制御さｈる。ビーム加速電圧（ＶＡ）およびビーム電
流（工Ｃ） （アーキング発生時以外は、電源電流（工
Ｉ）に等しい）け、そハぞれビーム加速電圧（ＶＡ）の
検出抵抗αＪ、電源電流（工Ｋ）の検出抵抗＋１５）に
より検出さね、ビーム加速電圧（ＶＡ）は定電圧制御回
路圓により、電源型ｉ（ｒに）に定電流制御回路（１６
）によりそねぞね制御される。定電圧および定電流の澗
−は、第６図に示すように、帰還信号９９）と設定信号
Ｃ２１１の差を比較４四により検出し、比較器■の出力
である制御信号脅により、ビーム加速電圧（ＶＡ）の場
合は、ｆｌＪえはインバータの通流重音、戚源′市流（
工Ｋ）の場合は光ファイバーｔＪ７１ｆ！：介して可制
御バイアス電源ｉ Ｉｌ＋のバイアス電圧を変化させ、
帰還信号（１９）と設定ｔｇ５＋Ｑ刀が等しくなるよう
に行なわｈる。ここで、溶成が実行されると、被加工物
１１０１の溶融部分から発生した金属蒸気が陰極（６）
或いはウェネルト電極（９）と陽極（７）の間に流入し
、両電極間全短絡してアーキング１１８１ｉ生じること
がしばしばある。この真空中ＶＣおけるアーキング０８
１はパルス的に発生し、約１００声Ｓで終了する。アー
キング、１８１発生前後の谷部の電圧・１流波形を第７
図に示す。ビーム加速電圧（Ｖ、４）けアルキング（１
８１発生期間（極めて短時間のため、図中では示してい
ない）が終了すると、平滑用キャパシタ（６）の電荷が
なくなるため、−変事ボルトになる。しかし、定電圧制
０ｉＬｌを行なっているため、再開（′ｉＩＩルｇｉｌ
ｌの電源出力電流（工０）が急激に増大し、ビーム加速
′市圧（ＶＡ） 。
電源出力電流（１０）共、平滑用リアクトル（４）とキ
ャパ７り＋５１で定まる時ボ叔（数ｍｅ）で大き（変動
する。また、アーキング（１８１発生時には、ビーム電
流（ＩＣ）を制御するために検出している電源電流（工
Ｋ）に凋いピークのアーキングＱ８１電流か重畳するた
め、実際はビーム電流（工Ｃ）は流ねでいないにもかか
わらず、定電流制御ｌ！１１１１洛（１６）はビーム電
流（Ｉｃ）を出さない方向に働く。従って、ビーム加速
電圧（ＶＡ ）の斐切とも干１５し合って、ｔ＃電流（
工Ｋ）、ビーム電流（ＩＣ）共、アーキングａ＆発生後
げ大きく変動する。
ャパ７り＋５１で定まる時ボ叔（数ｍｅ）で大き（変動
する。また、アーキング（１８１発生時には、ビーム電
流（ＩＣ）を制御するために検出している電源電流（工
Ｋ）に凋いピークのアーキングＱ８１電流か重畳するた
め、実際はビーム電流（工Ｃ）は流ねでいないにもかか
わらず、定電流制御ｌ！１１１１洛（１６）はビーム電
流（Ｉｃ）を出さない方向に働く。従って、ビーム加速
電圧（ＶＡ ）の斐切とも干１５し合って、ｔ＃電流（
工Ｋ）、ビーム電流（ＩＣ）共、アーキングａ＆発生後
げ大きく変動する。
このように、一度アーキング（１８１が発生すると、谷
峨圧・電流の制御が過渡的に著しく不安定になり、通常
よりも高い電圧・電流が発生するので、第８図に示すよ
うに、第２．第３のアーキングｔｌ＆が生じ、可制御′
電源ｉｌ＋の出力電ｉ （工０）が著しく増大して、可
制御覗源＋Ｉｌの連断回路か動作し、溶妾汀停止する。
峨圧・電流の制御が過渡的に著しく不安定になり、通常
よりも高い電圧・電流が発生するので、第８図に示すよ
うに、第２．第３のアーキングｔｌ＆が生じ、可制御′
電源ｉｌ＋の出力電ｉ （工０）が著しく増大して、可
制御覗源＋Ｉｌの連断回路か動作し、溶妾汀停止する。
第９図け、アーキング（Ｉ８１発生時の溶成ピード形状
を示したものである。アーキングａＳ＋が発生すると、
電源が停止しない場合でも、ビーム加速電圧（ＶＡ ）
やビーム電流（工○）が大傘〈変Ｉ肋するので、ビード
幅や溶は込み深さが大＊＜変動する。特に、アーキング
ａ＆により電源が突然停止すると、宕妾中に電子ビーム
により形成さねる細孔を埋める溶融金属が供給さ力ず、
深いクレータが生じる。このクレータの補修は極めて面
倒である。捷だ、アーキングに対する制御系の不安定性
を改善するため、帰還信号（Ｉ９）に対するローパス・
フィルタ■の周波ａｋ低くして制御系の応答？十分ｌこ
遅くし電源のき析を遅らせる方法も考えらねるが、この
場合は、正常時のビーム加速電圧（ＶＡ）やビーム電流
（ＩＣ）の制御性？著しくそこなう。
を示したものである。アーキングａＳ＋が発生すると、
電源が停止しない場合でも、ビーム加速電圧（ＶＡ ）
やビーム電流（工○）が大傘〈変Ｉ肋するので、ビード
幅や溶は込み深さが大＊＜変動する。特に、アーキング
ａ＆により電源が突然停止すると、宕妾中に電子ビーム
により形成さねる細孔を埋める溶融金属が供給さ力ず、
深いクレータが生じる。このクレータの補修は極めて面
倒である。捷だ、アーキングに対する制御系の不安定性
を改善するため、帰還信号（Ｉ９）に対するローパス・
フィルタ■の周波ａｋ低くして制御系の応答？十分ｌこ
遅くし電源のき析を遅らせる方法も考えらねるが、この
場合は、正常時のビーム加速電圧（ＶＡ）やビーム電流
（ＩＣ）の制御性？著しくそこなう。
また、電子ビーム（８］の僅裕を磁界に工すわん凹させ
、１【６）と陽極（７１の間への金属蒸気の流入を減少
させる方式が艮〈収らねるが、アーキングの発生６ポ率
を減少させゐことげできても、皆無にすることば不可能
であるといった問題点があった。
、１【６）と陽極（７１の間への金属蒸気の流入を減少
させる方式が艮〈収らねるが、アーキングの発生６ポ率
を減少させゐことげできても、皆無にすることば不可能
であるといった問題点があった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになさｈｔもので、アーキングか発生してもビーム加
速電圧、ビーム電流か増大して電源の停止か（こらず、
ビーム被照射物に欠陥がおこらないような制御を行なう
装置？提供することを目的としたものである。
めになさｈｔもので、アーキングか発生してもビーム加
速電圧、ビーム電流か増大して電源の停止か（こらず、
ビーム被照射物に欠陥がおこらないような制御を行なう
装置？提供することを目的としたものである。
口問題点を解決するための手段〕
この発明に係る荷電ビーム装置の制御方式はアーキング
が発生すると、ビーム加速電圧の帰還制御系に入力する
帰ｌＩｔ店号がアーキング前の帰還１言号に応じた所定
の値に一旦固定さね、その後に固定を解除して帰還制＃
全ｇ続することを特徴とするものである。また、この発
明の別の発明によねば、アーキングが発生した時のビー
ム加ｆＡｉＫ圧のみなちず、電源電流も帰還制御系に入
力して帰還信号がアーキング前の帰還信号に応じた所゛
ボの頭に一旦固定さハ、その後に固定を解除して帰還制
御を継続することを特徴としたものである。
が発生すると、ビーム加速電圧の帰還制御系に入力する
帰ｌＩｔ店号がアーキング前の帰還１言号に応じた所定
の値に一旦固定さね、その後に固定を解除して帰還制＃
全ｇ続することを特徴とするものである。また、この発
明の別の発明によねば、アーキングが発生した時のビー
ム加ｆＡｉＫ圧のみなちず、電源電流も帰還制御系に入
力して帰還信号がアーキング前の帰還信号に応じた所゛
ボの頭に一旦固定さハ、その後に固定を解除して帰還制
御を継続することを特徴としたものである。
この発明の史に別の発明に、Ｊ：台ば、帰還制御系の制
御げ上記のま＼で史にアーキングか発生したら加速電圧
の印加を一旦停止し帰還信号の固定を解除して帰還制御
を継続する前に加速電圧の印７１０全再開する制御方式
全採用したことを特徴としたものである。
御げ上記のま＼で史にアーキングか発生したら加速電圧
の印加を一旦停止し帰還信号の固定を解除して帰還制御
を継続する前に加速電圧の印７１０全再開する制御方式
全採用したことを特徴としたものである。
この発明においてけ、ビーム加速電圧や電源電流の帰還
信号をアーキングの発生を検出すると直ちにサンプルホ
ールドし、ビームｊＪＯ速電圧や或源？Ｕ流が復帰する
数１０ｍ日の間げオーブン制御にし、その後再び高速の
帰還制御（ｆ−継続して行なうことによりアーキングに
よるビーム加速電圧や鑞源電流のｙ使全最小限にとＹめ
可制御電源のしゃ断をなくしビームの被照射物に対する
欠陥と抑制する。
信号をアーキングの発生を検出すると直ちにサンプルホ
ールドし、ビームｊＪＯ速電圧や或源？Ｕ流が復帰する
数１０ｍ日の間げオーブン制御にし、その後再び高速の
帰還制御（ｆ−継続して行なうことによりアーキングに
よるビーム加速電圧や鑞源電流のｙ使全最小限にとＹめ
可制御電源のしゃ断をなくしビームの被照射物に対する
欠陥と抑制する。
また、この発明の池の発明において汀、アーキングが発
生してオープン制御に直ちに移行すると、インバータの
仙作周彼αか非常に商いためアーキングが再発するの金
防ぐためにオープン制御する時間よりも短時間の間ビー
ム加速電圧の印加倉停止し、よってビーム加速電圧のｆ
セフ を史に抑制できる。
生してオープン制御に直ちに移行すると、インバータの
仙作周彼αか非常に商いためアーキングが再発するの金
防ぐためにオープン制御する時間よりも短時間の間ビー
ム加速電圧の印加倉停止し、よってビーム加速電圧のｆ
セフ を史に抑制できる。
以下、この発明の一実殉列全図について説明する。第１
図は定電圧および定電流制御回路の構成であり、（１９
ａ）は電源電流（工Ｋ）からの帰還信号ａ、（１ｇｂ）
かビーム加速電圧（ＶＡ）からの帰還官号ｂ、＜ ２）
ａ ）は電流の帰還信号ａのローパス・フィルタ、（２
０ｂ）はビーム加速電圧（ＶＡ）の帰還信号すのローパ
ス・フィルタ、ｇＪはビーム加速電圧（Ｖａ）の帰還は
りｂ （１９ｂ）からアーキング（１８１発生全検出す
る回路、 Ｌ３１＋はアーキング［１８１発生と１同時
にアーキング（１８１発生を検出する回路山から出力さ
ハるトリガー・パルス、（至）はトリガー・パルス３１
）により動作する単安定マルチ・パイブレーク、（至）
ｉ単安定マルチ・パイブレータロのパルス幅設定器、（
３４ａ）は１ｊ１．源電ｉ（工Ｋ）の帰一を信号ａ （
１９ａ）のサンプリング・ホールド回路ａ、（３４））
）はビーム加速電圧（ｖＡ）の帰還信９ ｂ （１９ｂ
）のサンプリング・ホールド回路ｂ、（Ｍ）ｌ）ｉｄ単
単安定マルチバイブレークシら出力され、サンプリング
・ホールド回４ ａ （３４ａ） 、す／プリン回路−
ル１回路ｂ （３４ｂ）全ホールド状態にするホールド
信号である。（ＶＡｏ）ｉｊサンプリング・ホールド回
路ｂ （３４ｂ）の出力＠号、（工Ｋｏ）ｉサンプリン
グホールド回路ａ （３４ａ）の出力信号である。（２
１ａ）げ設定信号ａ、（２１１））は設定信号ｂ、（２
と）はサンプリング・ホールド回路ａ （３４）ｋ）の
出力信号と設定信号ａ （２１ａ）の比較器、（２２１
）） ｎサンプリング・ホールド回路ｂ （：！４ｂ）
の出力信号と設定言５＋ｂ（２１ｂ）の比較器、（２３
ａ） ｉｊ ｔ 源電流（工Ｋ）の制御信号、（２３１
））はビーム加速電圧（ＶＡ）の制御信号である。
図は定電圧および定電流制御回路の構成であり、（１９
ａ）は電源電流（工Ｋ）からの帰還信号ａ、（１ｇｂ）
かビーム加速電圧（ＶＡ）からの帰還官号ｂ、＜ ２）
ａ ）は電流の帰還信号ａのローパス・フィルタ、（２
０ｂ）はビーム加速電圧（ＶＡ）の帰還信号すのローパ
ス・フィルタ、ｇＪはビーム加速電圧（Ｖａ）の帰還は
りｂ （１９ｂ）からアーキング（１８１発生全検出す
る回路、 Ｌ３１＋はアーキング［１８１発生と１同時
にアーキング（１８１発生を検出する回路山から出力さ
ハるトリガー・パルス、（至）はトリガー・パルス３１
）により動作する単安定マルチ・パイブレーク、（至）
ｉ単安定マルチ・パイブレータロのパルス幅設定器、（
３４ａ）は１ｊ１．源電ｉ（工Ｋ）の帰一を信号ａ （
１９ａ）のサンプリング・ホールド回路ａ、（３４））
）はビーム加速電圧（ｖＡ）の帰還信９ ｂ （１９ｂ
）のサンプリング・ホールド回路ｂ、（Ｍ）ｌ）ｉｄ単
単安定マルチバイブレークシら出力され、サンプリング
・ホールド回４ ａ （３４ａ） 、す／プリン回路−
ル１回路ｂ （３４ｂ）全ホールド状態にするホールド
信号である。（ＶＡｏ）ｉｊサンプリング・ホールド回
路ｂ （３４ｂ）の出力＠号、（工Ｋｏ）ｉサンプリン
グホールド回路ａ （３４ａ）の出力信号である。（２
１ａ）げ設定信号ａ、（２１１））は設定信号ｂ、（２
と）はサンプリング・ホールド回路ａ （３４）ｋ）の
出力信号と設定信号ａ （２１ａ）の比較器、（２２１
）） ｎサンプリング・ホールド回路ｂ （：！４ｂ）
の出力信号と設定言５＋ｂ（２１ｂ）の比較器、（２３
ａ） ｉｊ ｔ 源電流（工Ｋ）の制御信号、（２３１
））はビーム加速電圧（ＶＡ）の制御信号である。
また、第２図はアーキングαｇが発生した場合の谷部の
電圧・電流波形を示したものである。
電圧・電流波形を示したものである。
斤お、この発明の一実＠列において、第１図は第５図の
ボ゛磁圧利ａ ＋９Ｊ ｉ俗（１４）及び定電流制御９
］路ルに相当する回路の与を示しであるか、第５図の０
４）Ｈａ外の部分は当然同様のもの？使用する。
ボ゛磁圧利ａ ＋９Ｊ ｉ俗（１４）及び定電流制御９
］路ルに相当する回路の与を示しであるか、第５図の０
４）Ｈａ外の部分は当然同様のもの？使用する。
次に動作について第１図乃至４４図にもとついて説明す
る。
る。
アーキングｔｉ＆が発生すると、ビームＩＪＯ速電圧（
ｖＡ）や題＃、電流（ＩＫ）が急激にｙ化する。促って
、例ｆ ｔｄ 、 コｙ ハｖ −夕や微分回路でアー
キングｔｌｌｌｉ１発生を検出する回路（至）？構成し
、ビーム加速電圧（ＶＡ ）の帰還１百号ｂ（１９ｂ）
ｉ人力すると、アーキングｔ＋Ｓ＋ 発生全知らせる
トリガー・パルスＣ３１）が発生スる。このトリガー・
パルスＣ３１）により単安定マルチ・パイブレータロげ
サンプリング・ホールド回路ａ 、 ｂ （３４ａ）、
（３４ｂ）のホールドＬ号（Ｖ［（）を発生し、（源
電流（ＵＫ）およびビーム加速電圧（Ｎ’Ａ）の帰還信
号ａ 、 ｂ （１９ａ）、 （１９ｂ）がボールドさ
ハる。
ｖＡ）や題＃、電流（ＩＫ）が急激にｙ化する。促って
、例ｆ ｔｄ 、 コｙ ハｖ −夕や微分回路でアー
キングｔｌｌｌｉ１発生を検出する回路（至）？構成し
、ビーム加速電圧（ＶＡ ）の帰還１百号ｂ（１９ｂ）
ｉ人力すると、アーキングｔ＋Ｓ＋ 発生全知らせる
トリガー・パルスＣ３１）が発生スる。このトリガー・
パルスＣ３１）により単安定マルチ・パイブレータロげ
サンプリング・ホールド回路ａ 、 ｂ （３４ａ）、
（３４ｂ）のホールドＬ号（Ｖ［（）を発生し、（源
電流（ＵＫ）およびビーム加速電圧（Ｎ’Ａ）の帰還信
号ａ 、 ｂ （１９ａ）、 （１９ｂ）がボールドさ
ハる。
アーキングｕ８１検出回路山は、アーキング（１８１発
生という非常に太きＶｈ帰還（信号（四ｂ）のｙ化を収
り扱うため、その４の作は多少のノイズには影響さｈず
、ローパス・フィルタ（２Ｄｂ）’を介する必要汀ない
。従って、ホールド百号（ｖＨ）け十分に速くサンプリ
ング・ホールド回路ａ 、 ｂ （３４ａ）、 （３４
ｂ）に人力するので、す／プリング・ホールド回路ａ
、 ｂ （３４ａ）、 （３４ｂ） ｎアーキング（１
８１発生時の値（ローパス・フィルタ（２０ａ）、 （
２０ｂ）があるので実質的ににアーキングα＆発生直前
の値）の電源電流（工Ｋ）およびビーム加速電圧（ＶＡ
）の帰還信号ａ 、 ｂ （１９ａ）、 （１９ｂ）
ｆホールドすることができる。つまり、アーキングａ
ａ＋が発生すると、アーキングＵ＋発生直前の正常な１
直の帰還１号ａ 、 ｂ （１９ａ）、 （ユ９ｂ）に
より制御を行ない、アーキング（１８１発生後のビーム
加速電圧（ＶＡ）および電源電流（工Ｋ）の急激ｆｘ変
化は無視するので、制−系は極めて安定に動作する。ビ
ーム加速電圧（Ｖａ）の定常状態への復帰時間げ平滑用
リアクトル（４）および平滑用キャパシタ＋５１で定貫
る時定数にＪ：り決筐り、数ｍｓである。便って、パル
ス幅設ｉ ４ Ｃ！３ｆｔ：調整して、ホールド時間を
２０ｍ ８程度に設定アれは良い。言Ｉ／′１換えると
、本発明のｉ’ｌｔｌ制御回洛汀、アーキングａ８１が
発生すると、【由常の帰還制御からアーキノグθ＆発生
直萌のデータによるオーブン制御に移行し、ビーム加速
電圧（ＶＡ ）およびルＴＪｊ１．電流（工ｘ）かはソ
正規の価に復帰した後、再び帰還制画全弗始する。オー
プン制別に一般的に偏差が大空いが、゛ｒ−キング１３
１発生的旧の帰還制御のデータに基つぐオーブン重り備
でちっ５ Ｌかも、オープン制＃Ｊ期間に、［ｌＯｍθ
以内と短時間であるため、非常に所産が媚〈、はとんど
帰還Ｉ１１鋼といっても民い程であるっ 第２図に谷毫圧・電流波形全治したものであり。
生という非常に太きＶｈ帰還（信号（四ｂ）のｙ化を収
り扱うため、その４の作は多少のノイズには影響さｈず
、ローパス・フィルタ（２Ｄｂ）’を介する必要汀ない
。従って、ホールド百号（ｖＨ）け十分に速くサンプリ
ング・ホールド回路ａ 、 ｂ （３４ａ）、 （３４
ｂ）に人力するので、す／プリング・ホールド回路ａ
、 ｂ （３４ａ）、 （３４ｂ） ｎアーキング（１
８１発生時の値（ローパス・フィルタ（２０ａ）、 （
２０ｂ）があるので実質的ににアーキングα＆発生直前
の値）の電源電流（工Ｋ）およびビーム加速電圧（ＶＡ
）の帰還信号ａ 、 ｂ （１９ａ）、 （１９ｂ）
ｆホールドすることができる。つまり、アーキングａ
ａ＋が発生すると、アーキングＵ＋発生直前の正常な１
直の帰還１号ａ 、 ｂ （１９ａ）、 （ユ９ｂ）に
より制御を行ない、アーキング（１８１発生後のビーム
加速電圧（ＶＡ）および電源電流（工Ｋ）の急激ｆｘ変
化は無視するので、制−系は極めて安定に動作する。ビ
ーム加速電圧（Ｖａ）の定常状態への復帰時間げ平滑用
リアクトル（４）および平滑用キャパシタ＋５１で定貫
る時定数にＪ：り決筐り、数ｍｓである。便って、パル
ス幅設ｉ ４ Ｃ！３ｆｔ：調整して、ホールド時間を
２０ｍ ８程度に設定アれは良い。言Ｉ／′１換えると
、本発明のｉ’ｌｔｌ制御回洛汀、アーキングａ８１が
発生すると、【由常の帰還制御からアーキノグθ＆発生
直萌のデータによるオーブン制御に移行し、ビーム加速
電圧（ＶＡ ）およびルＴＪｊ１．電流（工ｘ）かはソ
正規の価に復帰した後、再び帰還制画全弗始する。オー
プン制別に一般的に偏差が大空いが、゛ｒ−キング１３
１発生的旧の帰還制御のデータに基つぐオーブン重り備
でちっ５ Ｌかも、オープン制＃Ｊ期間に、［ｌＯｍθ
以内と短時間であるため、非常に所産が媚〈、はとんど
帰還Ｉ１１鋼といっても民い程であるっ 第２図に谷毫圧・電流波形全治したものであり。
アーキング（１８１が発生するとサンプリング・ホール
ド１９Ｊｆｆ３ ａ 、 ｂ（３４ａ）、 （３４ｂ）
が動作するタメ、側倒同名に人力するビーム加速成圧信
号（■Ａｏ）、＋攬源車戎信’）（ＩＫｏ）げほとんと
変化せず、Ｌ際のビーム加速電圧（■＾）、′電源電流
（工Ｋ）も非常に滑らかに復帰する。わずかに、帰還制
御を再開した時に、万一プ／制御中に生した誤差を補正
するため、多少の反動か生しる程度である。促って、再
開御電４ ｆ＋１の出力回流（工ｏ）もほとんど変化せ
ず、町制？ａ亀源１１１が遮断することけない。
ド１９Ｊｆｆ３ ａ 、 ｂ（３４ａ）、 （３４ｂ）
が動作するタメ、側倒同名に人力するビーム加速成圧信
号（■Ａｏ）、＋攬源車戎信’）（ＩＫｏ）げほとんと
変化せず、Ｌ際のビーム加速電圧（■＾）、′電源電流
（工Ｋ）も非常に滑らかに復帰する。わずかに、帰還制
御を再開した時に、万一プ／制御中に生した誤差を補正
するため、多少の反動か生しる程度である。促って、再
開御電４ ｆ＋１の出力回流（工ｏ）もほとんど変化せ
ず、町制？ａ亀源１１１が遮断することけない。
また、ビーム加速電圧（ＶＡ）及びビームｔ［ｆｉ（Ｉ
Ｃ）が約ｉｏｍｓ中断するが、ａｋＷ級と１ｏｏｋＷ級
の代表的７醪ｉ速度全そ六ぞれ１ｍ／ｍｉｎ、 ０．３
ｍ／ｍｉｎとすると、ビーム加速電圧（ｖＡ）及びビー
ム電流（工Ｃ）の中断する間の溶吸移動長さげ−ｆ：ね
ぞね１７０μｍ。
Ｃ）が約ｉｏｍｓ中断するが、ａｋＷ級と１ｏｏｋＷ級
の代表的７醪ｉ速度全そ六ぞれ１ｍ／ｍｉｎ、 ０．３
ｍ／ｍｉｎとすると、ビーム加速電圧（ｖＡ）及びビー
ム電流（工Ｃ）の中断する間の溶吸移動長さげ−ｆ：ね
ぞね１７０μｍ。
６０）ｔｒｎであり、その痕′ｇＦぽ表面ビードにわず
かに認めらねるものの、溶層欠陥には至らない。
かに認めらねるものの、溶層欠陥には至らない。
以上の説明では、ビーム加速電圧（ＶＡ）の帰還１百号
ｂ（ｘｇｂ）のサンプリング・ホールド回１１％ ’Ｏ
（３４ｂ）のみならず電源電流（工ｘ）の帰還エサａ
（１λ）のサンプリング・ホールド回路ａ （３４ａ）
ｆ使用して制御系全構成していたか、ビーム加速電圧
（ＶＡ、）の帰Ｒ＠号ｂ （１９ｂ）のサンプル・ホー
ルド回路ｂ（３４）））だけで制御系を構成してもはソ
この発明の目的全達成し得る。
ｂ（ｘｇｂ）のサンプリング・ホールド回１１％ ’Ｏ
（３４ｂ）のみならず電源電流（工ｘ）の帰還エサａ
（１λ）のサンプリング・ホールド回路ａ （３４ａ）
ｆ使用して制御系全構成していたか、ビーム加速電圧
（ＶＡ、）の帰Ｒ＠号ｂ （１９ｂ）のサンプル・ホー
ルド回路ｂ（３４）））だけで制御系を構成してもはソ
この発明の目的全達成し得る。
また、帰還ｍ ＋’ｊ ａ 、 ｂ （１９ａ）、 （
１９ｂ）のＩｎｉは必ずしもアーキングαｌＩの値と同
等である必要はｔく、ホールド言８（Ｖｕ）が遅れてア
ーキングｔ１８１面−前の値よりある程度低下した値で
もはソ［同等の効果が痔らｈる。
１９ｂ）のＩｎｉは必ずしもアーキングαｌＩの値と同
等である必要はｔく、ホールド言８（Ｖｕ）が遅れてア
ーキングｔ１８１面−前の値よりある程度低下した値で
もはソ［同等の効果が痔らｈる。
ｆ：お、上記実施例で汀、町制−区源１）；、例えばイ
ンバータの電源は、アーキング（１８１が生じても連続
して・動作させたが、第３図に示すように、瞬間的に停
止させる構成にしてもよい。こｔ′Ｌ汀、インバータの
幼年周波数が非常に尚く、直ちにビーム加速電圧（ＶＡ
）金便帰させると（例えば１００μｓ〜１ｍｓ程ｆ集）
アーキング１．ｌ８１ｒ再発する可能性がある場合に胃
効である。第３図において、アーキング＋＋８１発生金
知ちせるトリガー・パルス（３１１’ｉ別の単安定マル
チ・パイブレーク（３２０）に入力すると、インバータ
を瞬間停止させるパルス（Ｖｓ）が発生する。
ンバータの電源は、アーキング（１８１が生じても連続
して・動作させたが、第３図に示すように、瞬間的に停
止させる構成にしてもよい。こｔ′Ｌ汀、インバータの
幼年周波数が非常に尚く、直ちにビーム加速電圧（ＶＡ
）金便帰させると（例えば１００μｓ〜１ｍｓ程ｆ集）
アーキング１．ｌ８１ｒ再発する可能性がある場合に胃
効である。第３図において、アーキング＋＋８１発生金
知ちせるトリガー・パルス（３１１’ｉ別の単安定マル
チ・パイブレーク（３２０）に入力すると、インバータ
を瞬間停止させるパルス（Ｖｓ）が発生する。
この時間は数ｍ日が適当であり、パルス幅設定器（３３
ｃ ）で設定する。ビーム加速電圧（ＶＡ ）を定電圧
制＠するためのＰより （比夕１］・積分・微分）回路
（至）およびｐｗＭ（パルス幅４）回路稗の出力は、ゲ
ート…ｊ路面でインバータ瞬間停止用パルス（Ｖｓ ）
により瞬間的に遮断されるので、第４図の波形に示すよ
うに、ビームＪＪＯ速電圧（ＶＡ ）の供給電適切な時
間停止することかできる。
ｃ ）で設定する。ビーム加速電圧（ＶＡ ）を定電圧
制＠するためのＰより （比夕１］・積分・微分）回路
（至）およびｐｗＭ（パルス幅４）回路稗の出力は、ゲ
ート…ｊ路面でインバータ瞬間停止用パルス（Ｖｓ ）
により瞬間的に遮断されるので、第４図の波形に示すよ
うに、ビームＪＪＯ速電圧（ＶＡ ）の供給電適切な時
間停止することかできる。
１７’（、上記実施例で汀、ローパス・フィルタωによ
る帰還浦号（１９）の時間的な遅りを利用して、アーキ
ング０８１発生直前の帰還濾号θ９）のデータ？サング
リノグ・ホールドしたが、ディジタル式波形記憶装置の
ブリ・トリガー機能、つまり、帰還信号（１９１１ｒ：
常にメモリ（ＲＡＭ）に操返し４さ込みさねて２す、
トリガー・パルスＣ１１ｌか入力すハば、アーキングｕ
８１直剪のデータか読み出せる機能？利用してもよい。
る帰還浦号（１９）の時間的な遅りを利用して、アーキ
ング０８１発生直前の帰還濾号θ９）のデータ？サング
リノグ・ホールドしたが、ディジタル式波形記憶装置の
ブリ・トリガー機能、つまり、帰還信号（１９１１ｒ：
常にメモリ（ＲＡＭ）に操返し４さ込みさねて２す、
トリガー・パルスＣ１１ｌか入力すハば、アーキングｕ
８１直剪のデータか読み出せる機能？利用してもよい。
さらＫ、上記実施例では、本発明の例として′亀子ビー
ム溶成磯の制御方式について説明したが、高電圧を使用
している他の荷電ビーム装置、例えばイオン打込みｇ置
等の制御方式においても上二θ実施例と１司様の効果を
擬し、負荷短絡の破照射吻に対する悪影響全最小限に留
めることか可能である。
ム溶成磯の制御方式について説明したが、高電圧を使用
している他の荷電ビーム装置、例えばイオン打込みｇ置
等の制御方式においても上二θ実施例と１司様の効果を
擬し、負荷短絡の破照射吻に対する悪影響全最小限に留
めることか可能である。
この発生ば以上のように、荷電ビーム装置の１ｆｌＪ倒
方式において、アーキング発生を検出すると、直ちにア
ーキング発生前の帰還信号に応じた所ボので）６に一旦
ビーム加速電圧や電源電流の帰還信号全サンプル・ホー
ルドし、ビーム加速電圧や電源石流の復帰する数１０ｍ
日の聞はオープン制御にし、その後、再び尚速の帰還制
御を継続して行なうことに゛より、アーキングか発生し
ても制御系を安定に１１の作させる構成にしたので、可
制御電源が極めて短時間内に自助復帰し、ビームの被照
射物に欠陥を生じ勾ことがｆｘ＋／′１という効果かあ
る。
方式において、アーキング発生を検出すると、直ちにア
ーキング発生前の帰還信号に応じた所ボので）６に一旦
ビーム加速電圧や電源電流の帰還信号全サンプル・ホー
ルドし、ビーム加速電圧や電源石流の復帰する数１０ｍ
日の聞はオープン制御にし、その後、再び尚速の帰還制
御を継続して行なうことに゛より、アーキングか発生し
ても制御系を安定に１１の作させる構成にしたので、可
制御電源が極めて短時間内に自助復帰し、ビームの被照
射物に欠陥を生じ勾ことがｆｘ＋／′１という効果かあ
る。
舅１図けこの＠中の一実施りリ？示すビーム加速比圧お
よび′亀源軍流の制−回路の構成図、第２図に負荷短絡
か発生した場合、この発明の第１図の実姉例による各部
のル圧、電流波形、第３図けこの発明の他の実姉例によ
るビーム加速電圧および電源電流の１制御回路の構成図
、第４図は負荷短絡が帛生した場合、この発明の第３図
の実姉例による各部の電圧、電流波形図、第５図１−ｊ
従来の電子ビーム溶啜機の構成を示した原理図、第６図
は従来のビーム７ＪＯ速電圧およびル＃、電流の制御回
路の構成図、デフ図および第８凶げ負荷短絡か発生した
場合の促米の機器の谷部の電圧、電流波形図、第９図は
負荷短絡発生ＶＣｊる従来の機器のビードの欠陥の状態
を示す図である。 図において、ｆｉｌは可制御−電源、１ｌｌｌけ回層り
御バイアス電源、ｕ８１１−ｊ負荷短絡、ｇ９＋ ｎ
ｍ還ｍｅ、（ＶＡ）ｉｄビーム加速電圧、（工Ｋ）は電
源゛電流である。 なお、各図中、１０Ｊ−符号に同−又汀相当部分全治す
。
よび′亀源軍流の制−回路の構成図、第２図に負荷短絡
か発生した場合、この発明の第１図の実姉例による各部
のル圧、電流波形、第３図けこの発明の他の実姉例によ
るビーム加速電圧および電源電流の１制御回路の構成図
、第４図は負荷短絡が帛生した場合、この発明の第３図
の実姉例による各部の電圧、電流波形図、第５図１−ｊ
従来の電子ビーム溶啜機の構成を示した原理図、第６図
は従来のビーム７ＪＯ速電圧およびル＃、電流の制御回
路の構成図、デフ図および第８凶げ負荷短絡か発生した
場合の促米の機器の谷部の電圧、電流波形図、第９図は
負荷短絡発生ＶＣｊる従来の機器のビードの欠陥の状態
を示す図である。 図において、ｆｉｌは可制御−電源、１ｌｌｌけ回層り
御バイアス電源、ｕ８１１−ｊ負荷短絡、ｇ９＋ ｎ
ｍ還ｍｅ、（ＶＡ）ｉｄビーム加速電圧、（工Ｋ）は電
源゛電流である。 なお、各図中、１０Ｊ−符号に同−又汀相当部分全治す
。
Claims (4)
- （１）ビーム発生部への給電を行なう可制御電源をビー
ム加速電圧に応じて帰還制御する荷電ビーム装置の制御
方式において、放電による負荷短絡時に、帰還制御系の
帰還信号を、上記負荷短絡前の上記帰還信号に応じた所
定の値に一旦固定した後に上記固定を解除して、上記帰
還制御を継続することを特徴とする荷電ビーム装置の制
御方式。 - （２）ビーム発生部への給電を行なう可制御電源をビー
ム加速電圧に応じて帰還制御する荷電ビーム装置の制御
方式において、放電による負荷短絡時に、帰還制御系の
帰還信号を、上記負荷短絡前の上記帰還信号に応じた所
定の値に一旦固定した後に上記固定を解除して、上記帰
還制御を継続し、一方、上記負荷短絡時には上記ビーム
加速電圧の印加を一旦停止し上記帰還制御を継続する前
に上記ビーム加速電圧の印加を再開することを特徴とす
る荷電ビーム装置の制御方式。 - （３）ビーム発生部への給電を行なう可制御電源をビー
ム加速電圧に応じて帰還制御すると共に上記ビーム発生
部の可制御バイアス電源を上記可制御電源の給電回路に
流れる電源電流により帰還制御する荷電ビーム装置の制
御方式において、放電による負荷短絡時に、上記可制御
電源の帰還制御系及び上記可制御バイアス電源の帰還制
御系の何れについても各々制御系の帰還信号を上記負荷
短絡前の上記帰還信号に応じた所定の値に一旦固定した
後に上記固定を解除して、上記帰還制御を継続すること
を特徴とする荷電ビーム装置の制御方式。 - （４）ビーム発生部への給電を行なう可制御電源をビー
ム加速電圧に応じて帰還制御すると共に上記ビーム発生
部の可制御バイアス電源を上記可制御電源の給電回路に
流れる電源電流により帰還制御する荷電ビーム装置の制
御方式において、放電による負荷短絡時に上記可制御電
源の帰還制御系及び上記可制御バイアス電源の帰還制御
系の何れについても各々の制御系の帰還信号を上記負荷
短絡前の上記帰還信号に応じた所定の値に一旦固定した
後に上記固定を解除して、上記帰還制御を継続し、一方
上記負荷短絡時には上記ビーム加速電圧の印加を一旦停
止し上記帰還制御を継続する前に上記ビーム加速電圧の
印加を再開することを特徴とする荷電ビーム装置の制御
方式。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59198122A JPS6174250A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | 荷電ビーム装置の制御方法 |
| KR1019850005737A KR890005194B1 (ko) | 1984-09-19 | 1985-08-08 | 하전비임장치의 제어방식 |
| US06/774,735 US4684782A (en) | 1984-09-19 | 1985-09-11 | Control system for a charged particle beam apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59198122A JPS6174250A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | 荷電ビーム装置の制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6174250A true JPS6174250A (ja) | 1986-04-16 |
| JPH0453069B2 JPH0453069B2 (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=16385817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59198122A Granted JPS6174250A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | 荷電ビーム装置の制御方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4684782A (ja) |
| JP (1) | JPS6174250A (ja) |
| KR (1) | KR890005194B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5185559A (en) * | 1986-05-20 | 1993-02-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Supply circuit for P-N junction cathode |
| US5401973A (en) * | 1992-12-04 | 1995-03-28 | Atomic Energy Of Canada Limited | Industrial material processing electron linear accelerator |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3826889A (en) * | 1970-10-12 | 1974-07-30 | I Brukovsky | System for automatic control of electron beam heating device |
| JPS4926897A (ja) * | 1972-07-05 | 1974-03-09 | ||
| US3838313A (en) * | 1973-05-21 | 1974-09-24 | United Aircraft Corp | Beam current regulator for electron beam machines |
| US4238660A (en) * | 1978-05-24 | 1980-12-09 | Colt Industries Operating Corp. | Multi-lead servo feed system for electrical discharge machining apparatus |
| JPS5536748A (en) * | 1978-09-08 | 1980-03-14 | Hitachi Ltd | Voltage comparing circuit |
-
1984
- 1984-09-19 JP JP59198122A patent/JPS6174250A/ja active Granted
-
1985
- 1985-08-08 KR KR1019850005737A patent/KR890005194B1/ko not_active Expired
- 1985-09-11 US US06/774,735 patent/US4684782A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0453069B2 (ja) | 1992-08-25 |
| KR860002749A (ko) | 1986-04-28 |
| US4684782A (en) | 1987-08-04 |
| KR890005194B1 (ko) | 1989-12-16 |
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