JPS61754A - 積層高分子圧電型超音波探触子 - Google Patents
積層高分子圧電型超音波探触子Info
- Publication number
- JPS61754A JPS61754A JP59122281A JP12228184A JPS61754A JP S61754 A JPS61754 A JP S61754A JP 59122281 A JP59122281 A JP 59122281A JP 12228184 A JP12228184 A JP 12228184A JP S61754 A JPS61754 A JP S61754A
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- electrode
- piezo
- laminated
- ultrasonic probe
- groove
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
- G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0688—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF
- B06B1/0692—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF with a continuous electrode on one side and a plurality of electrodes on the other side
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、高分子圧電体を複数回折り重ねて積層してな
る積層高分子圧電型超音波探触子の改良に関する。
る積層高分子圧電型超音波探触子の改良に関する。
従来よりリニア電子走査方式に使用されるリニア・アレ
イ型超音波探触子は、チタン酸鉛、チタン・ジルコン酸
鉛等のセラミック圧電体を短冊状に切断したアレイ型が
用いられている。しかしながら、かかるセラミック圧電
体は堅く、脆い性質を有し、切断分割に際して欠損や割
れが発生し易く、シかも多くの短冊状ｉｔｔを精密に形
成するには困難を伴い、コス１への面からも多くの問題
があった。
イ型超音波探触子は、チタン酸鉛、チタン・ジルコン酸
鉛等のセラミック圧電体を短冊状に切断したアレイ型が
用いられている。しかしながら、かかるセラミック圧電
体は堅く、脆い性質を有し、切断分割に際して欠損や割
れが発生し易く、シかも多くの短冊状ｉｔｔを精密に形
成するには困難を伴い、コス１への面からも多くの問題
があった。
これに対して、ポリフッ化ビニリデン（以下、ＰＶＦ２
ど略す）、ポリフッ化ビニリデン−三フフ化エチレン共
重合体（以下、ＰＶＦ２ ・ＴｒＦＥと略す）等の含フ
ッ素系高分子或いは他の有機性合成高分子は、高湿、高
電界下で分極処理することにより、圧電性、焦電性を示
すことが知られている。また、前記高分子圧電体の厚み
振動を１用した超音波探触子の開発が近年、盛んに行わ
れ１でいる。こうした高分子圧電体は、固有音響インピ
ーダンスが生体のそれと近く、かつ弾性率が小さいこと
から、高分子圧電体をリニア・アレイ型超音波探触子へ
応用する場合は、セラミック圧電体の例と異なり、必ず
しも高分子圧電体自体を短冊状に切断、分離する必要が
ないと言われている。
ど略す）、ポリフッ化ビニリデン−三フフ化エチレン共
重合体（以下、ＰＶＦ２ ・ＴｒＦＥと略す）等の含フ
ッ素系高分子或いは他の有機性合成高分子は、高湿、高
電界下で分極処理することにより、圧電性、焦電性を示
すことが知られている。また、前記高分子圧電体の厚み
振動を１用した超音波探触子の開発が近年、盛んに行わ
れ１でいる。こうした高分子圧電体は、固有音響インピ
ーダンスが生体のそれと近く、かつ弾性率が小さいこと
から、高分子圧電体をリニア・アレイ型超音波探触子へ
応用する場合は、セラミック圧電体の例と異なり、必ず
しも高分子圧電体自体を短冊状に切断、分離する必要が
ないと言われている。
しかしながら、高分子圧電体の誘電率は一般に１０オ一
ダ程度とセラミック圧電体に比較して著しく小さく、し
かもリニア・アレイ型超音波探触子の駆動素子面積が小
さいために、電気インピーダンスが著しく高くなり、通
常、５０Ω系の電源（発・受信回路）との電気的な整合
性が悪く、超音波探触子の損失低下が著しくなる。
ダ程度とセラミック圧電体に比較して著しく小さく、し
かもリニア・アレイ型超音波探触子の駆動素子面積が小
さいために、電気インピーダンスが著しく高くなり、通
常、５０Ω系の電源（発・受信回路）との電気的な整合
性が悪く、超音波探触子の損失低下が著しくなる。
このようなことから、高分子圧電体を適宜複数枚積層し
、実質的に膜厚が厚いものと同等にし、かつ電気インピ
ーダンスの低下を図ることが提案されている。その−例
として、第４図に示すように両面に短冊状電極１と共通
電極２とが形成された高分子圧電体３複数枚を用意し、
これら圧電体３を同一電極が互いに対向するようにｆａ
層し、対向する同一電極（例えば一層目と二層目とは短
冊状電極１が互いにする）を半田もしくは導電性接着剤
４を介して接続することにより、電気インピーダンスを
低下させた積層高分子圧電型超音波探触子が知られてい
る。例えば、単層で共振周波数ｆを有する膜厚の電気イ
ンピータンスをＺｏ とすると、第４図図示の積層構造
では、 Ｚ＝Ｚｏ ／ｎ２ （但し、ｎ １．を積層数）
で表わされ、二層積層では１／４、三層積層では１／９
の電気インピーダンスどなり、電源との電気的整合が改
善される。しかしながら、第４図に示１１＊造では、高
分子圧電体３の電極１．２部分からリードＩｉ＋５ａ、
５ｂを取出し結線する場合、実用上大きな困難を伴う。
、実質的に膜厚が厚いものと同等にし、かつ電気インピ
ーダンスの低下を図ることが提案されている。その−例
として、第４図に示すように両面に短冊状電極１と共通
電極２とが形成された高分子圧電体３複数枚を用意し、
これら圧電体３を同一電極が互いに対向するようにｆａ
層し、対向する同一電極（例えば一層目と二層目とは短
冊状電極１が互いにする）を半田もしくは導電性接着剤
４を介して接続することにより、電気インピーダンスを
低下させた積層高分子圧電型超音波探触子が知られてい
る。例えば、単層で共振周波数ｆを有する膜厚の電気イ
ンピータンスをＺｏ とすると、第４図図示の積層構造
では、 Ｚ＝Ｚｏ ／ｎ２ （但し、ｎ １．を積層数）
で表わされ、二層積層では１／４、三層積層では１／９
の電気インピーダンスどなり、電源との電気的整合が改
善される。しかしながら、第４図に示１１＊造では、高
分子圧電体３の電極１．２部分からリードＩｉ＋５ａ、
５ｂを取出し結線する場合、実用上大きな困難を伴う。
そこで、第５図に示すように、一枚の連続した高分子圧
電体３−を適宜折り重ね、所望厚さの積層体とし、電気
インピーダンスの低下とリード線取出しを容易にした超
音波探触子が提案されている。かかる超音波探触子は簡
便で、実用上において大きな効果が期待てきるが、次の
ような問題を有する。
電体３−を適宜折り重ね、所望厚さの積層体とし、電気
インピーダンスの低下とリード線取出しを容易にした超
音波探触子が提案されている。かかる超音波探触子は簡
便で、実用上において大きな効果が期待てきるが、次の
ような問題を有する。
即ち、一枚の連続した高分子圧電体３′を折り重ねる際
に、短冊状電極１を互いに正確に合せることが難しく、
その電極１が上下にずれを生じる。
に、短冊状電極１を互いに正確に合せることが難しく、
その電極１が上下にずれを生じる。
このようなずれを生じると、駆動素子の電気インピータ
ンスの差異が生じたり、駆動素子間の短絡が発生したり
する。この問題は、高分子圧電体３−の折り重ね数（積
層数）の増加に伴って顕著となる。
ンスの差異が生じたり、駆動素子間の短絡が発生したり
する。この問題は、高分子圧電体３−の折り重ね数（積
層数）の増加に伴って顕著となる。
本発明は高分子圧電体を折り重ね易くでき、しかも高分
子圧電体の折り重ねに際して、その両面に形成した電極
形状パターンの合せを容易にかつ正確に行なうことが可
能な積層高分子圧電型超音波探触子を提供しようとする
ものである。
子圧電体の折り重ねに際して、その両面に形成した電極
形状パターンの合せを容易にかつ正確に行なうことが可
能な積層高分子圧電型超音波探触子を提供しようとする
ものである。
〔発明の概要］
本発明は、両面に電極が形成された高分子圧電体を折り
重ねて少なくとも２層以上にＷ４層してなる積層高分子
圧電型超音波探触子において、前記高分子圧電体折り目
に沿うの一方の面に溝部を設けたことを特徴とするもの
である。かかる本発明によれば、既述の如く、高分子圧
電体を折り重ね易くでき、しかも高分子圧電体の折り重
ねに際して、その両面に形成した電極形状パターンの台
Ｕを容易にかつ正確に行なうことが可能な積層高分子圧
電型超音波探触子を得ることができる。
重ねて少なくとも２層以上にＷ４層してなる積層高分子
圧電型超音波探触子において、前記高分子圧電体折り目
に沿うの一方の面に溝部を設けたことを特徴とするもの
である。かかる本発明によれば、既述の如く、高分子圧
電体を折り重ね易くでき、しかも高分子圧電体の折り重
ねに際して、その両面に形成した電極形状パターンの台
Ｕを容易にかつ正確に行なうことが可能な積層高分子圧
電型超音波探触子を得ることができる。
以下、本発明の実施例を第１図及び第２図を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
図中の１１は、例えばアクリル樹脂からなる支持体であ
り、該支持体１１上には例えば厚さ２゜０μｍの音響反
射板と共通電極の電極部とを兼ねる銅板１２が固定され
ている。この銅板１２上には、１回折り重ねた積層圧電
体１３が配設されている。この積層圧電体ユはＰＶＦ２
圧電体１４を備えている。この圧電体１４の一方の面に
は、銀製の短冊状電極１５が、他方の面には銀製の共通
電極１６が、夫々形成されている。前記ＰＶＦ２圧電体
１４の共通１ｆｆ１１６側には、前記短冊状電極１５の
長さ方向と直交するようにＶ字型溝部１７が設けられて
いる。そして、前記圧電体１４はそのＶ字型溝部１７に
治って該溝部１７が外側になると共に、短冊状Ｎ極１５
が互いに対向するように１回折り重ねて積層することに
より前記積層圧電体１３が構成されている。なお、かが
る積層圧電体ＬＬを前記銅板１２上に載置することによ
り該積層圧電体１３の共通電極１６が該銅板１２に接触
するようになる。また、前記溝部１７には、例えば導電
性ペースト１８が被覆され、Ｖ字型溝部１７の形成によ
り分離された共通電極１６間を相互に接続している。
り、該支持体１１上には例えば厚さ２゜０μｍの音響反
射板と共通電極の電極部とを兼ねる銅板１２が固定され
ている。この銅板１２上には、１回折り重ねた積層圧電
体１３が配設されている。この積層圧電体ユはＰＶＦ２
圧電体１４を備えている。この圧電体１４の一方の面に
は、銀製の短冊状電極１５が、他方の面には銀製の共通
電極１６が、夫々形成されている。前記ＰＶＦ２圧電体
１４の共通１ｆｆ１１６側には、前記短冊状電極１５の
長さ方向と直交するようにＶ字型溝部１７が設けられて
いる。そして、前記圧電体１４はそのＶ字型溝部１７に
治って該溝部１７が外側になると共に、短冊状Ｎ極１５
が互いに対向するように１回折り重ねて積層することに
より前記積層圧電体１３が構成されている。なお、かが
る積層圧電体ＬＬを前記銅板１２上に載置することによ
り該積層圧電体１３の共通電極１６が該銅板１２に接触
するようになる。また、前記溝部１７には、例えば導電
性ペースト１８が被覆され、Ｖ字型溝部１７の形成によ
り分離された共通電極１６間を相互に接続している。
前記積層圧電体ユは次のような方法により製作される。
まず、厚さ５０μｍの一軸延伸したＰＶＦ２フィルムの
両面に例えば真空蒸着法により厚さ１μｍ程度の銀層を
蒸着し、１００℃の温度、６ｋＶの電界下にて１時間分
極を行なった後、室温まで冷却してＰＶＦ２圧電体１４
を作製する。
両面に例えば真空蒸着法により厚さ１μｍ程度の銀層を
蒸着し、１００℃の温度、６ｋＶの電界下にて１時間分
極を行なった後、室温まで冷却してＰＶＦ２圧電体１４
を作製する。
このＰＶＦ２圧電体１４の一方の面の銀層を第２図に示
すようにその一軸延伸方向と平行となるようにバターニ
ングして短冊状電極１５を形成する。
すようにその一軸延伸方向と平行となるようにバターニ
ングして短冊状電極１５を形成する。
これら短冊状電極１５は単位素子電極幅が０．９順、電
極長が３５＃、単位素子間隙が０．１ｍで、６４素子を
形成している。つづいて、前記短冊状電極１５と反対側
の面の銀層を必要に応じてパターニングして共通電極１
６とした後、この共通電極１６の折り重ね部分に相当す
る箇所に深さ約３０μｍ、幅約０．２ｒｔｒｍのＶ字型
溝部１７をカッタ等により形成する。次いで、前記ＰＶ
Ｆ２圧電体１４をその溝部１７に沿って１回折り重ねる
。この後、折り重ね部の外側に位置するＶ字型溝部１７
に導電性ペースト（藤倉化成社製商品名；Ｄ−７５０）
１８を塗布し、乾燥して、同第１図に示すように溝部１
７により分離した共通電極１６間を相互に接続して積層
圧電体１二を製作する。
極長が３５＃、単位素子間隙が０．１ｍで、６４素子を
形成している。つづいて、前記短冊状電極１５と反対側
の面の銀層を必要に応じてパターニングして共通電極１
６とした後、この共通電極１６の折り重ね部分に相当す
る箇所に深さ約３０μｍ、幅約０．２ｒｔｒｍのＶ字型
溝部１７をカッタ等により形成する。次いで、前記ＰＶ
Ｆ２圧電体１４をその溝部１７に沿って１回折り重ねる
。この後、折り重ね部の外側に位置するＶ字型溝部１７
に導電性ペースト（藤倉化成社製商品名；Ｄ−７５０）
１８を塗布し、乾燥して、同第１図に示すように溝部１
７により分離した共通電極１６間を相互に接続して積層
圧電体１二を製作する。
また、前記銅板１２にはリード線１９ａが、前配積層圧
電体二支の各短冊状電極１５には夫々リード線１９ｂが
接続されている。更に、前記積層圧電体１３を含む全体
には、例えば厚さ１２μｍのポリエステルフィルム２０
が被覆されていると共に、該フィルム２０内にエボテッ
ク社製商品名３０１−２のエポキシ樹脂層２１を注入、
充填して前記積層圧電体長をその圧電体１４を折り重ね
た状態で支持体１１に固定している。
電体二支の各短冊状電極１５には夫々リード線１９ｂが
接続されている。更に、前記積層圧電体１３を含む全体
には、例えば厚さ１２μｍのポリエステルフィルム２０
が被覆されていると共に、該フィルム２０内にエボテッ
ク社製商品名３０１−２のエポキシ樹脂層２１を注入、
充填して前記積層圧電体長をその圧電体１４を折り重ね
た状態で支持体１１に固定している。
しかして、本発明よれば折り重ねすべきＰＶＦ２圧電体
１４の片面側、例えば共通電極１６側にＶ字型溝部１７
を設けているため、該圧電体１４の折り重ね作業を容易
に行なうことができると共に、折り重ねにより対向する
短冊状電極１５を上下正確に位置合せできる。その結果
、短冊状電極１５の合せずれに伴う駆動素子の電気イン
ピーダンスの差異が生じたり、駆動素子間の短絡が発生
したりするのを防止でき、信頼性の高いリニア・アレイ
型超音波探触子を得ることができる。事実、本実施例の
リニア・アレイ型超音波探触子は単位素子間の電気イン
ピーダンスの差異が認められず、しかも該探触子の単位
素子部分の８素子と共通電極１６との間にパルス電圧を
印加したところ、５ＭＨｚという低い周波数で動作する
ことが確認された。
１４の片面側、例えば共通電極１６側にＶ字型溝部１７
を設けているため、該圧電体１４の折り重ね作業を容易
に行なうことができると共に、折り重ねにより対向する
短冊状電極１５を上下正確に位置合せできる。その結果
、短冊状電極１５の合せずれに伴う駆動素子の電気イン
ピーダンスの差異が生じたり、駆動素子間の短絡が発生
したりするのを防止でき、信頼性の高いリニア・アレイ
型超音波探触子を得ることができる。事実、本実施例の
リニア・アレイ型超音波探触子は単位素子間の電気イン
ピーダンスの差異が認められず、しかも該探触子の単位
素子部分の８素子と共通電極１６との間にパルス電圧を
印加したところ、５ＭＨｚという低い周波数で動作する
ことが確認された。
また、ＰＶＦ２圧電体１４を幾重にも折り重ねて電気イ
ンピーダンスの低いリニア・アレイ型超音波探触子を得
る場合にも、その折り重ね作業を極めて簡便に行なうこ
とができる。
ンピーダンスの低いリニア・アレイ型超音波探触子を得
る場合にも、その折り重ね作業を極めて簡便に行なうこ
とができる。
更に、圧電体１４にＶ字型溝部１７を設け、その溝部１
７に沿って圧電体１４を折り重ねることにより、折り重
ね部分が極端に膨出するのを抑制できる。その結果、該
超音波探触子を動作させた場合、短冊状電極１５の８素
子に隣接する非電圧印加部分の短冊状電極１５部分での
音響カップリングや電気的ス１〜ロークの影響を極めて
少なくできる。従って、性能の優れた探触子を得ること
ができる。
７に沿って圧電体１４を折り重ねることにより、折り重
ね部分が極端に膨出するのを抑制できる。その結果、該
超音波探触子を動作させた場合、短冊状電極１５の８素
子に隣接する非電圧印加部分の短冊状電極１５部分での
音響カップリングや電気的ス１〜ロークの影響を極めて
少なくできる。従って、性能の優れた探触子を得ること
ができる。
更に、圧電体１４の一方の面、例えば共通電極１６側に
溝部１７を設けることに伴って、該共通電極１６が電気
的に分離されるが、実施例の如くその溝部１７の箇所に
導電性ペースト１８を被覆することによって、該共通電
極の電気的な分離を解消できる。
溝部１７を設けることに伴って、該共通電極１６が電気
的に分離されるが、実施例の如くその溝部１７の箇所に
導電性ペースト１８を被覆することによって、該共通電
極の電気的な分離を解消できる。
なお、上記実施例ではＶ字型溝部により分離されたＰＶ
Ｆ２圧電体の片面の共通電極を導電性ペーストを該溝部
に塗布することにより、分離された共通電極を接続した
が、該ペーストによる接続に限定されない。例えば、第
３図（ａ）に示すように折り市ね後の溝部１７部分に蒸
着法やスパッタリング法により接続用金属膜２２を設け
た構造してもよい。一方、第５図（ｂ）に示すように超
音波探触子の構成上、圧電体１４の共通電極１６側に設
けられた溝部１７に沿ってその短冊状電極１５が外側に
配置するように折り重ねた場合には、圧電体１４の折り
重ね部の内側の前記溝部１７に導電性ペースト１８を挿
入して分離された共通電極を接続するようにすればよい
。また、かかる場合は、第３図（Ｃ）に示すように対向
する共通電極１６の間に金属薄膜等の導電性基板２３を
介在してもよい。
Ｆ２圧電体の片面の共通電極を導電性ペーストを該溝部
に塗布することにより、分離された共通電極を接続した
が、該ペーストによる接続に限定されない。例えば、第
３図（ａ）に示すように折り市ね後の溝部１７部分に蒸
着法やスパッタリング法により接続用金属膜２２を設け
た構造してもよい。一方、第５図（ｂ）に示すように超
音波探触子の構成上、圧電体１４の共通電極１６側に設
けられた溝部１７に沿ってその短冊状電極１５が外側に
配置するように折り重ねた場合には、圧電体１４の折り
重ね部の内側の前記溝部１７に導電性ペースト１８を挿
入して分離された共通電極を接続するようにすればよい
。また、かかる場合は、第３図（Ｃ）に示すように対向
する共通電極１６の間に金属薄膜等の導電性基板２３を
介在してもよい。
上記実施例では、高分子圧電体としてＰＶＦ２の圧電体
を使用したが、ＰＶＦ２ ・ＴｒＦＥなどの含フツ素系
合成高分子、或いは圧電性を示す他の有機高分子、又は
チタン酸鉛、チタン・ジルコン酸鉛などのセラミック圧
電体粉末を高分子樹脂に混入した、いわゆる複合圧電体
も同様に用いることができる。
を使用したが、ＰＶＦ２ ・ＴｒＦＥなどの含フツ素系
合成高分子、或いは圧電性を示す他の有機高分子、又は
チタン酸鉛、チタン・ジルコン酸鉛などのセラミック圧
電体粉末を高分子樹脂に混入した、いわゆる複合圧電体
も同様に用いることができる。
以上詳述した如く、本発明によれば高分子圧電体を折り
重ね易くでき、しかも高分子圧電体の折り重ねに際して
、その両面に形成した電極形状パターンの合せを容易に
かつ正確に行なうことができ、ひいては製作性の向上、
電気インピーダンスのばらつき、、音響的、電気的なカ
ップリングやクロストークの影響を抑制して解像度の向
上等を達成した積層高分子圧電型超音波探触子を提供で
きる。
重ね易くでき、しかも高分子圧電体の折り重ねに際して
、その両面に形成した電極形状パターンの合せを容易に
かつ正確に行なうことができ、ひいては製作性の向上、
電気インピーダンスのばらつき、、音響的、電気的なカ
ップリングやクロストークの影響を抑制して解像度の向
上等を達成した積層高分子圧電型超音波探触子を提供で
きる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示すリニア・アレイ型超音
波探触子の断面図、第２図は前記超音波探触子の積層圧
電体の作製を説明するための斜視図、第３図（ａ）−（
Ｃ）は本発明の他の実施例を示す超音波探触子の要部断
面図、第４図及び第５図は夫々従来の超音波探触子の要
部断面図である。 １１・・・支持体、ユ・・・積層圧電体、１４・・・Ｐ
ＶＦ２圧電体、１５・・・短冊状電極、１６・・・共通
電極、１７・・・Ｖ字型溝部、１８・・・導電性ペース
ト、２０・・・フィルム、２２・・・金属膜、２３・・
・導電性基板。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 １Ｌ 第３図
波探触子の断面図、第２図は前記超音波探触子の積層圧
電体の作製を説明するための斜視図、第３図（ａ）−（
Ｃ）は本発明の他の実施例を示す超音波探触子の要部断
面図、第４図及び第５図は夫々従来の超音波探触子の要
部断面図である。 １１・・・支持体、ユ・・・積層圧電体、１４・・・Ｐ
ＶＦ２圧電体、１５・・・短冊状電極、１６・・・共通
電極、１７・・・Ｖ字型溝部、１８・・・導電性ペース
ト、２０・・・フィルム、２２・・・金属膜、２３・・
・導電性基板。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 １Ｌ 第３図
Claims (1)
- 両面に電極が形成された高分子圧電体を折り重ねて少な
くとも２層以上に積層してなる積層高分子圧電型超音波
探触子において、前記高分子圧電体の折り目に沿う一方
の面に溝部を設けたことを特徴とする積層高分子圧電型
超音波探触子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59122281A JPS61754A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | 積層高分子圧電型超音波探触子 |
| US06/729,734 US4725994A (en) | 1984-06-14 | 1985-05-02 | Ultrasonic transducer with a multiple-folded piezoelectric polymer film |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59122281A JPS61754A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | 積層高分子圧電型超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61754A true JPS61754A (ja) | 1986-01-06 |
Family
ID=14832075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59122281A Pending JPS61754A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | 積層高分子圧電型超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61754A (ja) |
-
1984
- 1984-06-14 JP JP59122281A patent/JPS61754A/ja active Pending
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