JPS6177233A

JPS6177233A - 陰極線管の製造方法

Info

Publication number: JPS6177233A
Application number: JP59198237A
Authority: JP
Inventors: Haruhisa Fujii; 藤井　治久; Masao Etsuchu; 昌夫越中; Giichi Shibuya; 義一渋谷; Wataru Imanishi; 今西　渉; Mitsuyuki Shiotani; 塩谷　満幸
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1984-09-20
Filing date: 1984-09-20
Publication date: 1986-04-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、管内放電を抑制するだめの陰極線管の製造
方法に関するものである。

［従来の技術］第５図は一般的な陰極線管の構造を示す概略図である。

図において、（１）は低圧電極（２ａ）　、　（２ｈ）
　、　（２ｃ）、収束電極（３）、陽極（４）から構成
される電子銃、（５）はこの電子銃（１）を収納し、内
部が高真空に保たれたガラスバルブ、（８）はこのガラ
スバルブ（５）の内面に塗装された導電膜、（７）はこ
の導電膜（８）に接続された高電圧電源、（８）は上記
低圧電極（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）および
収束電極（３）に電圧を供給するための制御電源、（９
）は高電界の電極部分からの電界放出電子、（１１）は
陰極線管本体を示す６つぎに動作について説明する。低圧電極（２ａ）　。

（２ｂ）　、　（２ｃ）の部分において電子ビームを発
生し、その強さを制御する。収束電極（３）にはある一
定の正極性電圧を、また、陽極（４）には正極性の高電
圧をそれぞれ与えて電子ビームを収束させる。

このとき、負極性の高電界となる収束電極（３）および
低圧電極（２ｃ）の端部からは、第５図に示すような電
界放出電子（８）が発生する。この電界放出電子−（８
）が多くなると、管内放電を誘発する。この管内放電を
抑制するためには、電界放出電子（９）の発生を抑える
ことが必要である。電界放出電子（８）は電極表面」二
の微小突起や不純物などから発生しやすいと考えられて
いる。

［発明が解決しようとする問題点］ところで、従来の陰極線管の製造方法は第４図に示すよ
うに、電子銃を組立てるＴ程Ａ、組立てた電子銃を陰極
線管のガラスバルブ内に装着する工程Ｄ、ガラスバルブ
の真空排気を行なうＴ程Ｅ、高電圧を印加してシーズニ
ングを行なう工程Ｆ、および動作の調整、確認を行なう
工程Ｇとからなるが、に程Ａにおいて組１“ｌてた電子
銃を、工程りにおいてそのままの状態で陰極線管のガラ
スバルブ内に装着していたため、電子銃の電極表面を十
分に清浄化することができず、管内放電を抑制すること
が困難であった。

この発明はに記従来の欠点を解消するためになされたも
ので、電界放出電子の発生を少なくして管内放電を抑制
した陰極線管の製造方法を提供することを目的としてい
る。

［問題点を解決するための手段］この発明は、ガラスバルブに封入する前の電子銃を真空
容器内に設定して真空排気を行なった後、上記真空容器
内に水素ガスを導入し、この水素ガス雰囲気中において
上記電子銃の周囲に放電プラズマを生成させることによ
り電子銃の電極表面を処理し、その後電子銃を上記真空
容器から取出してガラスバルブ内に封入することを特徴
とする。

［作用］この発明においては、電子銃の周囲に放電プラズマを生
成させることにより、励起またはイオン化された水素分
子が電子銃の電極に衝突し、このときの運動エネルギに
よって電極表面」二の不純物を追い出し、また、電極表
面！−の酸化層と還元反応を起こして酸化層を除去する
ので、電界放出電子の発生原因となる不純物や酸化層が
減少する。

［実施例１以ド、この発明の実施例を図面にしたがって説明する。

第１図はこの発明による陰極線管の製造工程の一例を示
している。第４図の従来のものと比べると、電子銃組立
て後、電子銃を真空容器内へ設定して真空排気を行なう
工程Ｂと、排気後に水素ガスを封入して放電を行ない、
電子銃を取出すＴ程Ｃとが新たに付加されている。

第２図は放電を行なう工程の一例を示している。図にお
いて、（２１）は電子銃（１）を取付ける真空容器、（
２２）は真空容器（２１）内に設定された電子銃（１）
の陽極に高電圧を印加するための端子、（２３）は高圧
電源、（２４）は真空容器（２１）を排気するための真
空排気装置、（２５）は真空排気のための開閉弁、　（
２６）は水素ガスボンベ、　（２７）は水素ガス導入の
ための開閉弁である。

つぎに電極表面の処理方法について説明する。

組立てた電子銃（１）を真空容器（２１）内に設定し、
所定の結線を行なった後、開閉弁（２５）を操作して真
空排気装置（２４）により真空容器（２１）の内部を排
気する。真空容器（２１）内が高真空になった時点で、
開閉弁（２７）を開き、真空容器（２１）の内部に水素
ガスボンベ（２６）から水素ガスを導入する。そして、
その後高電圧を電子銃（１）の陽極（４）に印加する。

印加する電圧は直流、交流、パルスのいずれであっても
よい。

電子銃（１）に高電圧が印加されると、水素ガスを介し
て陽極（４）と収束電極（３）、および陽極（４）と低
圧電極（２ａ）　、　（２ｂ）　、　（２ｃ）との間で
放電が発生し、放電プラズマが生じる。水素ガス中の放
電プラズマでは、水素分子が励起またはイオン化され、
電子銃（１）の電極に衝突する。このときの運動エネル
ギによって電極表面上の不純物を追い出し、また、電極
表面上の酸化層と還元反応を起こして酸化層を除去し、
電極表面を清浄化する。これにより電界放出電子（９）
の発生原因となる不純物や酸化層が減少し、電界放出電
子（９）の発生を抑制することができるので、管内放電
の少ない信頼性の高い陰極線管を製造することができる
。

なお、上記のようにして処理された電子銃（１）は、真
空容器（２１）から取出Ｘれた後、従来と同様にしてガ
ラスバルブ内に封入される。

−に記実施例においては、高電圧を陽極（０の部分に印
加したが、陽極（４）を接地し、低圧側のピン端子を通
して収束電極（３）か低圧電極（２ａ）　、　（２ｂ）
　、　（２ｃ）に高電圧を印加してもよい。

第３図はこの発明の他の実施例を示している。

この実施例では、電子銃（１）に近接してコイル（２８
）を配設し、このコイル（２８）に高周波電源（２８）
から高周波電流を供給して電極の周囲で放電プラズマを
発生させるようにしている。

第３図の場合には電子銃（１）の部分に高周波磁界を印
加することになるが、これに代えて、たとえば平行平板
電極による高周波電界や、進行波管による高周波電磁界
を印加しても同様な放電プラズマを発生させることがで
きる。

［発明の効果］以りのように、この発明によれば、電子銃の電極表面は
放電プラズマにより清浄化され、電界放出電子の発生原
因となる不純物や酸化層が減少する結果、管内放電の少
ない信頼性の高い陰極線管の製造方法を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による陰極線管の製造工程を示す図、
第２図はこの発明における放電の工程を示す図、第３図
は放電を行なう工程の他の例を示す図、第４図は従来の
陰極線管の製造工程を示す図、第５図は一般的な陰極線
管の構造を示す概略断面図である。（１）・・・電子銃、（２１）・・・真空容器、（２３
）・・・高圧電源、（２４）・・・真空排気装置、（２
Ｂ）・・・水素ガスボンベ、（２８）・・・コイル、（
２８）・・・高周波電源。なお、図中同一符号は、同一または相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ガラスバルブに封入する前の電子銃を真空容器内
に設定して真空排気を行なつた後、上記真空容器内に水
素ガスを導入し、この水素ガス雰囲気中において上記電
子銃の周囲に放電プラズマを生成させることにより電子
銃の電極表面を処理し、その後電子銃を上記真空容器か
ら取出してガラスバルブ内に封入することを特徴とする
陰極線管の製造方法。
（２）電子銃の陽極または収束電極または低圧電極に高
電圧を印加することにより放電プラズマを生成させる特
許請求の範囲第１項記載の陰極線管の製造方法。
（３）電子銃に高周波磁界または高周波電界を印加する
ことにより放電プラズマを生成させる特許請求の範囲第
１項記載の陰極線管の製造方法。