JPS617739A - 光スイツチ回路 - Google Patents
光スイツチ回路Info
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- JPS617739A JPS617739A JP59128715A JP12871584A JPS617739A JP S617739 A JPS617739 A JP S617739A JP 59128715 A JP59128715 A JP 59128715A JP 12871584 A JP12871584 A JP 12871584A JP S617739 A JPS617739 A JP S617739A
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Landscapes
- Time-Division Multiplex Systems (AREA)
- Use Of Switch Circuits For Exchanges And Methods Of Control Of Multiplex Exchanges (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は多チャンネルの光伝送路間の接続を任意に切換
える光スイッチ回路に関するものである。
える光スイッチ回路に関するものである。
(従来技術とその問題点)
近年の光通信システムの本格的な実用化に伴い、従来に
ない新しい機能やサービスを提供するシステムが考えら
れてきている。そのようなシステムで必要とされるデバ
イスとして多数の光伝送路の接続を高速に切換える光ス
イッチ回路があげられる。このような光スイッチ回路と
しては、従来プリズム、レンズ若しくは光伝送路自体を
移動させるいわゆる機械式のものが広く用いられている
が、スイッチング速度の高速性、動作の信頼性、多チャ
ンネル化等の要求を考えると非機械式かつ集積化が可能
なスイッチ回路が今後主流となると考えられる。そのよ
うな光スイッチ回路の1つとして、日本国特許 特願昭
56−196279に示されているように光分岐−光ゲ
ート型スイッチ回路と呼ばれるものが知られている。こ
の光分岐−光ゲート型スイッチ回路の構成及び動作につ
いて説明する。
ない新しい機能やサービスを提供するシステムが考えら
れてきている。そのようなシステムで必要とされるデバ
イスとして多数の光伝送路の接続を高速に切換える光ス
イッチ回路があげられる。このような光スイッチ回路と
しては、従来プリズム、レンズ若しくは光伝送路自体を
移動させるいわゆる機械式のものが広く用いられている
が、スイッチング速度の高速性、動作の信頼性、多チャ
ンネル化等の要求を考えると非機械式かつ集積化が可能
なスイッチ回路が今後主流となると考えられる。そのよ
うな光スイッチ回路の1つとして、日本国特許 特願昭
56−196279に示されているように光分岐−光ゲ
ート型スイッチ回路と呼ばれるものが知られている。こ
の光分岐−光ゲート型スイッチ回路の構成及び動作につ
いて説明する。
第1゛図は光分岐−光ゲート型スイッチ回路の動作につ
いて説明するための図である。ここでは簡単のために2
人力2出力の場合につき示した。2本の入力光伝送路3
a j3bによシ伝送された光信号はそれぞれ光分岐2
1aj21bによ多分岐され光分岐21aからの光信号
は光ゲートスイッチ22a j22bに、光分岐21b
からの光信号は光ゲートスイッチ22c t 22dに
それぞれ入る。ここで光ゲートスイッチと呼ぶのは制御
信号に応じ、光信号の通過を0NpOFFする光変調器
型のスイッチである。光ゲートスイッチがON状態なら
ば光信号はそのまま通過し、OFF状態ならば光信号は
光ゲートスイッチを通過せずそこで止まる。出力用導波
路は合波導波路(第1図参照)となっておシ、光ゲート
スイッチ22a又は22cを通過入力光伝送路3aから
の信号のみが出力される。一方入力光伝送路3bからの
光信号は光分岐21bによ多分岐され、ON状態である
光ゲートスイッチ22cの方に分岐した光信号のみが通
過し、出力用光導波路23aを通って先出3bからの光
信号を光出力24bへ出力したい場合はそれぞれの光ゲ
ートスイッチを22a−ON*22b−OFFp22c
mOFF+22d−ONの状態にしておけばよい。以上
のように光ゲートスイッチ22a j22b j22c
z 22dの0N−OFFを切り換えることによって
入力光伝送路3aj3bかもの光信号と光出力24a
p24bの切シ換えが実現できる。またそれぞれの光ゲ
ートスイッチを22a−ONy22b−ONy22cm
OFFj22d−OFFの状態にしておくと入力光伝送
路3bからの光信号は出力されず、入力光伝送路3aか
らの光信号が2つの光出力24aνt= 24b7出力される。このようにこの構成では光信号の
接続の切υ換え以外にも光信号を分配するという機能を
もつ。この光スイッチ回路の構造で方法に比べ、伝送信
号の帯域p質を劣化させることがなく、電磁誘導、クロ
ストークの問題がないという利点がある。更に通常の導
波型の光路を切シ換える型のスイッチ(例として電気光
学効果を利用した方向性結合器型光スイッチ等がある。
いて説明するための図である。ここでは簡単のために2
人力2出力の場合につき示した。2本の入力光伝送路3
a j3bによシ伝送された光信号はそれぞれ光分岐2
1aj21bによ多分岐され光分岐21aからの光信号
は光ゲートスイッチ22a j22bに、光分岐21b
からの光信号は光ゲートスイッチ22c t 22dに
それぞれ入る。ここで光ゲートスイッチと呼ぶのは制御
信号に応じ、光信号の通過を0NpOFFする光変調器
型のスイッチである。光ゲートスイッチがON状態なら
ば光信号はそのまま通過し、OFF状態ならば光信号は
光ゲートスイッチを通過せずそこで止まる。出力用導波
路は合波導波路(第1図参照)となっておシ、光ゲート
スイッチ22a又は22cを通過入力光伝送路3aから
の信号のみが出力される。一方入力光伝送路3bからの
光信号は光分岐21bによ多分岐され、ON状態である
光ゲートスイッチ22cの方に分岐した光信号のみが通
過し、出力用光導波路23aを通って先出3bからの光
信号を光出力24bへ出力したい場合はそれぞれの光ゲ
ートスイッチを22a−ON*22b−OFFp22c
mOFF+22d−ONの状態にしておけばよい。以上
のように光ゲートスイッチ22a j22b j22c
z 22dの0N−OFFを切り換えることによって
入力光伝送路3aj3bかもの光信号と光出力24a
p24bの切シ換えが実現できる。またそれぞれの光ゲ
ートスイッチを22a−ONy22b−ONy22cm
OFFj22d−OFFの状態にしておくと入力光伝送
路3bからの光信号は出力されず、入力光伝送路3aか
らの光信号が2つの光出力24aνt= 24b7出力される。このようにこの構成では光信号の
接続の切υ換え以外にも光信号を分配するという機能を
もつ。この光スイッチ回路の構造で方法に比べ、伝送信
号の帯域p質を劣化させることがなく、電磁誘導、クロ
ストークの問題がないという利点がある。更に通常の導
波型の光路を切シ換える型のスイッチ(例として電気光
学効果を利用した方向性結合器型光スイッチ等がある。
)に比べ光ゲート・スイッチは小型化が可能なため多チ
ャンネル化に適している。このように光分岐−光ゲート
型スイッチ回路は原理的に祉非常に優れたものである。
ャンネル化に適している。このように光分岐−光ゲート
型スイッチ回路は原理的に祉非常に優れたものである。
光分岐−光ゲート型スイッチ回路では元ゲート・スイッ
チからあ出力光を合波するため、OFF状態の光ゲート
・スイッチにより消光しきらなかった信号光に対しクロ
ストーク成分として混入する。この効果は多チャンネル
化に従い大きくなる。従って光ゲート・スイッチとして
は、小型り高速等の要求以上に、大きな消光比が求めら
れることになる。従来光ゲート・スイッチとしては、1
)電気光学効果を利用したもの、2)フランツ・ケルデ
ィジー効果を利用したもの、3)液晶を用いたもの(散
乱効果若しくは電気光学効果利用 4)半導体へのキャ
リア注入によシ利得、損失を変調するものなどが考えら
れていた。これらのうち1)〜3)では実験的に得られ
ている消光比は20〜30dB程度で充分なものではな
い。4)のうち半導体レーザへの電流注入を制御するい
わゆる半導体レーザ・スイッチでは消光比60〜70d
Bが得られているが、半導体レーザの利得機構を利用す
るため入射光のモード、波長により特性が゛左右され、
多モード・ファイバ光のスイッチングには電気信号に変
換する光電変換手段と光電変換手段の出力の電気信号を
再び光信号に変換して出力する電光変換手段と制御信号
に応じて光電変換手段、電光変換手段の動作を制御する
手段とにより構成する(リピータ構成)ことが既に提案
されている。
チからあ出力光を合波するため、OFF状態の光ゲート
・スイッチにより消光しきらなかった信号光に対しクロ
ストーク成分として混入する。この効果は多チャンネル
化に従い大きくなる。従って光ゲート・スイッチとして
は、小型り高速等の要求以上に、大きな消光比が求めら
れることになる。従来光ゲート・スイッチとしては、1
)電気光学効果を利用したもの、2)フランツ・ケルデ
ィジー効果を利用したもの、3)液晶を用いたもの(散
乱効果若しくは電気光学効果利用 4)半導体へのキャ
リア注入によシ利得、損失を変調するものなどが考えら
れていた。これらのうち1)〜3)では実験的に得られ
ている消光比は20〜30dB程度で充分なものではな
い。4)のうち半導体レーザへの電流注入を制御するい
わゆる半導体レーザ・スイッチでは消光比60〜70d
Bが得られているが、半導体レーザの利得機構を利用す
るため入射光のモード、波長により特性が゛左右され、
多モード・ファイバ光のスイッチングには電気信号に変
換する光電変換手段と光電変換手段の出力の電気信号を
再び光信号に変換して出力する電光変換手段と制御信号
に応じて光電変換手段、電光変換手段の動作を制御する
手段とにより構成する(リピータ構成)ことが既に提案
されている。
この場合には、電気信号のレベルでの増幅、波形整形が
可能なことから光分岐による損失を補償することができ
、光信号の消光比も非常に太きなものが期待できる。ま
だ入射光のモード、波長によらずスイッチ動作が得られ
るという利点もある。
可能なことから光分岐による損失を補償することができ
、光信号の消光比も非常に太きなものが期待できる。ま
だ入射光のモード、波長によらずスイッチ動作が得られ
るという利点もある。
しかしながらこのような光スイッチ回路には次のような
問題があった。実際に多チャンネルのスイッチとしての
動作を得るためには第1図を用いて説明したように合波
導波路が必要である。しかし単なる1対nの光分岐を逆
に用いて光を合波しようとすると合波すべき多数の光信
号と合波される先の一本の導波路とのモード・マツチン
グを完全にとることができず大きな損失をひきおこす。
問題があった。実際に多チャンネルのスイッチとしての
動作を得るためには第1図を用いて説明したように合波
導波路が必要である。しかし単なる1対nの光分岐を逆
に用いて光を合波しようとすると合波すべき多数の光信
号と合波される先の一本の導波路とのモード・マツチン
グを完全にとることができず大きな損失をひきおこす。
従ユ
って、光ゲート・スイッチ内で−I電気信号を介して光
のレベル再生が行なわれても、合波導波路の部分での損
失によシ、光スイッチ以降の光の伝送距離が制限されて
しまうという問題が生じる。
のレベル再生が行なわれても、合波導波路の部分での損
失によシ、光スイッチ以降の光の伝送距離が制限されて
しまうという問題が生じる。
(発明の目的)
本発明の目的は上述したような光分岐−光ゲート型光ス
イッチ回路の欠点を除去し、小型かつ集積化に適し、低
クロストークで広帯域信号を歪ませることなく高速切換
が可能でかつ多モードファイバ光も切換可能という光分
岐−光ゲート型光スイッチ回路の利点を生かし、かつ低
挿入損失な光スイッチ回路を提供することにある。
イッチ回路の欠点を除去し、小型かつ集積化に適し、低
クロストークで広帯域信号を歪ませることなく高速切換
が可能でかつ多モードファイバ光も切換可能という光分
岐−光ゲート型光スイッチ回路の利点を生かし、かつ低
挿入損失な光スイッチ回路を提供することにある。
(発明の構成)
本発明によれば、ひとつの入力端から入った光をm(≧
2)本の光に分岐するm(≧1)個の光分岐と前記光分
岐の各々の分岐先に光学的に縦続接続され、ON状態で
は光を通しOFF状態では光を通さない機能を持つスイ
ッチと、各々の前記スイッチに縦属接続された出力用導
波路とからなり、前記ON状態では光を通し、OFF状
態では光を通さない機能を持つスイッチを、前記光分岐
の出力光を電気信号に変換する光電変換手段と、前記光
電変換手段の出力を再び光信号に変換し前記出力用導波
路に出力する電光変換手段と、制御信号に応じて前記光
電変換手段、電光変換手段の動作を制御する手段によ多
構成した光スイッチ回路であって、前記電光変換手段の
発光波長を、前記光分岐毎に異なるようにしたことを特
徴とする光スイッチ回路が得られる。
2)本の光に分岐するm(≧1)個の光分岐と前記光分
岐の各々の分岐先に光学的に縦続接続され、ON状態で
は光を通しOFF状態では光を通さない機能を持つスイ
ッチと、各々の前記スイッチに縦属接続された出力用導
波路とからなり、前記ON状態では光を通し、OFF状
態では光を通さない機能を持つスイッチを、前記光分岐
の出力光を電気信号に変換する光電変換手段と、前記光
電変換手段の出力を再び光信号に変換し前記出力用導波
路に出力する電光変換手段と、制御信号に応じて前記光
電変換手段、電光変換手段の動作を制御する手段によ多
構成した光スイッチ回路であって、前記電光変換手段の
発光波長を、前記光分岐毎に異なるようにしたことを特
徴とする光スイッチ回路が得られる。
(構成の詳細な説明)
第2図は本発明の詳細な説明するだめの図である。ここ
でも簡単のため2人カッ2出力の場合につき説明する。
でも簡単のため2人カッ2出力の場合につき説明する。
2本の入力光伝送路3a+3bによシ伝送された光信号
はそれぞれ光分岐21ap21bによ多分岐され光ゲー
ト・スイッチに入る。
はそれぞれ光分岐21ap21bによ多分岐され光ゲー
ト・スイッチに入る。
ここで各々の光ゲートスイッチは光電変換手段25aj
25by25c*25dt電気信号の整形、増幅系26
as26bt26cj26d、電光変換手段27a p
27b p 27c t 27dにより構成されてい
る。電光変換手段は具体的にはLllLEDで構成され
るが、その発振波長は系全体が波長多重化されていない
限シ任意に選ぶことができる。そこで、その波長を各光
分岐21aj21b毎に異なるようにすることができる
。つまり電光変換手段27a y 27bと27c p
27dの波長を異ならすわけである。このようにする
ことによシ光スイッチ回路実現のため例えば電光変換手
段27aと27cj27bと27dの出力光を合波する
際には合波する2つの光の波長が異なるためそれを利用
して干渉膜、グレーティング等によシ低損失に合波する
ことができる。従って、このような構成によシ従来の光
分岐−光ゲート方式光スイッチ回路の利点を生かしかつ
低挿入損失の光スイッチ回路を実現できる。
25by25c*25dt電気信号の整形、増幅系26
as26bt26cj26d、電光変換手段27a p
27b p 27c t 27dにより構成されてい
る。電光変換手段は具体的にはLllLEDで構成され
るが、その発振波長は系全体が波長多重化されていない
限シ任意に選ぶことができる。そこで、その波長を各光
分岐21aj21b毎に異なるようにすることができる
。つまり電光変換手段27a y 27bと27c p
27dの波長を異ならすわけである。このようにする
ことによシ光スイッチ回路実現のため例えば電光変換手
段27aと27cj27bと27dの出力光を合波する
際には合波する2つの光の波長が異なるためそれを利用
して干渉膜、グレーティング等によシ低損失に合波する
ことができる。従って、このような構成によシ従来の光
分岐−光ゲート方式光スイッチ回路の利点を生かしかつ
低挿入損失の光スイッチ回路を実現できる。
(実施例)
以下本発明の実施例について図面を用いて詳細に説明す
る。第3図は本発明による光スイッチ回路の一実施例を
示すだめの図である。ここでも簡単のため1μm帯の光
伝送系を想定し2人力」2出力の場合について説明する
。入力光伝送路3a+3bによシ伝送された光信号はそ
れぞれ、ファイバを近接して熱融着しだカプラによる光
分岐21a −21bにより分岐されInGaAsP
InPフォトダイオード及びFETプリアンプから成る
光電変換手段25ay25by25cy25dに入射す
る。
る。第3図は本発明による光スイッチ回路の一実施例を
示すだめの図である。ここでも簡単のため1μm帯の光
伝送系を想定し2人力」2出力の場合について説明する
。入力光伝送路3a+3bによシ伝送された光信号はそ
れぞれ、ファイバを近接して熱融着しだカプラによる光
分岐21a −21bにより分岐されInGaAsP
InPフォトダイオード及びFETプリアンプから成る
光電変換手段25ay25by25cy25dに入射す
る。
光電変換手段25a y 25b y 25c p 2
5dの出力の電気信号はそれぞれ増幅器26aj26b
y26c r 26dにより増幅され駆動回路及びIn
GaAsP / InP半導体レーザ(LD)よ構成る
電光変換手段27a s 27b y 27c p 2
7dを動作させる。電光変換手段27a j27b p
27c t27dに用いたInGaAsP / In
P L Dでは組成を変化させることによシ1.2〜1
.55μmの間で発振波長を変えることができる。ここ
では電光変換手段27a p27cの波長を〜1.2μ
m127 b+27dの波長を〜1.3μmに設定した
。電光変換手段27a’ツ27b y 27c j27
dの出力光はレンズ28aj28b j28c p 2
8dによシ平行化され、干渉膜フィルタ1aylbによ
多波長の違いを利用して光軸を一致させて合波される。
5dの出力の電気信号はそれぞれ増幅器26aj26b
y26c r 26dにより増幅され駆動回路及びIn
GaAsP / InP半導体レーザ(LD)よ構成る
電光変換手段27a s 27b y 27c p 2
7dを動作させる。電光変換手段27a j27b p
27c t27dに用いたInGaAsP / In
P L Dでは組成を変化させることによシ1.2〜1
.55μmの間で発振波長を変えることができる。ここ
では電光変換手段27a p27cの波長を〜1.2μ
m127 b+27dの波長を〜1.3μmに設定した
。電光変換手段27a’ツ27b y 27c j27
dの出力光はレンズ28aj28b j28c p 2
8dによシ平行化され、干渉膜フィルタ1aylbによ
多波長の違いを利用して光軸を一致させて合波される。
合波された2つのビームはレンズ2aν2bによ多出力
光伝送路4ap4bに効率よシ結合される。光スイッチ
回路としての動作はとこでは増幅器26ap26bj2
6c j27dの段間に挿入したFETゲートスイッチ
へのゲート信号及び、電光変換手段27aj27b −
27c p 27dのLDへのバイアス電圧を制御装置
5よυ所望のスイッチ状態に応じて供給して行なった。
光伝送路4ap4bに効率よシ結合される。光スイッチ
回路としての動作はとこでは増幅器26ap26bj2
6c j27dの段間に挿入したFETゲートスイッチ
へのゲート信号及び、電光変換手段27aj27b −
27c p 27dのLDへのバイアス電圧を制御装置
5よυ所望のスイッチ状態に応じて供給して行なった。
このような構成では電光変換手段27a+27by27
c*27dの出力光を合波する際の損失を非常に小さく
できる。従って光伝送システム全体の損失に関するマー
ジンを高くとることが出来、伝送距離の増大、信頼性の
向上゛を計ることができる。ここでは波長の違いを利用
して光を合波する手段として干渉膜フィルタを用いたが
、グレーティングを利用すれば波長分解能が高いため更
に近接した波長の光を多数合波することが出来、光スイ
ッチ回路の多チャンネル化に有利となる。また導波路上
にグレーティングを形成した構造の導波型波長多重器を
合波に用いれば装置の小型化、集積化を計ることができ
る。更に材料としてInGaAsP/ InP系の導波
型波長多重器を用いれば電光変換手段27a j27b
I27cシ27dのLDとのモノリシック集積化も可
能となる。
c*27dの出力光を合波する際の損失を非常に小さく
できる。従って光伝送システム全体の損失に関するマー
ジンを高くとることが出来、伝送距離の増大、信頼性の
向上゛を計ることができる。ここでは波長の違いを利用
して光を合波する手段として干渉膜フィルタを用いたが
、グレーティングを利用すれば波長分解能が高いため更
に近接した波長の光を多数合波することが出来、光スイ
ッチ回路の多チャンネル化に有利となる。また導波路上
にグレーティングを形成した構造の導波型波長多重器を
合波に用いれば装置の小型化、集積化を計ることができ
る。更に材料としてInGaAsP/ InP系の導波
型波長多重器を用いれば電光変換手段27a j27b
I27cシ27dのLDとのモノリシック集積化も可
能となる。
(発明の効果)
以上詳細に説明したように、本発明によれば、小型かつ
集積化に適し、低クロストークで広帯域信号を歪ませる
ことなく高速切換が可能でかつ多モードファイバ光も切
換可能という光分岐−光ゲート型光スイッチ回路の利点
を生かし女から低挿入損失な光スイッチ回路が得られ将
来の種々の光システムの実現に寄与するところ大である
。
集積化に適し、低クロストークで広帯域信号を歪ませる
ことなく高速切換が可能でかつ多モードファイバ光も切
換可能という光分岐−光ゲート型光スイッチ回路の利点
を生かし女から低挿入損失な光スイッチ回路が得られ将
来の種々の光システムの実現に寄与するところ大である
。
第1図は光分岐−光ゲート型光スイッチ回路の動作を説
明するための図、第2図は本発明による光スイッチ回路
の構成を説明するだめの図、第3図は本発明による光ス
イッチ回路の実施例を説明、するための図である。 図に於て、18F1bは干渉膜フィルタ、2aj2b
s 28’a p 28b r 28c j28dはレ
ンズ、3ay3by4a+4bは光伝送路、5は割裂回
路、21aj21bは光分岐、22a y 22b +
22c y 22dは光ゲート、23aJ23bは出力
導波路、24aj24bはレーザ光、25a−25b+
25c+25dは光電変換手段、26ap26b j2
6c j26dは増幅器、27a927by27cy2
7dは電光変換手段である。 第1図 第2図
明するための図、第2図は本発明による光スイッチ回路
の構成を説明するだめの図、第3図は本発明による光ス
イッチ回路の実施例を説明、するための図である。 図に於て、18F1bは干渉膜フィルタ、2aj2b
s 28’a p 28b r 28c j28dはレ
ンズ、3ay3by4a+4bは光伝送路、5は割裂回
路、21aj21bは光分岐、22a y 22b +
22c y 22dは光ゲート、23aJ23bは出力
導波路、24aj24bはレーザ光、25a−25b+
25c+25dは光電変換手段、26ap26b j2
6c j26dは増幅器、27a927by27cy2
7dは電光変換手段である。 第1図 第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ひとつの入力端から入った光をm(≧2)本の光に分岐
するn(≧1)個の光分岐と、前記光分岐の各々の分岐
先に光学的に縦続接続され、ON状態では光を通し、O
FF状態では光を通さない機能を持つスイッチと、各々
の前記スイッチに縦属接続された出力用導波路とからな
り、 前記ON状態では光を通し、OFF状態では光を通さな
い機能を持つスイッチを、前記光分岐の出力光を電気信
号に変換する光電変換手段と、前記光電変換手段の出力
を再び光信号に変換し、前記出力用導波路に出力する電
光変換手段と、制御信号に応じて前記光電変換手段、電
光変換手段の動作を制御する手段により構成した光スイ
ッチ回路であって、前記電光変換手段の発光波長を、前
記光分岐毎に異なるようにしたことを特徴とする光スイ
ッチ回路。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59128715A JPS617739A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 光スイツチ回路 |
| DE85106005T DE3587515T2 (de) | 1984-05-17 | 1985-05-15 | Optische Schalteinrichtung. |
| EP85106005A EP0161683B1 (en) | 1984-05-17 | 1985-05-15 | Optical switch circuit |
| US06/734,725 US4798435A (en) | 1984-05-17 | 1985-05-16 | Optical switch circuit |
| CA000481666A CA1257924A (en) | 1984-05-17 | 1985-05-16 | Optical switch circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59128715A JPS617739A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 光スイツチ回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS617739A true JPS617739A (ja) | 1986-01-14 |
Family
ID=14991634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59128715A Pending JPS617739A (ja) | 1984-05-17 | 1984-06-22 | 光スイツチ回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS617739A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0289721A (ja) * | 1988-09-25 | 1990-03-29 | Sony Corp | 基板搬送装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS557745A (en) * | 1978-06-30 | 1980-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | Photo switch |
| JPS55145446A (en) * | 1979-05-02 | 1980-11-13 | Toshiba Corp | Optical transmission system by optical fiber |
-
1984
- 1984-06-22 JP JP59128715A patent/JPS617739A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS557745A (en) * | 1978-06-30 | 1980-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | Photo switch |
| JPS55145446A (en) * | 1979-05-02 | 1980-11-13 | Toshiba Corp | Optical transmission system by optical fiber |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0289721A (ja) * | 1988-09-25 | 1990-03-29 | Sony Corp | 基板搬送装置 |
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