JPS6177609A - セラミツク物質の製造方法 - Google Patents

セラミツク物質の製造方法

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JPS6177609A
JPS6177609A JP60208532A JP20853285A JPS6177609A JP S6177609 A JPS6177609 A JP S6177609A JP 60208532 A JP60208532 A JP 60208532A JP 20853285 A JP20853285 A JP 20853285A JP S6177609 A JPS6177609 A JP S6177609A
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3sinh
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はシシデンボリマーから高いセラミック収率でセ
ラミック物質を製造することに胸するものである。本発
明のセラミック物質はP、、5iNH含有シンデンボリ
マーとある種の硼素化合物との混合物をある昇温へ不活
性雰囲気中または真空中で焼成することによつ℃得られ
る。これらの硼素化合物添加剤はセラミック収率な増大
し℃セラミック物質を生成する。
R3SΔH含有シ之デンボリマーからつくられるセラミ
ック物質は当業におい℃知られ℃いる。ガウルは米国特
許第4,340,619号BA#l誉(1982年7月
20日公告ンにおいて、昇温上不活性雰囲気中で、塩素
含有ジシランをジシラザンと本質的に無水の不活性雰囲
気中におい″C接触および反応させることによってつく
ったR、第1NH含有シラザンポリマーを焼成すること
によつ℃、セラミック物質をつくった。
ガウルは米国%許!4,312,970号明細書(19
82年1月26日公告)の中で、オルガノクロロシラン
をジシラザンと接触および反応させることによつ℃つく
ったR3第1NH含有シラザンポリマーを、昇温下で不
活性雰囲気中または真空中におい″I:焼成することに
よってセラミックスを得た。
キャナデイは米国特許出aid 555,755号(1
983年11月28日出願)におい℃、R3SiNH′
E有シラデ/ポリマーからセラミック物質をつくったが
、そのシラザンポリマー鉱トリク。
ロロシランとジシラザンとを接触および反応させること
によって得たものである。
新たに次の発見があった。すなわち、ある種の8素化合
物はR313LNEI含有シラデンボリマ〜へ昇温下焼
成の前1c添加すると、この添加剤なしで同条注下で焼
成されるセラミック物質と比べて著しく増大したセラミ
ック収率でセラミック物質を形成するということである
。
本発明は高いセラミック収率でセラミック物質をつくる
方法に関するものであり、その方法は、変性R38ΔH
貧有シ2デンボリマ−t′/V%盾性雰囲気性雰囲気中
空中で少くとも750℃の温度へ、上記変性R3EJL
m f有シンデンボリマーが同条件下でm熟された非変
性R55iNH含有シンデ/ポリマーと比べて増大した
セラミック収率でセラミック物質へ転化されるまで、加
熱することから成り、その場合、上記変性R3BLNH
含有シラザンポリマーは非変性R3131NH貧有シラ
ザンポリマーを有効かつセ、7ミンクの収率な増大する
量の硼素化合物と混合することによってつくられる。
本発明はまた、変性R3Bj、NH含有シンデンボリマ
ーを不活性雰囲気中または真空中で少くとも750℃の
温度へ、上記変性i、51NH含有シラザンポリマーが
同条件下で加熱された非変性R,第1NH含有シー7デ
ンポリマーと比べて増大したセラミック収率でセラミッ
ク物質へ転化されるまで〜加熱することから成る方法に
関するものであり、その場合、上記変性R3SiNH含
有シラザンポリマーは非変・注R3FJ iNH貧有シ
ラザンポリマーを有効かつ有シラザンポリマーは本質的
に無水の不活性雰囲気中で、一般式 %式% の塩来自°1ジシランまた鉱塩素含有ゾシラン混合物を
一般式 %式% のシシラデンと25℃と300℃の範囲の温度におい”
CM11生ずる揮発性生成物を蒸溜しながら接触および
反応させることによつ℃つくられる。上記式中、Kはビ
ニル基、炭素原子数1〜34向のアルキル基、あるいは
フェニル基であり、Rは水素原子、ビニル基、炭素原子
数1〜6個のアルキル基、あるいはフェニル基であり、
bは0.5〜6の値を  ′もち)Cは0〜2.5の値
であり、(b+c)の合計は3に等しい。
本発明はまた、変性R3SiNH会有シラザンポリマー
を不活性雰囲気中またに真空中で少くとも750℃の温
度へ、この変性R383−NH宮有シラザンポリマーが
同条件下で加熱した非変性R3SiNH含有シラザンポ
リマーと比べて増大したセラミック収率でセラミック物
質へ転化されるまで、加熱することから成る、高いセラ
ミック収率でセラミック物質を製造する方法に胸するも
のであり、その場合、上記変性u、5iNa t Tシ
ラザンポリマーは、非変性R35ilJH含有シラザン
ポリマーを有効かつセラミック収率な増大する量のa素
化合物と混合することによつ℃つくられ、上記非変性R
3SiNH百府シツデンボリマーは不質旧に無水の不活
性雰囲気中で一般式 %式%(4) のオルガノクロロシランまたはオルガノクロロシラン混
合物を一般式 %式%) のジシラデンと、25℃から300℃の範囲の温度にお
い″′C副生する揮発性生成物を蒸溜しながら接触およ
び反応させることによつ℃つくられる。
上記式中、a′はビニル基、炭素原子数1〜3個のアル
キル基、あるいはフェニル基であり、肌は水素原子、ビ
ニル基、炭素原子数1〜6個のアルキル基、あるいはフ
ェニル基であり、nは1または2の直である。
本発明はさらに、変性R3SiNH会有シラザンポリマ
ーを不活性雰囲気中またμ真空中で少くとも750℃の
温度へ、上記変性R3SiNH貧有シラザンポリマーが
同条件下で加熱した非変性R3SiNH含有シラヂンボ
リマーと比べ″C増大したセラミック収率でセラミック
物質へ転化されるまで、加熱することから成る、増大し
たセラミック収率でセラミック物質の製造方法に関する
ものであり、その場合、上記変性R3SiNH含有シラ
ザンポリマーは非変性R55iNH百有シラザンポリマ
ーを有効かつセラミック収量を増大する量の゛硼素化合
物と混合することによつ℃つくられ、上記非変性%5i
NH含有シラザンポリマーが本質的に無水の不活性雰囲
気中でトリクロロシランとジシラデンとを25°Cから
300℃の範囲の温度において副生する揮発性生成物′
4I:蒸溜しながら接触および反応させることによって
つくられ、上記ゾシラデンは一般式%式%) をもち、式中、aは水素原子、ビニル基および炭素原子
数1〜6@のアルキル、あるいはフェニル基で4ある。
セラミック収率とは、本明細書において用いるときには
、変性またに非変性のR3SiNH含有シラザンポリマ
ーをある昇温温度へ不活性雰囲気下または真空中で、変
性または非変性R5S iNH貧有シラザンポリマーが
セラミック物質へ転化されるまで焼成するときの、セラ
ミック生成物の収量のパーセンテージである。セラミッ
ク収率は得られたセラミック生成物の重量を変性または
非変性のR3F31NH富有7ラデンポリマーの初期亘
斌で割り次いで100倍することによって計算される。
添加硼素化合物の量についての補正は行なわない。
本発明の方法は、まず13SiNH含有シラザンポリマ
ーを有効蓋の硼素化合物と混合し、次いで得られる混合
物をある昇温温度へ不活性雰囲気下または真空中で、得
られた混合物かセラミック物質へ転化されるまで焼成す
ることによつ℃実施される。「8素化合物」とは、微細
分割状金属並びにその金属原子を組入れた各種無機化合
物の両方を意味する。
これらの硼素化合物は室温におい℃液体または固体のい
ずれかであるべきである。「室温」とは約25°Cの温
度ない5゜ 通鮨な硼素化合物なメタ硼酸(HBO,) 、オルソ硼
酸(H2BO3)、テトラ硼酸(H2E40?、)、酸
化硼素CB2O3ノ、珪化細木(B68i 3よびB 
3 S iジ、トリプトキシボリンCB(OCaH”:
)s)、トリエトキシボリン(Hoc2a5)、)、ト
リイソプロポキシボリンCB (QC3H’r) 3 
)、トリメトキシボリンCBCOCHts)r1ハトリ
プロボキシボリンga<oc3d)3ノ、トリイソアミ
ルボレー) (B(OCH2CH2CE((CH8)2
.]、ン、ジメチル(メトキシ)ボリン(CH30B(
CH3)2)、トリエチルボリン(B(C+Ha)s)
 、)リイソプテルボリンCB(C4HX)3)、トリ
メチルボリン(B(CH3〕3)、トリプロピルボリン
(B(CsH”:) a)、トリフェニルボリンCB(
C5H5)s)、などを含む。
適当な有機畑累化合物は一般弐BR“によつ℃示すこと
ができ、ここにR“は1から5個の炭巣原子を含むアル
キル基、フェニル基、およびOR///から成る群から
選ばれ、R“′は1か54個の炭巣原子を含むアルキル
基である。好lしい8素化合物はメタ硼酸、オルソ龜酸
、およびトリメトキシボリンである。
当業者が理解し得るとおり、E(3SiN甘言Mシラザ
ンポリマー、直ぐ上に列記した硼素化合物、および加熱
分解条件のナベての組合せがセラミック収率の増大した
セラミック物質に通ずるわけではない。セラミック収率
の増力口が実際に実現されるかどうかを決定するために
、日常的実験がある場合には必要とされるかもしれない
。セラミック収率のこのような増加が実現されないケー
スは、当然、本発明の領域の中にあるとは考えられない
。
R319iN](言育シラザンポリマーと硼素化合物と
の混合方法は臨界的ではない。シンデンボリマーと硼素
化合物とは、セラミック物質または物品全体にわたつ℃
セラミック収率が著しく変動しないことを保証するのを
助げるよ5よく混合されることが好ましい。混合媒体と
してトルエンのような有機溶剤を使用することは、成分
がよく混合され−ることを保証する助げとなる。その他
の混合技法を使用してもよい。
R,S工NH′ざmシラデフポリマーは有効−の硼素化
合物と混合される。硼素化合物の「有効量」とは、虫取
するセラミック物質中にセラミック収率の増加をもたら
す量のことをいう。一般的には、硼素化合物はR3S 
1N1(百Mシラザンポリマーと0.1から2.0重量
%の硼素を含む混合物を得るような水準で添加される。
硼素化合物はより高水準で添加し又もよいが、付加的利
点は得られない。
硼素化合物は約0.5から1.5重量%の硼素に等し 
・い水準で存在することが好ましい。本発明の方法によ
つ℃つくられるセラミック物質のセラミック収率の増加
は、同じR3BiNH貧有シラザンポリマーを添加硼素
化合物なしで同じ実験条件下で焼成することによつ℃得
られるセラミック物質のセラミック収率と比較すること
によつ℃きめられる◇R3SiNH宮有シラザンポリマ
ーと有効蓋のm系化合物との混合物は少くとも750 
’Cの昇温温度へ不活性雰囲気下または真空中で、混合
物がセラミック物質へ転化されるまで焼成される。
以下の理論に束#されたくないが、本発明の硼素化合物
添加剤は加熱分解工程の初期段階の間にR3B工ME含
有シラデンと相互反応すると考えられる。この相互反応
はR,5iNH會有シラザンポリマーからの潜在的に#
発注の化学種の文理結合あるいは交差結合促進の形MV
cあるかもしれない。系中で潜在的揮発性物質を保持す
ることによって、より多くの炭紫、音素および珪素が加
熱分解工程の後期段階におけるセラミックへの転化にオ
U用できる。硼素化合物はこの加熱分解中にgAB累へ
還元される。
本発明での使用に適するシラザンポリマーはR351N
H@有シ2デンボリマーである。本発明で特忙有用であ
る1(3SiNH含有シシデンボリマーは米国特許第4
,312,970号と集4.340,619号、並びに
米函特許出顔第555,755号(1983年11月2
8日登録)各BANJJ書におい℃記載され℃いる。
米国物F!!f詣4,312,970号明細書に記載の
シラザンポリマーは本質的に無水の不活性雰囲気中 。
で、一般式 %式%(4 のオルガノクロロシランまたはオルガノクロロシラン混
合物を一般式 %式%) をもつシシラデンと、25℃から300℃の範囲の温度
におい℃、副生する揮発性生成物を蒸溜しなから接融お
よび反応させることによつ℃つくられ、その場合、Kは
ビニル基、1〜6個の炭素原子のアルキル基、あるいは
フェニル基であり、只は水素原子、ビニル基、1〜3個
の炭素原子のアルキル基、あるいはフェニル基であり、
nは1または2の値である・ 特i!!F第4,312,970号のオルガノクロロモ
ノシランは一般式 %式%(4) をもつものであり、式中、Kμビニル基あるいは1〜3
個の炭素原子を含むアルキル基またμ7エ二ル基である
。このように、本発明におい℃有用であると考えられる
基は、メチル、エチル、プロピル、ビニルおよびフェニ
ルである。これらのR′基はすべ℃同種であることがで
き、あるいμ異種であるととができる。オルガノクロロ
そジシランは普通の商品の化学薬品であつ℃商業的に入
手できるO nO値は1t−た鉱2である。従つ℃、単一有機基置換
シy y、しuえば、CH35iC!3、C6EI5S
iCt3、CH2−CEIEI工C43、CH3CH2
5ick、 、あるいはCH,(CH2)2SiC7,
; 2個の有機基置換シラン、例えは、(CH3) 2
SiCA2、(c2H,)2siczg、および(CE
r2−CH) (CH3)8LCt2 ;並びにこの遣
シ2ンの混合物、例えは、CH,5iC23と(CH3
) 2SiC22、を使用することができる。オルガノ
クロロシラン混合物を使用するとぎにな、ジオルガノ置
換珪素原子の単位数は七ノオルガノ置換珪素原子の単位
数をこえるべきでμないことが好まれる。
米国特許第4.340,619号のシラザンポリマー鉱
、それらは本発明の実際にとって8:iシいシラザンポ
リマーであるが、本質的に無水の不活性雰囲気子で一般
式 %式%)) の塩素含有ジシランまたに塩素含有ジシラン混合物を一
般式 %式%) をもつシシラナ°ンと、25℃から300℃の範囲の@
艮におい℃副生する揮発性生成物を蒸溜しながら接触お
よび反応させることによつ℃つくらべここに、R’?A
ビニル基、1〜6個の炭素原子のアルキル基、あるいは
フェニル基であり、R鉱水素原子、ビニル基、1〜3個
の炭素原子のアルキル基、あるいはフェニル基であり、
bf’;JO−5〜3の値をもち、Cは0〜2.5の値
をもち、そして、(b+c )の和は3に等しい。
米国特峰84,540,619号の塩素含有ジシランは
一般式 %式% をもつジシランであり、R′はビニル基、1〜6個の炭
素原子を含むアルキル基、あるいはフェニル基である。
従つ℃、K基はメチル、エチル、プロピル、ビニルおよ
びフェニルである。R′基は丁べ℃同種であることがで
き、あるいは異種であることができる。塩素含有ジシラ
ンにハロシラン類夷造の直接法からの残留物中に見出さ
れるものであることができる(イーホルンC0,「オル
ガノシリコン化合物」、バッターワース・ティエンティ
フィック・パブリクーションズ、ロンドン、1969年
、1貞)。直接法は珪素金属と脂肪族ハライド、一般的
にμメチルクロライドとの間の、昇温下における、触媒
、一般には銅の存在下での、クロロシラン類を生成する
反応である。
上述の塩素含有ジシランについ℃は、bとCの値はそれ
ぞれ0.5〜3およびO〜2.5であり、(b+C)の
和は6に等しい。塩素含有ジシランの例は、LCt(C
:Ha)2Bi)z % (cz2cHBstJ、、(
C22CzHsSiJz 、CC2(CeHs)B1)
+、および〔Cl2CH2=CHB工〕2である。
モノシラン類も上述の塩素含有ジシランと浪合し℃使用
できる。例龜CH3汎C43、(CH3)2B1C12
、H(CH3)2SiCA、   (CH3)3Bi、
C1,(CH2−CH)(CH,,12I31C!。
(C2H5ルエCt2、C6H65iC23、並びに、
CCeHs)z阻陰、および(C,EI5.)3diL
、!Aを含む。
ポリシラザンポリマーを米国%fF第4,340,61
9号明細省に従つ℃本発明での使用のためにつくるとき
には、塩素含有ジシラン混合物を使用し、その場合、ジ
オルガノ置換珪素原子の単位数は七ノ万ルガノ置換珪素
原子の単位数を超えないことが好ましい。
米1特吐出願力555,755号のシラザンポリマーは
、不活性で本質上無水の雰囲気中で、トリク0ロシラン
をシシラデ/と25°Cか53008Cの温度において
副生ずる揮発生成物を除きながら接触および反応させる
ことによつ℃つくられる妙ζその際、上記ジシラザンは
一般式 %式%) をもち、式中、Rはビニル、水素、フェニル、および1
〜3個の炭素原子を含むアルキル基から成る群から選ば
れる、老化トリクロロシランのある成分、恐らくは加水
分解生成物、は、R3SiNH含有シラザンポリマーの
製造におい℃有害であると思われる。このような汚染ト
リクロロシランは適当ICC蒸圧より″C指製すること
ができる。その他の精&1床も使用してよい。また、反
応剤は初期反応発熱が最小に株たれるような方式で添加
されることが好ましい。−万の反応剤をゆっくりと他方
の反応剤へ添加し℃もよく、あるいは添加される反応剤
を冷却するか、あるいは反応桶を冷却して反応発熱を低
く保つこともできる。一般的には、発熱に基づく初期反
応温度を約50℃以下、最も好ましくは、35℃以下で
あるように反応を制御することが好ましい。一般的には
、再現性のより良好な結果は、精製トリクロロシランを
用いるとき、および初期反応発熱を注意深く制御すると
きに傅うれる。
米国特許第4,312,97 C1号および1g4,6
40.619号および米国特許出願帛555,755芳
容明細書における亀二の反応剤は一般式(R,5iJ2
NHのジシラザンである。この式におけるRはビニル、
水素、および1〜6伽の炭素原子のアルキル基、あるい
はフェニル基である。それゆえ、Rμこの式の目的九対
し℃は、水素、メチル、エチル、プロピル、ビニルおよ
び7ニニルによつ℃表わされる。この式中の各R基は同
檻であることもでき異種であることもできる。ジシラザ
ンの例は、 CC,CH:5)sBi−ノ2NH,(c、a、(CH
:J、)2SiJ2NH。
((C6H5)zCHsSiノ2NHz   (CH2
−CH(CH3,)2SiJ2NH(CH2CH(CH
3,)C6H5Si〕2NH%(CH2=CH(C6H
5)2Si、12NH% [(H2−cH(C2HsJ
2Eli)zNHl(Ff(CH,、J2st〕2NH
,および(CH2<H(C6H5〕C2H,第1)2N
Hを含む。
これらの反応剤は不活性で本質上無水の雰囲気中で一緒
にされる。「不活性」とは、反応がアルゴン、銀索、あ
るいはヘリウムのような不活性ガスの蔽いのもとで実施
されることを意味する。
「本質的に無水」とは、反応がuiL<は絶対的無水の
雰囲気で実施されるが、しかし、微iの水分は許容でき
るということである。
反応剤を米国%許!4,312,970号およびIf、
4,540,619号、および米国を許出願第555,
755芳容BA#l誉に記載のとおりに相互に接触させ
るとき、反応がはじまり、中間体アミン化合物を形成す
る。加熱すると、追加的アミノ化合物が形成され、加熱
を続げると、P、5BiCtが。
反応混合物から蒸溜され℃シラザンポリマーが形成され
る。物質の添加順序は臨界的であるように思えない。温
度が高くなるにつれ℃、より多くの縮合がおこり、交差
結合が混合物から蒸溜されないで連鎖停止剤とし1作用
する残1R3Si−で以ておこる。この制御により、反
応を任意の点におい℃停止させ℃はとんど任意の所望粘
度を侍ることができる。この反応の望ましい温度範囲は
125〜300℃である。反応が必要とする時間の長さ
は使用温度と達成したいと考える粘度に依存する。
「揮発性生成物」によって意味するものは、上述の反応
によつ℃形成される点滴可能の副生成物である。これら
の物質は、(CH3)、5ick 。
(CH2干ca)(CsHa)、5xct 、、   
CHs (CaHs)□5iCjs(CH,)2C6H
,5IC4Mよび(CH2−CHバCH3)2BICt
によって表わすことができる。ときには、この方法はこ
れらの物質を反応混合物から除くために、熱と一緒に真
空の使用を必要とする。
R3S 1JJH’ざmシラザンポリマーと硼素化合物
を混合したのち、混合物を少くとも750℃の昇温へ、
混合物かセラミック物質へ転化されるまで焼成する。R
3SiNH百mシラザンポリマーと硼素゛化合物の混合
物は加熱分解前に真主ストリッピングを行7C>ことが
一般的に好ましい。シラザンポリマーと硼素化合物の混
合物が十分に粘性である場合にな、あるいは混合物が十
分に低い融点を保有する場合には、まず形状を与え、そ
して次に7アイパーのような窒化珪素含有成形物品を与
えるよう加熱分解することができる。シラザンポリマー
と硼素化合物の混合物はセラミック屋の充填剤(もし必
要なうはンで以℃充填して、次に少くとも750℃へ焼
成し℃セラミック物質またはセラミック物品を得ること
ができる。
本発明のシシデンボリマーとa素化合物の混合物は応用
に応じ℃、充項状態および非充填状態の両方で使用でき
る。従つ℃、基体を充填および非充填の混合物で以℃被
覆し、基体を加熱し℃セラミック被覆物品を生成させる
ことも1本発明の領域内と考え℃いる。充填剤と助剤は
3本ロールミル上で、本発明のポリマーと硼素化合物と
を充填剤と一緒に単純に混合しミル上を数回通すことに
よって微粉砕することができる。あるいはまた、ポリマ
ーと硼素化合物とを浴剤中に入れ、充填剤と助剤をそれ
へ添加し、混合後、溶剤を除去し℃充填ポリマー混合物
を得ることができる。この被覆は慣用的手段によって実
施することができる・使用される手段は使用されるポリ
マー混合物と基体、および目的としている応用に依存す
る。例えは、これらの物質を刷毛塗り、ロール塗布、浸
漬あるいはスプレーによつ”C施用することができる。
充填状態におい”Cは、混合物を基体上へ鏝で塗ること
かときには必要である。本発明のシ乏デンボリマーと硼
素化合物の混合物はまた滲透剤としてセラミック物質と
一緒に、あるいは複合体用マトリックス物質とし℃、使
用し℃もよい。その他の用途は木切組番を考察すること
により″C尚業者にとつCBAらかになる。
当業者が本発明をより良く評価および理解するようンこ
、以下の実hりuが示され℃いる。
実施列におい’C1R3SiNH會イシラザンポリマー
と硼素化合物(λいわゆる湿式磨砕法を使つ℃混合され
る。硼素化合物の所要量を乾燥トルエン中のR3SiN
H百有シラデンボリマ〜の50貞麓優溶液へ、半バイン
ドのミルシャーの中で添加した。
セラミック質暦砕用ボールを祭加後、シャーをアルゴン
で以℃バージして封をした。試¥+を16時時間式磨砕
した。溶剤は変性されたR35iH含有シラデンから真
空ストリッピングによって、25℃で3 mm FIg
におい13時間、および50℃で2鑓Hgにおいて1時
間除去した。
すべての混合試料はアルゴン下で乾燥ボックス中で使用
まで貯えた。
試料はすべ℃、アストロ・インダストリーズ・7アーネ
ス100CIA水冷黒鉛加熱モデル1000・3060
−IFF−12の中でヘリクム雰囲気中で焼成した。試
料はすべ″c5.6時間の間にわたつ℃1300℃へ加
熱し、1300℃におい1:12分間保持し、次に旭温
へ冷却させた。焼成中な、焼成温度を2.8℃/分の速
度で60 [1’0へ上げ、次に6.3℃7分の速度で
300℃から800℃へ上げ、次に800℃から130
0℃へ41.7℃/分の速度で上げ、1300℃で12
分間保ち、次に66°C/分の速度で冷却させた。
実施例中、対照標準試料it、硼素硼素化合物含有シラ
ポンポリマーじ丸埋(すなわち、湿式島砕工程)にかげ
たが、ただし、対照徴準試料鉱硼素化合物を含んでいな
かった。混合工程を施こした対照試“料と混合工程を施
こさなかった対照標準試料のセラミック収量は、同じ加
熱分解条件下で昇温温度へ焼成するとき、本質上同じで
あった。
実施例1 米国特許M4.340,619号明細書に概説されてい
る手職によつ℃つくった(CH3)、S iNH含有シ
59’ンボリマーを本実施fitにおい℃使用した。
42.5重量−のCL2(CH,、)SiSi (CH
3,)C22,65,6重量%のcz(an3ンgfl
isi(CH3)CV−2,9−5X量饅のCL(CH
5)2BiBi、(CH3)2Ct 、および12.4
!を−の低沸点クロロシランから成るメチルクロロジシ
ラン類(26ボンド)と、ヘキサメチルフシ2デン(4
2,2ポンド)との混合物を721のステンレス鋼反応
器中で窒素雰囲気下で反応させた。反応温度を195℃
へ1°C/分の速度で上げ、その間、揮発性副生物を点
滴によって除いた。得られた固体の(CEI3)3Si
NH含有シラザンポリマーは68℃の軟化点をもつ℃い
た。
13i量チの硼素を含む変性された(CH3)3SiN
H含有シラザンポリマーを湿式磨砕技法によつ℃、0.
571のオルソ硼酸を9,9yのそのCCHs)sB淵
含有シシデンボリマーと一緒にトルエン中で混合するこ
とによってつくった。オルソ硼酸からの1X愈チの硼素
を含むいくつかの他の試料もまたつくった。もう一つの
試料は2J!ji−チの8索を含むようつくり、その際
、添加硼素化合物にまたオルソa酸であった。これらの
試料はヘリウム雰囲気下で1300℃において焼成した
(全焼成時間μ5.6時間であり、試f+μm300℃
で12分向床持した〕。#呆?:樅Iに示す。
実施例2 実施9121の同じ(CH3,)3#iNH宮ゼシ之デ
ンボリマーを使つ℃、1重R%の#1素を含む変性され
た(CH3)、5iBrH冨有シラザンポリマー七つく
った。
使用繊素化合物はトリメトキシポリンであった。
試料は1300℃へヘリウム雰囲気下で焼成した。
結果を表■に示す。
実施例6 本案mPIは比較目的だげのためのものである。
1、OX量の硼素を含む((R3) 38j、NH含含
有シラノンポリマー実施例1のシラザンポリマーと硼酸
す) !j ウA (Na、R40,)とヲ九合するこ
とによっ℃つくった。試料は前のとおり1300℃へ焼
成しも変性されたシラザンポリマーは、対照標準につい
ての54.0%と比べz、52.2%のセラミック収率
を示した。本実施例は、錨索化合物、R3SiNH含有
シラザンポリマー、および焼鳥条件の組合せのすべてが
セラミック収量の増大したセラミック生成物に通ずるも
のではないことft例証し℃いる。
実施fi14 本実施例は比板目はシだゆのために含まれ℃いる。
実施例1のシラザンポリマーを使つ℃、一連の添加剤を
セラミック収率に及はすそれらの効果を決定するために
検討した。どの晦加剤もセラミック収量を著しくは増大
させなかった。それらの添加剤は表■に示す。
表  ■ なし く対照標準)         54.3      
 −R3BO31−059−29,0 a、no31.0   60.3      11.D
H5EO31,064,118,0 g、Bo31.[l    59,9      10
.3u3Bo、     2.0   61.4   
   13.8表 ■ なゝ    −54,0− (対照標準) B(oca3Js   i、o    57.2   
   5.9表■ セラミック収率な増大させない添加
剤At     アルミニウムー5ea−ブトキサイド
アルミニウム酸化物 アルミニウムアセチルアセトネート Ba      バリウムオクトエートCカーポンプノ
ック Co      セリウム(m)オクトエートOr  
   クロム金属 CQコバルト(…〕オクトエート Cu      鋼(■)χクトエートHf     
 ビス(シクロペンタジェニル−ハフニウムシクロライ
ド Fe    鉄(■)酸化物 鉄CI[、)オクトエート 鉄(■ノアセチルアセト不一ト ノナカルボニルゾ妖 鉄(1,1埴化物 pb      鉛(ff)オクトエートMg    
 エチルマク坏シウムプロマイトMn      マン
ガン(fi)オクトエートマンガン(ff)オクトエ−
1・ Hg     水銀(■ノア上テート Mo      モリブデン(VI)オクトエートNi
      ニッケル金属 ニッケル(IIノオクトエート Os    アンモニアへキサブロモオスメートP  
  燐酸 肚     ロジクムクロライド Sr     ストロンチワムアセテルアセトネートS
    元紮硫貢 sn    錫金属 錫(I[)ラフレート T1     チタン酸化物 W     メシテレントリカルポニ、ルタングステン
■     バナジウム金属 バナジウム(I)アセチルアセトネートY     イ
ツトリウムアセチルアセトネートZn    亜鉛金属 亜鉛(11)オクトエート

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)変性されたR_3SiNH含有シラザンポリマー
    を不活性雰囲気中または真空中で少くとも750℃の温
    度へ、上記変性R_3SiNH含有シラザンポリマーが
    同条件下で加熱された非変性R_3SiNH含有シラザ
    ンポリマーと比べて増大したセラミック収率でセラミッ
    ク物質へ転化されるまで、加熱することから成り、その
    際、変性R_3SiNH含有シラザンポリマーが非変性
    R_3SiNH含有シラザンポリマーを、有効かつセラ
    ミック収率を増大する量の硼素化合物と混合することに
    よつてうることを特徴とする、セラミック物質の製造方
    法。
  2. (2)非変性R_3SiNH含有シラザンポリマーを、
    本質的に無水の不活性雰囲気中で一般式 (Cl_bR′_cSi)_2 の塩素含有ジシランまたは塩素含有ジシラン混合物と一
    般式 (R_3Si)_2NH (式中、R′はビニル基、炭素原子数1〜3個のアルキ
    ル基、またはフェニル基であり、Rが水素原子、ビニル
    基、炭素原子数1〜3個のアルキル基、あるいはフェニ
    ル基であり、bは0.5から3の値をもち、cは0〜2
    .5の値をもち、(b+c)の合計が3に等しい)のジ
    シラザンとを25℃から300℃の範囲の温度において
    接触および反応させその間副生する揮発性生成物を蒸溜
    することによつて生成する、特許請求の範囲第1項に記
    載の方法。
  3. (3)非変性R_3SiNH含有シラザンポリマーを、
    本質的に無水の不活性雰囲気において一般式 R′_nSiCl_(_4_−_n_) のオルガノクロロシランあるいはオルガノクロロシラン
    混合物と一般式 (R_3Si)_2NH (式中、R′はビニル基、炭素原子数1〜3個のアルキ
    ル基、あるいはフェニル基であり、Rは水素原子、ビニ
    ル基、および炭素原子数1〜3個のアルキル基、あるい
    はフェニル基であり、nは1または2の値をもつ)のジ
    シラザンとを25℃から300℃の範囲の温度において
    接触および反応させその間副生する揮発性生成物を蒸溜
    することによつて生成する、特許請求の範囲第1項に記
    載の方法。
  4. (4)非変性R_3SiNH含有シラザンポリマーを、
    本質的に無水の不活性雰囲気においてトリクロロシラン
    とジシラザンとを25℃から300℃の範囲の温度にお
    いて接触および反応させその間副生する揮発性生成物を
    蒸溜することによつて生成し、その際、上記ジシラザン
    は一般式 (R_3Si)_2NH (式中、Rは水素原子、ビニル基、炭素原子数が1〜3
    個のアルキル基、あるいはフェニル基である)をもつ、
    特許請求の範囲第1項に記載の方法。
  5. (5)硼素化合物がメタ硼酸、オルソ硼酸、テトラ硼酸
    、酸化硼素、および珪化硼素から成る群から選ばれる、
    特許請求の範囲第1項に記載の方法。
  6. (6)硼素化合物がメタ硼酸、オルソ硼酸、テトラ硼酸
    、酸化硼素、および、珪化硼素から成る群から選ばれる
    、特許請求の範囲第2項に記載の方法。
  7. (7)硼素化合物がメタ硼酸、オルソ硼酸、テトラ硼酸
    、酸化硼素、および珪化硼素から成る群から選ばれる、
    特許請求の範囲第3項に記載の方法。
  8. (8)硼素化合物がメタ硼酸、オルソ硼酸、テトラ硼酸
    、硼素酸化物、および、珪化硼素から成る群から選ばれ
    る、特許請求の範囲第4項に記載の方法。
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