JPS6180707A - 透明導電材料 - Google Patents
透明導電材料Info
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- JPS6180707A JPS6180707A JP20243984A JP20243984A JPS6180707A JP S6180707 A JPS6180707 A JP S6180707A JP 20243984 A JP20243984 A JP 20243984A JP 20243984 A JP20243984 A JP 20243984A JP S6180707 A JPS6180707 A JP S6180707A
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Links
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明に透明導電材料に関するものであり、更に詳しく
はポリメチルメタクリレート（以下、ＰＭＭＡと格子）
を基体とする透明導電材料に関する。
はポリメチルメタクリレート（以下、ＰＭＭＡと格子）
を基体とする透明導電材料に関する。
一般に、透明導電材料は液晶ディスプレイ用透明電極、
エレクトロルミネッセンス発元体用透明電極、透明面発
熱体、静電遮蔽材料及び帯電防止材料など広い用途に用
いられている。
エレクトロルミネッセンス発元体用透明電極、透明面発
熱体、静電遮蔽材料及び帯電防止材料など広い用途に用
いられている。
従来知られている透明導電材料としては、ガラス又はポ
リエステルフィルム等の耐熱性高分子フィルムからなる
基体に金、パラジウム、アルミニウムなどの金属薄膜又
は酸化インジウムと酸化スズとからなる半導体膜＠を被
覆したものが主であり、ほかに酸化チタ／／銀／酸化チ
タンなどの多層膜、高分子電屏質などを被覆したものか
ある。
リエステルフィルム等の耐熱性高分子フィルムからなる
基体に金、パラジウム、アルミニウムなどの金属薄膜又
は酸化インジウムと酸化スズとからなる半導体膜＠を被
覆したものが主であり、ほかに酸化チタ／／銀／酸化チ
タンなどの多層膜、高分子電屏質などを被覆したものか
ある。
これらのうちガラスを基体とした透明導電材料は優れた
透明性と導電性を有するものの、可撓性等加工性に劣り
、又ポリエステルなどの耐熱性高分子フィルムを基体と
した透明導電材料に加工性には優れるものの、ガラスに
比べ基体自体の透明性が低く、しかも大きな複屈折率を
Ｍするなどの問題があった。
透明性と導電性を有するものの、可撓性等加工性に劣り
、又ポリエステルなどの耐熱性高分子フィルムを基体と
した透明導電材料に加工性には優れるものの、ガラスに
比べ基体自体の透明性が低く、しかも大きな複屈折率を
Ｍするなどの問題があった。
本発明者らはかかる従来の問題点のない透明導電材料に
ついて鋭意検討した結果、本発明に到達したものである
。
ついて鋭意検討した結果、本発明に到達したものである
。
本発明に、ポリメチルメタクリレートからなる基体、好
ましくは表面硬化処理されたポリメチルメタクリレート
からなる基体上に酸化インジウムと酸化スズとからなる
透明導性半導体膜を設けたことを特徴とする透明導電材
料である。
ましくは表面硬化処理されたポリメチルメタクリレート
からなる基体上に酸化インジウムと酸化スズとからなる
透明導性半導体膜を設けたことを特徴とする透明導電材
料である。
本発明の透明導電材料の基体として用いられるポリメチ
ルメタクリレート（ＰＭＭＡ）ＨＷ機ガラスとも称され
る如く、他の高分子材料に類をみない透明性を有し、か
つ複屈折率も小さく、可焼性等加工性に関しても良好な
性質を肩している。ＰＭＭＡを基体として用いた透明導
電材料に関しても上記各性質に有効に作用しており、ガ
ラスや耐熱性高分子フィルムを基体とした場合の透明導
電材料の欠点を克服している。
ルメタクリレート（ＰＭＭＡ）ＨＷ機ガラスとも称され
る如く、他の高分子材料に類をみない透明性を有し、か
つ複屈折率も小さく、可焼性等加工性に関しても良好な
性質を肩している。ＰＭＭＡを基体として用いた透明導
電材料に関しても上記各性質に有効に作用しており、ガ
ラスや耐熱性高分子フィルムを基体とした場合の透明導
電材料の欠点を克服している。
本発明において使用される透明導電性の膜としては、酸
化インジウムと酸化スズとからなる半導体膜を用いるこ
とが必要である。金属薄膜、多層膜及び高分子電解質膜
なども使用可能であるが、金属薄膜に元の吸収と反射が
犬きく透明性が悪く、又多層膜に単層膜に比べ形成が難
しく、更に高分子電解質膜框膜抵抗が高いためあまり好
ましくない。
化インジウムと酸化スズとからなる半導体膜を用いるこ
とが必要である。金属薄膜、多層膜及び高分子電解質膜
なども使用可能であるが、金属薄膜に元の吸収と反射が
犬きく透明性が悪く、又多層膜に単層膜に比べ形成が難
しく、更に高分子電解質膜框膜抵抗が高いためあまり好
ましくない。
本発明において設けられる透明導電膜に図１に示す如く
、基体の両面（イ）、片面（ロ）、いずれでも良く、又
面全体（−） 、網目状（ニ）、線状（ホ）等様々な形
態で良い。
、基体の両面（イ）、片面（ロ）、いずれでも良く、又
面全体（−） 、網目状（ニ）、線状（ホ）等様々な形
態で良い。
本発明の透明導電材料に使用されるＰＭＭＡ基体に表面
硬化処理されているものが好ましい。
硬化処理されているものが好ましい。
表面硬化処理としては、公知の種々の硬化処理が可能で
あり、例えばアクリレート系のＵＶ硬化樹脂の使用など
がある。表面硬化処理されたＰＭＭＡ基体に処理されて
いないＰＭＭＡ基体に比べ、耐溶剤性、耐熱性が向上し
、化学的、熱的に安定になるほか、透明導電膜形底時に
真空条件を必要とする場合、基体表面付近のメチルメタ
クリレートやそのオリゴマー等の低沸点の蒸発が抑制さ
れ、真空状態を安定化できるためである。
あり、例えばアクリレート系のＵＶ硬化樹脂の使用など
がある。表面硬化処理されたＰＭＭＡ基体に処理されて
いないＰＭＭＡ基体に比べ、耐溶剤性、耐熱性が向上し
、化学的、熱的に安定になるほか、透明導電膜形底時に
真空条件を必要とする場合、基体表面付近のメチルメタ
クリレートやそのオリゴマー等の低沸点の蒸発が抑制さ
れ、真空状態を安定化できるためである。
本発明に係る透明導電材料の用途としては、ガラスや耐
熱性高分子フィルムなどを基体とした透明導電材料と同
様に液晶ディスプレイ用透明電他、エレクトロルミネッ
センス発光体用透明電極、面発熱体、電磁波シールド材
などに応用でき、透明性と加工性の両者を兼ね備えた用
途に特に有効に用いることができる。
熱性高分子フィルムなどを基体とした透明導電材料と同
様に液晶ディスプレイ用透明電他、エレクトロルミネッ
センス発光体用透明電極、面発熱体、電磁波シールド材
などに応用でき、透明性と加工性の両者を兼ね備えた用
途に特に有効に用いることができる。
以下、本発明を実施例にて説明する。
透明導電材料の基体としてエポキシアクリレート系の紫
外線硬化樹脂にて表面硬化処理を施した厚みが１ｍｍ、
３ｍ及び５簡のポリメチルメタクリレート板、厚みが１
朧の表面硬化処理を施していないポリメチルメタクーリ
レート板、ガラス板、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを用いて反応スパッタリング法にて酸化インジウム
−酸化スズ系半導体膜を設けた。反応スパッタリングｕ
Ａｒ ＋ ０２雰囲気中で基体温度３０℃、陰極に酸
化インジウム−酸化スズ（酸化スズ含量８ ｗｔ％）に
て常法に従い実施した。
外線硬化樹脂にて表面硬化処理を施した厚みが１ｍｍ、
３ｍ及び５簡のポリメチルメタクリレート板、厚みが１
朧の表面硬化処理を施していないポリメチルメタクーリ
レート板、ガラス板、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを用いて反応スパッタリング法にて酸化インジウム
−酸化スズ系半導体膜を設けた。反応スパッタリングｕ
Ａｒ ＋ ０２雰囲気中で基体温度３０℃、陰極に酸
化インジウム−酸化スズ（酸化スズ含量８ ｗｔ％）に
て常法に従い実施した。
得られた透明導電材料の品質を下表に示す。
光透Ａ軍は５５０ ｎｍ 単色光にて測定〔発明の効果
〕 上述の如く構反された本発明の透明導電材料に、ガラス
板を基体に用いて作製した透明導電材料と同等の透明性
と導電性を肩し、かつＰＭＭＡを基体としているため、
ガラス板を基体としたものと比較して加工性が非常に優
れているという格別の効果を奏するものである。
〕 上述の如く構反された本発明の透明導電材料に、ガラス
板を基体に用いて作製した透明導電材料と同等の透明性
と導電性を肩し、かつＰＭＭＡを基体としているため、
ガラス板を基体としたものと比較して加工性が非常に優
れているという格別の効果を奏するものである。
第１図に本発明の透明導電膜の形成形態の一具体例を示
す図である。 １・・・基体 ２・・・透明導電膜 （イ）両面に透明導電膜を形成した場合（ロ）片面に透
明導電膜を形成した場合（・−）面全体に透明導電膜を
形成した場合（ニ）網目状に透明導電膜を形成した場合
（ホ）線状に透明導電膜を形成した場合毫／凶 （ハラ にン （ホ）
す図である。 １・・・基体 ２・・・透明導電膜 （イ）両面に透明導電膜を形成した場合（ロ）片面に透
明導電膜を形成した場合（・−）面全体に透明導電膜を
形成した場合（ニ）網目状に透明導電膜を形成した場合
（ホ）線状に透明導電膜を形成した場合毫／凶 （ハラ にン （ホ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基体がポリメチルメタクリレートであり、かつ該基
体上に酸化インジウムと酸化スズからなる透明導電性半
導体膜を設けたことを特徴とする透明導電材料。 ２、基体が表面硬化処理されたポリメチルメタクリレー
トである特許請求の範囲第１項記載の透明導電材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20243984A JPS6180707A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 透明導電材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20243984A JPS6180707A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 透明導電材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6180707A true JPS6180707A (ja) | 1986-04-24 |
Family
ID=16457539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20243984A Pending JPS6180707A (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 透明導電材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6180707A (ja) |
-
1984
- 1984-09-27 JP JP20243984A patent/JPS6180707A/ja active Pending
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