JPS6181858U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の概略を示す斜視図、第２図ａ
ないしｃは本考案の動作を示す説明図である。第
３図は研摩装置の一実施例を示す正面図、第４図
は第３図における−線に沿う断面図である。
第５図は従来例を示す概略図、第６図は従来例の
動作を示す説明図である。 １……ラツピングフイルム、４……研摩面、５
……被加工物、６……支持体、１９……気密室、
２２……加圧手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ラツピングフイルム１の研摩面４に被加工
   物５を摺接可能に配設するとともに、研摩面５の
   裏側を支持体６の押圧面７により被加工物５に向
   け押圧する研摩装置において、 上記支持体６に、少なくとも周面の一部に弾性
   膜からなる押圧面７を備えた気密室１９を設ける
   とともに、該気密室１９の内部に圧力流体を導入
   可能とした研摩装置。 (2) 前記支持体６の気密室１９は加圧手段２２
   と連通され、任意の内圧に設定される実用新案登
   録請求の範囲第１項記載の研摩装置。 (3) 支持体６の押圧面７は円筒状であつて、ラ
   ツピングフイルム１の送り速度と同一の周速で回
   転される実用新案登録請求の範囲第１項または第
   ２項記載の研摩装置。