JPS6182083A - ガス切替供給装置 - Google Patents

ガス切替供給装置

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JPS6182083A
JPS6182083A JP20347484A JP20347484A JPS6182083A JP S6182083 A JPS6182083 A JP S6182083A JP 20347484 A JP20347484 A JP 20347484A JP 20347484 A JP20347484 A JP 20347484A JP S6182083 A JPS6182083 A JP S6182083A
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孝 浅野
Yoshitsugu Kato
加藤 尚嗣
Atsuo Noguchi
野口 淳夫
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は酸素、窒素等の圧縮ガスや、笑気ガス、炭酸ガ
ス等の液化ガスが元bQされているガス容器から、これ
ら各種のガスを所¥2哨費設筒に(1(給する際、当該
消費設備をもつ製造工場や病院などにおいて、当該ガス
を連続して供給可能とするため、一方のガス容器のガス
が消゛費されて来た時点で、他方のγ14杯ガス容器に
、ガスの供給源を自動的に切替え得るようにしたガス切
片供給装置に関する。
〔従来の技術〕
このようなガス切替装J(では、館記消費設侑をもつ製
造工場や病院などにあって、その供給が突然外+hされ
たとすると、これが重大な損失、生命にかかわる大事故
にもつながることになるから、如何なる場合にもガスの
供給が跡絶えることのない高い信頼性を要求されること
になる。
ところが、この種の装置として?i!一般には第3図の
如きものか用いられている。
これによると、同図ta+に示す如々第1.第2ガス容
器A1、A2を接続すべき夫々第1、第2供給ラインB
、、B2が合流ラインCにて連結され、同ラインCから
ガス圧調整器りを介してガス需要先Eに連通配管されて
おり、上記第1、第2供給ラインB、、B2には頚次第
1、第2圧力スイツチFI% F2を付設オろと共に、
常閉塞の第1.第2電磁弁G、 、G2を介設されてい
る。
さらに電気的結線構成としては、同図+b+に示す通り
、電源端子H,、I2間に、順次前記第1、第2圧力ス
イソチF、 、F、と第1、第2電磁弁G、 、G2そ
して第1.第2リレー■4、■、の電流線輪、さらに上
記第2、第1リレー12、I、の各第2、第1常閉リレ
ー接点丁;、工;を夫々直列接続とした第1、第2直列
回路J、、J2が、並列に接続されている。
従って第1供給ラインB、に第1ガス容器A1を連結し
てやれば、同容器A、のガス圧により第1圧力スイッチ
F、が閉成されて導通状態となり、第1直列回路J1に
は電流が流れて、’I:’r閉塞の第1′−R磁弁G1
が開通状態となり、この結果第1供給ラインB1を通し
て、第1ガス容器A1のガスが、合流ラインC−ガス圧
調整器りにより占要先Eに供給される。
このようにして第1ガス容洲A 1 のガスがt自費さ
れていくと、同3A1の残ガスが減少していくに従って
、ガス圧も降下し、第1王ガスイッチF、の設定1直、
すなわちガスf、凋!!す器りによる調整圧力よりも、
消高いガス工性まで降圧して東ることにより、同スイッ
チF、が閉成作動し、この結果第1供給回路J、が開路
となる。
この′f08県第1化第1電磁弁G、磁となって閉塞状
態となり、第1容HA 1からのガス供給が停止される
と共に、第1リレー■1に6電流が流れなくなる結果、
第2供給回路、I2に接b゛1;されてい−ろ第1常閉
リレー接点■;が閉し、この際接続されている第2ガス
容器A2のガス圧にて、第2圧力スイツチF2は閉成状
態にあるから、第2直列回路J2が閉路となって、第2
電磁弁G、の励磁による開通状態が7℃)られ、第2ガ
ス容器A2からのガス供給に切替えられるのであり、こ
のような切替え作動が繰り返されて、ガスの連続供給が
可能となるものである。
上記の通り従来装置によるときは、図示の如く2ケの圧
力スイッチ、2.17の電磁弁そして2ケのリレーを使
用しなければならないから、それだけ高価となるだけで
な(、部品数が多いだけ故障の生ずる虞れも犬となって
信頼性の点て問題があり、さらに重大な欠陥は、停電と
なったとき、完全にガスの供給が遮断されてしまうとい
うことである。
すなわち、停電時には何れのガス容器から供給さねてい
るとしても、当該供給側の電磁弁が姐励磁となって閉じ
てしまい、このとき池の供給ラインでは当該電磁弁は閉
塞中であるから、何れの電磁弁も閉塞状態となり、この
結果重大な事故を引きおこす心配もあり、かつまたガス
供給中は当該電磁弁に電流を供給しておかねばならない
ので、電力消費の点ても望ましくない。
さらに、当該従来装四のこれまた問題としなければなら
ない欠陥は、一方のガス容器から供給されていた状態か
ら、他方のガス容器にその供給源が切替えられたとき、
当該切替えられな側にガス容器が連結されていなかった
ような場合か、連結されていたとしても、希にではある
が生ずることのあるガスの漏出により、当該ガス容器が
空になっていたような場合にも、完全にガスの供給が跡
絶えてしまうということであ〔発明が解決しようとする
問題点〕 本願は上記従来装置の欠陥に鑑み検討されたt)ので、
これまで第11第2ガス容器に全4対等な機能を負わせ
、順次交互に各容器のガスを消尽してい々という考え方
であったのに対し、本願では一方のガス容器をガス供給
のための主容器とし、池のガス容器は、予備容器として
機能させ、主容器のガスを使用したならば、この主容器
を新規なガス容器lこ交換するまでの間だけ、予備容器
からガスを供給してやるという考え方に立脚したもので
ある。
そして本願第1発明では、上記の考え方を基盤とするこ
とにより1ケの圧力スイッチと2ケの電磁弁等による開
閉弁機構だけで、リレーをも不要となし、かつガス供給
時に励磁電流を消費しない構成とすることで、小型にし
て安価、かつランニングコストの低い、しかも故障が少
なく、さらに停電時にあってもガス供給が中断してしま
うことのないものを提供しようとするのが、その目的で
ある。
さらに、第2発明では上記第1発明に加えて、適所に人
為的な開閉スイフチを接続しておくことにより、当該ス
イッチの操作により、何等かの理由で予備容器の接続が
準備されていないような場合でも、切替えられた際主容
器の残ガスを完全に使い果してしまうまでの或時間だけ
は、継続してガスを供給可能となし、二の間に予備容器
の連結作業を終えて正常状態になし与るよう吋処できる
ようにするのが、その目的である。
〔問題点を解決するための手段〕
本願第1発明では、前記の目[1jJを達咬するため、
ガス77i要先に、ガス圧調整器を介して所望カーy、
6のガスを供給する合流ライン齋こ、主ガス容器を連結
する主供給ラインと、予備ガス容器が連結される予備供
給ラインとを並接し、上記上fR、+iiラインには、
当該ラインのガス圧が所定値まで降圧したとき閉成作動
する圧力スイッチをf=を設するとp;に、上記の踏定
値降圧に連動して閉塞状聾となる非降圧時開通の開閉弁
を介設し、「・備供給ラインには、l i上圧ガスイ・
ノチの同上所定値降圧による閉成作動により供給される
励磁電流にて、開通状態となる非降圧時閉塞の電磁弁を
介設するようIこしている。
さら)こ本願第2発明では、@記目的達成のため上記第
1発明の構成に加えて、さらに圧力スイフチの閉成作動
によって上Jこ電磁弁または同心線す1゛と開閉弁とに
励磁電流を(1(給する回路にあって、接離自在な開閉
スイッチを介接するようにしている。
〔作  用〕
本願第1発明では、圧力スイッチが一ドガス容器のガス
圧により閉成しており、従って開閉弁に電磁弁が用いら
れているとき、これは励磁されず、このため当該電磁弁
は閉成状態のままにゐるので、ガスは主供給ラインを介
しガス圧調?:器を経てガス需要先に供給される。
上記のガス圧が降下して、前述の通りガス圧調整器によ
る調整圧力より消高い圧力まで降圧して来たときには、
当該圧力スイッチが閉成して−Fユ記主電磁弁閉塞し、
主供給ラインからのガス供給を断ち、これと同時に予備
供給ラインの電磁弁が励磁されてUFJ通状態となるの
で、予備ガス容器から予備供給ラインによるガス供給に
切替えられる。
そこでこの間に主ガス容器を新規なものに交換してやれ
ば、圧力スイッチが開いて、主供給ラインの電磁弁が開
き、予備供給ラインの電磁弁は閉じるので再ひ主ガスH
器からのガス供給となり、ガスの1F常な継続的供給が
確保される。
尚開閉器として電磁弁ではなしに、逆止弁を用いるよう
にしたときは、当該逆止弁の回置における圧力差によっ
て上記した電磁弁の場合と全く同じ開通、閉塞作動を行
わせることができる。
次に停電時にあっては、それが主供給ラインの稼動中で
あれば、圧力スイッチは閉成しており電力消費がな(、
その状態で開閉器は開通しているから、停電となっても
そのまま主供給ラインからのガス供給が続行され、さら
に停電がF備供給ラインの稼動中であれば、予備供給ラ
インの電磁弁が励磁電流を失って閉塞されるが、主供給
ラインの開閉器は開くこととなるから、主ガス容器にま
だ残っていたガスだけは、供給される二ととなり直ちに
ガスの供給停止には至らない。
次に本願第2発明によれば、平常時は閉成状態にしであ
る開閉スイッチを操作して閉成することにより、何等か
の事情によって予備ガス容器−が準備できないような際
でも、万一このような状態下で常開圧ガスイノチが降王
倹知で閉成作動し、これによりガス供給が切替えられた
とき、予備供給ラインの電磁弁は開閉スイッチの閉成で
励磁されないから、当該電磁弁が開通状態とならず、し
かも主供給ラインの開閉弁も閉塞状態とはならないので
、主ガス容器から残ガスの供給が続けられ、ガス供給が
即時に跡絶えてしまうことがない。
〔実施例〕
本願を図示の実施例によって詳記すると、第1図の(a
lに示されている通り、主ガス容器1を接続すべき主供
給ライン2と、予備ガス容器3を接続すべき予備供給ラ
イン4とが、合流ライン5に並接され、同ライン6から
は、ガス圧調整器6を介して調整圧力としたガスが、ガ
ス需要先7に供給し得るよう配管されている。
上記主供給ライン2には、当該ライン2のガス圧が、上
記ガス圧調整器6の調整圧力より少しく高い圧力まで降
下して来たとき、これを検知して閉成作動する圧力スイ
ッチ8が付設されていると共に開閉弁9として図示例で
は電磁弁が介設されており、一方予備供給ライン4には
、平常時に閉塞状態であり、励磁により開通状態となる
電磁弁1oが介接され、9a、9b、9cは開閉弁9の
夫々流入口、弁口、流出口を示し、ソレノイド9dの励
磁により吸引上動して弁口9bを閉塞する作動弁体9e
を具備し、また10a、10b、10cは電磁弁10の
夫々流入口、弁口、流出口で、当該弁10ではツレノイ
ド10dの励磁により作動弁体10eを吸引上動させる
ことで、弁口10bが開通するよう(こしである。
次に同図(b)には当該実施例の電気的結線構成が示さ
れており、電源端子11a、11bの間暑こは、旧訳圧
力スイッチ8と警報回路12とが直列に接続されている
と川に、当該回路12には開閉スイッチ13の一極13
aを介して、前記した一開閉弁9のソレノイド9aと、
電磁弁1゜のソレノイド10dとが夫々並列に接続され
ており、図中14は電源用パイロットランプ、15は上
記開閉スイッチ13のl+b極13bを介して電源端子
11a、11b間に接続した開閉スイッチ用パイロット
ランプを示している。
ここで上記の警報回路12として例示されているものは
、圧力スイッチ8の閉成により点灯する警報ランプ16
、常接リレー接点17aと警報ブザ−18との直列回路
、そして自己保持用リレー接点17bを具備したブザー
停止用押釦スイッチ19と直列に接続されたリレー17
とを、夫々並接することで構成されている。
従って同回路12によれば、上記圧力スイッチ8の閉成
により冴報ランプ16が点灯、警報ブザ−18が奏鳴す
ることとなるが、このときブザー停止用押釦スイッチ1
9を閉成してやる二とでリレー17が励磁され、常接リ
レー接点17aが開いて当該ブサー18の奏鳴を止める
ことができ、このとき自己保持用リレー接点17bが閉
じるので、同上押釦スイッチ19が復動閉成しても、リ
レー17の励磁が続き奏鳴停止状態が、保持されるもの
であり、図中20はソレノイド9d、10dlこ、1(
4列接続したソレノイド用パイロットランプを示してい
る。
そこで開閉スイッチ13を実線のように閉成して上記装
置を稼動させれば、主ガス容器1のガス圧により主供給
ライン2の圧力スイッチ8は第1図tblのように閉成
し、従って開閉器9のソレノイド9dにも、そして電磁
弁10のソレノイド10dにも励磁電流が流れず、この
ため開閉器9はその作動弁体9eが図示の位置にあり、
主供給ライン2から同容器1のガスが、合流ライン5を
介してガス圧調整器6に供与され、ここで所定の調整圧
力としたガスが、ガス需要先7に供給されることとなる
そして上記のガス供給時には、前記の通り電磁弁10は
励磁されていないから、図示の通り開弁10は閉塞状態
にあり、従って予備ガス容器3からのガス供給は遮断さ
れている。
このようにして、同容器1のガスが次第に消費され、そ
のガス圧が前記の如(設定した圧力よりも降下するに至
れば、圧力スイッチ8がこれを検知して閉成するから、
何れのソレノイド9d、10d(、励磁されることとな
り、このときソレノイド用パイロ゛ノド20が点灯する
と共に、♂報回路12に電力が付与されて、警報ランプ
16が点灯、警報ブザ−18が警報音を発する。
そして上記両ソレノイドの励磁により、開閉弁9の作動
弁体9cが上動して弁口9bは閉塞され、これによりガ
ス供給ライン2からのガス供給が遮断されると共に、電
磁弁10の作動弁体10eも上動して弁口10bが開通
され、予備ガス容器3の予備供ライン4によるガス供給
に切替えられる。
そこで管理者は警報回路12の作動後、速やかに新規な
主ガス容器1に交換することとなるが、これにより圧力
スイッチ8は高いガス圧を受けることとなって、同スイ
ッチ8が閉成されるから、電磁弁1oの閉塞、開閉弁9
の開通となって、再び主供給ライン2からのガス供給で
ある平常状態に復帰する。
尚ここで警報時、警報ブザ−18の奏鳴だけを停止した
いときは、前記の如(ブザー停止用押釦スイッチ19を
閉成してやればよく、さらに上記電磁弁8の閉成復帰に
より、同回路12の稼動は終り、ソレノイド用パイロッ
トランプ20もl肖灯する。
次に当該装置を運転中に、停゛亀となった場合につき説
示すると、当該停電が主供給ライン2の稼動中に発生し
たとすれば、この際圧力スイッチ8は閉成されているか
ら、開閉弁9の閉成、電磁弁10の閉成はそのままの状
態となり、ガスの供給はそのまま続行され、当該主ガス
容器1のガスが消尽されるまではガス供給が続けられ、
停電により直ちにガスが跡絶えてしまうことはない。
次に停電が、予備供給ライン4の稼動中に発生したとす
れば、開通状態にある電磁弁10のソレノイド10dが
解磁されるので、弁口10bが作動弁体10e1こより
閉塞されて予備供給ライン4からのガス供給は止むが、
同時に開閉弁9の解磁によって、作動弁体9eが弁09
bを閉成するので、主ガス容器1に残留していたガスが
主供給ライン2から供給され、従ってこの場合にも直ち
にガスの供給が止ってしまうことはなく、この際圧力ス
イッチらが閉成する降圧設定値を、前記調整圧力よりも
、少しく大きくしておけば、このような停電時における
切替えのとき、主供給ライン2からの供給可能時間を充
分に確保できることとなる。
さらにまた、特別なケースではあるが、予備ガス容器3
の用意ができず、その連結がなされていないような場合
にあって、若し停電になったときに、主ガス容器1がガ
スが欠乏し常開圧力スイッチ8が閉成されたとすると、
予<Kii供給ライン4に切替えられることとなり、上
記の通り予備ガス容器3はないのであるから、ガスの供
給が跡絶えてしまうことになる。
そこで、このような場合には本願第2発明に係る開閉ス
イッチ13を閉成操作してお(のであり、このように対
処しておくことによって、万−上記のように切替えが行
われてしまったとしても、腎報回路12は稼動するもの
の、開閉弁9、電磁弁10には通電がないこととなるか
ら、そのまま主ガス容器1からのガス供給が続行される
こととなり、このような場合にも即時のガス供給遮断と
いった事故を防止することとなる。
次に第2図に係る実施例について詳記すると、これまた
その基本構成は前実施例と同じで、同一部材には同一符
号が付されているが、その機構上の相違はOa開閉弁に
電磁弁を用いることなく、逆止弁を採択した点と、これ
に伴いその電気的構成の点で、開閉弁9に対応するルノ
イド9eが同図tblの如く省略されていることにある
すなわち開閉器9としての逆止弁は、弁口9bか、下側
から逆止スプリング9d’により押し上げられている適
正作動本体9e’にて、閉塞されているものであり、従
って主ガス容器1のガス圧が犬であるときは、主供給ラ
イン2のガスが逆止スプリング9d’の弾力に抗して開
閉器9をIIT!過することで、ガス需要先7に供給さ
れ、同容器1のガス消費により所定値まで降圧すれば、
前同様にして圧力スイッチ8が閉成して、電磁弁1Qが
励磁されることで開通状態となり、予備供給ライン4か
ら、ガスの供給が行われると共に、当該ガスが、上記開
閉弁9の逆止作動弁体9e’に背圧をかけることとなる
から、流入口9a側よりも流出口9c側のガス圧が大と
なり、当該ガス圧差にて弁口9bが閉塞されることとな
り、切替えが前実施例と同じく行われることとなるので
あり、また停電時において、直ちにガスの供給が停止さ
れることのない作動も全く前実施例と同じである。
〔発明の効果〕
本願第1発明によれば、前記のように構成され、かつ上
記のようにして具現されるものであるから、圧力スイッ
チも1個の使用だけですむと共に、リレーが不必要とな
るから小型にて安価、しかも故障の点でも信頼性の高い
ものを提供でき、さらに従来例の最大欠陥であった停電
時にガス供給が中断してしまう問題も、解消できること
となり、この際主ガス容器使用中はもちろん、予備ガス
容器運転中の停電に対しても、主ガス容器の残ガスを活
用して、対処時間を充分に確保することができ、従って
ガスの跡絶えによって生命に危険を与えるといった重大
事故を絶滅することができ、使用する電磁弁もガス供給
中励磁しない状態にあるから、ライニングコストの点で
も望ましい結果が得られる。
次に本願第2発明では、上記第1発明の効果を充足する
だけでなく、開閉スイッチを適所に設けであることで、
予備ガス容器が予備供給ラインに接続されていないよう
な事態が生じても、切替えによるガス供給の中断をさけ
て、主ガス容器の残ガスを活用でき、停電対策に加えて
予1−4iガス容器の不備などによる事故発生に対して
も、その効用を発揮することができる。
部を切欠して示した配官構成凶、弔I C,<l、j工
同喝実施例を示した夫々配管構成図と電気的結線構成図
、第3図は従来のガス切替供給装置を示し、その(at
(blが夫々配管構成図、電気的結線構成図である。
【図面の簡単な説明】
1・・彎・・主ガス容器 2・・・・・主供給ライン 3・・・・拳予備ガス容器 4・・・・・予備供給ライン 5・・・・・合流ライン 6・・・・・ガス圧力調整器 7・・・・・ガス需要先 8・・・・・常開圧力スイッチ 9・・・・・開閉弁 10・・・・・電磁弁 13II@・0開閉スイツチ 代理人 弁理士  斎 *  義 雄 第 j 図 第2図 (b) 第3図 (b) 昭和60年4り/プ日 特許庁長官殿              )ハ1、事
件の表示  特願昭59−2034742、発明の名称
  ガス切替供給装置 株式会社 は (さ ん 4、代理人〒100 明細書の1特許請求の範囲」「発明の詳細な説明」「図
面の簡単な説明」の各欄。 補iEの内容 1 特許請求の範囲を次の通り補正します。 [(1)  ガス需要先に、ガス圧調整器を介して所望
ガス圧のガスを供給する合流ラインに、主ガス容器を連
結する主供給ラインと、予備ガス容器が連結される予備
供給ラインとを並接し上記主供給ラインには、当該ライ
ンのガス圧が所定値まで降圧したとき閉成作動する圧力
スイッチを付設すると共に、上記の所定値降圧に連動し
て閉塞状態となる非降圧時開通の開閉弁を介設し、予備
供給ラインには、上記圧力スイッチの同上所定値降圧に
よる閉成作動により供給される励磁電流にて、開通状態
となる非降圧時閉塞の電気開閉弁が介設されていること
を特徴とするガス切替供給装置。 (2)非降圧時開通の開閉弁が、圧力スイッチの閉成作
業により励磁されて閉塞状態となる電磁弁か、非降圧時
の主供給ラインにおけるガス圧により開通され、所定値
降圧時にあって一′1′−備供給ライン側から印加され
るガス圧にて閉塞される逆止弁である特許請求の範囲第
1項記載のガス切替供給装置。 (3)  ガス需要先に、ガス圧調整器を介して所望ガ
ス圧のガスを供給する合流ラインに、主ガス容器を連結
する主供給ラインと、予備ガス容器が連結される予備供
給ラインとを並接し、上記主供給ラインには、当該ライ
ンのガス圧が所定値まで降圧したとき閉成作動する圧力
スイッチを付設すると共に、上記の所定値降圧に連動し
て閉塞状態となる非降圧時開通の開閉弁を介設し、予備
供給ラインには、上記圧力スイ′ノチの同上所定値降圧
による閉成作動により供給される励磁電流にて、開通状
態となる非降圧時閉塞の電気開閉弁が介設され、さらに
圧ガスインチの閉成作動によって、上記電気開閉弁また
は同電気開閉弁と開閉弁とに励磁電流を供給する回路に
は、接離自在な開閉スイッチが介接されていることを特
徴とするガス切替供給装置。」 2 明細書の第9頁14行目の「電磁弁」、同頁17行
目の「電磁弁」、同頁18行目の「電磁弁」をそれぞれ
「電気開閉弁」と補正します。 3、明細書の第10頁13行目の「電磁弁」、同頁18
〜19行目の「電磁弁」をそれぞれ[電気開閉弁」と補
正します。 4 明細書の第11頁12行目の「電磁弁」を「電気開
閉弁」と補正します。 5 明細J)の第12頁3行目の「電磁弁」、同頁4行
目の「電磁弁Jをそれぞれ「電気開閉弁」と袖正します
。 6 明細書の第13頁4行目の「電磁弁」、同頁8行目
の「電磁弁」、同頁18行目の1電磁弁」をそれぞれ「
電気開閉弁」と補正します。 7 明細書の第15頁7行目の1電磁弁」、同頁14〜
15行目の「電磁弁」をそれぞれ[電気ann閉弁色補
正します。 8 明細書の第16頁10行目の「電磁弁ゴ、同頁18
行目の「電磁弁」をそれぞれ「電気開閉弁」と補正しま
す。 9 明細書の第17頁4行目[電磁九を[圧力スイッチ
」と補正し、同頁11行目の「電磁弁」同頁17行目の
「電磁弁」をそれぞれ[電気開閉弁Jと補正します。 10  明細書の第19頁3行目の「電磁弁」を「電気
開閉弁」と補正します。 11 明細書の第20頁4行目の「電磁弁」を「電気開
閉弁」と補正しまずう 12 明細書束21頁7行目の1電磁弁」を「電気開閉
弁」と、同頁8行目の「@磁」を「]j電」とそれぞれ
補正します。 13 明細書の第22頁16行目の「電磁弁」を「電気
開閉弁」と補正します。 以   上

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ガス需要先に、ガス圧調整器を介して所望ガス圧
    のガスを供給する合流ラインに、主ガス容器を連結する
    主供給ラインと、予備ガス容器が連結される予備供給ラ
    インとを並接し、上記主供給ラインには、当該ラインの
    ガス圧が所定値まで降圧したとき閉成作動する圧力スイ
    ッチを付設すると共に、上記の所定値降圧に連動して閉
    塞状態となる非降圧時開通の開閉弁を介設し、予備供給
    ラインには、上記圧力スイッチの同上所定値降圧による
    閉成作動により供給される励磁電流にて、開通状態とな
    る非降圧時閉塞の電磁弁が介設されていることを特徴と
    するガス切替供給装置。
  2. (2)非降圧時開通の開閉弁が、圧力スイッチの閉成作
    動により励磁されて閉塞状態となる電磁弁か、非降圧時
    の主供給ラインにおけるガス圧により開通され、所定値
    降圧時にあって予備供給ライン側から印加されるガス圧
    にて閉塞される逆止弁である特許請求の範囲第1項記載
    のガス切替供給装置。
  3. (3)ガス需要先に、ガス圧調整器を介して所望ガス圧
    のガスを供給する合流ラインに、主ガス容器を連結する
    主供給ラインと、予備ガス容器が連結される予備供給ラ
    インとを並接し、上記主供給ラインには、当該ラインの
    ガス圧が所定値まで降圧したとき閉成作動する圧力スイ
    ッチを付設すると共に、上記の所定値降圧に連動して閉
    塞状態となる非降圧時開通の開閉弁を介設し、予備供給
    ラインには、上記圧力スイッチの同上所定値降圧による
    閉成作動により供給される励磁電流にて、開通状態とな
    る非降圧時閉塞の電磁弁が介設され、さらに圧力スイッ
    チの閉成作動によって、上記電磁弁または同電磁弁と開
    閉弁とに励磁電流を供給する回路には、接離自在な開閉
    スイッチが介接されていることを特徴とするガス切替供
    給装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101839396A (zh) * 2010-05-12 2010-09-22 常州亿晶光电科技有限公司 双气源气路自动转换保压装置
KR20210123183A (ko) * 2020-04-01 2021-10-13 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 이온 주입기 독가스 전달 시스템

Cited By (3)

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US11527380B2 (en) 2020-04-01 2022-12-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Ion implanter toxic gas delivery system

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