JPS6182380A - 磁気ヘツドの振動測定方法 - Google Patents
磁気ヘツドの振動測定方法Info
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- JPS6182380A JPS6182380A JP18239884A JP18239884A JPS6182380A JP S6182380 A JPS6182380 A JP S6182380A JP 18239884 A JP18239884 A JP 18239884A JP 18239884 A JP18239884 A JP 18239884A JP S6182380 A JPS6182380 A JP S6182380A
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- vibration
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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- Moving Of Head For Track Selection And Changing (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
情報処理システムにおける外部記憶装置として使用され
る磁気ディスク装置においては、高速回転している磁気
記録媒体に対して磁気ヘッドが１〜０．２μｍ程度の極
めて小さなギャップをおいて対向した状態で、情報のリ
ード・ライトが行なわれる二ところが磁気ディスク装置
は、磁気記録媒−１＝ 体がモータによって回転駆動され、かつ磁気ヘッドを目
的のトラックにシークするために、磁気ヘッドを移動さ
せるアクチュエータ機襦などが装備されている。そのた
め磁気ディスク装置が振動し、この振動と磁気ヘッドが
共振すると、磁気ヘッドが磁気記録媒体に接触して、ヘ
ッドクラッシュを招く恐れがある。そこで磁気ヘッドの
振動特性を測定し、磁気ヘッドの共振周波数などを検出
し、磁気ディスク装置の共振周波数からずらしておくこ
とが必要となる。本発明は、このような用途に使用され
る磁気ヘッドの振動測定方法に関する。
る磁気ディスク装置においては、高速回転している磁気
記録媒体に対して磁気ヘッドが１〜０．２μｍ程度の極
めて小さなギャップをおいて対向した状態で、情報のリ
ード・ライトが行なわれる二ところが磁気ディスク装置
は、磁気記録媒−１＝ 体がモータによって回転駆動され、かつ磁気ヘッドを目
的のトラックにシークするために、磁気ヘッドを移動さ
せるアクチュエータ機襦などが装備されている。そのた
め磁気ディスク装置が振動し、この振動と磁気ヘッドが
共振すると、磁気ヘッドが磁気記録媒体に接触して、ヘ
ッドクラッシュを招く恐れがある。そこで磁気ヘッドの
振動特性を測定し、磁気ヘッドの共振周波数などを検出
し、磁気ディスク装置の共振周波数からずらしておくこ
とが必要となる。本発明は、このような用途に使用され
る磁気ヘッドの振動測定方法に関する。
従来の磁気ヘッドの振動測定方法は、磁気記録媒体に予
め試験用の信号を記録しておき、浮上状態の磁気ヘッド
に振動を加えながら、該試験パターンを読取り、その時
の出力の変動を電気的に処理することで、振動特性を検
出していた。
め試験用の信号を記録しておき、浮上状態の磁気ヘッド
に振動を加えながら、該試験パターンを読取り、その時
の出力の変動を電気的に処理することで、振動特性を検
出していた。
しかしながらこのような方法では、磁気記録媒体に記録
された試験パターンを読取り、その出力特性で振動特性
を検出するという間接的な方法なため、誤差が介在する
要素があり、正確な測定には適しない。最近のように、
磁気ヘッドの浮上量が微小になると、磁気ヘッドの振動
特性の測定も極めて高精度に行う必要があり、更に高精
度の磁気へラドの振動測定方法が要求されている。
された試験パターンを読取り、その出力特性で振動特性
を検出するという間接的な方法なため、誤差が介在する
要素があり、正確な測定には適しない。最近のように、
磁気ヘッドの浮上量が微小になると、磁気ヘッドの振動
特性の測定も極めて高精度に行う必要があり、更に高精
度の磁気へラドの振動測定方法が要求されている。
本発明の技術的課題は、従来の磁気ヘッドの振動測定方
法におけるこのような問題を解消し、正確に磁気ヘッド
の振動特性を測定できるようにすることにある。
法におけるこのような問題を解消し、正確に磁気ヘッド
の振動特性を測定できるようにすることにある。
この問題点を解決するために講じた本発明による技術的
手段は、測定光に対して透明なガラス円板に被測定磁気
ヘッドを対向させ、該ガラス円板を磁気記録媒体と同様
に高速回転させて被測定磁気ヘッドを浮上させると共に
、該磁気ヘッドを加振装置で振動させ、浮上面に測定光
を照射してその反射光を、干渉縞の状態で光電変換器に
入射させて、電気的な信号に変換する方法を採っている
。
手段は、測定光に対して透明なガラス円板に被測定磁気
ヘッドを対向させ、該ガラス円板を磁気記録媒体と同様
に高速回転させて被測定磁気ヘッドを浮上させると共に
、該磁気ヘッドを加振装置で振動させ、浮上面に測定光
を照射してその反射光を、干渉縞の状態で光電変換器に
入射させて、電気的な信号に変換する方法を採っている
。
この技術的手段によれば、磁気記録媒体と同様に高速回
転しているガラス円板に対し磁気ヘッドを浮上させた状
態で、浮上面に光を照射し、その反射光を光電変換器を
介して電気信号として検出する方法を採っている。この
とき磁気ヘッドの浮上面における反射光は、浮上量に応
じた干渉縞となるが、磁気ヘッドが振動しているため、
干渉縞も振動に同期して変動する。この干渉縞の変動は
、光電変換器で電気信号に変換され、振動状態が電気的
に検出される。
転しているガラス円板に対し磁気ヘッドを浮上させた状
態で、浮上面に光を照射し、その反射光を光電変換器を
介して電気信号として検出する方法を採っている。この
とき磁気ヘッドの浮上面における反射光は、浮上量に応
じた干渉縞となるが、磁気ヘッドが振動しているため、
干渉縞も振動に同期して変動する。この干渉縞の変動は
、光電変換器で電気信号に変換され、振動状態が電気的
に検出される。
次に本発明による磁気ヘッドの振動測定方法が実際上ど
のように具体化されるかを実施例で説明する。第１図は
本発明による磁気ヘッドの振動測定方法の実施例を示す
ブロック図である。１は測定光に対して透明なガラス円
板であり、その下面に被測定磁気ヘッド２が対向し、ガ
ラス円板１の回転による空気流で浮上している。磁気ヘ
ッド２はアーム３を介してアクチュエータ４に支持され
、リニーモータ等の加振装置５に連結されている。
のように具体化されるかを実施例で説明する。第１図は
本発明による磁気ヘッドの振動測定方法の実施例を示す
ブロック図である。１は測定光に対して透明なガラス円
板であり、その下面に被測定磁気ヘッド２が対向し、ガ
ラス円板１の回転による空気流で浮上している。磁気ヘ
ッド２はアーム３を介してアクチュエータ４に支持され
、リニーモータ等の加振装置５に連結されている。
したがって加振装置５によってアクチュエータ４を矢印
ａ１方向に駆動すると、磁気ヘッド２も矢印ａ１方向に
振動する。
ａ１方向に駆動すると、磁気ヘッド２も矢印ａ１方向に
振動する。
この磁気ヘッド２の浮上面に対し、ガラス円板１の上か
ら測定光６が照射され、ガラス円板１を透過して磁気ヘ
ッド２の浮上面で反射して、プリズム７に入射する。そ
して該プリズム７を介して、光電変換器８に入射する。
ら測定光６が照射され、ガラス円板１を透過して磁気ヘ
ッド２の浮上面で反射して、プリズム７に入射する。そ
して該プリズム７を介して、光電変換器８に入射する。
第２図（イ）はこの状態を示す側面図である。レンズ９
を通過し、ガラス円板ｌの上から磁気ヘッド２の浮上面
１０に到達した光は、一部はガラス円板１の下面で反射
してプリズム７に入射し、他の一部は磁気ヘッド２の浮
上面１０で反射して、プリズム７に入射する。そしてこ
の２つの反射光が干渉し合い、第２図（ロ）のような、
干渉縞が見られる。磁気ヘッド２のガラス円板１に対す
る浮上量Ｇによって、干渉縞の色が異なり、例えば赤１
１、青１２、黄１３などのような干渉縞が見える。した
がって測定光６の周波数と、干渉縞の色によって、浮上
量Ｇを検出できる。
を通過し、ガラス円板ｌの上から磁気ヘッド２の浮上面
１０に到達した光は、一部はガラス円板１の下面で反射
してプリズム７に入射し、他の一部は磁気ヘッド２の浮
上面１０で反射して、プリズム７に入射する。そしてこ
の２つの反射光が干渉し合い、第２図（ロ）のような、
干渉縞が見られる。磁気ヘッド２のガラス円板１に対す
る浮上量Ｇによって、干渉縞の色が異なり、例えば赤１
１、青１２、黄１３などのような干渉縞が見える。した
がって測定光６の周波数と、干渉縞の色によって、浮上
量Ｇを検出できる。
従来磁気ヘッドの浮上量試験を行うのに、このように反
射光の干渉縞を利用し、磁気ヘッドの静ＩＩ：状態の浮
上量Ｇを検出することが行なわれている。本発明は、こ
の干渉縞を利用するが、その際前記のように加振装置５
で磁気ヘッド２が振動する。本発明では、振動した際の
色の変化を検出することで、振動特性を検出する。その
ために、それぞれの色の境界、例えば青色１２と黄色１
３との境界部１４に測定光のスポット９ｓを照射し、そ
の反射光をプリズム７に入射させる。このように、境界
部に測定光を照射するため、磁気ヘッドの振動に伴って
、干渉縞の色も振動し、加振装置による振動に同期して
、例えば青色１２と黄色１３が交互に、光電変換器８に
入射する。
射光の干渉縞を利用し、磁気ヘッドの静ＩＩ：状態の浮
上量Ｇを検出することが行なわれている。本発明は、こ
の干渉縞を利用するが、その際前記のように加振装置５
で磁気ヘッド２が振動する。本発明では、振動した際の
色の変化を検出することで、振動特性を検出する。その
ために、それぞれの色の境界、例えば青色１２と黄色１
３との境界部１４に測定光のスポット９ｓを照射し、そ
の反射光をプリズム７に入射させる。このように、境界
部に測定光を照射するため、磁気ヘッドの振動に伴って
、干渉縞の色も振動し、加振装置による振動に同期して
、例えば青色１２と黄色１３が交互に、光電変換器８に
入射する。
このように振動に同期して変動する色の変化が、第１図
の光電変換器８を通過することで、電気信号に変換され
、色の変化を示す出力波形１５が得られる。この信号は
、次の入・出力比較器１６に入力し、入力信号１７と比
較される。すなわち入力信号１７は、加振装置５による
信号波形と同じであり、この入力信号１７と光電変換器
８の出力信号とを入・出力比較器１６で比較し、差の信
号をスペクトルアナライザー１８などに出力する。する
と磁気ヘッド２の加振装置４以外の要因による振動のみ
が、スペクトルアナライザー１８に入力することになる
。
の光電変換器８を通過することで、電気信号に変換され
、色の変化を示す出力波形１５が得られる。この信号は
、次の入・出力比較器１６に入力し、入力信号１７と比
較される。すなわち入力信号１７は、加振装置５による
信号波形と同じであり、この入力信号１７と光電変換器
８の出力信号とを入・出力比較器１６で比較し、差の信
号をスペクトルアナライザー１８などに出力する。する
と磁気ヘッド２の加振装置４以外の要因による振動のみ
が、スペクトルアナライザー１８に入力することになる
。
６一
そしてスペクトルアナライザー１８により、この振、
動用波数が解析され、振幅と共に表される。
動用波数が解析され、振幅と共に表される。
加振装置４以外の要因による振動が、寄生的な微小振動
であれば、第１図のような出力波形となる。ところが加
振装置５による加振周波数を次第に変化させていくと、
ある共振周波数に達した際に、第３図（イ）に鎖線１９
で示すように、振幅が極めて大きくなる。このときの入
力波形１７の周波数が共振周波数となる。加振装置５に
よる加振周波数すなわち入力周波数を更に変化させてい
くと、第３図（ロ）のように１次、２次・・・というよ
うに、出力が特別に増大する個所が現れ、共振点である
ことが検出される。
であれば、第１図のような出力波形となる。ところが加
振装置５による加振周波数を次第に変化させていくと、
ある共振周波数に達した際に、第３図（イ）に鎖線１９
で示すように、振幅が極めて大きくなる。このときの入
力波形１７の周波数が共振周波数となる。加振装置５に
よる加振周波数すなわち入力周波数を更に変化させてい
くと、第３図（ロ）のように１次、２次・・・というよ
うに、出力が特別に増大する個所が現れ、共振点である
ことが検出される。
このように磁気ヘッドの共振周波数を検出するには、入
力周波数を次第に変化させることのほかに、磁気ディス
ク装置の共振周波数の個所のみで磁気ヘッドの振動特性
試験を行ない、磁気ディスク装置の共振周波数の個所で
磁気ヘッドが共振を起こさないことを確認することによ
り、該磁気ヘッドが良品であると判定することもできる
。また予め設定したランダムの周波数について、測定す
ることもできる。
力周波数を次第に変化させることのほかに、磁気ディス
ク装置の共振周波数の個所のみで磁気ヘッドの振動特性
試験を行ない、磁気ディスク装置の共振周波数の個所で
磁気ヘッドが共振を起こさないことを確認することによ
り、該磁気ヘッドが良品であると判定することもできる
。また予め設定したランダムの周波数について、測定す
ることもできる。
第１図は磁気ヘッド２をアーム３の長手方向に加振する
例であるが、加振装置２０によって、アーム３を矢印ａ
２のように垂直方向に振動させることもできる。入力波
形と出力波形を比較するのに、入・出力比較器１６に代
えて、所定の周波数の信号のみを通過させるフィルター
を使用することもできる。また磁気ヘッドの浮上量Ｇが
大きい場合は、可視光線でも測定できるが、浮上量Ｇが
０．２μｌ以下と微小になってくると、紫外線などの短
波長の光が利用される。
例であるが、加振装置２０によって、アーム３を矢印ａ
２のように垂直方向に振動させることもできる。入力波
形と出力波形を比較するのに、入・出力比較器１６に代
えて、所定の周波数の信号のみを通過させるフィルター
を使用することもできる。また磁気ヘッドの浮上量Ｇが
大きい場合は、可視光線でも測定できるが、浮上量Ｇが
０．２μｌ以下と微小になってくると、紫外線などの短
波長の光が利用される。
以上のように本発明によれば、磁気ヘッドを浮上させた
状態で振動を与え、その時の磁気ヘッドの浮上面におけ
る干渉縞の変動を検出し、電気信号に変換して振動特性
の試験が行なわれる。そのため、従来の試験信号を磁気
ヘッドで読取って振動特性を測定する場合のような間接
的な試験と違って、振動状態を直接的に検出でき、正確
な測定が可能となる。しかも簡単な装置で、簡単な手法
によって測定できる。さらに加振装置を駆動しない状態
で測定することにより、磁気ヘッドの浮上量を測定する
こともでき、浮上量試験と連続して振動特性の試験を行
なことで、設備のコストダウンが可能で、作業も簡便と
なる。
状態で振動を与え、その時の磁気ヘッドの浮上面におけ
る干渉縞の変動を検出し、電気信号に変換して振動特性
の試験が行なわれる。そのため、従来の試験信号を磁気
ヘッドで読取って振動特性を測定する場合のような間接
的な試験と違って、振動状態を直接的に検出でき、正確
な測定が可能となる。しかも簡単な装置で、簡単な手法
によって測定できる。さらに加振装置を駆動しない状態
で測定することにより、磁気ヘッドの浮上量を測定する
こともでき、浮上量試験と連続して振動特性の試験を行
なことで、設備のコストダウンが可能で、作業も簡便と
なる。
第１図は本発明による磁気ヘッドの振動測定方法の実施
例を示すブロック図、第２図は測定状態の側面図、第３
図は出方波形を示す図である。 図において、■はガラス円板、２は磁気ヘッド、５．２
ｏｔｔ加振装Ｍ、６は測定光、６ｓはスポット、８は光
電変換器、１４は色の境界部、１６は入・出力比較器、
１７は入力波形、１５．１９は出力波形、１８はスペク
トルアナライザーをそれぞれ示す。 特許出願人 冨士通株式会社代理人 弁理士
青 柳 稔手続補正書 昭和５９年９月１４日 ２、発明の名称 磁気ヘッドの振動測定方法３、補
正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県用崎市中原区上小田中１０１５
番地名称 （５２２）富士通株式会社代表者山
本 車色 ４、代理人 〒１０１１１ （０３） ８６
３−０２２０住所 東京都千代田区岩本町３丁
目４番５号図面第１図〜第３図 ７、補正の内容 別紙のとおり 明細書 １、発明の名称 磁気ヘッドの振動測定方法 ２、特許請求の範囲 測定光に対して透明なガラス円板に被測定磁気ヘッドを
対向させ、該ガラス円板を磁気記録媒体と同様に高速回
転させて被測定磁気ヘッドを浮上させると共に、該磁気
ヘッドを加振装置で振動させ、浮上面に測定光を照射し
てその反射光を、干渉縞の状態で光電変換器に入射させ
て、電気的な信号に変換することを特徴とする磁気ヘッ
ドの振動測定方法。 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 情報処理システムにおける外部記憶装置として使用され
る磁気ディスク装置においては、高速回転している磁気
記録媒体に対して磁気ヘッドが１〜０．２μｍ程度の極
めて小さなギャップをおいて対向した状態で、情報のリ
ード・ライトが行なわれる。ところが磁気ディスク装置
は、磁気記録媒１一 体がモータによって回転駆動され、かつ磁気ヘッドを目
的のトラックにシークするために、磁気ヘッドを移動さ
せるアクチュエータ機構などが装備されている。そのた
め磁気ディスク装置が振動し、この振動と磁気ヘッドが
共振すると、磁気ヘッドが磁気記録媒体に接触して、ヘ
ッドクラッシュを招く恐れがある。そこで磁気ヘッドの
振動特性を測定し、磁気ヘッドの共振周波数などを検出
し、磁気ディスク装置の共振周波数からずらしておくこ
とが必要となる。本発明は、このような用途に使用され
る磁気ヘッドの振動測定方法に関する。 〔従来の技術〕 従来の磁気ヘッドの振動測定方法は、磁気記録媒体に予
め試験用の信号を記録しておき、浮上状態の磁気ヘッド
に振動を加えながら、該試験パターンを読取り、その時
の出力の変動を電気的に処理することで、振動特性を検
出していた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながらこのような方法では、磁気記録媒体に記録
された試験パターンを読取り、その出力特性で振動特性
を検出するという間接的な方法なため、誤差が介在する
要素があり、正確な測定には適しない。最近のように、
磁気ヘッドの浮上量が微小になると、磁気ヘッドの振動
特性の測定も極めて高精度に行う必要があり、更に高精
度の磁気ヘッドの振動測定方法が要求されている。 本発明の技術的課題は、従来の磁気ヘッドの振動測定方
法におけるこのような問題を解消し、正確に磁気ヘッド
の振動特性を測定できるようにすることにある。 〔問題点を解決するための手段〕 この問題点を解決するために講じた本発明による技術的
手段は、測定光に対して透明なガラス円板に被測定磁気
ヘッドを対向させ、該ガラス円板を磁気記録媒体と同様
に高速回転させて被測定磁気ヘッドを浮上させると共に
、該磁気ヘッドを加振装置で振動させ、浮上面に測定光
を照射してその反射光を、干渉縞の状態で光電変換器に
入射させて、電気的な信号に変換する方法を採っている
。 〔作用〕 この技術的手段によれば、磁気記録媒体と同様に高速回
転しているガラス円板に対し磁気ヘッドを浮上させた状
態で、浮上面に光を照射し、その反射光を光電変換器を
介して電気信号として検出する方法を採っている。この
とき磁気ヘッドの浮上面における反射光は、浮上量に応
じた干渉縞となるが、磁気ヘッドが振動しているため、
干渉縞も振動に同期して変動する。この干渉縞の変動は
、光電変換器で電気信号に変換され、振動状態が電気的
に検出される。 〔実施例〕 次に本発明による磁気ヘッドの振動測定方法が実際上ど
のように具体化されるかを実施例で説明する。第１図は
本発明による磁気ヘッドの振動測定方法の実施例を示す
ブロック図である。１は測定光に対して透明なガラス円
板であり、その下面に被測定磁気ヘッド２が対向し、ガ
ラス円板１の回転による空気流で浮上している。磁気ヘ
ッド２はアーム３を介してアクチュエータ４に支持され
、リニアモータ等の加振装置５に連結されている。 したがって加振装置５によってアクチュエータ４を矢印
ａ１方向に駆動すると、磁気ヘッド２も矢印ａ１方向に
振動する。 この磁気ヘッド２の浮上面に対し、ガラス円板１の上か
ら測定光６が照射され、ガラス円板１を透過して磁気ヘ
ッド２の浮上面で反射して、プリズム７に入射する。そ
して該プリズム７を介して、光電変換器８に入射する。 第２図（イ）はこの状態を示す側面図である。レンズ９
を通過し、ガラス円板１の上から磁気ヘッド２の浮上面
１０に到達した光は、一部はガラス円板１の下面で反射
してプリズム７に入射し、他の一部は磁気ヘッド２の浮
上面１０で反射して、プリズム７に入射する。そしてこ
の２つの反射光が干渉し合い、第２図（ロ）のような、
干渉縞が見られる。干渉縞は磁気ヘッド２のガラス円板
１に対する浮上量Ｇと測定光６の周波数の関数として現
れる。したがって測定光６の周波数と、干渉縞の次数に
よって、浮上量Ｇを検出できる。 従来磁気ヘッドの浮上量試験を行うのに、このように反
射光の干渉縞を利用し、磁気ヘッドの静止状態の浮上量
Ｇを検出することが行なわれている。本発明は、この干
渉縞を利用するが、その際前記のように加振装置５で磁
気ヘッド２が振動する。本発明では、振動した際の光量
の変化（干渉縞の動き）を検出することで、振動特性を
検出する。そのために、それぞれの干渉縞の境界、例え
ば干渉縞１３とその境界部１４に測定光のスポット６ｓ
を照射し、その反射光をプリズム７に入射させる。 このように、境界部に測定光を照射するため、磁気ヘッ
ドの振動に伴って、干渉縞も振動し、加振装置による振
動に同期して、光電変換器８に入射する。 このように振動に同期して変動する光量の変化が、第１
図の光電変換器８を通過することで、電気信号に変換さ
れ、磁気ヘッドの浮上量の変化を示す出力波形１５が得
られる。この信号は、次の入・出力比較器１６に入力し
、入力信号１７と比較される。すなわち入力信号１７は
、加振装置５による信号波形と同じであり、この入力信
号１７と光電変換−〇− 器８の出力信号とを入・出力比較器１６で比較し、差の
信号をスペクトルアナライザー１８などに出力する。す
ると磁気ヘッド２の加振装置５以外の要因による振動の
みが、スペクトルアナライザー１８に入力することにな
る。そしてスペクトルアナライザー１８により、この振
動周波数が解析され、振幅と共に表される。 加振装置５以外の要因による振動が、寄生的な微小振動
であれば、第１図のような出力波形となる。ところが加
振装置５による加振周波数を次第に変化させていくと、
ある共振周波数に達した際に、第３図（イ）に波形１９
で示すように、振幅が極めて大きくなる。このときの入
力波形１７の周波数が共振周波数となる。加振装置５に
よる加振周波数すなわち入力周波数を更に変化させてい
くと、第３図（ロ）のように１次、２次・・・というよ
うに、出力が特別に増大する個所が現れ、共振点である
ことが検出される。 このように磁気ヘッドの共振周波数を検出するには、入
力周波数を次第に変化させることのほかに、磁気ディス
ク装置の共振周波数の個所のみで磁気ヘッドの振動特性
試験を行ない、磁気ディスク装置の共振周波数の個所で
磁気ヘッドが共振を起こさないことを確認することによ
り、該磁気ヘッドが良品であると判定することもできる
。また予め設定したランダムの周波数について、測定す
ることもできる。 第１図は磁気ヘッド２をアーム３の長手方向に加振する
例であるが、加振装置２０によって、アーム３を矢印ａ
２のように垂直方向に振動させることもできる。入力波
形と出力波形を比較するのに、入・出力比較器１６に代
えて、所定の周波数の信号のみを通過させるフィルター
を使用することもできる。また磁気ヘッドの浮上量Ｇが
大きい場合は、可視光線でも測定できるが、浮上量Ｇが
０．２μｍ以下と微小になってくると、紫外線などの短
波長の光が利用される。さらにガラス円板またはガラス
円板回転部に特殊な加工を施して、故意にガラス円板を
振動させたり、平面性を乱してその条件下での磁気ヘッ
ドの振動状態を観察することも可能である。 〔発明の効果〕 以上のように本発明によれば、磁気ヘッドを浮上させた
状態で振動を与え、その時の磁気ヘッドの浮上面におけ
る干渉縞の変動を検出し、電気信号に変換して振動特性
の試験が行なわれる。そのため、従来の試験信号を磁気
ヘッドで読取って振動特性を測定する場合のような間接
的な試験と違って、振動状態を直接的に検出でき、正確
な測定が可能となる。しがも簡単な装置で、簡単な手法
によって測定できる。さらに加振装置を駆動しない状態
で測定することにより、磁気ヘッドの浮上量を測定する
こともでき、浮上量試験と連続して振動特性の試験を行
うことで、設備のコストダウンが可能で、作業も簡便と
なる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明による磁気ヘッドの振動測定方法の実施
例を示すブロック図、第２図は測定状態の側面図、第３
図は出力波形を示す図である。 図において、１はガラス円板、２は磁気ヘッド、５．２
０は加振装置、６は測定光、６ｓはスポット、８は光電
変換器、１４は色の境界部、１６は入・出力比較器、１
７は入力波形、１５．１９は出力波形、１８はスペクト
ルアナライザーをそれぞれ示す。 特許出願人 富士通株式会社代理人 弁理士
青 柳 稔へ へ 区 ヤ ロ Ｃつ 派
例を示すブロック図、第２図は測定状態の側面図、第３
図は出方波形を示す図である。 図において、■はガラス円板、２は磁気ヘッド、５．２
ｏｔｔ加振装Ｍ、６は測定光、６ｓはスポット、８は光
電変換器、１４は色の境界部、１６は入・出力比較器、
１７は入力波形、１５．１９は出力波形、１８はスペク
トルアナライザーをそれぞれ示す。 特許出願人 冨士通株式会社代理人 弁理士
青 柳 稔手続補正書 昭和５９年９月１４日 ２、発明の名称 磁気ヘッドの振動測定方法３、補
正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県用崎市中原区上小田中１０１５
番地名称 （５２２）富士通株式会社代表者山
本 車色 ４、代理人 〒１０１１１ （０３） ８６
３−０２２０住所 東京都千代田区岩本町３丁
目４番５号図面第１図〜第３図 ７、補正の内容 別紙のとおり 明細書 １、発明の名称 磁気ヘッドの振動測定方法 ２、特許請求の範囲 測定光に対して透明なガラス円板に被測定磁気ヘッドを
対向させ、該ガラス円板を磁気記録媒体と同様に高速回
転させて被測定磁気ヘッドを浮上させると共に、該磁気
ヘッドを加振装置で振動させ、浮上面に測定光を照射し
てその反射光を、干渉縞の状態で光電変換器に入射させ
て、電気的な信号に変換することを特徴とする磁気ヘッ
ドの振動測定方法。 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 情報処理システムにおける外部記憶装置として使用され
る磁気ディスク装置においては、高速回転している磁気
記録媒体に対して磁気ヘッドが１〜０．２μｍ程度の極
めて小さなギャップをおいて対向した状態で、情報のリ
ード・ライトが行なわれる。ところが磁気ディスク装置
は、磁気記録媒１一 体がモータによって回転駆動され、かつ磁気ヘッドを目
的のトラックにシークするために、磁気ヘッドを移動さ
せるアクチュエータ機構などが装備されている。そのた
め磁気ディスク装置が振動し、この振動と磁気ヘッドが
共振すると、磁気ヘッドが磁気記録媒体に接触して、ヘ
ッドクラッシュを招く恐れがある。そこで磁気ヘッドの
振動特性を測定し、磁気ヘッドの共振周波数などを検出
し、磁気ディスク装置の共振周波数からずらしておくこ
とが必要となる。本発明は、このような用途に使用され
る磁気ヘッドの振動測定方法に関する。 〔従来の技術〕 従来の磁気ヘッドの振動測定方法は、磁気記録媒体に予
め試験用の信号を記録しておき、浮上状態の磁気ヘッド
に振動を加えながら、該試験パターンを読取り、その時
の出力の変動を電気的に処理することで、振動特性を検
出していた。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながらこのような方法では、磁気記録媒体に記録
された試験パターンを読取り、その出力特性で振動特性
を検出するという間接的な方法なため、誤差が介在する
要素があり、正確な測定には適しない。最近のように、
磁気ヘッドの浮上量が微小になると、磁気ヘッドの振動
特性の測定も極めて高精度に行う必要があり、更に高精
度の磁気ヘッドの振動測定方法が要求されている。 本発明の技術的課題は、従来の磁気ヘッドの振動測定方
法におけるこのような問題を解消し、正確に磁気ヘッド
の振動特性を測定できるようにすることにある。 〔問題点を解決するための手段〕 この問題点を解決するために講じた本発明による技術的
手段は、測定光に対して透明なガラス円板に被測定磁気
ヘッドを対向させ、該ガラス円板を磁気記録媒体と同様
に高速回転させて被測定磁気ヘッドを浮上させると共に
、該磁気ヘッドを加振装置で振動させ、浮上面に測定光
を照射してその反射光を、干渉縞の状態で光電変換器に
入射させて、電気的な信号に変換する方法を採っている
。 〔作用〕 この技術的手段によれば、磁気記録媒体と同様に高速回
転しているガラス円板に対し磁気ヘッドを浮上させた状
態で、浮上面に光を照射し、その反射光を光電変換器を
介して電気信号として検出する方法を採っている。この
とき磁気ヘッドの浮上面における反射光は、浮上量に応
じた干渉縞となるが、磁気ヘッドが振動しているため、
干渉縞も振動に同期して変動する。この干渉縞の変動は
、光電変換器で電気信号に変換され、振動状態が電気的
に検出される。 〔実施例〕 次に本発明による磁気ヘッドの振動測定方法が実際上ど
のように具体化されるかを実施例で説明する。第１図は
本発明による磁気ヘッドの振動測定方法の実施例を示す
ブロック図である。１は測定光に対して透明なガラス円
板であり、その下面に被測定磁気ヘッド２が対向し、ガ
ラス円板１の回転による空気流で浮上している。磁気ヘ
ッド２はアーム３を介してアクチュエータ４に支持され
、リニアモータ等の加振装置５に連結されている。 したがって加振装置５によってアクチュエータ４を矢印
ａ１方向に駆動すると、磁気ヘッド２も矢印ａ１方向に
振動する。 この磁気ヘッド２の浮上面に対し、ガラス円板１の上か
ら測定光６が照射され、ガラス円板１を透過して磁気ヘ
ッド２の浮上面で反射して、プリズム７に入射する。そ
して該プリズム７を介して、光電変換器８に入射する。 第２図（イ）はこの状態を示す側面図である。レンズ９
を通過し、ガラス円板１の上から磁気ヘッド２の浮上面
１０に到達した光は、一部はガラス円板１の下面で反射
してプリズム７に入射し、他の一部は磁気ヘッド２の浮
上面１０で反射して、プリズム７に入射する。そしてこ
の２つの反射光が干渉し合い、第２図（ロ）のような、
干渉縞が見られる。干渉縞は磁気ヘッド２のガラス円板
１に対する浮上量Ｇと測定光６の周波数の関数として現
れる。したがって測定光６の周波数と、干渉縞の次数に
よって、浮上量Ｇを検出できる。 従来磁気ヘッドの浮上量試験を行うのに、このように反
射光の干渉縞を利用し、磁気ヘッドの静止状態の浮上量
Ｇを検出することが行なわれている。本発明は、この干
渉縞を利用するが、その際前記のように加振装置５で磁
気ヘッド２が振動する。本発明では、振動した際の光量
の変化（干渉縞の動き）を検出することで、振動特性を
検出する。そのために、それぞれの干渉縞の境界、例え
ば干渉縞１３とその境界部１４に測定光のスポット６ｓ
を照射し、その反射光をプリズム７に入射させる。 このように、境界部に測定光を照射するため、磁気ヘッ
ドの振動に伴って、干渉縞も振動し、加振装置による振
動に同期して、光電変換器８に入射する。 このように振動に同期して変動する光量の変化が、第１
図の光電変換器８を通過することで、電気信号に変換さ
れ、磁気ヘッドの浮上量の変化を示す出力波形１５が得
られる。この信号は、次の入・出力比較器１６に入力し
、入力信号１７と比較される。すなわち入力信号１７は
、加振装置５による信号波形と同じであり、この入力信
号１７と光電変換−〇− 器８の出力信号とを入・出力比較器１６で比較し、差の
信号をスペクトルアナライザー１８などに出力する。す
ると磁気ヘッド２の加振装置５以外の要因による振動の
みが、スペクトルアナライザー１８に入力することにな
る。そしてスペクトルアナライザー１８により、この振
動周波数が解析され、振幅と共に表される。 加振装置５以外の要因による振動が、寄生的な微小振動
であれば、第１図のような出力波形となる。ところが加
振装置５による加振周波数を次第に変化させていくと、
ある共振周波数に達した際に、第３図（イ）に波形１９
で示すように、振幅が極めて大きくなる。このときの入
力波形１７の周波数が共振周波数となる。加振装置５に
よる加振周波数すなわち入力周波数を更に変化させてい
くと、第３図（ロ）のように１次、２次・・・というよ
うに、出力が特別に増大する個所が現れ、共振点である
ことが検出される。 このように磁気ヘッドの共振周波数を検出するには、入
力周波数を次第に変化させることのほかに、磁気ディス
ク装置の共振周波数の個所のみで磁気ヘッドの振動特性
試験を行ない、磁気ディスク装置の共振周波数の個所で
磁気ヘッドが共振を起こさないことを確認することによ
り、該磁気ヘッドが良品であると判定することもできる
。また予め設定したランダムの周波数について、測定す
ることもできる。 第１図は磁気ヘッド２をアーム３の長手方向に加振する
例であるが、加振装置２０によって、アーム３を矢印ａ
２のように垂直方向に振動させることもできる。入力波
形と出力波形を比較するのに、入・出力比較器１６に代
えて、所定の周波数の信号のみを通過させるフィルター
を使用することもできる。また磁気ヘッドの浮上量Ｇが
大きい場合は、可視光線でも測定できるが、浮上量Ｇが
０．２μｍ以下と微小になってくると、紫外線などの短
波長の光が利用される。さらにガラス円板またはガラス
円板回転部に特殊な加工を施して、故意にガラス円板を
振動させたり、平面性を乱してその条件下での磁気ヘッ
ドの振動状態を観察することも可能である。 〔発明の効果〕 以上のように本発明によれば、磁気ヘッドを浮上させた
状態で振動を与え、その時の磁気ヘッドの浮上面におけ
る干渉縞の変動を検出し、電気信号に変換して振動特性
の試験が行なわれる。そのため、従来の試験信号を磁気
ヘッドで読取って振動特性を測定する場合のような間接
的な試験と違って、振動状態を直接的に検出でき、正確
な測定が可能となる。しがも簡単な装置で、簡単な手法
によって測定できる。さらに加振装置を駆動しない状態
で測定することにより、磁気ヘッドの浮上量を測定する
こともでき、浮上量試験と連続して振動特性の試験を行
うことで、設備のコストダウンが可能で、作業も簡便と
なる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明による磁気ヘッドの振動測定方法の実施
例を示すブロック図、第２図は測定状態の側面図、第３
図は出力波形を示す図である。 図において、１はガラス円板、２は磁気ヘッド、５．２
０は加振装置、６は測定光、６ｓはスポット、８は光電
変換器、１４は色の境界部、１６は入・出力比較器、１
７は入力波形、１５．１９は出力波形、１８はスペクト
ルアナライザーをそれぞれ示す。 特許出願人 富士通株式会社代理人 弁理士
青 柳 稔へ へ 区 ヤ ロ Ｃつ 派
Claims (1)
- 測定光に対して透明なガラス円板に被測定磁気ヘッドを
対向させ、該ガラス円板を磁気記録媒体と同様に高速回
転させて被測定磁気ヘッドを浮上させると共に、該磁気
ヘッドを加振装置で振動させ、浮上面に測定光を照射し
てその反射光を、干渉縞の状態で光電変換器に入射させ
て、電気的な信号に変換することを特徴とする磁気ヘッ
ドの振動測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18239884A JPS6182380A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 磁気ヘツドの振動測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18239884A JPS6182380A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 磁気ヘツドの振動測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182380A true JPS6182380A (ja) | 1986-04-25 |
| JPH033309B2 JPH033309B2 (ja) | 1991-01-18 |
Family
ID=16117610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18239884A Granted JPS6182380A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 磁気ヘツドの振動測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182380A (ja) |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP18239884A patent/JPS6182380A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH033309B2 (ja) | 1991-01-18 |
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