JPS6183030U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6183030U JPS6183030U JP16785684U JP16785684U JPS6183030U JP S6183030 U JPS6183030 U JP S6183030U JP 16785684 U JP16785684 U JP 16785684U JP 16785684 U JP16785684 U JP 16785684U JP S6183030 U JPS6183030 U JP S6183030U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blocks
- heating element
- shaped
- hook
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Furnace Details (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示すものであつて、
第１図はブロツクとブロツク支持体の部分拡大分
解斜視図、第２図は縦型拡散炉の概略縦断面図、
第３図は同上の一部切欠斜視図、第４図はブロツ
クをブロツク支持体に組込んだ状態の拡大平面図
、第５図はブロツクを連結した状態の拡大正面図
、第６図は同上の拡大側面図である。 なお図面に用いられた符号において、１……処
理管、４……ヒータ線、１０……ブロツク支持体
、１１……ブロツク、である。
第１図はブロツクとブロツク支持体の部分拡大分
解斜視図、第２図は縦型拡散炉の概略縦断面図、
第３図は同上の一部切欠斜視図、第４図はブロツ
クをブロツク支持体に組込んだ状態の拡大平面図
、第５図はブロツクを連結した状態の拡大正面図
、第６図は同上の拡大側面図である。 なお図面に用いられた符号において、１……処
理管、４……ヒータ線、１０……ブロツク支持体
、１１……ブロツク、である。
Claims (1)
- 長手軸が実質的に垂直方向に延在するように配
された処理管とこの処理管の周囲に配された線状
の発熱体とを夫々具備する縦型熱処理炉の発熱体
保持装置において、上下両端に夫々鉤状屈曲部が
一体に設けられた略Ｓ字状の垂直断面を有し且つ
上端面及び下端面の少なくとも一方に上記発熱体
を保持するための凹部が設けられた複数のブロツ
クと、上記処理管の周囲に略垂直に配され且つ略
コ字状の水平断面を有するブロツク支持体と、こ
のブロツク支持体の内面と上記各ブロツクの外周
面との間に設けられた凹凸嵌合手段とを夫々具備
し、上記各ブロツクの一方の鉤状屈曲部を隣接す
るブロツクの他方の鉤状屈曲部に嵌合させること
によりこれらのブロツクを略垂直方向に連結して
これらのブロツクの間に上記発熱体を保持すると
ともに、これらのブロツクを上記ブロツク支持体
のコ字状断面に囲まれた凹部内に挿入し、上記凹
凸嵌合手段によつてこれらのブロツクを固定保持
するように構成したことを特徴とする装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16785684U JPH0110921Y2 (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16785684U JPH0110921Y2 (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6183030U true JPS6183030U (ja) | 1986-06-02 |
| JPH0110921Y2 JPH0110921Y2 (ja) | 1989-03-29 |
Family
ID=30725642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16785684U Expired JPH0110921Y2 (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0110921Y2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02154420A (ja) * | 1988-12-06 | 1990-06-13 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
| JPH1167424A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-03-09 | Kokusai Electric Co Ltd | ヒータ支持装置 |
| JP2009180462A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理炉 |
| JP2011258544A (ja) * | 2010-05-11 | 2011-12-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | ヒータ支持装置 |
| JP2020043260A (ja) * | 2018-09-12 | 2020-03-19 | 住友金属鉱山株式会社 | 多結晶膜の成膜方法、基板載置機構および成膜装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH079036Y2 (ja) * | 1990-11-13 | 1995-03-06 | 東京エレクトロン東北株式会社 | 縦型熱処理炉 |
-
1984
- 1984-11-05 JP JP16785684U patent/JPH0110921Y2/ja not_active Expired
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02154420A (ja) * | 1988-12-06 | 1990-06-13 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
| JPH1167424A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-03-09 | Kokusai Electric Co Ltd | ヒータ支持装置 |
| JP2009180462A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理炉 |
| JP2011258544A (ja) * | 2010-05-11 | 2011-12-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | ヒータ支持装置 |
| JP2020043260A (ja) * | 2018-09-12 | 2020-03-19 | 住友金属鉱山株式会社 | 多結晶膜の成膜方法、基板載置機構および成膜装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0110921Y2 (ja) | 1989-03-29 |