JPS6183912A - 光学式変位測定装置の信号検出機構 - Google Patents
光学式変位測定装置の信号検出機構Info
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- JPS6183912A JPS6183912A JP59205854A JP20585484A JPS6183912A JP S6183912 A JPS6183912 A JP S6183912A JP 59205854 A JP59205854 A JP 59205854A JP 20585484 A JP20585484 A JP 20585484A JP S6183912 A JPS6183912 A JP S6183912A
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- JP
- Japan
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- optical path
- detection mechanism
- displacement measuring
- beam splitter
- incident
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02075—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration of particular errors
- G01B9/02078—Caused by ambiguity
- G01B9/02079—Quadrature detection, i.e. detecting relatively phase-shifted signals
- G01B9/02081—Quadrature detection, i.e. detecting relatively phase-shifted signals simultaneous quadrature detection, e.g. by spatial phase shifting
-
- G—PHYSICS
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、元の干渉？利用してスケールの移動を検出す
るようにした光学式変位測定装置の信号検出機（１４に
関し、ｑ￥にり、 Ｃ，成分子除いた検出信号が得られ
ろようにした信号検出機構に関するもり〕である。
るようにした光学式変位測定装置の信号検出機（１４に
関し、ｑ￥にり、 Ｃ，成分子除いた検出信号が得られ
ろようにした信号検出機構に関するもり〕である。
移動゛■る回折格子？スケールとして用い回折光ン干渉
させて回折格子の位匝父化（移動距離）？検出１−るよ
うにした光学式変位測定装置として、実公昭５７−８１
５１０号公報又は特開昭詔−１９１９０７号公報に示さ
れるような２つのビームの回折光どうしの干渉？利用し
た技術が知られている。
させて回折格子の位匝父化（移動距離）？検出１−るよ
うにした光学式変位測定装置として、実公昭５７−８１
５１０号公報又は特開昭詔−１９１９０７号公報に示さ
れるような２つのビームの回折光どうしの干渉？利用し
た技術が知られている。
このような測定装置における回折格子の位置変化？検出
するための信号検出機構としては、第５図に示されるよ
うな構成のものが用いられることが多い、、第５図にお
いてｌは２つのビームによる干渉光、２はハーフミラ−
１３，４はＩＩｉ元仮１ｓはλ／４＆、６．７はフォト
ディテクタである。
するための信号検出機構としては、第５図に示されるよ
うな構成のものが用いられることが多い、、第５図にお
いてｌは２つのビームによる干渉光、２はハーフミラ−
１３，４はＩＩｉ元仮１ｓはλ／４＆、６．７はフォト
ディテクタである。
こグ）イｉり或のものは、第６図（ａＬ （ｈＪに示す
ような方向の判別のため９０′位相の異なった検出信号
Ａ、 Ｂ￥得ることを目的としているので、入射された
上記干渉ｆｔ、ｉは・・−７ミラー２によって２分され
てｍ元＋ｆ１３． ４に出射される。
ような方向の判別のため９０′位相の異なった検出信号
Ａ、 Ｂ￥得ることを目的としているので、入射された
上記干渉ｆｔ、ｉは・・−７ミラー２によって２分され
てｍ元＋ｆ１３． ４に出射される。
ところでこのようにして鞠られた第６図（ａｔ ｒ ｆ
ｂ）の検出１８号Ａ、Ｈには外光やゴミ等に因るｐｃ、
成分が含ま才するため、ＤＣ６成分キャンセル回路とし
て第７図のようＴＫ ｌｉ’￥成のものか用いられてい
た。
ｂ）の検出１８号Ａ、Ｈには外光やゴミ等に因るｐｃ、
成分が含ま才するため、ＤＣ６成分キャンセル回路とし
て第７図のようＴＫ ｌｉ’￥成のものか用いられてい
た。
第７図においてＤＩ ＋ Ｄ２はフォトダイオード、
ＡへＩＰＩ〜へＭＦ、はアンプでｋ）る。
ＡへＩＰＩ〜へＭＦ、はアンプでｋ）る。
〔発明が１μ決１−ようとする問題点〕しかしながら上
記キャンセル回路においては、初段のアンプのゲイン？
上げにくく、またゲインのばらつきやオフセットが発生
して良質の検出信号が柘られなくなると（・う欠点か住
じた。またり、 Ｃ０成分のみ？別に検出するようにし
ているために光？３分割１する必吸があるので、検出信
号はさらに少なくなる１唄向にあった。
記キャンセル回路においては、初段のアンプのゲイン？
上げにくく、またゲインのばらつきやオフセットが発生
して良質の検出信号が柘られなくなると（・う欠点か住
じた。またり、 Ｃ０成分のみ？別に検出するようにし
ているために光？３分割１する必吸があるので、検出信
号はさらに少なくなる１唄向にあった。
本発明は上記問題点に対処してなされたもので、大きな
検出信号が傅られるようにした光学式変位測定装置にの
イに号検出（幾構′ＩＸ：提供すること？目的と−する
ものである。
検出信号が傅られるようにした光学式変位測定装置にの
イに号検出（幾構′ＩＸ：提供すること？目的と−する
ものである。
このような目的を達成するために本発明は、２つのビー
ムによる干渉光が入射されこの入射ｆｔ？人射入射直進
方向の第１の光路および入射元とぐ隔たった方向の第２
の光路へ２分して出射するための一元ビームヌプリツタ
と、直列に接続された上記第五の光路に位Ｉｔする第１
のフォトダイオードおよび上記第２の光路に位置する第
２のフォトダイオードと、これら第１および第２のフォ
トダイオードに接続された逆バイアス電源と、第１およ
び＠２のフォトダイオードの接続点に入力端が接続され
たアンプと？含み、上記ｔｌｉａ′／ｌビームスプリッ
タに干渉光が入射きれた時アンプからＤＣ成分Ｙ除いた
検出（ｇ ＠ ｋ出力させるように構成した光学式変位
測定装置の信号検出機構？提供するものである。
ムによる干渉光が入射されこの入射ｆｔ？人射入射直進
方向の第１の光路および入射元とぐ隔たった方向の第２
の光路へ２分して出射するための一元ビームヌプリツタ
と、直列に接続された上記第五の光路に位Ｉｔする第１
のフォトダイオードおよび上記第２の光路に位置する第
２のフォトダイオードと、これら第１および第２のフォ
トダイオードに接続された逆バイアス電源と、第１およ
び＠２のフォトダイオードの接続点に入力端が接続され
たアンプと？含み、上記ｔｌｉａ′／ｌビームスプリッ
タに干渉光が入射きれた時アンプからＤＣ成分Ｙ除いた
検出（ｇ ＠ ｋ出力させるように構成した光学式変位
測定装置の信号検出機構？提供するものである。
上記構成によれば第１および第２のフォトダイオードの
接続点における各々のフォトダイオードのり、 Ｃ，成
分はキャンセルされ、アンプのゲインヶ上げることがで
きるので大きな検出信号を得ることができる。
接続点における各々のフォトダイオードのり、 Ｃ，成
分はキャンセルされ、アンプのゲインヶ上げることがで
きるので大きな検出信号を得ることができる。
以下図面？参照して本発明実施例？説明する。
第１図は本発明実施例による信号検出機構？示す構成図
で、８，９は調向ビームスプリッタ、１０〜１３はフォ
トディテクタである。第２図は偏向ビームスプリンタ８
，９の具体的構成？示している。
で、８，９は調向ビームスプリッタ、１０〜１３はフォ
トディテクタである。第２図は偏向ビームスプリンタ８
，９の具体的構成？示している。
２つのビームによる干渉光１はハーフミラ−２によって
２分された後、ＩＡ、１Ｂの各々はさらにＩ＃ｉ元ビー
ムスプリッタ８，９によって互いにガ隔てた方向［２分
されてフォトディテクタ１０〜１３に入射される。′ｆ
なわちフォトディテクタ１０の方向には砥面平行な成分
が、またフォトディテクタ１１の方向には紙面垂直な成
分がそれぞれ干渉し出射される。
２分された後、ＩＡ、１Ｂの各々はさらにＩ＃ｉ元ビー
ムスプリッタ８，９によって互いにガ隔てた方向［２分
されてフォトディテクタ１０〜１３に入射される。′ｆ
なわちフォトディテクタ１０の方向には砥面平行な成分
が、またフォトディテクタ１１の方向には紙面垂直な成
分がそれぞれ干渉し出射される。
ここで２つの干渉信号の位相は１８０°異なり強度はほ
とんど等しい。
とんど等しい。
一方、ハーフミラ−２によ、つてλ１４＆５￥介して入
射した光も、ディテクタ１２，１３では上記１０゜１１
と同様な関係にある。
射した光も、ディテクタ１２，１３では上記１０゜１１
と同様な関係にある。
第３図は本発明のキャンセル回路？示すモので、Ｄ３
＋ Ｄ４はフォトダイオード、ＡＭＰ ４はアンプであ
る。このキャンセル回路は偏光ビームスプリツタ８．９
に対応して２個用意される。
＋ Ｄ４はフォトダイオード、ＡＭＰ ４はアンプであ
る。このキャンセル回路は偏光ビームスプリツタ８．９
に対応して２個用意される。
説明のためＩＪｉｉＩ元ビームスプリッタ８の場合に例
？とると、第１のフォトダイオードＤ３はフォトディテ
クタＩＯの位置に配置され、第２のフォトダイオードＤ
４はフォトディテクタ１１の位置に配置ｆｔ’ｇねる。
？とると、第１のフォトダイオードＤ３はフォトディテ
クタＩＯの位置に配置され、第２のフォトダイオードＤ
４はフォトディテクタ１１の位置に配置ｆｔ’ｇねる。
またこれら第１および第２のフォトダイオードＤ３ ｔ
Ｄ４は直列に接続されると共に接続点ＧはアンプＡ
ＭＰ４の入力端に接続され、さらに第１および第２のダ
イオードＤ３ ｅ Ｄ４に対し℃は逆バイアス電源が接
続される。
Ｄ４は直列に接続されると共に接続点ＧはアンプＡ
ＭＰ４の入力端に接続され、さらに第１および第２のダ
イオードＤ３ ｅ Ｄ４に対し℃は逆バイアス電源が接
続される。
以上において第１および第２のフォトダイオードＤ３＊
Ｄ４の接続点Ｇでは各々のフォトダイオードのＤ−Ｃ，
成分かキャンセルされるので、振幅はく倍となり、第４
図（ａ）のような大きな検出（ｇ号がアンプＡＭＰ４か
ら出力される。
Ｄ４の接続点Ｇでは各々のフォトダイオードのＤ−Ｃ，
成分かキャンセルされるので、振幅はく倍となり、第４
図（ａ）のような大きな検出（ｇ号がアンプＡＭＰ４か
ら出力される。
同＠にして偏光ビームスプリッタ９の場合においても同
じ動作が行われるので、第４図（ｂ）のようにｌａｌと
は匍゛位相の異なった大きな検出信号が出力される。
じ動作が行われるので、第４図（ｂ）のようにｌａｌと
は匍゛位相の異なった大きな検出信号が出力される。
本発明においては直列に接続される２つのフォトダイオ
ードの特性が揃っていれ１ｆ１元のｑｑ酸成分よびダー
クカレント等の不快成分が除かれた（ｇ号がアンプＡＭ
Ｐ ｖｃ大入力れ、高いゲインで増幅されるので出力信
号？大さくとることができる。
ードの特性が揃っていれ１ｆ１元のｑｑ酸成分よびダー
クカレント等の不快成分が除かれた（ｇ号がアンプＡＭ
Ｐ ｖｃ大入力れ、高いゲインで増幅されるので出力信
号？大さくとることができる。
またさらに第８図に示す様に一枚基板上に作成された２
つのフォトディテクタ？使用した場合にはさらに良質の
信号χ得る皇ができる。
つのフォトディテクタ？使用した場合にはさらに良質の
信号χ得る皇ができる。
以上説明して明らかなように本発明によれば、ビームス
プリッタの第１および第２の出射光路に各々フォトダイ
オード５−［Ｆｅし、これら２つのフォトダイオード？
直列に接続すると共に接続点にアンプ？払続し、各々フ
ォトダイオードには逆バイアス電蝕を接続するように構
成゛したものであるから、大きな検出信号ケ得ろことが
できる。
プリッタの第１および第２の出射光路に各々フォトダイ
オード５−［Ｆｅし、これら２つのフォトダイオード？
直列に接続すると共に接続点にアンプ？払続し、各々フ
ォトダイオードには逆バイアス電蝕を接続するように構
成゛したものであるから、大きな検出信号ケ得ろことが
できる。
！侍にＩｉｉ′ＩＱな光学部品とキャンセル回路と？組
み合せるだけで少ない部品でり、 Ｃ０成分？キャンセ
ルすることができるので、大きいだけでなく良質な検出
１８号？得ることができるので傷和性？向上させること
かできる。
み合せるだけで少ない部品でり、 Ｃ０成分？キャンセ
ルすることができるので、大きいだけでなく良質な検出
１８号？得ることができるので傷和性？向上させること
かできる。
第１図および第３し１は本発明実施（＋Ｉｌｘ示す構成
図および回路図、第２図および第４図（ａＪ ＋ （ｂ
ｊは本発明￥説明するための斜視図および特性図、第５
図乃至第７図はいずれも従来例？示す斜視図、特性図お
よび回路図である。第８図は本発明の一基板上に作成さ
れたフォトディテクタ？使用する場合の列を示す。 １・・・干渉光、２・・・ハーフミラ−１８，９・・・
１１４ｆｔ。 ビームスプリッタ、１０〜１３・・・フォトディテクタ
、ＤＩ％Ｄ４・・・フォトダイオード、ＡＭＰｌ〜ＡＭ
Ｐ４・・・アンプ。 第１′図 第２図 第５図 第６図 １粒 」ビイ立′ 第７図 第８図 手続補正書 １ 事件の表示 昭和５９年特許ＪｌＩＩ 第２０５８５４号２・
発明の名称 光字式変位測定！Ｆ−直の信号検出機構３、 補正をす
る者 事件との関係 特許出動式 住所 名 称 ソニーマグネスクール株式会社４、代理人〒１
０５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ピル
５ 補正の対象 明細１−の爵ｆｆ詣求のＩＩＬｇ囲１発明の詳細な説明
の欄及び図面 （１）本願の特許請求の範囲を下記の辿り補正する。 ［１，２つのビームによる干渉光が入射されこの入射光
を入射光の直進方向の第１の光路および入射光と男隔た
った第２の光路へ２分して出射てるタメの−１ビームス
プリツタと、直列に接続された上記第１の光路に位置す
る第１のフォトダイオードおよび上記第２の光路に位置
する第２のフォトダイオードと、これら第１および第２
のフォトダイオードに接続された逆バイアス−諒と、第
１および第２のフォトダイオードの接続点に入力端が接
続されたアンプとを含み、上記ビームスプリッタに干渉
光が入射された時アンプかうり、Ｃ，成分ケ除いた検出
信号ン出力させるように構成したことを特徴とする光学
式変位測定装置の信号検出機構。」 （２）本願明細Ｖ第３頁第１８行「解形」を「解決」に
補正する。 （３１同１第４頁第６行「方向の」ン削除イる。 （４） 第７図ケ別紙の命辿り補正する。
図および回路図、第２図および第４図（ａＪ ＋ （ｂ
ｊは本発明￥説明するための斜視図および特性図、第５
図乃至第７図はいずれも従来例？示す斜視図、特性図お
よび回路図である。第８図は本発明の一基板上に作成さ
れたフォトディテクタ？使用する場合の列を示す。 １・・・干渉光、２・・・ハーフミラ−１８，９・・・
１１４ｆｔ。 ビームスプリッタ、１０〜１３・・・フォトディテクタ
、ＤＩ％Ｄ４・・・フォトダイオード、ＡＭＰｌ〜ＡＭ
Ｐ４・・・アンプ。 第１′図 第２図 第５図 第６図 １粒 」ビイ立′ 第７図 第８図 手続補正書 １ 事件の表示 昭和５９年特許ＪｌＩＩ 第２０５８５４号２・
発明の名称 光字式変位測定！Ｆ−直の信号検出機構３、 補正をす
る者 事件との関係 特許出動式 住所 名 称 ソニーマグネスクール株式会社４、代理人〒１
０５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ピル
５ 補正の対象 明細１−の爵ｆｆ詣求のＩＩＬｇ囲１発明の詳細な説明
の欄及び図面 （１）本願の特許請求の範囲を下記の辿り補正する。 ［１，２つのビームによる干渉光が入射されこの入射光
を入射光の直進方向の第１の光路および入射光と男隔た
った第２の光路へ２分して出射てるタメの−１ビームス
プリツタと、直列に接続された上記第１の光路に位置す
る第１のフォトダイオードおよび上記第２の光路に位置
する第２のフォトダイオードと、これら第１および第２
のフォトダイオードに接続された逆バイアス−諒と、第
１および第２のフォトダイオードの接続点に入力端が接
続されたアンプとを含み、上記ビームスプリッタに干渉
光が入射された時アンプかうり、Ｃ，成分ケ除いた検出
信号ン出力させるように構成したことを特徴とする光学
式変位測定装置の信号検出機構。」 （２）本願明細Ｖ第３頁第１８行「解形」を「解決」に
補正する。 （３１同１第４頁第６行「方向の」ン削除イる。 （４） 第７図ケ別紙の命辿り補正する。
Claims (1)
- １、２つのビームによる干渉光が入射されこの入射光を
入射光の直進方向の第１の光路および入射光と９０°隔
たつた方向の第２の光路へ２分して出射するための偏光
ビームスプリッタと、直列に接続された上記第１の光路
に位置する第１のフォトダイオードおよび上記第２の光
路に位置する第２のフォトダイオードと、これら第１お
よび第２のフォトダイオードに接続された逆バイアス電
源と、第１および第２のフォトダイオードの接続点に入
力端が接続されたアンプとを含み、上記ビームスプリッ
タに干渉光が入射された時アンプからＤ．Ｃ．成分を除
いた検出信号を出力させるように構成したことを特徴と
する光学式変位測定装置の信号検出機構。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59205854A JPS6183912A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | 光学式変位測定装置の信号検出機構 |
| EP84307484A EP0146244B2 (en) | 1983-11-04 | 1984-10-31 | Optical instrument for measuring displacement |
| EP88117622A EP0311144B1 (en) | 1983-11-04 | 1984-10-31 | Optical instrument for measuring displacement |
| DE88117622T DE3486178T2 (de) | 1983-11-04 | 1984-10-31 | Optisches Instrument zur Messung einer Verschiebung. |
| DE8484307484T DE3484649D1 (de) | 1983-11-04 | 1984-10-31 | Optisches instrument zur messung einer verschiebung. |
| US06/668,097 US4676645A (en) | 1983-11-04 | 1984-11-05 | Optical instrument for measuring displacement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59205854A JPS6183912A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | 光学式変位測定装置の信号検出機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6183912A true JPS6183912A (ja) | 1986-04-28 |
| JPH0513243B2 JPH0513243B2 (ja) | 1993-02-22 |
Family
ID=16513808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59205854A Granted JPS6183912A (ja) | 1983-11-04 | 1984-10-01 | 光学式変位測定装置の信号検出機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6183912A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2343745A (en) * | 1998-11-11 | 2000-05-17 | Ando Electric | Light receiving circuit for use in electrooptic sampling oscilloscope |
| JP2008209556A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Epson Imaging Devices Corp | 電気光学装置、半導体装置、表示装置およびこれを備える電子機器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4113381A (en) * | 1976-11-18 | 1978-09-12 | Hewlett-Packard Company | Surveying instrument and method |
| JPS5892819A (ja) * | 1981-11-28 | 1983-06-02 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 光電式エンコ−ダ装置 |
-
1984
- 1984-10-01 JP JP59205854A patent/JPS6183912A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4113381A (en) * | 1976-11-18 | 1978-09-12 | Hewlett-Packard Company | Surveying instrument and method |
| JPS5892819A (ja) * | 1981-11-28 | 1983-06-02 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 光電式エンコ−ダ装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2343745A (en) * | 1998-11-11 | 2000-05-17 | Ando Electric | Light receiving circuit for use in electrooptic sampling oscilloscope |
| US6384590B1 (en) | 1998-11-11 | 2002-05-07 | Ando Electric Co., Ltd. | Light receiving circuit for use in electro-optic sampling oscilloscope |
| GB2343745B (en) * | 1998-11-11 | 2003-07-16 | Ando Electric | Light receiving circuit for use in electro-optic sampling oscilloscope |
| JP2008209556A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Epson Imaging Devices Corp | 電気光学装置、半導体装置、表示装置およびこれを備える電子機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0513243B2 (ja) | 1993-02-22 |
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