JPS5892819A - 光電式エンコ−ダ装置 - Google Patents

光電式エンコ−ダ装置

Info

Publication number
JPS5892819A
JPS5892819A JP18988981A JP18988981A JPS5892819A JP S5892819 A JPS5892819 A JP S5892819A JP 18988981 A JP18988981 A JP 18988981A JP 18988981 A JP18988981 A JP 18988981A JP S5892819 A JPS5892819 A JP S5892819A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
index scale
signals
grating
optical grating
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18988981A
Other languages
English (en)
Inventor
Susumu Makinouchi
進 牧野内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Nippon Kogaku KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp, Nippon Kogaku KK filed Critical Nikon Corp
Priority to JP18988981A priority Critical patent/JPS5892819A/ja
Publication of JPS5892819A publication Critical patent/JPS5892819A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光電式エンコーダ装置に関する。
メインスケールとインデックススケールのそれぞれに同
一の一定ピッチの光学格子を有する光電式エンコーダに
おいては、メインスケールとインデックススケールが相
対的に移動すると格子を介して受光素子に達する光量は
断続的に大小変化する。
従来高分解能のエンコーダにおいては、第1図、第2図
に示すように、一定ピツチの格子を有するメインスケー
ル100に対してメインスケールと同一ピッチの格子か
ら成り00、 90°、180;’270°、の位相の
4つの格子A、B、C,Dを有するインデックススケー
ル101が相対的に移動する構造を採用している。この
相対的な移動が極めて低速の場合には、受光素子の出力
信号は三角波に近くなるが、格子のピッチがμm オー
ダの極めて小さいものであるため、実際には光の干渉等
により波形がなまって、正弦波に近くなる。
そこでこのような信号を発生する受光素子の合成回路(
ついて第2図により説明する。
インデックススケール101の各格子A。
C,B、Dを通過した不図示の光源からの光束を受光す
るフォトダイオード、フォトトランジスタのような受光
素子AI+CItBI+D、は、互に逆向きに並列接続
して各々オペアンプ102,103の反転、非反転入力
に接続する。さらに各オペアンプ102,103には、
所定のゲインを得るための帰慮砥抗104.105を設
けると共に各出力に比較器106,107を接続する、
このように受光素子A、とC3の差動、受光素子B1と
り。
の差動を取ることによりオペアンプ102゜103は、
アース電位(以下0レベルとする。)を振動中心とする
正弦波状の信号を出力する。
また、比較器106,107は、アース電位を2値化の
スライスレベルとして、オペアンプ102,103の各
出力信号を矩形波に変換する。一般に正弦波状の信号を
、その振動中心のスライスレベルで2値化する場合、ス
ライスレベルの電圧を固定しておくと、正弦波状の信号
の振動中心が変動したとき、2値化された矩形波の信号
のデユーティ比はその変動に応じて変化してしまう。こ
のことは。
光電式エンコーダの光量変化、すなわち、光源の輝度が
変化した場合に生じる。しかしながら、上述のようにイ
ンデックススケール101の各格子に対向する受光素子
AI+C3の差動、受光素子B、とり、の差動を、取る
ことKより1例えば格子AとCik照射する光量が共に
同じ童だけ変岬しても、オペアンプ102は、常にOレ
ベルを振動中心とした正弦波状の信号を出力する。
しかしながら、第2図の合成回路では、インデックスス
ケール内に4つの、格子を設けねばならず、さらに格子
AとCの位相差が180’BとDの位相差が180°、
AとBの位相差が90°、CとDの位相差が90°とい
う具合に正確に位相差を決めなければならない。このた
め各格子A、R,C,Dの位置を微妙に調整するといつ
簀翅さが生じていた、 本発明は上記諸欠点を解決するために、インデックスス
ケールを互いに位相の異なる3つの光学格子から構成し
、この3つの光学格子のうち、第1の光学格子を基準位
相としたとき、他の2つの光学格子はこの基準位相に対
してそれぞれ正と負方向に1Wj−の位相差を有する如
く設けられ、3つの光学格子の夫々力信号の夫々とを、
直流夜分が相殺される如く合成して2つの異なる位相の
信号を発生する           −= 希合成回路を有する構造の光を式ヱンコーダ装置を提供
することを目的とする。
次(本発明の詳細な説明する。第4Vは本発明のインデ
ックススケール200の一例であり、0°、90°、1
80°の位相、すなわち、格子縞のピッチを0.1/4
.1/2ピツチずらした3つの格子x、y、zがたてに
並んでいる。
それぞれの格子を通る不図示の光源からの光束を受ける
受光素”子として光電池201゜202.203が設け
られている。@5図に示すように、光電池201と20
3は同方向に配置され、オペアンプ204,206に接
続され、オペアンプ204.206は負帰還抵抗を介し
て、光電池201.203の光電流を電圧に変換する。
光電池202は他の2つの光電池とは逆向きに配置され
オペアンプ205に接続され、オペアンプ205は負帰
還抵抗を介して光電池202の光電流を電圧に変換する
。そして、光電池201,202の出力信号を加筆する
ようにアナログ加算器207がオペアンプ204,20
5の各出力に接続しである。また光電池202.203
の出力信号を加算するようにアナログ加算器208がオ
ペアンプ205,206の各出力に接続しである。アナ
ログ加算器20T。
20Bの各出力は第3図同様に比較器(不図示)に接続
しである。上記アナログ加算器207.208によって
合成回路を構成する。
以下に第5図の合成回路の動作を説明する。
今、インデックススケールの基準とする格子なYとすれ
ば、格子Yに対して格子X、zはそれぞれ一90°、+
90°の位相差を有する。これに対応する如く光電池2
01,202゜203を合成回路に配置し、基準格子に
対する光電池202を他の2つの光電池と逆向きに配置
する。
光電池の電流電圧変換回路であるオペアンプ204によ
って光電池201の光電池は波形が第6図aK示すよう
な電圧信号に変換される。これを数式で表わすとa=s
ieθ+V(Vは出力信号の直流成分を表し、以下、オ
フセット電圧とする。51d1様に90°、180゜の
位相をもつ格子に対する光電池202゜20.3の各光
電流はそれぞれオペアンプ205゜電圧信号に変換され
る。これらを数式で表わすとb = −sin (θ+
90’  ) −V、  c =sin(θ+180°
 )+vとなる。ここで注意するのは、光電池202は
他の2個の電池とは逆向きに接続されているため電圧信
号すは0レベルに対して負側に円方される。従って。
信号&、eは、オフセット電圧+■を振動中心とする正
弦波状の信号となり、信号すは。
オフセット電圧−■を振動中心とする正弦波状の信号と
なる。これらの電圧信号a、blCをアナログ加算器2
07,208によってa+b、b+eとなる信号に合成
するとオフセット電圧■が互に相殺されてその電圧波形
は第6図d、・に示すようにOレベルを振動中心として
90°の位相差を有する2つの正弦波形が得られる。と
”□の合成信号d、eを数式%式% v/2 sin (θ−135°)となる。この合成信
号d、・は各オペアンプの回路特性がすべて等しいもの
とし、インデックススケールの3つの格子窓を照明する
光の強度にバラツキさえなければ振動中心がOレベルか
ら変動することはない、すなわち、3つの格子x、y、
zを照明する光量が共に同じ量だけ変動したとすると、
信号a、b、cの振幅、及び各オフセット電圧が変化す
る。ところが各オフセット電圧は、夫々の絶対値が共に
等しく・まま変動する一つまり信qa、cのオフセット
電圧+■が、正方向に大きくなるように変化すると、信
号bQオフセット電圧−Vは、負方向に同じ大きさだけ
変化する。そのため1合成信号d、  etcはオフセ
ット電圧がキャンセルされて、常に0レベル(アース電
位)を振動中心とする交流成分のみが現われる。
本実施例の合成回路では、光電池202の7ノード・カ
ソードの接続方向を他の光電池201.203と逆方向
に接続しであるが。
この光電池202を他の光電池201,203と同じ向
まに接続して、オペアンプ205の出力に反転アンプを
付加する構造でも上述の実施例と同様の効果が得られる
すなわち、このときオペアンプ205のオフセット電圧
は正側に生じ、その出力信号はsi自(θ+90°)+
Vで表わされる。この出力信号を増幅率1の反転アンプ
に入力すると。
反転アンプの出力には、−[5in(θ+900)+V
]で表わされる信号が得られる、この信号は言うまでも
なく、上記信号すと同一のものであるっまた。3つの光
電池201〜203を同じ向きに接続して、それぞれオ
ペアンプ204〜206からの電圧信号a、b、cを減
算する( d=a−b、e=e−b)アナログ減算器を
加算器207,208のかわりに接続しても、同様の効
果が得られることは言うまでもなく、このように光電池
を全部同じ向きに接続できれば、さらに3個の光電池を
IC化するとき同一チップ上に形成できるという利点が
ある。
また本実施例においてはインデックススケ−ルにO;9
0°、18’0°の位相をもった格子を設けて、0″位
相に対して一45°。
−135°の2信号、すなわち90°位相のずれた2つ
の信号を作ったが1本発明は、インデックススケールの
格子の位相関係を上記のように限るものではなく1例え
ば3つの格子を0,1/8.1/4  ピッチの位相関
係にしても同様の効果が得られることは明らかである。
この場合、上述の信号a、b、eは夫々siaθ+V、
−si@(θ+45°)−V、s+++(θ+90’)
+Vで表わされる。
以上の如く本発明ではインデックススケールを各位相の
異なる光学格子を3つ配置して構成し、この3つの光学
格子の夫々に対して3つの光電変換器を設け、1つの格
子を基準位相としこの光学格子に対して設けられた光電
変換器の出力信号のうち基準位相に応じた出力信号と、
他の2つの出力信号の夫々とを直流成分が相殺される如
く合成して2つの異なる位相の信号を発生する合成回路
を設けること罠よって、インデックススケールの格子の
数を減らし、インデックススケールと光源を含む検出ヘ
ッドを小型化できるという効果がある。
尚1本発明においては、3つの光学格子は全て同一ピッ
チのものでよいから、インデックススケールの製作は極
めて容易になるという利点もある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のエンコーダのメインスケールとインデッ
クススケールの斜視図、第2図は従来のエンコーダのイ
ンデックススケールのパターン、第3図は従来のエンコ
ーダの合成回路、第4図は本発明に係るエンコーダ装置
のインデックススケールのパターン、第5図は本発明の
エンコーダ装置の合成回路、第6図は第5図のオ(オン
ゾから得られた電圧波形と合成波形である。 〔主要部分の符号の説明〕 x、y、z :光学格子 201.202.203:光電池 204.205.206:オペアンプ 207.208:アナログ加算器

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 メインスケールとインデックススケールのそれぞ
    れに一定ピッチの光学格子を有するエンコーダにおいて
    。 前記インデックススケールに設けられた第1.第2.第
    3の光学格子;該3つの光学格子は前記第1の光学格子
    を基準位相としたとき、前記第2.第3の光学格子が夫
    夫基準位相に対して正と負方向に同一の位相差を有する
    如く設けられ、前記3つの光学格子の夫々に対して設け
    られた3つの光電変換器と; 該各光電変換器の出力信号のうち、前記基準位相に応じ
    た出力信号と、他の2つの出力信号の夫々とを、直流成
    分が相殺される如く合成して2つの異なる位相の信号を
    発生する合成回路とを備えたことを特徴とする光電式エ
    ンコーダ装置。
JP18988981A 1981-11-28 1981-11-28 光電式エンコ−ダ装置 Pending JPS5892819A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18988981A JPS5892819A (ja) 1981-11-28 1981-11-28 光電式エンコ−ダ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18988981A JPS5892819A (ja) 1981-11-28 1981-11-28 光電式エンコ−ダ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5892819A true JPS5892819A (ja) 1983-06-02

Family

ID=16248870

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18988981A Pending JPS5892819A (ja) 1981-11-28 1981-11-28 光電式エンコ−ダ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5892819A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6183912A (ja) * 1984-10-01 1986-04-28 Sony Magnescale Inc 光学式変位測定装置の信号検出機構
JPH02143113A (ja) * 1988-11-25 1990-06-01 Canon Electron Inc 光学式エンコーダ
JP2008084586A (ja) * 2006-09-26 2008-04-10 Matsushita Electric Works Ltd 天井吊り下げ型情報コンセント
JP2014199184A (ja) * 2013-03-29 2014-10-23 Tdk株式会社 磁気センサシステム

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6183912A (ja) * 1984-10-01 1986-04-28 Sony Magnescale Inc 光学式変位測定装置の信号検出機構
JPH02143113A (ja) * 1988-11-25 1990-06-01 Canon Electron Inc 光学式エンコーダ
JP2008084586A (ja) * 2006-09-26 2008-04-10 Matsushita Electric Works Ltd 天井吊り下げ型情報コンセント
JP2014199184A (ja) * 2013-03-29 2014-10-23 Tdk株式会社 磁気センサシステム
US9200884B2 (en) 2013-03-29 2015-12-01 Tdk Corporation Magnetic sensor system including three detection circuits

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019192196A1 (zh) 一种伪随机码道光栅尺及其读取方法
DE3582950D1 (de) Photoelektrische messeinrichtung.
CN102168996B (zh) 光电式编码器
JP2009198318A (ja) 光電式エンコーダ
JP2012013650A (ja) アブソリュートエンコーダ
CN103308084B (zh) 一种用于增量式位移测量装置的光电接收传感器
JP2004309366A (ja) 位置検出装置
US6580066B2 (en) Measurement signal generating circuit for linear scale
CN101464188B (zh) 提高光电传感器灵敏度的方法
JPS6388871A (ja) 光混成集積回路装置
JPS639167B2 (ja)
RU95111969A (ru) Устройство для определения положения светового пятна
CN119687797B (zh) 一种高精度光栅尺位移解调算法和灵敏度标定方法
JP2558691B2 (ja) 交流光成分増幅装置
SU1657957A1 (ru) Устройство дл измерени перемещени объекта
JPS6363917A (ja) 光学式変位検出器
SU1603200A1 (ru) Позиционно-чувствительный датчик оптического излучени
SU1677521A1 (ru) Растровый датчик линейных перемещений
SU1046612A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещений
SU794652A1 (ru) Фотоэлектрический преобразовательпЕРЕМЕщЕНи B КОд
JPS6347615A (ja) 光学式変位検出器
Mu et al. An optoelectronic chip with excellent orthogonality for encoder application
JPS6350721A (ja) 光学式変位検出器
SU537243A1 (ru) Аналоговый преобразователь сигнала двухотсчетного измерител
SU954817A1 (ru) Фотоэлектронное устройство дл измерени площади плоских тел