JPS6184528A - 温度測定装置 - Google Patents
温度測定装置Info
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- JPS6184528A JPS6184528A JP59206731A JP20673184A JPS6184528A JP S6184528 A JPS6184528 A JP S6184528A JP 59206731 A JP59206731 A JP 59206731A JP 20673184 A JP20673184 A JP 20673184A JP S6184528 A JPS6184528 A JP S6184528A
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- JP
- Japan
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- scanning
- measurement object
- radiation
- radiant energy
- temperature
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0896—Optical arrangements using a light source, e.g. for illuminating a surface
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/48—Thermography; Techniques using wholly visual means
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/80—Calibration
- G01J5/802—Calibration by correcting for emissivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J2005/0074—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry having separate detection of emissivity
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の分野
この発明は、走査形放射温度計を用いたフィルム等の半
透明体の測定物体の温度測定装置に関するものである。
透明体の測定物体の温度測定装置に関するものである。
（２）従来技術
出願人は、不透明体の物体について、たとえば特開昭５
７−１６１５２１号公報にあるように、比較熱板と測定
物体との距離を変化させたときの放射検出器の出力変化
から測定物体の放射率、温度を求める方法を提案してい
る。
７−１６１５２１号公報にあるように、比較熱板と測定
物体との距離を変化させたときの放射検出器の出力変化
から測定物体の放射率、温度を求める方法を提案してい
る。
しかしながら、この方法では、比較熱板を測定する装置
が大型なものとなり、半透明体についての測定は難しく
、また測定物体の広い範囲での温度パターンの測定は困
難である等の問題点を生じている。 ゛ （３）発明の目的 この発明の目的は、以上の点に浅み、より簡便に半透明
の測定物体の広い範囲での温度の測定を可能とした温度
測定装置を提供することである。
が大型なものとなり、半透明体についての測定は難しく
、また測定物体の広い範囲での温度パターンの測定は困
難である等の問題点を生じている。 ゛ （３）発明の目的 この発明の目的は、以上の点に浅み、より簡便に半透明
の測定物体の広い範囲での温度の測定を可能とした温度
測定装置を提供することである。
（４）発明の概要
この発明は、走査形放射温度計に測定物体からの放射エ
ネルギーが入射したときの第１の検出値、り〕１の放射
源からの放射エネルギーが測定物体で反射して入射した
ときの第２の検出値、および第２の放射源からの放射エ
ネルギーが測定物体を透過して入射したときの第３の検
出値に暴いて測定物体の放射率を求め、この放射率から
測定物体の温度を求めるようにした温度測定装置である
。
ネルギーが入射したときの第１の検出値、り〕１の放射
源からの放射エネルギーが測定物体で反射して入射した
ときの第２の検出値、および第２の放射源からの放射エ
ネルギーが測定物体を透過して入射したときの第３の検
出値に暴いて測定物体の放射率を求め、この放射率から
測定物体の温度を求めるようにした温度測定装置である
。
（５）発明の実施例
第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明図である
。
。
図において、１は、紙面に対して垂直に走行するフィル
ムのような半透明体の測定物体、２は、測定物体１の幅
方向を走査して測定物体１からの放射エネルギーを検出
する走査形放射温度計、３１．３２は、走査形放射湿度
計２の走査線上の測定物体１をはさんだ両側に位置し走
査形放射温度計２の走査領域に放射エネルギーを放射す
る第１の放射源、および第２の放射源、４は、走査形放
射温度計２からの出力信号が供給され、所定の演痺処理
を行う、アナログ回路、マイクロコンピュータ、パーソ
ナルコンピュータ等を利用した演算手段である。
ムのような半透明体の測定物体、２は、測定物体１の幅
方向を走査して測定物体１からの放射エネルギーを検出
する走査形放射温度計、３１．３２は、走査形放射湿度
計２の走査線上の測定物体１をはさんだ両側に位置し走
査形放射温度計２の走査領域に放射エネルギーを放射す
る第１の放射源、および第２の放射源、４は、走査形放
射温度計２からの出力信号が供給され、所定の演痺処理
を行う、アナログ回路、マイクロコンピュータ、パーソ
ナルコンピュータ等を利用した演算手段である。
なＪ３、第１の放射源３１は、走査形成（ト）温度Ｓｔ
２の設けである側に近接して設けられており、第２の１
ＪＩｉ射源３２は、測定物体１をはさんで対称的な位置
に設けられており、その反射、透過位置は近づけておく
のが望ましく、たとえは、その中間位置からのｆｉｌ
！）Ｊエネルギーを測定物体１からの放射エネルギーの
代表値とする。
２の設けである側に近接して設けられており、第２の１
ＪＩｉ射源３２は、測定物体１をはさんで対称的な位置
に設けられており、その反射、透過位置は近づけておく
のが望ましく、たとえは、その中間位置からのｆｉｌ
！）Ｊエネルギーを測定物体１からの放射エネルギーの
代表値とする。
測定物体１の温度をＴ１放射率をε、反射率をρ、透化
率をτ、第１の放射源３１の温度を丁１、第２の放射源
３２の温度をＴ２、走査形放射温度計２の出力信号をＥ
；、ｉ度丁の黒体の放射エネルギーをＥ （Ｔ）とする
。
率をτ、第１の放射源３１の温度を丁１、第２の放射源
３２の温度をＴ２、走査形放射温度計２の出力信号をＥ
；、ｉ度丁の黒体の放射エネルギーをＥ （Ｔ）とする
。
走査形放射温度計２が、測定物体１を走査すると第２図
で示すように、測定物体１を見るためのやｆ＋高いプラ
トー上の出力Ｅ＋（たとえば中央の出力を代表値とする
）、中央付近の両側で第１、第２の放射源３１．３２に
ついてのピーク値Ｅ２、Ｅ３が検出される。
で示すように、測定物体１を見るためのやｆ＋高いプラ
トー上の出力Ｅ＋（たとえば中央の出力を代表値とする
）、中央付近の両側で第１、第２の放射源３１．３２に
ついてのピーク値Ｅ２、Ｅ３が検出される。
つまり、走査形放射温度計２が、測定物体１のみを見た
ときの検出値をＥｌ、第１、第２の放射源３１．３２を
見たときの検出値をＥ２、Ｅ３とすれば、次式が成り立
つ。
ときの検出値をＥｌ、第１、第２の放射源３１．３２を
見たときの検出値をＥ２、Ｅ３とすれば、次式が成り立
つ。
Ｅｌ−εＥ （Ｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・（１）Ｅ ２− ε Ｅ
（Ｔ） ＋ ρ Ｅ（Ｔ＋） ・・・ ・
・・ ・・・ （２）Ｅ３−εＥ （Ｔ＞＋τＥ（Ｔ２
）・・・・・・・・・（３）ここで、（１）式右辺第１
項は測定物体１自体からの放射エネルギー、（２）式右
辺の第２項は第１の放射源３１からの放射エネルギーが
測定物体１を反射する寄与分、（３）式右辺第２項は、
第２の放射′ａ３２からの放射エネルギーが測定物体１
を透過する寄与分である。
・・・・・・・・・・・・・・（１）Ｅ ２− ε Ｅ
（Ｔ） ＋ ρ Ｅ（Ｔ＋） ・・・ ・
・・ ・・・ （２）Ｅ３−εＥ （Ｔ＞＋τＥ（Ｔ２
）・・・・・・・・・（３）ここで、（１）式右辺第１
項は測定物体１自体からの放射エネルギー、（２）式右
辺の第２項は第１の放射源３１からの放射エネルギーが
測定物体１を反射する寄与分、（３）式右辺第２項は、
第２の放射′ａ３２からの放射エネルギーが測定物体１
を透過する寄与分である。
（１）、（２）式を辺々差し引くと次式が１０られる。
Ｅ２−Ｅｌ−ρＥ（丁１）
Ｅ ２−Ｅ １
ρ＝□ ・・・・・・・・・（４）Ｅ（Ｔ＋）
（１）、（３）式を辺々差し引くと次式か得られる。
Ｅ３−Ｅｌ−τＥ（Ｔ２）
３ Ｅｌ
τ＝□ ・・・・・・・・・（５）
Ｅ（Ｔ２）
（４）、（５）式の右辺は、測定により求まり、これら
から、ＰＩｉ射率εは、次式で求まる。
から、ＰＩｉ射率εは、次式で求まる。
ε＝１−ρ−τ ・・・・・・・・・（６）
ここで、（１）を書き直すと、 Ｅ （Ｔ） ＝□ ・・・・・・・・・・・・
（７）ε となり、この（７）式に、〈６ン式を代入し、測定物体
１の真温度（Ｔ）を求めることができる。
ここで、（１）を書き直すと、 Ｅ （Ｔ） ＝□ ・・・・・・・・・・・・
（７）ε となり、この（７）式に、〈６ン式を代入し、測定物体
１の真温度（Ｔ）を求めることができる。
つまり、走査形放射温度計２が測定物体１を１回走査す
ると第２図のような出力信号が得られ、この出力信号Ｅ
Ｉ、Ｅ２、Ｅ３に暴いて、（４）、（５）、（６）、（
７）式の演算を演算手段４で行い、ε、Ｔを求める。な
お、第１、第２の放射源３１．３２の温度は適当な温度
検出器で検出して求め、ｉＥ ＩＩ手段４に供給すれば
よい。
ると第２図のような出力信号が得られ、この出力信号Ｅ
Ｉ、Ｅ２、Ｅ３に暴いて、（４）、（５）、（６）、（
７）式の演算を演算手段４で行い、ε、Ｔを求める。な
お、第１、第２の放射源３１．３２の温度は適当な温度
検出器で検出して求め、ｉＥ ＩＩ手段４に供給すれば
よい。
このように、２つのａ射源３１．３２を利用して、測定
物体１の放射率εを求め、測定物体１の各点の温度Ｔを
求めることができる。。あらかじめ、εを求めた後は、
放射源３１．３２にシャッタをし、連続測定を行うよう
にしてもよい。
物体１の放射率εを求め、測定物体１の各点の温度Ｔを
求めることができる。。あらかじめ、εを求めた後は、
放射源３１．３２にシャッタをし、連続測定を行うよう
にしてもよい。
また、走査形放射温度計２が、−軸（−次元）走査でな
く、而（二次元）走査であっても、その測定領域内に第
１、第２の放射源３１．３２の放射エネルギーを放射し
、同様の演算で温度分布の測定ができる。
く、而（二次元）走査であっても、その測定領域内に第
１、第２の放射源３１．３２の放射エネルギーを放射し
、同様の演算で温度分布の測定ができる。
（６）発明の効果
２つの放射源および走査形放射１度計を用い、敢α１率
を求め、次いで温度を測定するようにしているので、簡
単な構成で半透明体の測定物体の広い範囲についての温
度分布を高精度に測定することができる。
を求め、次いで温度を測定するようにしているので、簡
単な構成で半透明体の測定物体の広い範囲についての温
度分布を高精度に測定することができる。
第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明図、第２
図は、動作説明用波形図である。
図は、動作説明用波形図である。
Claims (1)
- １、測定物体を走査して測定物体からの放射エネルギー
を検出する走査形放射温度計と、この走査形放射温度計
の走査領域内の測定物体に放射エネルギーを放射する第
１の放射源および第２の放射源と、走査形放射温度計に
測定物体からの放射エネルギーが入射したときの第１の
検出値、第１の放射源からの放射エネルギーが測定物体
で反射して入射したときの第２の検出値、および第２の
放射源からの放射エネルギーが測定物体を透過して入射
したときの第３の検出値に基いて測定物体の放射率を求
め、この放射率から測定物体の温度を求める演算手段と
を備えたことを特徴とする温度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59206731A JPS6184528A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 温度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59206731A JPS6184528A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 温度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184528A true JPS6184528A (ja) | 1986-04-30 |
| JPH0548405B2 JPH0548405B2 (ja) | 1993-07-21 |
Family
ID=16528170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59206731A Granted JPS6184528A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 温度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184528A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6375526A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-05 | Chino Corp | 温度測定装置 |
| JPS6375525A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-05 | Chino Corp | 温度測定装置 |
| US6953281B2 (en) * | 2001-04-21 | 2005-10-11 | Robert Bosch Gmbh | Method for determining temperatures on semiconductor components |
-
1984
- 1984-10-02 JP JP59206731A patent/JPS6184528A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6375526A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-05 | Chino Corp | 温度測定装置 |
| JPS6375525A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-05 | Chino Corp | 温度測定装置 |
| US6953281B2 (en) * | 2001-04-21 | 2005-10-11 | Robert Bosch Gmbh | Method for determining temperatures on semiconductor components |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0548405B2 (ja) | 1993-07-21 |
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