JPS6184554U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6184554U JPS6184554U JP16799284U JP16799284U JPS6184554U JP S6184554 U JPS6184554 U JP S6184554U JP 16799284 U JP16799284 U JP 16799284U JP 16799284 U JP16799284 U JP 16799284U JP S6184554 U JPS6184554 U JP S6184554U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection part
- heating
- semiconductor sensor
- organic solvent
- excluding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
図面は本考案の塩素系有機溶剤ガス用半導体セ
ンサの実施例を示すもので、第1図は検出部の断
面説明図、第2図は第1図の検出部を収納した筐
体の断面説明図、第3図は従来のこの種半導体セ
ンサの断面説明図である。 1:検出部、2:検出部加熱用電熱線、21:
検出部加熱用ヒータ部、22,22:リード部、
4,4:被覆樹脂層、5,5:端子部。
ンサの実施例を示すもので、第1図は検出部の断
面説明図、第2図は第1図の検出部を収納した筐
体の断面説明図、第3図は従来のこの種半導体セ
ンサの断面説明図である。 1:検出部、2:検出部加熱用電熱線、21:
検出部加熱用ヒータ部、22,22:リード部、
4,4:被覆樹脂層、5,5:端子部。
Claims (1)
- 検出部加熱用電熱線の検出部加熱ヒータ部を除
く、検出部外に露出しているリード部及び端子部
を樹脂で被覆したことを特徴とする塩素系有機溶
剤ガス用半導体センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16799284U JPS6184554U (ja) | 1984-11-07 | 1984-11-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16799284U JPS6184554U (ja) | 1984-11-07 | 1984-11-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184554U true JPS6184554U (ja) | 1986-06-04 |
Family
ID=30725777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16799284U Pending JPS6184554U (ja) | 1984-11-07 | 1984-11-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184554U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010175428A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機溶媒ガス濃度の検出方法、有機溶媒ガス濃度の調整方法、有機溶媒ガス濃度検出装置及び有機デバイスの製造方法 |
-
1984
- 1984-11-07 JP JP16799284U patent/JPS6184554U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010175428A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機溶媒ガス濃度の検出方法、有機溶媒ガス濃度の調整方法、有機溶媒ガス濃度検出装置及び有機デバイスの製造方法 |