JPS6185731U - - Google Patents

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JPS6185731U
JPS6185731U JP16921084U JP16921084U JPS6185731U JP S6185731 U JPS6185731 U JP S6185731U JP 16921084 U JP16921084 U JP 16921084U JP 16921084 U JP16921084 U JP 16921084U JP S6185731 U JPS6185731 U JP S6185731U
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JP
Japan
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leaf spring
parallel
thin leaf
leaf springs
thin
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JP16921084U
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Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Springs (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例であるウエハ搬送装
置の側面図、第２図は第１図の平面図、第３図及
び第４図は従来例における動作を説明するための
模式図、第５図及び第６図は第１図における動作
を説明するための模式図を示す。 １ａ，１ｂ…ピンセツト、２ａ，２ｂ…開閉腕
、３ａ，３ｂ…薄板ばね、４ａ，４ｂ…押え板、
８…吸着溝、９…ウエハ、１０…固定腕、１１…
搬送機構、１２…プリアライメントステージ、１
３…露光ステージ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 離間して平行に配置した複数の薄板ばねの一端
    を固定側とし、他端を移動側として構成したいわ
    ゆる平行板ばね機構において、前記薄板ばねの少
    なくとも一枚を挾むように一方は固定側、他方は
    移動側に片持的に固定された部材を設け、前記薄
    板ばねを挾む方向の外力に対しては剛に、逆方向
    の外力に対しては平行板ばね本来の柔になるべく
    剛性に方向性を持たしめたことを特徴とする平行
    板ばね機構。
JP16921084U 1984-11-09 1984-11-09 Pending JPS6185731U (ja)

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JP16921084U JPS6185731U (ja) 1984-11-09 1984-11-09

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JP16921084U JPS6185731U (ja) 1984-11-09 1984-11-09

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Publication Number Publication Date
JPS6185731U true JPS6185731U (ja) 1986-06-05

Family

ID=30726957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16921084U Pending JPS6185731U (ja) 1984-11-09 1984-11-09

Country Status (1)

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JP (1) JPS6185731U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017148896A (ja) * 2016-02-24 2017-08-31 株式会社Ｋｅｃ ロボットアームおよびロボット

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2017148896A (ja) * 2016-02-24 2017-08-31 株式会社Ｋｅｃ ロボットアームおよびロボット

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