JPS6186514U - - Google Patents

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JPS6186514U
JPS6186514U JP17281384U JP17281384U JPS6186514U JP S6186514 U JPS6186514 U JP S6186514U JP 17281384 U JP17281384 U JP 17281384U JP 17281384 U JP17281384 U JP 17281384U JP S6186514 U JPS6186514 U JP S6186514U
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pipe
plate
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gas
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  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の装置の全体断面図、第２図は
同じく他の実施態様を示す部分断面図である。 １：清浄筒、２：通風管、３：導入管、４：排
気口、５：膨張室、６：凝結室、７：しぼり板、
８：しぼり孔、９：捕集室、１０：捕集材、１１
：通気板、１２：制御板、１３：冷却カツプ、１
４：付着板、１５：排出管、１６：分離槽、１７
：送風機、１８：小孔、１９：分岐管、２０：枝
管、２１：捕集網、２２：取出管、２３：冷却ジ
ヤケツト、２４：フイルター、２５：フイルター
室、２６：最終処理室、２７：排気管、２８：加
熱部、２９：導入管。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 排気ガスを導入する清浄筒１内を多数のしぼり
    孔８を穿設したしぼり板７で仕切り、その後方に
    耐熱性捕集材１０を充填した捕集室９を設け、こ
    れらのしぼり板８及び捕集室９を貫いて清浄筒１
    内に冷却用の通風管２を挿通し、該通風管２の前
    端に送風機１７を設けた構造において、前記しぼ
    り板７の前後及び捕集室９を通る通風管２の外周
    に多数の小孔１８を設け、通風管２の後端外周に
    は後方に湾曲した皿状の付着板１４をフランジ状
    に設け、さらにその後方には前方に開口している
    椀状の冷却カツプ１３を設けるとともにその下端
    には清浄筒１外の分離槽１６に通じる排出管１５
    を付設し、さらに前記付着板１４の前方の通風管
    ２には枝管２０が分岐して排出管１５内に開口す
    る分枝管１９を介設し、上記分離槽１６内をバツ
    ク状のフイルター２４を収容するフイルター室２
    ５と、その後方において清浄筒１内の凝結水を貯
    留し、ガス中の微粒子を最終的捕集する最終処理
    室２６とに分けて形成し、該最終処理室２６の上
    部にはガスを排出する排気管２７を付設するとと
    もに、該排気管２７の取付部にはガス中の微粒子
    を熱運動により分離せしめる加熱部２８を設けて
    なる熱運動を利用した排気ガス清浄装置。
JP17281384U 1984-11-13 1984-11-13 Expired JPH0143455Y2 (ja)

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JP17281384U JPH0143455Y2 (ja) 1984-11-13 1984-11-13

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JPH0143455Y2 JPH0143455Y2 (ja) 1989-12-18

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5081527B2 (ja) * 2007-07-26 2012-11-28 東京エレクトロン株式会社 気体清浄化装置及び気体清浄化方法
JP5442818B2 (ja) * 2012-09-03 2014-03-12 東京エレクトロン株式会社 気体清浄化装置

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JPH0143455Y2 (ja) 1989-12-18

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