JPS6186735A - エレクトロクロミツク素子 - Google Patents
エレクトロクロミツク素子Info
- Publication number
- JPS6186735A JPS6186735A JP20871984A JP20871984A JPS6186735A JP S6186735 A JPS6186735 A JP S6186735A JP 20871984 A JP20871984 A JP 20871984A JP 20871984 A JP20871984 A JP 20871984A JP S6186735 A JPS6186735 A JP S6186735A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- electrochromic
- electrode
- insulating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は電気化学的発消色現象すなわちエレクトロクロ
ミック現象を利用したエレクトロクロミック素子に関す
るものである。
ミック現象を利用したエレクトロクロミック素子に関す
るものである。
このようなエレクトロクロミック現象を利用する電気化
学的発消色素子すなわちエレクトロクロミック素子は、
例えば、数字表示素子、X−Yマトリクスディスプレイ
、光学シャッタ、絞り機構等に応用できるもので、その
材料で分類すると液体盤と固体型に分けられるが、本発
明は特に全固体型のエレクトロクロミック素子に関する
ものである。
学的発消色素子すなわちエレクトロクロミック素子は、
例えば、数字表示素子、X−Yマトリクスディスプレイ
、光学シャッタ、絞り機構等に応用できるもので、その
材料で分類すると液体盤と固体型に分けられるが、本発
明は特に全固体型のエレクトロクロミック素子に関する
ものである。
エレクトロクロミ、り現象を利用したエレクトロクロミ
ック素子の2つの構造例を第2図および第3図に示す。
ック素子の2つの構造例を第2図および第3図に示す。
これらの図はエレクト四りロミ。
り素子の一般的な構造を示すものである。
第2図に示すエレクトロクロミック素子は、透明な基板
1の上に、透明導電体膜よリマる第1電極2、陽極側発
色層でちるエレクトロクロミック層3、誘電体膜からな
る絶縁層4、導電体膜より成る第2電極5を順次積層し
てなるものである。
1の上に、透明導電体膜よリマる第1電極2、陽極側発
色層でちるエレクトロクロミック層3、誘電体膜からな
る絶縁層4、導電体膜より成る第2電極5を順次積層し
てなるものである。
また、第3図に示すエレクトロクロミ、り素子は、第2
図に示す構造における絶縁層4と第2電極5との間に、
さらに、陰極側発色層である第2のエレクトロクロミッ
ク層6を積層したものである。
図に示す構造における絶縁層4と第2電極5との間に、
さらに、陰極側発色層である第2のエレクトロクロミッ
ク層6を積層したものである。
上記の構造において、基板1は一般的にガラス板てよっ
て形成されるが、これはガラス板に限らず、プラスチッ
ク板またはアクリル板等の無色透明な板ならばよく、ま
た、−七の位置に関しても、第1電極2の下ではなく、
第2電極5の上にあってもよいし、目的に応じて(例え
ば、保護カバーとするなどの目的で)両側に設けてもよ
い。ただし、これらの場合に応じて、第2電極5を透明
導電膜にしたり、両側の電極とも透明導電膜にする必要
がある。両方の電極を透明電極とすれば、透明塵の素子
ができる。絶縁層4は誘電体のみではなく、固体電解質
等のようなものでもよい。
て形成されるが、これはガラス板に限らず、プラスチッ
ク板またはアクリル板等の無色透明な板ならばよく、ま
た、−七の位置に関しても、第1電極2の下ではなく、
第2電極5の上にあってもよいし、目的に応じて(例え
ば、保護カバーとするなどの目的で)両側に設けてもよ
い。ただし、これらの場合に応じて、第2電極5を透明
導電膜にしたり、両側の電極とも透明導電膜にする必要
がある。両方の電極を透明電極とすれば、透明塵の素子
ができる。絶縁層4は誘電体のみではなく、固体電解質
等のようなものでもよい。
透明導電膜としては、ITO膜(酸化インジウムIn2
O3中に酸化錫5n02をドープしたもの)やネサ膜等
が用いられる。陽極側発色層であるエレクトロクロミッ
ク層3は、従来、三酸化り四ム(CrzOs )、水酸
化イリジウム(Ir(OH)2)、水酸化ニッケル(N
t(oH)z )等によって形成されている。誘電体か
らなる絶縁層4は、二酸化ジルコン(Zr02)、五酸
化タンタル(Ta205 )、酸化ケイ素(810,5
i02)等に代表される酸化物、あるいは7ツ化リチウ
ム(LiF ) 、フッ化マグネシウム(MgFz)等
に代表されるフッ化物を用いて形成する。また、陰極側
発色層であるエレクトロクロミ、り層6は、酸化タング
ステン(WO2#WO3)、酸化モリブデン(Mo02
゜Mo03) 、五酸化バナジウム(V2O3)等を用
いて形成する。
O3中に酸化錫5n02をドープしたもの)やネサ膜等
が用いられる。陽極側発色層であるエレクトロクロミッ
ク層3は、従来、三酸化り四ム(CrzOs )、水酸
化イリジウム(Ir(OH)2)、水酸化ニッケル(N
t(oH)z )等によって形成されている。誘電体か
らなる絶縁層4は、二酸化ジルコン(Zr02)、五酸
化タンタル(Ta205 )、酸化ケイ素(810,5
i02)等に代表される酸化物、あるいは7ツ化リチウ
ム(LiF ) 、フッ化マグネシウム(MgFz)等
に代表されるフッ化物を用いて形成する。また、陰極側
発色層であるエレクトロクロミ、り層6は、酸化タング
ステン(WO2#WO3)、酸化モリブデン(Mo02
゜Mo03) 、五酸化バナジウム(V2O3)等を用
いて形成する。
この様な構造をもつエレクトロクロミック素子は、第1
電極2と第2電極5の間に電圧を印加することにより電
気化学反応が起き、着色、消色をする。この着色機構は
、例えば、エレクトロクロミック層6へのカチオンと電
子のダブルインジェクションによるブロンズ形成にある
と一般的に言われている。例えば、エレクトロクロミッ
ク物質として、wo、5を用いる場合には、次の(1)
式で表わされる酸化還元反応が起き着色する。
電極2と第2電極5の間に電圧を印加することにより電
気化学反応が起き、着色、消色をする。この着色機構は
、例えば、エレクトロクロミック層6へのカチオンと電
子のダブルインジェクションによるブロンズ形成にある
と一般的に言われている。例えば、エレクトロクロミッ
ク物質として、wo、5を用いる場合には、次の(1)
式で表わされる酸化還元反応が起き着色する。
WO3+ xH+ + xe−−: HJCWO3(1
)(1)式に従って、タングステンブロンズHxWo
5が形成され着色するが、ここで印加電圧を逆転すれば
消色状態となる。(1)式のこの様な反応は、エレクト
ロクロミ、り素子においては、素子内部の絶縁層によっ
てプロトンH+が供給され着色する。
)(1)式に従って、タングステンブロンズHxWo
5が形成され着色するが、ここで印加電圧を逆転すれば
消色状態となる。(1)式のこの様な反応は、エレクト
ロクロミ、り素子においては、素子内部の絶縁層によっ
てプロトンH+が供給され着色する。
このようなエレクトロクロミック素子においては、応答
速度および寿命の点で未だ問題がある。
速度および寿命の点で未だ問題がある。
本発明は、このようなエレクトロクロミ、り素子におい
て、従来よりも、応答速度、寿命が良いエレクトロクロ
ミック素子を提供しようとするものである。
て、従来よりも、応答速度、寿命が良いエレクトロクロ
ミック素子を提供しようとするものである。
本発明によるエレクトロクロミック素子の特徴とすると
ころは、導電体膜より成る第1電極と、陽極側発色層で
あるエレクトロクロミック層と、誘電体からなる絶縁層
と、陰極側発色層である第2のエレクトロクロミック層
と、導電体膜よりなる第2電極をj@次次層層たエレク
トロクロミック素子において、絶縁層を2層の積層型と
し、その2層が、ZrO2層とS loz層からなって
いることにある。
ころは、導電体膜より成る第1電極と、陽極側発色層で
あるエレクトロクロミック層と、誘電体からなる絶縁層
と、陰極側発色層である第2のエレクトロクロミック層
と、導電体膜よりなる第2電極をj@次次層層たエレク
トロクロミック素子において、絶縁層を2層の積層型と
し、その2層が、ZrO2層とS loz層からなって
いることにある。
ZrO2膜は、エレクトロクロミ、り素子のいわゆる絶
縁層(固体電解質とみなしても良い)としては、かなり
良いが、電子f四、キングが8102膜より性能が落ち
、さらに、単膜のみでは、安定性(寿命)も悪い。一方
、5to2膜は、電子ブロッキングの性能は良いが、イ
オン導伝性が悪く、単膜のみでは、エレクトロクロミッ
ク素子の特性を悪くしてしまう。
縁層(固体電解質とみなしても良い)としては、かなり
良いが、電子f四、キングが8102膜より性能が落ち
、さらに、単膜のみでは、安定性(寿命)も悪い。一方
、5to2膜は、電子ブロッキングの性能は良いが、イ
オン導伝性が悪く、単膜のみでは、エレクトロクロミッ
ク素子の特性を悪くしてしまう。
本発明によるエレクトロクロミック素子は、上記のよう
にZrO2膜とSiO2膜の積層体によって絶縁層を構
成することによって、これらの薄膜における上記の欠点
を相補い、それぞれの単膜のみでは出しえなかった性能
を、積層することにより、発揮させ従来よりも、はるか
に優れたエレクトロクロミ、り素子を提供するのである
。
にZrO2膜とSiO2膜の積層体によって絶縁層を構
成することによって、これらの薄膜における上記の欠点
を相補い、それぞれの単膜のみでは出しえなかった性能
を、積層することにより、発揮させ従来よりも、はるか
に優れたエレクトロクロミ、り素子を提供するのである
。
本発明によるエレク)aクロミック素子の一実施例を第
1図に示す。このエレクトロクロミック素子の基本的構
成は第3図に示すものと同様であるので、第3図に示す
部分と同じ部分は同じ符号によって指示する。
1図に示す。このエレクトロクロミック素子の基本的構
成は第3図に示すものと同様であるので、第3図に示す
部分と同じ部分は同じ符号によって指示する。
図示の実施例において、1は透明な基板、2は透明導電
体より成る第1の電極、3は陽極側発色層である第1の
エレクトロクロミ、り層、6は陰極側発色ノコである第
2のエレクトロク四ミ、り層、5は導電体膜より成る第
2電極を示す。
体より成る第1の電極、3は陽極側発色層である第1の
エレクトロクロミ、り層、6は陰極側発色ノコである第
2のエレクトロク四ミ、り層、5は導電体膜より成る第
2電極を示す。
第1および第2のエレクトロクロミック層3および6の
間に配置された絶縁層はZrO2膜4aと5to2膜4
bによって構成されている。
間に配置された絶縁層はZrO2膜4aと5to2膜4
bによって構成されている。
なお、上記の構成において、第1のエレクトロクロミッ
ク層3と第2のエレクトロクo iツク層6は逆にして
も良い。また、ZrO2膜4aと5to2膜4bを積層
した絶縁層は、好ましくは、ZrO2膜4a側が陰極側
発色層に接しているのが良い。また、それぞれの膜厚も
、ZrO2膜は1000〜4000 X 。
ク層3と第2のエレクトロクo iツク層6は逆にして
も良い。また、ZrO2膜4aと5to2膜4bを積層
した絶縁層は、好ましくは、ZrO2膜4a側が陰極側
発色層に接しているのが良い。また、それぞれの膜厚も
、ZrO2膜は1000〜4000 X 。
s io2膜は30〜500Xの間が好ましい。
実施例1
透明な基板1上に、適当な引き出し電極部及びリード部
を備えたITO膜よりなる電極2を形成した。H2ガス
と02ガスの比が1:2となっているガスを導入し、0
.4 Torrの圧力下で、金属Irをターダクトにし
た、反応性高岡波スA 、夕方法で、上記の電極2上に
、陽極側発色層である第1のエレクトロクロミ、り層3
として、I r (OH)2膜500Xを形成した。次
に、絶縁層4m、4bとして、真空蒸着方法により、S
iO2膜を1001.ZrO2膜を28001 (それ
ぞれ、5i02.ZrO2を蒸着材料として)形成した
。陰極側発色層であるエレクトロクロミック層6として
WO3膜を40001形成し、さらにそれらの膜の上に
、第2電極5として、半透明Au電極をつけた。
を備えたITO膜よりなる電極2を形成した。H2ガス
と02ガスの比が1:2となっているガスを導入し、0
.4 Torrの圧力下で、金属Irをターダクトにし
た、反応性高岡波スA 、夕方法で、上記の電極2上に
、陽極側発色層である第1のエレクトロクロミ、り層3
として、I r (OH)2膜500Xを形成した。次
に、絶縁層4m、4bとして、真空蒸着方法により、S
iO2膜を1001.ZrO2膜を28001 (それ
ぞれ、5i02.ZrO2を蒸着材料として)形成した
。陰極側発色層であるエレクトロクロミック層6として
WO3膜を40001形成し、さらにそれらの膜の上に
、第2電極5として、半透明Au電極をつけた。
この様にして形成したエレクトロクロミック素子は、2
.2Vの定電圧駆動で、ΔC0D0.3になるまでの応
答速度が150m5ec、寿命も106回にまでなり、
応答速度および寿命に、かなりの改善がみられた。
.2Vの定電圧駆動で、ΔC0D0.3になるまでの応
答速度が150m5ec、寿命も106回にまでなり、
応答速度および寿命に、かなりの改善がみられた。
第1図は、本発明に係るエレクトロクロミック素子の実
施例を示す断面図、第2図および第3図はエレクトロク
ロミック素子の一般的構造を示す断面図である。 1・・・基板、 2・・・第1電極、3・・
・エレクトロクロミ、り層、 4・・・絶縁層、5−・・第2電極、 6・・・エレクトロクロミック層、 4a、4b・・・絶縁層。 第1図 第2図 第3図
施例を示す断面図、第2図および第3図はエレクトロク
ロミック素子の一般的構造を示す断面図である。 1・・・基板、 2・・・第1電極、3・・
・エレクトロクロミ、り層、 4・・・絶縁層、5−・・第2電極、 6・・・エレクトロクロミック層、 4a、4b・・・絶縁層。 第1図 第2図 第3図
Claims (1)
- 導電体膜より成る第1電極と、陽極側発色層であるエレ
クトロクロミック層と、誘電体膜からなる絶縁層と、陰
極側発色層である第2のエレクトロクロミック層と、導
電体膜よりなる第2電極とを順次積層してなるエレクト
ロクロミック素子において、絶縁層を、ZrO_2簿膜
とSiO_2簿膜の積層にしたことを特徴とするエレク
トロクロミック素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20871984A JPS6186735A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | エレクトロクロミツク素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20871984A JPS6186735A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | エレクトロクロミツク素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6186735A true JPS6186735A (ja) | 1986-05-02 |
Family
ID=16560946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20871984A Pending JPS6186735A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | エレクトロクロミツク素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6186735A (ja) |
-
1984
- 1984-10-04 JP JP20871984A patent/JPS6186735A/ja active Pending
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