JPS6186735A - エレクトロクロミツク素子 - Google Patents

エレクトロクロミツク素子

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Publication number
JPS6186735A
JPS6186735A JP20871984A JP20871984A JPS6186735A JP S6186735 A JPS6186735 A JP S6186735A JP 20871984 A JP20871984 A JP 20871984A JP 20871984 A JP20871984 A JP 20871984A JP S6186735 A JPS6186735 A JP S6186735A
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JP
Japan
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film
layer
electrochromic
electrode
insulating layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP20871984A
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English (en)
Inventor
Kazuya Ishiwatari
和也 石渡
Ryoji Fujiwara
良治 藤原
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は電気化学的発消色現象すなわちエレクトロクロ
ミック現象を利用したエレクトロクロミック素子に関す
るものである。
このようなエレクトロクロミック現象を利用する電気化
学的発消色素子すなわちエレクトロクロミック素子は、
例えば、数字表示素子、X−Yマトリクスディスプレイ
、光学シャッタ、絞り機構等に応用できるもので、その
材料で分類すると液体盤と固体型に分けられるが、本発
明は特に全固体型のエレクトロクロミック素子に関する
ものである。
〔発明の背景〕
エレクトロクロミ、り現象を利用したエレクトロクロミ
ック素子の2つの構造例を第2図および第3図に示す。
これらの図はエレクト四りロミ。
り素子の一般的な構造を示すものである。
第2図に示すエレクトロクロミック素子は、透明な基板
1の上に、透明導電体膜よリマる第1電極2、陽極側発
色層でちるエレクトロクロミック層3、誘電体膜からな
る絶縁層4、導電体膜より成る第2電極5を順次積層し
てなるものである。
また、第3図に示すエレクトロクロミ、り素子は、第2
図に示す構造における絶縁層4と第2電極5との間に、
さらに、陰極側発色層である第2のエレクトロクロミッ
ク層6を積層したものである。
上記の構造において、基板1は一般的にガラス板てよっ
て形成されるが、これはガラス板に限らず、プラスチッ
ク板またはアクリル板等の無色透明な板ならばよく、ま
た、−七の位置に関しても、第1電極2の下ではなく、
第2電極5の上にあってもよいし、目的に応じて(例え
ば、保護カバーとするなどの目的で)両側に設けてもよ
い。ただし、これらの場合に応じて、第2電極5を透明
導電膜にしたり、両側の電極とも透明導電膜にする必要
がある。両方の電極を透明電極とすれば、透明塵の素子
ができる。絶縁層4は誘電体のみではなく、固体電解質
等のようなものでもよい。
透明導電膜としては、ITO膜(酸化インジウムIn2
O3中に酸化錫5n02をドープしたもの)やネサ膜等
が用いられる。陽極側発色層であるエレクトロクロミッ
ク層3は、従来、三酸化り四ム(CrzOs )、水酸
化イリジウム(Ir(OH)2)、水酸化ニッケル(N
t(oH)z )等によって形成されている。誘電体か
らなる絶縁層4は、二酸化ジルコン(Zr02)、五酸
化タンタル(Ta205 )、酸化ケイ素(810,5
i02)等に代表される酸化物、あるいは7ツ化リチウ
ム(LiF ) 、フッ化マグネシウム(MgFz)等
に代表されるフッ化物を用いて形成する。また、陰極側
発色層であるエレクトロクロミ、り層6は、酸化タング
ステン(WO2#WO3)、酸化モリブデン(Mo02
゜Mo03) 、五酸化バナジウム(V2O3)等を用
いて形成する。
この様な構造をもつエレクトロクロミック素子は、第1
電極2と第2電極5の間に電圧を印加することにより電
気化学反応が起き、着色、消色をする。この着色機構は
、例えば、エレクトロクロミック層6へのカチオンと電
子のダブルインジェクションによるブロンズ形成にある
と一般的に言われている。例えば、エレクトロクロミッ
ク物質として、wo、5を用いる場合には、次の(1)
式で表わされる酸化還元反応が起き着色する。
WO3+ xH+ + xe−−: HJCWO3(1
)(1)式に従って、タングステンブロンズHxWo 
5が形成され着色するが、ここで印加電圧を逆転すれば
消色状態となる。(1)式のこの様な反応は、エレクト
ロクロミ、り素子においては、素子内部の絶縁層によっ
てプロトンH+が供給され着色する。
〔発明が解決Qようとする問題点〕
このようなエレクトロクロミック素子においては、応答
速度および寿命の点で未だ問題がある。
〔発明の目的〕
本発明は、このようなエレクトロクロミ、り素子におい
て、従来よりも、応答速度、寿命が良いエレクトロクロ
ミック素子を提供しようとするものである。
〔発明の概要〕
本発明によるエレクトロクロミック素子の特徴とすると
ころは、導電体膜より成る第1電極と、陽極側発色層で
あるエレクトロクロミック層と、誘電体からなる絶縁層
と、陰極側発色層である第2のエレクトロクロミック層
と、導電体膜よりなる第2電極をj@次次層層たエレク
トロクロミック素子において、絶縁層を2層の積層型と
し、その2層が、ZrO2層とS loz層からなって
いることにある。
〔発明の効果〕
ZrO2膜は、エレクトロクロミ、り素子のいわゆる絶
縁層(固体電解質とみなしても良い)としては、かなり
良いが、電子f四、キングが8102膜より性能が落ち
、さらに、単膜のみでは、安定性(寿命)も悪い。一方
、5to2膜は、電子ブロッキングの性能は良いが、イ
オン導伝性が悪く、単膜のみでは、エレクトロクロミッ
ク素子の特性を悪くしてしまう。
本発明によるエレクトロクロミック素子は、上記のよう
にZrO2膜とSiO2膜の積層体によって絶縁層を構
成することによって、これらの薄膜における上記の欠点
を相補い、それぞれの単膜のみでは出しえなかった性能
を、積層することにより、発揮させ従来よりも、はるか
に優れたエレクトロクロミ、り素子を提供するのである
〔発明の実施例〕
本発明によるエレク)aクロミック素子の一実施例を第
1図に示す。このエレクトロクロミック素子の基本的構
成は第3図に示すものと同様であるので、第3図に示す
部分と同じ部分は同じ符号によって指示する。
図示の実施例において、1は透明な基板、2は透明導電
体より成る第1の電極、3は陽極側発色層である第1の
エレクトロクロミ、り層、6は陰極側発色ノコである第
2のエレクトロク四ミ、り層、5は導電体膜より成る第
2電極を示す。
第1および第2のエレクトロクロミック層3および6の
間に配置された絶縁層はZrO2膜4aと5to2膜4
bによって構成されている。
なお、上記の構成において、第1のエレクトロクロミッ
ク層3と第2のエレクトロクo iツク層6は逆にして
も良い。また、ZrO2膜4aと5to2膜4bを積層
した絶縁層は、好ましくは、ZrO2膜4a側が陰極側
発色層に接しているのが良い。また、それぞれの膜厚も
、ZrO2膜は1000〜4000 X 。
s io2膜は30〜500Xの間が好ましい。
実施例1 透明な基板1上に、適当な引き出し電極部及びリード部
を備えたITO膜よりなる電極2を形成した。H2ガス
と02ガスの比が1:2となっているガスを導入し、0
.4 Torrの圧力下で、金属Irをターダクトにし
た、反応性高岡波スA 、夕方法で、上記の電極2上に
、陽極側発色層である第1のエレクトロクロミ、り層3
として、I r (OH)2膜500Xを形成した。次
に、絶縁層4m、4bとして、真空蒸着方法により、S
iO2膜を1001.ZrO2膜を28001 (それ
ぞれ、5i02.ZrO2を蒸着材料として)形成した
。陰極側発色層であるエレクトロクロミック層6として
WO3膜を40001形成し、さらにそれらの膜の上に
、第2電極5として、半透明Au電極をつけた。
この様にして形成したエレクトロクロミック素子は、2
.2Vの定電圧駆動で、ΔC0D0.3になるまでの応
答速度が150m5ec、寿命も106回にまでなり、
応答速度および寿命に、かなりの改善がみられた。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係るエレクトロクロミック素子の実
施例を示す断面図、第2図および第3図はエレクトロク
ロミック素子の一般的構造を示す断面図である。 1・・・基板、      2・・・第1電極、3・・
・エレクトロクロミ、り層、 4・・・絶縁層、5−・・第2電極、 6・・・エレクトロクロミック層、 4a、4b・・・絶縁層。 第1図 第2図 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 導電体膜より成る第1電極と、陽極側発色層であるエレ
    クトロクロミック層と、誘電体膜からなる絶縁層と、陰
    極側発色層である第2のエレクトロクロミック層と、導
    電体膜よりなる第2電極とを順次積層してなるエレクト
    ロクロミック素子において、絶縁層を、ZrO_2簿膜
    とSiO_2簿膜の積層にしたことを特徴とするエレク
    トロクロミック素子。
JP20871984A 1984-10-04 1984-10-04 エレクトロクロミツク素子 Pending JPS6186735A (ja)

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JPS6186735A true JPS6186735A (ja) 1986-05-02

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