JPS6186925U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6186925U JPS6186925U JP17143784U JP17143784U JPS6186925U JP S6186925 U JPS6186925 U JP S6186925U JP 17143784 U JP17143784 U JP 17143784U JP 17143784 U JP17143784 U JP 17143784U JP S6186925 U JPS6186925 U JP S6186925U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- semiconductor manufacturing
- operating
- rod
- section
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置を示す概
略的な一部切欠斜視図、第２図Ａはその保持部の
構成を示す概略正面図、第２図Ｂは保持部を押し
開いた状態を示す概略正面図、第３図は保持部の
他の例を示す概略正面図である。第４図Ａは従来
の半導体製造装置の保持部の構成を示す断面図で
あり、第４図Ｂはその底面図である。 １……保持部、３……ボートローダ、６……ウ
エハ、７……ボート、９……引き出し棒、２０…
…受け部、２１……操作部、２６……引張りばね
。
略的な一部切欠斜視図、第２図Ａはその保持部の
構成を示す概略正面図、第２図Ｂは保持部を押し
開いた状態を示す概略正面図、第３図は保持部の
他の例を示す概略正面図である。第４図Ａは従来
の半導体製造装置の保持部の構成を示す断面図で
あり、第４図Ｂはその底面図である。 １……保持部、３……ボートローダ、６……ウ
エハ、７……ボート、９……引き出し棒、２０…
…受け部、２１……操作部、２６……引張りばね
。
Claims (1)
- ボートローダに連動する保持部にボード引き出
し棒を保持し、このボート引き出し棒を操作する
ことによりウエハが載置されるボートを装置内部
に出し入れする半導体製造装置において、上記保
持部は、受け部とこの受部にばねにより支持され
る操作部とを備え、これら受け部と操作部で上記
引き出し棒を弾撥的に保持してなる半導体製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17143784U JPS6186925U (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17143784U JPS6186925U (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6186925U true JPS6186925U (ja) | 1986-06-07 |
Family
ID=30729124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17143784U Pending JPS6186925U (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6186925U (ja) |
-
1984
- 1984-11-12 JP JP17143784U patent/JPS6186925U/ja active Pending