JPS6186927U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6186927U JPS6186927U JP17034084U JP17034084U JPS6186927U JP S6186927 U JPS6186927 U JP S6186927U JP 17034084 U JP17034084 U JP 17034084U JP 17034084 U JP17034084 U JP 17034084U JP S6186927 U JPS6186927 U JP S6186927U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hood
- resist
- hole
- resist coating
- vacuum chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示すレジスト塗
布装置の断面図、第２図は他の実施例の断面図、
第３図および第４図は従来のものの断面図である
。 １…シリコンウエーハ、２…バキユームチヤツ
ク、３…フード、３ａ…開口部、４…排気ダクト
、９…余剰レジスト溜、１０…容器、１１…排気
通路、１３…仕切板、１４…通孔、３３…外側フ
ード。
布装置の断面図、第２図は他の実施例の断面図、
第３図および第４図は従来のものの断面図である
。 １…シリコンウエーハ、２…バキユームチヤツ
ク、３…フード、３ａ…開口部、４…排気ダクト
、９…余剰レジスト溜、１０…容器、１１…排気
通路、１３…仕切板、１４…通孔、３３…外側フ
ード。
Claims (1)
- モータに連結されかつレジスト被覆体を吸着保
持するバキユームチヤツクと、このバキユームチ
ヤツクに吸着されるレジスト被覆体を包囲するよ
うに設置され上部に上記被覆体の着脱可能な大き
さの広口開口部を設け下部に余剰レジスト溜に連
なる通孔を設けさらに底部に排気ポンプと連なる
排気ダクトを設けたフードと、このフード内で上
記通孔の下方に配設した容器とを備え、容器には
余剰レジスト溜を有し、容器外周壁とフード間に
上記排気ダクトに通じる排気通路を設けたことを
特徴とするレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17034084U JPS6186927U (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17034084U JPS6186927U (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6186927U true JPS6186927U (ja) | 1986-06-07 |
Family
ID=30728045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17034084U Pending JPS6186927U (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6186927U (ja) |
-
1984
- 1984-11-12 JP JP17034084U patent/JPS6186927U/ja active Pending
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