JPS6190239U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6190239U JPS6190239U JP17611684U JP17611684U JPS6190239U JP S6190239 U JPS6190239 U JP S6190239U JP 17611684 U JP17611684 U JP 17611684U JP 17611684 U JP17611684 U JP 17611684U JP S6190239 U JPS6190239 U JP S6190239U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater wire
- electric furnace
- rightward
- wound
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案実施例の断面図、第２図は従来
例の電気炉の断面図、第３図は多段式横型拡散炉
の概略断面図である。 図中、１１は電気炉、１２はヒータ巻線、１３
はヒータ巻線端子、１４は石英ボート、１５はウ
エハ、１６は石英管、１７はクリーンベンチ、１
８はボートローダ、をそれぞれ示す。
例の電気炉の断面図、第３図は多段式横型拡散炉
の概略断面図である。 図中、１１は電気炉、１２はヒータ巻線、１３
はヒータ巻線端子、１４は石英ボート、１５はウ
エハ、１６は石英管、１７はクリーンベンチ、１
８はボートローダ、をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 電気炉のためのヒータ線が、該ヒータ線によつ
て発生される磁界が相殺される様に右向きと左向
きに同じ回数巻いたものであることを特徴とする
熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17611684U JPS6190239U (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17611684U JPS6190239U (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190239U true JPS6190239U (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=30733713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17611684U Pending JPS6190239U (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190239U (ja) |
-
1984
- 1984-11-20 JP JP17611684U patent/JPS6190239U/ja active Pending
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