JPS619040A - 機器内制御信号伝送回路 - Google Patents
機器内制御信号伝送回路Info
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- JPS619040A JPS619040A JP59129601A JP12960184A JPS619040A JP S619040 A JPS619040 A JP S619040A JP 59129601 A JP59129601 A JP 59129601A JP 12960184 A JP12960184 A JP 12960184A JP S619040 A JPS619040 A JP S619040A
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
- H04L25/00—Baseband systems
- H04L25/38—Synchronous or start-stop systems, e.g. for Baudot code
- H04L25/40—Transmitting circuits; Receiving circuits
- H04L25/45—Transmitting circuits; Receiving circuits using electronic distributors
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Communication Control (AREA)
- Synchronisation In Digital Transmission Systems (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は機器内制御信号伝送回路に係シ、特に中間配線
を単純化して信号伝送の高信頼化をはかるのに好適な自
動分析装置などの機器内制御信号伝送回路に関するもの
である。
を単純化して信号伝送の高信頼化をはかるのに好適な自
動分析装置などの機器内制御信号伝送回路に関するもの
である。
従来の機器内制御信号伝送回路は、７ラツトケーブルや
個別配線によりすべて電気式に処理するようにし〔発明
の目的〕 本発明は上記に鑑みてなされたもので、その目的とする
ところは、中間配線を単純化でさ、かつ、送受信部間の
電気的絶縁、をはかることができ、制御信号伝送の高信
頼性化を実現することができる機器内制御信号伝送回路
を提供することにある。
個別配線によりすべて電気式に処理するようにし〔発明
の目的〕 本発明は上記に鑑みてなされたもので、その目的とする
ところは、中間配線を単純化でさ、かつ、送受信部間の
電気的絶縁、をはかることができ、制御信号伝送の高信
頼性化を実現することができる機器内制御信号伝送回路
を提供することにある。
本発明の特徴は、並列の複数個の制御信号を直列の制御
信号に変換する並列−直列信号変換手段、と、上記直列
の制御信号を電気−光変換送信部する少なくとも１本の
光ファイバを用いた光ファイバ伝送手段と、上記光ファ
イバによって伝送された光制御信号を光−電気変換後直
列の制御信号を並列の制御信号に変換して負荷を駆動す
る電力供給回路手段に入力する直列−並列信号変換手段
と、上記並列−直列信号変換手段と上記直列−並列信号
変換手段間の動作タイミング制御を行う同期信号を発生
する上記並列−直列信号変換手段側に設置
けた同期信号発生手段と、上記同期信号を送受間
？ゝ 褐啼電気的に絶縁して上記直列−並列信号変換手段に伝
送する同期信号伝送手段とを具備する構成とした点にあ
る。
信号に変換する並列−直列信号変換手段、と、上記直列
の制御信号を電気−光変換送信部する少なくとも１本の
光ファイバを用いた光ファイバ伝送手段と、上記光ファ
イバによって伝送された光制御信号を光−電気変換後直
列の制御信号を並列の制御信号に変換して負荷を駆動す
る電力供給回路手段に入力する直列−並列信号変換手段
と、上記並列−直列信号変換手段と上記直列−並列信号
変換手段間の動作タイミング制御を行う同期信号を発生
する上記並列−直列信号変換手段側に設置
けた同期信号発生手段と、上記同期信号を送受間
？ゝ 褐啼電気的に絶縁して上記直列−並列信号変換手段に伝
送する同期信号伝送手段とを具備する構成とした点にあ
る。
以下本発明を第１図に示した実施例および第２図を用い
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第１図は本発明の機器内制御信号伝送回路の一実施例を
示すブロック図である。第１図において、１はマイクロ
コンピュータシステム、２ｔｌｔＪｔｌデータバツフア
２ａと並列データー直列データ変換部２ｂとからなるマ
イクロコンピュータシステムからの制御信号を並列から
直列に変換する送信側並列−直列信号変換手段、３は電
気−光変換送信部３ａ、光ファイバ３ｂおよび光−電気
変換送信部３Ｃからなる並列−直列信号変換手段２から
の直列化された制御信号を伝送する光ファイバ伝送手段
、４は直列データー並列データ変換部４ａと並列データ
バッファ４ｂとからなる光ファイバ伝送手段３からの受
信信号を直列から並列に変換する受信側直列−並列信号
変換手段、５は電力供給 １１回路手段、
６は直列−並列信号変換手段４と電力供給回路手段５と
に電力を供給する電源部、７は、負荷、８は電気−光変
換送信部Ｂａ、光ファイバ８ｂおよび光−電気変換受信
部８Ｃからなる同期信号伝送手段、９は並列−直列信号
変換手段２と同期信号伝送手段８に同期信号を送出して
いる発振手段９ａと同期制御回路手段９ｂとからなる同
期信号発生手段である。
示すブロック図である。第１図において、１はマイクロ
コンピュータシステム、２ｔｌｔＪｔｌデータバツフア
２ａと並列データー直列データ変換部２ｂとからなるマ
イクロコンピュータシステムからの制御信号を並列から
直列に変換する送信側並列−直列信号変換手段、３は電
気−光変換送信部３ａ、光ファイバ３ｂおよび光−電気
変換送信部３Ｃからなる並列−直列信号変換手段２から
の直列化された制御信号を伝送する光ファイバ伝送手段
、４は直列データー並列データ変換部４ａと並列データ
バッファ４ｂとからなる光ファイバ伝送手段３からの受
信信号を直列から並列に変換する受信側直列−並列信号
変換手段、５は電力供給 １１回路手段、
６は直列−並列信号変換手段４と電力供給回路手段５と
に電力を供給する電源部、７は、負荷、８は電気−光変
換送信部Ｂａ、光ファイバ８ｂおよび光−電気変換受信
部８Ｃからなる同期信号伝送手段、９は並列−直列信号
変換手段２と同期信号伝送手段８に同期信号を送出して
いる発振手段９ａと同期制御回路手段９ｂとからなる同
期信号発生手段である。
第１図においては、マイクロコンピュータシステム１か
らの制御信号を電気的に時分割手段により直列信号に変
換した後、光ファイバ伝送手段３によって負荷（パルス
モータ、電磁弁、交流モータ、発光ダイオードなど）７
近くまで伝送し、負荷７の近くで駆動系への電力供給回
路手段５へ複数の並列信号が供給できるように直列−並
列信号変換手段４を設けた構成の制御配線方式としであ
る、 また、光ファイバ３ｂへの直列信号供給手段としてハ、
マイクロコンピュータシステム１のバスに直結できる並
列−直列信号変換手段２（例えば、日立ＨＤ４６８５０
のようなＬＳＩなどによシブログラムで実現できるもの
や並列データのバス・バッファと並列−直列信号変換機
能を内蔵した）〜−ドウエアのみによる構成のものがあ
るが、本実施例では、・１−ドウエアによる構成のもの
を用いた）を用いである。
らの制御信号を電気的に時分割手段により直列信号に変
換した後、光ファイバ伝送手段３によって負荷（パルス
モータ、電磁弁、交流モータ、発光ダイオードなど）７
近くまで伝送し、負荷７の近くで駆動系への電力供給回
路手段５へ複数の並列信号が供給できるように直列−並
列信号変換手段４を設けた構成の制御配線方式としであ
る、 また、光ファイバ３ｂへの直列信号供給手段としてハ、
マイクロコンピュータシステム１のバスに直結できる並
列−直列信号変換手段２（例えば、日立ＨＤ４６８５０
のようなＬＳＩなどによシブログラムで実現できるもの
や並列データのバス・バッファと並列−直列信号変換機
能を内蔵した）〜−ドウエアのみによる構成のものがあ
るが、本実施例では、・１−ドウエアによる構成のもの
を用いた）を用いである。
また、送受信両系の変換同期をとるために、送信側に同
期信号発生手段９を設け、同期信号発生手段９からの同
期信号を送信側並列−直列信号変換手段２と受信側直列
−並列信号変換手段４とに供給するように、しかも、受
信側への同期信号は、電気信号絶縁手段（例えば、ホト
カプラ、絶縁トランスまたは光ファイバによる光学的信
号転送手段などがあるが、本実施例では光７アイノ（を
用いたものとしである）を内蔵した同期信号伝送手段８
を介して送信側から受信側へ伝送するようにしである。
期信号発生手段９を設け、同期信号発生手段９からの同
期信号を送信側並列−直列信号変換手段２と受信側直列
−並列信号変換手段４とに供給するように、しかも、受
信側への同期信号は、電気信号絶縁手段（例えば、ホト
カプラ、絶縁トランスまたは光ファイバによる光学的信
号転送手段などがあるが、本実施例では光７アイノ（を
用いたものとしである）を内蔵した同期信号伝送手段８
を介して送信側から受信側へ伝送するようにしである。
上記した構成の機器内制御信号伝送回路の動作タイミン
グ例を第２図に示しである。ただし、説明を単純にする
ため、送信点数が１０点の場合を例示しであるが、実際
に４ｄ５０〜２００点以上の信号を伝送するのが普通で
ある。
グ例を第２図に示しである。ただし、説明を単純にする
ため、送信点数が１０点の場合を例示しであるが、実際
に４ｄ５０〜２００点以上の信号を伝送するのが普通で
ある。
まず、第２図（ａ）に示しであるように、負荷側からの
制御タイミングに対する最小時間の要求値から同期信号
の走査周期Ｔｌが選定される。ここで、ＴＩ ＝１００
ｍｓに設定すると、送信側の並列信号はｉｏｏｍｓ周期
毎に走査され、走査結果は直列信号に変換されて光ファ
イバ伝送手段３に送り込まれる。同図中）に示すＴＩ内
の個別信号ＣＨＩ〜ＣＨＩＯまでの各走査間隔ｔ１は、
送信点数が１０点であるから、走査周期Ｔ１＝１００ｍ
ｓのときは１０ｍ ｓに設定すればよい。すなわち、個
別信号ＣＨＩからＣＨＩＯまでの各状態（”０″または
１１″）が顆次サンプリングさ扛、受信側直列−並列信
号変換手段４の出力部からは、受信信号として同図（Ｃ
）に示しであるように、同図（ｄ）に示す送信信号と同
じバタン信号が最大でＴ１だけの時間ずれをもって出力
（再生）され、負荷の駆動′ に供され
る。
制御タイミングに対する最小時間の要求値から同期信号
の走査周期Ｔｌが選定される。ここで、ＴＩ ＝１００
ｍｓに設定すると、送信側の並列信号はｉｏｏｍｓ周期
毎に走査され、走査結果は直列信号に変換されて光ファ
イバ伝送手段３に送り込まれる。同図中）に示すＴＩ内
の個別信号ＣＨＩ〜ＣＨＩＯまでの各走査間隔ｔ１は、
送信点数が１０点であるから、走査周期Ｔ１＝１００ｍ
ｓのときは１０ｍ ｓに設定すればよい。すなわち、個
別信号ＣＨＩからＣＨＩＯまでの各状態（”０″または
１１″）が顆次サンプリングさ扛、受信側直列−並列信
号変換手段４の出力部からは、受信信号として同図（Ｃ
）に示しであるように、同図（ｄ）に示す送信信号と同
じバタン信号が最大でＴ１だけの時間ずれをもって出力
（再生）され、負荷の駆動′ に供され
る。
上記のようにして光ファイバ伝送手段３と同期信号伝送
手段８との２系統の光学系を用いた信号絶縁系を介して
、マイクロコンピュータシステム１から電力供給回路手
段５への単方向同期伝送方式によ、り信号を伝送するこ
とで、各種の負荷の高信頼駆動が可能になろう 以下、さらに細部について説明する。送信側には、並列
データバンファ２ａと並列データー直列データ変換部２
ｂとからなるハードウェアによる構成の並列−直列信号
変換手段２と同期信号発生手段９とが用いてちるが、直
列通信制御用ＬＳＩ（例えば、日立ＨＤ４６８５０など
）を用いれば、これの要素は、１個のＬＳＩにすべてを
内蔵させることかでき、マイクロコンピュータシステム
１の一部として機能させることができる。また、ソフト
ウェアによる送信側全系統の機能制御も可能になる。し
だがって、ＬＳＩを使えば、送信側の回路構成は、第１
図よシもさらに単純化されたものとなる。
手段８との２系統の光学系を用いた信号絶縁系を介して
、マイクロコンピュータシステム１から電力供給回路手
段５への単方向同期伝送方式によ、り信号を伝送するこ
とで、各種の負荷の高信頼駆動が可能になろう 以下、さらに細部について説明する。送信側には、並列
データバンファ２ａと並列データー直列データ変換部２
ｂとからなるハードウェアによる構成の並列−直列信号
変換手段２と同期信号発生手段９とが用いてちるが、直
列通信制御用ＬＳＩ（例えば、日立ＨＤ４６８５０など
）を用いれば、これの要素は、１個のＬＳＩにすべてを
内蔵させることかでき、マイクロコンピュータシステム
１の一部として機能させることができる。また、ソフト
ウェアによる送信側全系統の機能制御も可能になる。し
だがって、ＬＳＩを使えば、送信側の回路構成は、第１
図よシもさらに単純化されたものとなる。
受信側直列−並列信号変換手段４は、直列デー
し、１ ター並列データ変換部４ａと並列データバッファ４ｂと
で構成しであるが゛、これらの回路の動作は、同期信号
伝送手段８を介して送信側から制御されているため、送
信側と１対１の対応動作をＭする。直列データー並列デ
ータ変換部４ａには 上記ノ日立ＨＤ４６８５０を使用
でき、８ピントのデータを出力できることから、この８
ピントデータを並列データバンファ４ｂとして用いる汎
用の並列出力用ＬＳＩ（例えば、日立ＨＤ４６８２１な
ど）に転送すれば、ＨＤ４６８２１の１個当シ１６本の
出力配線が取り出せることになり、制御系の負荷の近く
に、この並列データバッファ４ｂを点在させることＫよ
り、負荷の点数が多い場合でもドライバとして用いる電
力供給回路手段５と同一プリント基板上に実装すること
ができるため、電力供給回路手段５と並列データバッフ
ァ４ｂとのだき合わせの形で実装することにょシ、信号
配線を個個に張り廻わすことが回避でき、かつ、耐ノイ
ズ性能的にも十分安全なドライバとして小形に纏めるこ
とができる。
し、１ ター並列データ変換部４ａと並列データバッファ４ｂと
で構成しであるが゛、これらの回路の動作は、同期信号
伝送手段８を介して送信側から制御されているため、送
信側と１対１の対応動作をＭする。直列データー並列デ
ータ変換部４ａには 上記ノ日立ＨＤ４６８５０を使用
でき、８ピントのデータを出力できることから、この８
ピントデータを並列データバンファ４ｂとして用いる汎
用の並列出力用ＬＳＩ（例えば、日立ＨＤ４６８２１な
ど）に転送すれば、ＨＤ４６８２１の１個当シ１６本の
出力配線が取り出せることになり、制御系の負荷の近く
に、この並列データバッファ４ｂを点在させることＫよ
り、負荷の点数が多い場合でもドライバとして用いる電
力供給回路手段５と同一プリント基板上に実装すること
ができるため、電力供給回路手段５と並列データバッフ
ァ４ｂとのだき合わせの形で実装することにょシ、信号
配線を個個に張り廻わすことが回避でき、かつ、耐ノイ
ズ性能的にも十分安全なドライバとして小形に纏めるこ
とができる。
なお、並列データバンファ４ｂは、デコードされた信号
をＴ１の走査時間の間だけ記憶しておくことを目的とし
ているが、負荷が複数個所に点在しているときは、個別
の並列データバッファ４ｂ毎にデコードに必要な回路手
段：例えば、チップセレクトを行う機能などをもった回
路手段が必要になる。この目的のために、受信制御部−
を設ける。
をＴ１の走査時間の間だけ記憶しておくことを目的とし
ているが、負荷が複数個所に点在しているときは、個別
の並列データバッファ４ｂ毎にデコードに必要な回路手
段：例えば、チップセレクトを行う機能などをもった回
路手段が必要になる。この目的のために、受信制御部−
を設ける。
受、信制御部の１作に必要な各種信号は、直列データー
並列データ変換部４ａや同期信号伝送手段８などから適
宜取り込み、データ伝送系全体の動作に適合したタイミ
ング制御が可能なようにする。
並列データ変換部４ａや同期信号伝送手段８などから適
宜取り込み、データ伝送系全体の動作に適合したタイミ
ング制御が可能なようにする。
また、同期信号伝送手段８としては、光学系または電磁
的な電気絶縁手段を有する光ファイバ伝送方式やホトカ
プラと電気配線とを組み合わせた簡易伝送方式などを用
いるが、第１図には電気−光変換送信部３ａ、光ファイ
バ８ｂおよび光−電気変換受信部８Ｃよシなるものが示
してラシ、いずれにするかは使用環境の電磁雑音発生状
態に応じて適宜選択するようにするのがよい＠上記した
本発明の実施例によれば、下記に示す効果がある。
的な電気絶縁手段を有する光ファイバ伝送方式やホトカ
プラと電気配線とを組み合わせた簡易伝送方式などを用
いるが、第１図には電気−光変換送信部３ａ、光ファイ
バ８ｂおよび光−電気変換受信部８Ｃよシなるものが示
してラシ、いずれにするかは使用環境の電磁雑音発生状
態に応じて適宜選択するようにするのがよい＠上記した
本発明の実施例によれば、下記に示す効果がある。
！、 マイクロコンピュータシステムＩＩＩＩカラ負荷
７の近傍までの信号および同期信号の伝送に光ファイバ
を用いた光ファイバ伝送手段３、同期信号伝送手段８を
用いであるので、電磁妨害雑音によシディジタル信号回
路呆が誤動作することがなく、パルス性電磁雑音対策お
よび静電気障害対策などの必要がなくなる。このため、
システムの機構制御系に対する信頼性を著しく向上でき
る。
７の近傍までの信号および同期信号の伝送に光ファイバ
を用いた光ファイバ伝送手段３、同期信号伝送手段８を
用いであるので、電磁妨害雑音によシディジタル信号回
路呆が誤動作することがなく、パルス性電磁雑音対策お
よび静電気障害対策などの必要がなくなる。このため、
システムの機構制御系に対する信頼性を著しく向上でき
る。
２ 電気配線本数が１００〜３００本になる框体内配線
において、２本の光ファイバまたは１本の光ファイバと
１本の光学的手段を用いて絶縁された電気配線で代用で
きるため、配線スペースが＃１とんど不要となり、機器
の小□形化が可能になる。
において、２本の光ファイバまたは１本の光ファイバと
１本の光学的手段を用いて絶縁された電気配線で代用で
きるため、配線スペースが＃１とんど不要となり、機器
の小□形化が可能になる。
１ 電源線と信号線とを束ねて配線しても支障がないた
め、配線ダクトや配線分離用の金物が不要となり、構造
の簡略化が可能である。
め、配線ダクトや配線分離用の金物が不要となり、構造
の簡略化が可能である。
Ｊ４．配線材が極端に少量で済み、低価格化が可能であ
る。
る。
５、電気雑音の影響を受けないため、配線経路が不問と
なり、作業を単純化でき、配線工数の著しい低減をはか
ることができる。
なり、作業を単純化でき、配線工数の著しい低減をはか
ることができる。
なお、本発明に係る機器内制御信号伝送回路は、主に、
ディジタル出力につながるパルスモータやリレーなどの
負荷が多い場合に本来の効果を発揮するので、血液の自
動分析装置や理化学機器などの分析機器に用いるのに好
適である。
ディジタル出力につながるパルスモータやリレーなどの
負荷が多い場合に本来の効果を発揮するので、血液の自
動分析装置や理化学機器などの分析機器に用いるのに好
適である。
さらに、他分野の制御装置において、特に電磁繞音の多
い場所で使用されるときの信号伝送手段として用いるこ
とができる。
い場所で使用されるときの信号伝送手段として用いるこ
とができる。
また、高周波のスイッチング信号、例えば、２０ＫＨ２
以上のパルス幅変調などの処理信号の伝送では、数メー
トルの電気配線を用いると、電磁波の放射があり、各種
ＥＭＩ防御の見地から好ましくない。この場合、電気配
線の長さが短かいｔｌど電磁波の放射を回避できるため
、本発明に係る機器内制御信号伝送回路の使用が好まし
い。
以上のパルス幅変調などの処理信号の伝送では、数メー
トルの電気配線を用いると、電磁波の放射があり、各種
ＥＭＩ防御の見地から好ましくない。この場合、電気配
線の長さが短かいｔｌど電磁波の放射を回避できるため
、本発明に係る機器内制御信号伝送回路の使用が好まし
い。
ｌ−＝″ＡｃＤｆｉＪＩＬ）
ｆ以上説明したように、本発明によれば、中間配
線を単純化でき、かつ、送受信部間の電気的絶縁をはか
ることができ、信号伝送の高信頼化を実現できるという
効果がちる、
ｆ以上説明したように、本発明によれば、中間配
線を単純化でき、かつ、送受信部間の電気的絶縁をはか
ることができ、信号伝送の高信頼化を実現できるという
効果がちる、
第１図は本発明の機器内制御信号伝送回路の一実施例を
示すブロック図、第２図は第１図の機器内制御信号伝送
回路の動作タイミング例を示すタイムチャートである。 １・・・マイクロコン、ピユータシステム、２・・・送
信側並列−直列信号変換手段、３・・・光ファイバ伝送
手段、４・・・受信側直列−並列信号変換手段、５・・
・電力供給回路手段、７・・・負荷、８・・・同期信号
伝送手段、９・・・同期信号発生手段。
示すブロック図、第２図は第１図の機器内制御信号伝送
回路の動作タイミング例を示すタイムチャートである。 １・・・マイクロコン、ピユータシステム、２・・・送
信側並列−直列信号変換手段、３・・・光ファイバ伝送
手段、４・・・受信側直列−並列信号変換手段、５・・
・電力供給回路手段、７・・・負荷、８・・・同期信号
伝送手段、９・・・同期信号発生手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、マイクロコンピュータシステムを介して形成される
複数個の制御信号を電力供給回路手段を介してそれぞれ
対応する負荷に与えて複数個の負荷を駆動することによ
つて機構系の時系列的な制御を行うようにしてなる機器
内制御信号伝送回路において、並列の前記複数個の制御
信号を直列の制御信号に変換する並列−直列信号変換手
段と、前記直列の制御信号を電気−光変換後伝送する少
なくとも１本の光ファイバを用いた光ファイバ伝送手段
と、前記光ファイバによつて伝送された光制御信号を光
−電気変換後直列の制御信号を並列の制御信号に変換し
て前記電力供給回路手段に入力する直列−並列信号変換
手段と、前記並列−直列信号変換手段と前記直列−並列
信号変換手段間の動作タイミング制御を行う同期信号を
発生する前記並列−直列信号変換手段側に設けた同期信
号発生手段と、前記同期信号を送受間で電気的に絶縁し
て前記直列−並列信号変換手段に伝送する同期信号伝送
手段とを具備することを特徴とする機器内制御信号伝送
回路。 ２、前記同期信号伝送手段は、前記同期信号発生手段か
らの同期信号を電気−光変換後光ファイバを用いて伝送
して光−電気変換後前記直列−並列信号変換手段に与え
る構成としてある特許請求の範囲第１項記載の機器内制
御信号伝送回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59129601A JPH0683287B2 (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 機器内制御信号伝送回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59129601A JPH0683287B2 (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 機器内制御信号伝送回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS619040A true JPS619040A (ja) | 1986-01-16 |
| JPH0683287B2 JPH0683287B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=15013485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59129601A Expired - Fee Related JPH0683287B2 (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 機器内制御信号伝送回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0683287B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5281827A (en) * | 1990-09-21 | 1994-01-25 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam exposure apparatus |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS57171852A (en) * | 1981-04-15 | 1982-10-22 | Nissan Motor Co Ltd | Optical communication system for vehicle |
| JPS60246131A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 電子機器内の信号伝送路 |
-
1984
- 1984-06-22 JP JP59129601A patent/JPH0683287B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5281827A (en) * | 1990-09-21 | 1994-01-25 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam exposure apparatus |
| US5424550A (en) * | 1990-09-21 | 1995-06-13 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam exposure apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0683287B2 (ja) | 1994-10-19 |
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