JPS61914A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS61914A JPS61914A JP12408684A JP12408684A JPS61914A JP S61914 A JPS61914 A JP S61914A JP 12408684 A JP12408684 A JP 12408684A JP 12408684 A JP12408684 A JP 12408684A JP S61914 A JPS61914 A JP S61914A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- recording medium
- iron nitride
- nitride film
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は垂直磁気記録媒体に関する。
現在の磁気記録方法は、主として記録媒体の移動方向の
磁化を用いるため、信号の記録密度を瑠〃口していくと
媒体内の反磁場が増して残留磁化の減衰と回転を生じ記
録信号の慣用が困難になる欠点がある。
磁化を用いるため、信号の記録密度を瑠〃口していくと
媒体内の反磁場が増して残留磁化の減衰と回転を生じ記
録信号の慣用が困難になる欠点がある。
一方、記録媒体の磁性膜面に垂直な残留磁化を用いる場
合には、反嫉界は記録密度を増加するにしたがい減少し
残留磁気が増加するので、尚密度範回において、優れた
記録特性が得られゐ＠そしてこのような要望を満たす記
録媒体として、衣曲と垂直な方向に磁化容易軸を何する
０ｏＣｒ薄膜が＃！東されている。
合には、反嫉界は記録密度を増加するにしたがい減少し
残留磁気が増加するので、尚密度範回において、優れた
記録特性が得られゐ＠そしてこのような要望を満たす記
録媒体として、衣曲と垂直な方向に磁化容易軸を何する
０ｏＣｒ薄膜が＃！東されている。
上記０００ｒ博膜の有する欠点、すなわち、記録効率の
悪い事、長波提出カフ）低Ｆ、さらに？′１使用するｔ
ｉ！、録ヘッドの種類、形状が制限されるといった問題
を解決する一手段として昇磁性支持基体上に軟磁性薄膜
を介して０ＯＣｒ ＠金薄膜を形成した複合′Ｂｉ！ｍ
気記録媒体が刈られている。しかして上記複合構造を何
する垂直＃１気記録媒体は記録効率の向上、長波長出力
の増加や使用する記録ヘッドの選択の広が９により、ｒ
ＩＩｌｉｌ而に垂直磁気記録媒体層を何するフロッピー
型その他の（陽気ディスクや厚い非磁性支持基体を何す
る垂直磁気ディスクの実用化が容易になる。しかし上記
の複合構造を有する垂直磁気配球媒体は、再生出力の増
大に対する有効性は軟磁性膜の厚みが余り薄いとなくな
るので、軟磁性膜０．５μｍ以上が望ましいとするのが
従来の例（特開昭５４−５１８０４号公報）であった。
悪い事、長波提出カフ）低Ｆ、さらに？′１使用するｔ
ｉ！、録ヘッドの種類、形状が制限されるといった問題
を解決する一手段として昇磁性支持基体上に軟磁性薄膜
を介して０ＯＣｒ ＠金薄膜を形成した複合′Ｂｉ！ｍ
気記録媒体が刈られている。しかして上記複合構造を何
する垂直＃１気記録媒体は記録効率の向上、長波長出力
の増加や使用する記録ヘッドの選択の広が９により、ｒ
ＩＩｌｉｌ而に垂直磁気記録媒体層を何するフロッピー
型その他の（陽気ディスクや厚い非磁性支持基体を何す
る垂直磁気ディスクの実用化が容易になる。しかし上記
の複合構造を有する垂直磁気配球媒体は、再生出力の増
大に対する有効性は軟磁性膜の厚みが余り薄いとなくな
るので、軟磁性膜０．５μｍ以上が望ましいとするのが
従来の例（特開昭５４−５１８０４号公報）であった。
即ち従来において下地の軟磁性膜としては例えばＯｕ
−Ｍｏパーマロイ薄ｇを例にとるとその１！７．みと再
生出力の関係は第１図に示すように厚みの増加とともに
再生出力は上昇し０．５μｍで最大値ｔボしそれ以上厚
み七増しても再生出力は一定であった。
−Ｍｏパーマロイ薄ｇを例にとるとその１！７．みと再
生出力の関係は第１図に示すように厚みの増加とともに
再生出力は上昇し０．５μｍで最大値ｔボしそれ以上厚
み七増しても再生出力は一定であった。
この発明は、従来の垂直嫌気記録媒棒金改良する為にＩ
ＪＸ、されたもので、基本に軟磁性膜としてｌ化鉄俣金
形成し、このｌ化鉄膜ｌζＣｏＣｒ合企暎を形成するこ
とにより、厚みの薄い毛直磁気、ｉ！、録媒体？ｌ−Ｔ
’４ることｔ目的としている。
ＪＸ、されたもので、基本に軟磁性膜としてｌ化鉄俣金
形成し、このｌ化鉄膜ｌζＣｏＣｒ合企暎を形成するこ
とにより、厚みの薄い毛直磁気、ｉ！、録媒体？ｌ−Ｔ
’４ることｔ目的としている。
軟磁性膜として窒化鉄を用いるとその厚みと再生出力の
関係は厚み０．２μｍで再生出力の最下１直を示す。
関係は厚み０．２μｍで再生出力の最下１直を示す。
以下にメ施例によシ説明する。
ス施例
厚さ２５μｍ、巾ｇ（）ｇｉのポリイミドフィルムを支
持基体として用意し、純鉄ｔターゲットとしＡｒ ＋−
Ｎ、ガス中の反応スパッタにより窒化鉄膜τ支持基体上
に厚さｔそれぞれ、０．０５，０．１゜ｏ、ｉ ５ 、
０゜２ 、０．８ 、０．５ ／Ｊｍ被着形成した◎次
いでＣｒ１８％−Ｃｏ糸仕盆ｔターゲットしたスパッタ
リング法によって上記窒化鉄膜上に０．２μｍ形威形成
複台構造を・ばする垂直磁気記録媒体を得た。かくして
得られた螺気、ｉ！、録媒体についてｌ化鉄膜の厚さδ
ｂに対する記録彼氏２μｍでの出力の父化ｔダ′；２図
に示す＠この実験結果に示す工うに０．２μｍＪ￥みで
再生出力の最大値金示し、それ以上厚みを増しても再生
出力は一定でめつ友。
持基体として用意し、純鉄ｔターゲットとしＡｒ ＋−
Ｎ、ガス中の反応スパッタにより窒化鉄膜τ支持基体上
に厚さｔそれぞれ、０．０５，０．１゜ｏ、ｉ ５ 、
０゜２ 、０．８ 、０．５ ／Ｊｍ被着形成した◎次
いでＣｒ１８％−Ｃｏ糸仕盆ｔターゲットしたスパッタ
リング法によって上記窒化鉄膜上に０．２μｍ形威形成
複台構造を・ばする垂直磁気記録媒体を得た。かくして
得られた螺気、ｉ！、録媒体についてｌ化鉄膜の厚さδ
ｂに対する記録彼氏２μｍでの出力の父化ｔダ′；２図
に示す＠この実験結果に示す工うに０．２μｍＪ￥みで
再生出力の最大値金示し、それ以上厚みを増しても再生
出力は一定でめつ友。
なお上記実施例では、下地の軟磁性窒化鉄膜、ＣｏＣｒ
系台金薄膜ともその形成にスパッタ法金用いたが、蒸涜
法、イオンブレーティング、及びその他の方法でも艮い
。
系台金薄膜ともその形成にスパッタ法金用いたが、蒸涜
法、イオンブレーティング、及びその他の方法でも艮い
。
また上記実施例では、基体として５Ｆ磁磁性体を用いた
が、磁性基体の場合も同様である。
が、磁性基体の場合も同様である。
以上述べたとうり、この発明によれば基体に軟磁性膜と
して窒化鉄膜ｔ−影形成、この窒化鉄膜にＣｏ Ｃｒ台
金膜を形成するようにしたので、垂直磁気記録媒体の厚
みを薄くできるという効果がある。また垂直磁気記録媒
体を薄い厚みで構成できるので、例えばテープの場合、
フィルムカールが少なく、テープとして良好な走行性を
示し、経済的にも従来より安くできる◎
して窒化鉄膜ｔ−影形成、この窒化鉄膜にＣｏ Ｃｒ台
金膜を形成するようにしたので、垂直磁気記録媒体の厚
みを薄くできるという効果がある。また垂直磁気記録媒
体を薄い厚みで構成できるので、例えばテープの場合、
フィルムカールが少なく、テープとして良好な走行性を
示し、経済的にも従来より安くできる◎
第１因は、従来の垂直磁気記録媒体の軟磁性膜の厚みと
再生出力との関係を示す特性図、第２図はこの発明の一
実施例の垂直磁気記録媒体の軟磁性膜の厚みと再生出方
との開体金示す特性図である。
再生出力との関係を示す特性図、第２図はこの発明の一
実施例の垂直磁気記録媒体の軟磁性膜の厚みと再生出方
との開体金示す特性図である。
Claims (1)
- 基体に軟磁性膜として窒化鉄膜を形成し、上記窒化鉄膜
にＣｏＣｒ合金膜を形成した垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12408684A JPS61914A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12408684A JPS61914A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61914A true JPS61914A (ja) | 1986-01-06 |
| JPH0560168B2 JPH0560168B2 (ja) | 1993-09-01 |
Family
ID=14876578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12408684A Granted JPS61914A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61914A (ja) |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP12408684A patent/JPS61914A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0560168B2 (ja) | 1993-09-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3090128B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP3099790B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS6143769B2 (ja) | ||
| JPH01158618A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| US5900323A (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording drive | |
| JP2539349B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH10228620A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH07105027B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS61914A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH0376524B2 (ja) | ||
| JP3582435B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH11203654A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH0785401A (ja) | 磁気記録方式 | |
| JPS6153769B2 (ja) | ||
| JP3045797B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2964596B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH03178028A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS58171717A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3069135B2 (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2508639B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS60246606A (ja) | 非晶質磁気光学層 | |
| JP2501962B2 (ja) | フロッピ―磁気ディスク記録媒体 | |
| JPH0159643B2 (ja) | ||
| JPS60130806A (ja) | 非晶質磁気光学層 | |
| JPH0250309A (ja) | 磁気ヘッドコア |