JPH0560168B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0560168B2 JPH0560168B2 JP12408684A JP12408684A JPH0560168B2 JP H0560168 B2 JPH0560168 B2 JP H0560168B2 JP 12408684 A JP12408684 A JP 12408684A JP 12408684 A JP12408684 A JP 12408684A JP H0560168 B2 JPH0560168 B2 JP H0560168B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- thickness
- recording medium
- iron nitride
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は垂直磁気記録媒体に関する。
現在の磁気記録方法は、主として記録媒体の移
動方向の磁化を用いるため、信号の記録密度を増
加していくと媒体内の反磁場が増して残留磁化の
減衰と回転を生じ記録信号の検出が困難になる欠
点がある。
動方向の磁化を用いるため、信号の記録密度を増
加していくと媒体内の反磁場が増して残留磁化の
減衰と回転を生じ記録信号の検出が困難になる欠
点がある。
一方、記録媒体の磁性膜面に垂直な残留磁化を
用いる場合には、反磁界は記録密度を増加するに
したがい減少し残留磁化が増加するので、高密度
範囲において、優れた記録特性が得られる。そし
てこのような要望を満たす記録媒体として、表面
と垂直な方向に磁化容易軸を有するCoCr薄膜が
提案されている。
用いる場合には、反磁界は記録密度を増加するに
したがい減少し残留磁化が増加するので、高密度
範囲において、優れた記録特性が得られる。そし
てこのような要望を満たす記録媒体として、表面
と垂直な方向に磁化容易軸を有するCoCr薄膜が
提案されている。
上記CoCr薄膜の有する欠点、すなわち、記録
効率の悪い事、長波長出力の低下、さらには使用
する記録ヘツドの種類、形状が制限されるといつ
た問題を解決する一手段として非磁性支持基体上
に軟磁性薄膜を介してCoCr合金薄膜を形成した
複合型磁気記録媒体が知られている。しかして上
記複合構造を有する垂直磁気記録媒体は記録効率
の向上、長波長出力の増加や使用する記録ヘツド
の選択の広がりにより、両面に垂直磁気記録媒体
層を有するフロツピー型その他の磁気デイスクや
厚い非磁性支持基体を有する垂直磁気デイスクの
実用化が容易になる。しかし上記の複合構造を有
する垂直磁気記録媒体は、再生出力の増大に対す
る有効性は軟磁性膜の厚みが余り薄いとなくなる
ので、軟磁性膜0.5μm以上が望ましいとするのが
従来の例（特開昭54−51804号公報）であつた。
即ち従来において下地の軟磁性膜としては例えば
Cu−Moパーマロイ薄膜を例にとるとその厚みと
再生出力の関係は第１図に示すように厚みの増加
とともに再生出力は上昇し0.5μmで最大値を示し
それ以上厚みを増しても再生出力は一定であつ
た。
効率の悪い事、長波長出力の低下、さらには使用
する記録ヘツドの種類、形状が制限されるといつ
た問題を解決する一手段として非磁性支持基体上
に軟磁性薄膜を介してCoCr合金薄膜を形成した
複合型磁気記録媒体が知られている。しかして上
記複合構造を有する垂直磁気記録媒体は記録効率
の向上、長波長出力の増加や使用する記録ヘツド
の選択の広がりにより、両面に垂直磁気記録媒体
層を有するフロツピー型その他の磁気デイスクや
厚い非磁性支持基体を有する垂直磁気デイスクの
実用化が容易になる。しかし上記の複合構造を有
する垂直磁気記録媒体は、再生出力の増大に対す
る有効性は軟磁性膜の厚みが余り薄いとなくなる
ので、軟磁性膜0.5μm以上が望ましいとするのが
従来の例（特開昭54−51804号公報）であつた。
即ち従来において下地の軟磁性膜としては例えば
Cu−Moパーマロイ薄膜を例にとるとその厚みと
再生出力の関係は第１図に示すように厚みの増加
とともに再生出力は上昇し0.5μmで最大値を示し
それ以上厚みを増しても再生出力は一定であつ
た。
この発明は、従来の垂直磁気記録媒体を改良す
る為に成されたもので、基体に軟磁性膜として窒
化鉄膜を形成し、この窒化鉄膜にCoCr合金膜を
形成することにより、厚みの薄い垂直磁気記録媒
体を得ることを目的としている。
る為に成されたもので、基体に軟磁性膜として窒
化鉄膜を形成し、この窒化鉄膜にCoCr合金膜を
形成することにより、厚みの薄い垂直磁気記録媒
体を得ることを目的としている。
軟磁性膜として窒化鉄を用いるとその厚みと再
生出力の関係は厚み0.2μmで再生出力の最下値を
示す。
生出力の関係は厚み0.2μmで再生出力の最下値を
示す。
以下に実施例により説明する。
実施例
厚さ25μm、巾20mmのポリイミドフイルムを支
持基体として用意し、純鉄をターゲツトとしAr
＋N2ガス中の反応スパツタにより窒化鉄膜を支
持基体上に厚さをそれぞれ、0.05，0.1，0.15，
0.2，0.3，0.5μm被着形成した。次いでCr18％−
Co系合金をターゲツトしたスパツタリング法に
よつて上記窒化鉄膜上に0.2μm形成して複合構造
を有する垂直磁気記録媒体を得た。かくして得ら
れた磁気記録媒体について窒化鉄膜の厚さδbに
対する記録波長2μmでの出力の変化を第２図に示
す。この実験結果に示すように0.2μm厚みで再生
出力の最大値を示し、それ以上厚みを増しても再
生出力は一定であつた。
持基体として用意し、純鉄をターゲツトとしAr
＋N2ガス中の反応スパツタにより窒化鉄膜を支
持基体上に厚さをそれぞれ、0.05，0.1，0.15，
0.2，0.3，0.5μm被着形成した。次いでCr18％−
Co系合金をターゲツトしたスパツタリング法に
よつて上記窒化鉄膜上に0.2μm形成して複合構造
を有する垂直磁気記録媒体を得た。かくして得ら
れた磁気記録媒体について窒化鉄膜の厚さδbに
対する記録波長2μmでの出力の変化を第２図に示
す。この実験結果に示すように0.2μm厚みで再生
出力の最大値を示し、それ以上厚みを増しても再
生出力は一定であつた。
なお上記実施例では、下地の軟磁性窒化鉄膜、
CoCr系合金薄膜ともその形成にスパツタ法を用
いたが、蒸着法、イオンプレーテイング、及びそ
の他の方法でも良い。
CoCr系合金薄膜ともその形成にスパツタ法を用
いたが、蒸着法、イオンプレーテイング、及びそ
の他の方法でも良い。
また上記実施例では、基体として非磁性基体を
用いたが、磁性基体の場合も同様である。
用いたが、磁性基体の場合も同様である。
以上述べたとうり、この発明によれば基体に軟
磁性膜として窒化鉄膜を形成し、この窒化鉄膜に
CoCr合金膜を形成するようにしたので、垂直磁
気記録媒体の厚みを薄くできるという効果があ
る。また垂直磁気記録媒体を薄い厚みで構成でき
るので、例えばテープの場合、フイルムカールが
少なく、テープとして良好な走行性を示し、経済
的にも従来より安くできる。
磁性膜として窒化鉄膜を形成し、この窒化鉄膜に
CoCr合金膜を形成するようにしたので、垂直磁
気記録媒体の厚みを薄くできるという効果があ
る。また垂直磁気記録媒体を薄い厚みで構成でき
るので、例えばテープの場合、フイルムカールが
少なく、テープとして良好な走行性を示し、経済
的にも従来より安くできる。
第１図は、従来の垂直磁気記録媒体の軟磁性膜
の厚みと再生出力との関係を示す特性図、第２図
はこの発明の一実施例の垂直磁気記録媒体の軟磁
性膜の厚みと再生出力との関係を示す特性図であ
る。
の厚みと再生出力との関係を示す特性図、第２図
はこの発明の一実施例の垂直磁気記録媒体の軟磁
性膜の厚みと再生出力との関係を示す特性図であ
る。
Claims (1)
- １ 基体に軟磁性膜として窒化鉄膜を形成し、上
記窒化鉄膜にCoCr合金膜を形成した垂直磁気記
録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12408684A JPS61914A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12408684A JPS61914A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61914A JPS61914A (ja) | 1986-01-06 |
| JPH0560168B2 true JPH0560168B2 (ja) | 1993-09-01 |
Family
ID=14876578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12408684A Granted JPS61914A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61914A (ja) |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP12408684A patent/JPS61914A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61914A (ja) | 1986-01-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2524514B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3099790B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US4966821A (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
| US5900323A (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording drive | |
| JPH10228620A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP3080059B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH0560168B2 (ja) | ||
| JP3050305B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| EP0213346B1 (en) | Magnetic recording medium | |
| JPS6153769B2 (ja) | ||
| JP2523467B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2725502B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01287819A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH03178028A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS58171717A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2725506B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0159643B2 (ja) | ||
| JPS5868234A (ja) | 複合磁気記録媒体 | |
| JP2549769B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH04269814A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH0684159A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0250309A (ja) | 磁気ヘッドコア | |
| JPH053050B2 (ja) | ||
| JPH076344A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH01260805A (ja) | 薄膜磁気ヘッド用磁性薄膜 |