JPS6192044U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6192044U JPS6192044U JP17749784U JP17749784U JPS6192044U JP S6192044 U JPS6192044 U JP S6192044U JP 17749784 U JP17749784 U JP 17749784U JP 17749784 U JP17749784 U JP 17749784U JP S6192044 U JPS6192044 U JP S6192044U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pair
- utility
- model registration
- transport device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 claims 2
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 claims 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案の実施例の側面図
、第３図は第１図の側面図、第４図は従来例の斜
視図を示す。 １……基板、２……加熱台、５……ベルト、６
……案内溝、２５，２５′……プーリー。
、第３図は第１図の側面図、第４図は従来例の斜
視図を示す。 １……基板、２……加熱台、５……ベルト、６
……案内溝、２５，２５′……プーリー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被処理基板をその表面に載置して、基板を
加熱処理する熱台、 該熱台の前後に回転自在に軸支した１対のプー
リー、該１対のプーリーに両端をそれぞれ繋止し
、前記熱台上方にほぼ水平に張設した少なくとも
一対の基板搬送用のベルト、 該基板搬送用のベルトを熱台上方にてほぼ水平
に所要距離往復動させるため、前記１対のプーリ
ーを所要角度正逆両方向に回転駆動する駆動手段
、 前記基板搬送用のベルトが没入できるよう前記
熱台上面に設けた案内溝、 前記基板搬送用のベルトが、前記案内溝に出没
するよう前記１対のプーリーを昇降させる昇降手
段とからなる基板熱処理装置における基板搬送装
置。 (2) プーリーの駆動手段がプーリーに付設した
駆動用プーリーにその末端を繋止した駆動用ワイ
ヤと、 該駆動用ワイヤの他端を連結した往復動手段お
よび、駆動用ワイヤを緊定するテンシヨナーとか
らなる実用新案登録請求の範囲第(1)項に記載の
基板熱処理装置における基板搬送装置。 (3) 基板搬送用のベルトが耐熱性材料のワイヤ
である実用新案登録請求の範囲第(1)項に記載の
基板熱処理装置における基板搬送装置。 (4) 耐熱性材料がタングステンである実用新案
登録請求の範囲第(3)項に記載の基板熱処理装置
における基板搬送装置。 (5) 基板搬送用のベルトの基板載置部分を耐熱
性樹脂にて被覆した実用新案登録請求の範囲第(1
)項に記載の基板熱処理装置における基板搬送装
置。 (6) 一対の基板搬送用ベルトを備える実用新案
登録請求の範囲第(1)項に記載の基板熱処理装置
における基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17749784U JPH019164Y2 (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17749784U JPH019164Y2 (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6192044U true JPS6192044U (ja) | 1986-06-14 |
| JPH019164Y2 JPH019164Y2 (ja) | 1989-03-13 |
Family
ID=30735063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17749784U Expired JPH019164Y2 (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH019164Y2 (ja) |
-
1984
- 1984-11-21 JP JP17749784U patent/JPH019164Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH019164Y2 (ja) | 1989-03-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6192044U (ja) | ||
| JPS6137646A (ja) | 反転装置 | |
| JP2880405B2 (ja) | 靴の加工装置 | |
| JPH023454Y2 (ja) | ||
| JPS63180614A (ja) | ベルトコンベヤ | |
| JPS5812621A (ja) | すし等の回転供給装置における回路の短絡方法および装置 | |
| JPS63152476U (ja) | ||
| JP3016252U (ja) | 農作物用切断機 | |
| JPS61206518U (ja) | ||
| JPS63157053U (ja) | ||
| JPS58191156U (ja) | シ−ト搬送装置 | |
| JPH0733238A (ja) | 整列コンベア装置 | |
| JPS62103550U (ja) | ||
| JPS6257694U (ja) | ||
| JPH0242707U (ja) | ||
| JPS6456432U (ja) | ||
| JPS628284U (ja) | ||
| JPH0515521B2 (ja) | ||
| JPS6341450U (ja) | ||
| JPH03118911U (ja) | ||
| JPH01111617U (ja) | ||
| JPS6188917U (ja) | ||
| JPH0199812U (ja) | ||
| JPH0158516U (ja) | ||
| JPH02132044U (ja) |