JPS61927A - 光デイスク検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ビデオディスク等の光ディスクのゴミ、欠陥
等によるドロップアウトを検査する光ディスク検査装置
に関するものである。

従来例の構成とその問題点 光ディスクにおいては、製造工程上でのゴミの付着や欠
陥等によるドロップアウトが光ディスクの品質を左右す
るため、ドロップアウトの検査が重要である。光ディス
クの製造工程は、第１図に示すような４つの工程よりな
る。第１の工程は光ディスクの原盤を作成する工程で、
普通ガラス円板に７オトレジストを塗布し、それに高パ
ワーのレーザーを照射して情報トラックあるいはトラッ
クアドレス用の溝を形成する。第２の工程はスタンバ工
程で、原盤にニッケル等の電鋳によってスタンバディス
クを作成する。第３の工程はレプリカ工程で、スタンバ
ディスクから紫外線硬化樹脂や射出成形等により情報ト
ラックを写し取り大量のレプリカディスクを作成する。

第４の工程は蒸着工程で、レプリカディスクに記録用光
ディスクの場合は記録材料を蒸着し、再生専用光ディス
クの場合はアルミを蒸着する。以上の４つの工程をへて
光ディスクは完成するが、それぞれの工程においてゴミ
の付着や欠陥が生じ光ディスクのドロップアウトになる
。

以下に従来のドロップアウトを検査する光ディスク検査
装置について説明する。

第２図は従来の光ディスク検査装置の一例の概略図を示
すものであり、１はレーザー光源で半導体レーザーより
なり一定光量のレーザー光を発光する。２はコリメータ
レンズでレーザー光源１からのレーザー光を平行光にす
る。３は偏光ビームスプリッタ、４はλ／４波長板であ
る。５は対物レンズ、６は対物レンズ６を７１−カス及
びトラッキング方向に動作させる光学ピックアップであ
り、ボイスコイルモータ等の既知の駆動手段にて構成さ
れる。７は検査用光ディスク（以下ディスクと呼ぶ）で
ある。８は・・−フミラーでディスク７からの反射光を
分割する。９は集光レンズ、１゜は分割ミラーである。

１１はフォーカス制御用光検出器で２分割の光検出器よ
り構成され、各々の光検出器の差動出力にてフォーカス
誤差信号を得、また、光検出器の和出力よりフォーカス
和信号を得る。１２はフォーカス制御回路で１１のフォ
ーカス和信号にてフォーカス系のループゲインを制御し
、フォーカス誤差信号より光学ピックアップ６をフォー
カス方向に動作させる。１３はトラッキング制御用光検
出器でフォーカス制御用光検出器１１と同様な構成にて
トラッキング誤差信号およびトラッキング和信号を得る
。１４はトラッキング制御回路で１２と同様な構成にて
、１３のトラッキング和信号にてトラッキング系のルー
プゲインを制御し、トラッキング誤差信号より光学ピッ
クアップ６をトラッキング方向に動作させる。

１５は光検出器でディスク７かもの反射光を受光する。

１６はドロップアウトコンパレータ回路で光検出器１５
からの信号をドロップアウト検出電圧と比較し、ドロッ
プアウトを検出する。１７はドロップアウトカウンタ回
路でドロップアウトコンパレータ回路１６からの信号を
カウントしてドロップアウト数を表示する。なお、図中
の光学系部に記載した矢印はレーザー光路を示している
。

１８はディスクモーターでディスク７が装着されており
一定速度で回転している。

以上のように構成された従来の光ディスク検査装置につ
いて、以下その動作１／Ｃついて説明する。

レーザー光源１から出たレーザー光はコリメータレンズ
２を通過し平行光となり偏光ビームスプリッタ３、λ／
４波長板４を介し、対物レンズ５によりディスク７に形
成された情報トラックに集光される。この時、ディスク
７の情報トラックは面振れ及び偏芯をともなって回転し
ているので、所定の情報トラックにレーザー光を集光さ
せるために、後述するフォーカス誤差信号及びトラッキ
ング誤差信号に基づいた駆動電圧を光学ピックアップ６
Ｋ　加ｔて対物レンズ５をフォーカス及びトラッキング
方向に動作させ、レーザー光を所定のトラックに追従さ
せている。ディスク７からの反射光は入射光路と逆光路
をたどり、λ／４波長板４を２度通過することにより入
射光と９０°偏光された光となり偏光ビームスプリッタ
３を直進して、・・−フミラー８に入いる。反射光はハ
ーフミラ−８によって２方向に分かれ、一方は集光レン
ズ９に他方は光検出器１５に入射する。集光レンズ９を
出た反射光は分割ミラー１ｏによって分割され、一方は
フォーカス制御用光検出器１１に集光され、他方はトラ
ッキング制御用光検出器１３に集光される。フォーカス
制御用光検出器１１及びトラッキング制御用光検出器１
３は２分割の光検出器より構成され、各々の光検出器か
らの出力の差動を得ることによりフォーカス誤差信号及
びトラッキング誤差信号を作り出し、また、各々の光検
出器からの出力の和信号よりフォーカス和信号及びトラ
ッキング和信号を作り出す。フォーカス誤差信号を前述
した光学ピックアップ６をフォーカス方向に駆動しフィ
ードバックするフォーカス制御回路１２にてフォーカス
制御がなされる。さらに、フォーカス制御回路１２にお
いて、フォーカス制御用検出器１１のフォーカス和信号
より、前述のフォーカス系のフィードバック制御のルー
プゲインの制御がなされる。同様にトラッキング制御用
光検出器１３からの出力よりトラッキング制御回路１４
にて、トラッキング差動出力よりトラッキング誤差信号
を得て光学、ピックアップ６をトラッキング方向に駆動
しフィードバックし、また、トランキング和信号にてフ
ィードバックループゲインの制御を行ないトラッキング
制御がなされ、所望の情報トランクに追従している。一
方、光検出器１６は１個の光検出器より構成され、ディ
スク７の情報トラックからの反射光量に比例した出力が
得られる。例えばディスク７の情報トラックにゴミが付
着していればその部分での反射光量が減り、光検出器１
５には光量変化として検出される。

この光検出器１５からの出力をドロップアウトコンパレ
ータ回路１６に入力し、ドロップアウト検出電圧と比較
してドロップアウトを検出し、しかる後ドロップアウト
カウンタ回路１７にてドロップアウト個数等を計数して
表示する。

しかしながら上記のような構成では、レーザー光源１か
ら発光するレーザー光量が一定であり、またディスクモ
ーターが一定速度で回転しているため、ディスク７の内
周と外周とでは欠陥の大きさが同一であっても前述した
光学系で検出されるドロップアウトの振幅が内周と外周
とでは差を生Ｖる。このためドロップアウトコンパレー
タ回路１６のドロップアウト基準電圧が内外周と゛も一
定であるとすると、ディスク上に同一の大きさのゴミ、
欠陥等を生じていても内外周の分布によりドロップアウ
ト計数も異なり、正しい検出が行なえないことになる。

特に、光ディスクのドロップアウトの原因は前述したよ
うに原盤、スタンパ、レプリカ、蒸着の４つの工程での
ゴミの付着や欠陥によるものであり、各々の工程でのド
ロップアウトの出方がディスクの内外周にわたって正確
に把握できれば、工程の改善が容易に行なえるが、従来
の光ディスク検査装置では正しいドロップアウトの検出
が不可能であり、的確なディスクの評価、工程改善が行
なえないという問題を有していた。

発明の目的 本発明は上記従来の問題点を解消するもので、原盤、ス
タンバ、レプリカ、蒸着の各工程、または、同一工程で
生じたディスクの内外周のドロップアウト検出を一台の
装置について正確に行なえる光ディスク検査装置を提供
することを目的とする。

発明の構成 本発明は光ディスクの内外周の径に応じて情報トラック
のゴミ、欠陥等を検出する手段を制御する検出制御手段
を備えた光ディスク検査装置であり、光ディスクの内外
周の径に応じてドロップアウト検出レベルを制御するこ
とにより、内外周にわたる光ディスクのドロップアウト
を正確に検査することができるものである。

実施例の説明 第３図は本発明の第１の実施例における光ディスク検査
装置の概略図を示すものである。なお、第３図において
第２図と同一番号の部品は従来の構成と同一部品を示し
ており説明は省略する。第３において、光検出器１５か
らの出力より情報信号を得、アドレス信号読み出し回路
１９にて情報トラックの内外周に対応してつけられてい
るアドレス信号を読みとる。２０はマイクロコンピュー
タ−（以下マイコンと呼ぶ）で、本装置の制御を行なう
。２０のマイコンはアドレス信号読み出し回路１９のア
ドレス信号より、ディスク７の内外周を検知し、内外周
に応じたデータをＤ／Ａ変換器２１に設定する。Ｄ／Ａ
変換器２１ではディジタル信号をアナログ信号に変換し
、ドロップアウトコンパレータ回路１６の検出電圧とす
る。

以上のように構成されたこの実施例の光ディスク検査装
置について、以下その動作を説明する。

レーザー光源１から発光したレーザー光が、光学系を介
して、ディスク７の情報トラックに追従している。ディ
スク７からの反射光が光検出器１６に入射し、光検出器
１５の出力はドロップアウトコンパレータ回路１６とア
ドレス信号読み出し回路１９に分配される。光検出器１
５の出力から得られた情報信号よりアドレス読み出し回
路１９にてアドレス信号を読みとる。マイコン１９はア
ドレス信号に応じてＤ／Ａ変換器２１のデータ設定を制
御する。一般にディスクモーター１８が一定速度で回転
している場合、光学系の絞シ特性より、ドロップアウト
の大きさが同一でもディスクの外周のドロップアウトの
振幅の方が内周のそれと比較して大きく検出される。従
ってマイコン２０はアドレス信号が外周のときはＤ／Ａ
変換器２１の出力が高電圧となるようにデータ設定を行
ないドロップアウトコンパレータ回路１６の比較設定電
圧を高レベルとする。同様にしてアドレス信号が内周の
ときは逆にコンパレータ回路１６の比較設定電圧を低レ
ベルとする。このようにしてマイコン２０は最外周と最
内周との間者アドレス信号に応じてＤ／Ａ変換器２１の
出力がリニアに可変となるようデータを設定する。以」
二より、光ディスク７の情報トラックの内外周の径に応
じたドロップアウト検出レベルでドロップアウトコンパ
レータ回路１６にてドロップアウトの検出を行ない、ド
ロップアウトカウンタ回路１７にてドロップアウト個数
等を計数し検査することができる。

以上のようにこの実施例によれば、光検出器１５の出力
をアドレス信号読み出し回路１９を介して、アドレス信
号を検出し、４イコン２０にてアドレス信号に対応した
ドロップアウトコンパレータ回路１６の比較設定電圧を
制御することにより、光ディスク７の内外周の径に対応
したドロップアウト検出レベルを設定することができる
ため、光ディスク７のドロップアウトを正確に検査でき
る。

上記実施例においては、ディスク７の内外周の径を求め
るのにアドレス信号読み出し回路１９を設けたが、前述
した光学系の移動方向に応じた電圧を出力する例えば差
動トランスからなるリニアスケールを用いてもよい。

また、この実施例においては光ディスクのドロップアウ
ト検査装置として説明したが、情報を書きこむときあら
かじめ書きこむトラックを再生光にて検査し、書きこん
だときエラーを発生するであろうトラック又はセクター
を飛ばして書きこむ、プリチェックライト方式にも適用
してもよいことは言うまでもない。このことは消去でき
ないライト・ワンス型光ディスクにおいて、再生光での
ドロップアウトと実際に書きこんだときのデータエラー
との対応がディスクの内外周にわたって正確にとれ、特
に有効である。

発明の効果 本発明の光ディスク検査装置は光ディスクの内外周の径
に応じて情報トラックのゴミ、欠陥等を検出する手段を
制御する検出制御手段を設けることによシ、ディスクの
内外周に分布しているドロップアウトを正確にその大き
さに対応したものとして正確な検査が行なえ、完成ディ
スクの評価およびディスク製造工程のドロップアウトの
要因が把握しやすく、その実用的効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は光ディスクの製造工程を示すブロック図、第２
図は従来例における光ディスク検査装置の概略図、第３
図は本発明の一実施例における光ディスク検査装置の概
略図である１゜ １・・・・・・レーザー光源、２・川・・コリメータレ
ンズ、３・・・・・・偏光ビームスプリッタ、４・・・
・・・λ／４波長板、６・・・・・・対物レンズ、６・
・・・・・光学ピックアップ、７・・・・・・光ディス
ク、８・川・・ハーフミラ−１９・川・・集光レンズ、
１０曲・・分割ミラー、１１・・・・・・フォーカス制
御用光検出器、１２・・・・・・フォーカス制御回路、
１３・・・・・・トラッキング制御用光検出器、１４・
・・・・・トラッキング制御回路、１５・川・・光検出
器、１６・・・・・・ドロソファウドコンパレータ回路
、１７・・・・・・ドロップアウトカウンタ回路、１８
・・印・ディスクモーター、１９・・曲アドレス信号読
み出し回路、２ｏ・・・・・マイコン、２１・・・・・
・Ｄ／Ａｆ換器。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　はが１名第１
図 第２図 第３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザー光を光学系を介して光ディスク上に形成
   された情報トラックに照射し、この情報トラックからの
   反射光を光検出器に受光して前記情報トラックのゴミ、
   欠陥等を検出する手段と、光ディスクの内外周の径に応
   じて前記情報トラックのゴミ、欠陥等を検出する手段を
   制御する検出制御手段を設けた光ディスク検査装置。
2. （２）光ディスクの内外周の径の検出として情報トラッ
   クのアドレス信号を用いることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の光ディスク検査装置。