JPS605440A - 光デイスク検査装置 - Google Patents
光デイスク検査装置Info
- Publication number
- JPS605440A JPS605440A JP58113096A JP11309683A JPS605440A JP S605440 A JPS605440 A JP S605440A JP 58113096 A JP58113096 A JP 58113096A JP 11309683 A JP11309683 A JP 11309683A JP S605440 A JPS605440 A JP S605440A
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- Japan
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- laser light
- photodetector
- optical disk
- amount
- circuit
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
- G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
- G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B27/00—Editing; Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Monitoring; Measuring tape travel
- G11B27/36—Monitoring, i.e. supervising the progress of recording or reproducing
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はビデオディスク等の光ディスクのゴミ、欠陥等
によるドロップアウトを検査する光デイスク検査装置に
関するものである。
によるドロップアウトを検査する光デイスク検査装置に
関するものである。
従来例の構成とその問題点
光ディスクにおいては、製造工程上でのゴミの付着や欠
陥等によるドロップアウトが光ディスクの品質を左右す
るため、ドロップアウトの検査が重要である。光ディス
クの製造工程は第１図に示すような４つの工程よりなる
。第１の工程は光ディスクの原盤を作成する工程で、普
通ガラス円板にフォトレジストを塗布し、それに高・（
ワーのレーザーを照射して情報トラックあるいはトラソ
クアドレス用の溝を形成する。第２の工程はスタンバ工
程で、原盤にニッケル等の電鋳によってスタンイ午 パディスクを形成する。第３の工程はレプリカ工程で、
スタンパディスクから紫外線硬化樹脂や射出成形等によ
り情報トラックを写し取り大量のレプリカディスクを作
成する。第４の工程は蒸着工程で、レプリカディスクに
記録用光ディスクの場合は記録材料を蒸着し、再生専用
光ディスクの場合はアルミを蒸着する。以上の４つの工
程をへて光ディスクは完成するが、それぞれの工程に訃
いてゴミの付着や欠陥が生じ光ディスクのドロップアウ
トになる。
陥等によるドロップアウトが光ディスクの品質を左右す
るため、ドロップアウトの検査が重要である。光ディス
クの製造工程は第１図に示すような４つの工程よりなる
。第１の工程は光ディスクの原盤を作成する工程で、普
通ガラス円板にフォトレジストを塗布し、それに高・（
ワーのレーザーを照射して情報トラックあるいはトラソ
クアドレス用の溝を形成する。第２の工程はスタンバ工
程で、原盤にニッケル等の電鋳によってスタンイ午 パディスクを形成する。第３の工程はレプリカ工程で、
スタンパディスクから紫外線硬化樹脂や射出成形等によ
り情報トラックを写し取り大量のレプリカディスクを作
成する。第４の工程は蒸着工程で、レプリカディスクに
記録用光ディスクの場合は記録材料を蒸着し、再生専用
光ディスクの場合はアルミを蒸着する。以上の４つの工
程をへて光ディスクは完成するが、それぞれの工程に訃
いてゴミの付着や欠陥が生じ光ディスクのドロップアウ
トになる。
以下に従来のドロップアウトを検査する光デイスク検査
装置について説明する。
装置について説明する。
第２図は従来の光デイスク検査装置の一例の概略図を示
すものであり、１はレーザー光源で半導体レーザーより
なり一定光量のレーザー光を発光する。２はコリメータ
レンズでレーザー光源１からのレーザー光を平行光にす
る。３は偏光ビームスプリッタ、４はλ／４波長板であ
る。５は対物レンズ、６は対物レンズ６をフォーカス及
びトラッキング方向に動作させる光学ピックアップであ
り、ボイスコイルモータ等の既知の駆動手段にてからの
反射光を分割する。９は集光レンズ、１０は分割ミラー
である。１１はフォーカス制御用光検出器で２分割の光
検出器より構成され、各々の光検出器の差動出力にてフ
ォーカス誤差信号を得る。１２はトランキング制御用光
検出器で７オ〜カス：ｆｉｌＪ御用光横用光検出器１１
な構成にてトラッキング誤差信号を得る。１３は光検出
器でディスク７からの反射光を受光する。１４はドロッ
プアウトコンパレータ回路で光検出器１３からの信号を
ドロップアウト基準電圧と比較し、ドロップアウトを検
出する。１５はドロップアウトカウンター回路でドロッ
プアウトコンパレータ回路１４からの信号をカウンタし
てドロップアウト数を表示する。なお図中の光学系部に
記載した矢印はレーザー光の光路を示している。
すものであり、１はレーザー光源で半導体レーザーより
なり一定光量のレーザー光を発光する。２はコリメータ
レンズでレーザー光源１からのレーザー光を平行光にす
る。３は偏光ビームスプリッタ、４はλ／４波長板であ
る。５は対物レンズ、６は対物レンズ６をフォーカス及
びトラッキング方向に動作させる光学ピックアップであ
り、ボイスコイルモータ等の既知の駆動手段にてからの
反射光を分割する。９は集光レンズ、１０は分割ミラー
である。１１はフォーカス制御用光検出器で２分割の光
検出器より構成され、各々の光検出器の差動出力にてフ
ォーカス誤差信号を得る。１２はトランキング制御用光
検出器で７オ〜カス：ｆｉｌＪ御用光横用光検出器１１
な構成にてトラッキング誤差信号を得る。１３は光検出
器でディスク７からの反射光を受光する。１４はドロッ
プアウトコンパレータ回路で光検出器１３からの信号を
ドロップアウト基準電圧と比較し、ドロップアウトを検
出する。１５はドロップアウトカウンター回路でドロッ
プアウトコンパレータ回路１４からの信号をカウンタし
てドロップアウト数を表示する。なお図中の光学系部に
記載した矢印はレーザー光の光路を示している。
以上のように構成された従来の光デイスク検査装置につ
いて、以下その動作について説明する。
いて、以下その動作について説明する。
レーザー光源１から出たレーザー光はコリメータレンズ
２を通過し平行光となり偏光ビームスグリツタ３、λ／
４波長板４を介して、対物レンズ６によりディスク７に
形成された情報トラックに集光される。この時、ディス
ク７の情報トラックは面振れ及び偏芯をともなって回転
しているので、所定の情報トラックにレーザー光を集光
させるために、後述するフォーカス誤差信号及びトラッ
キング誤差信号に基づいた駆動電圧を光学ピックアップ
６に加えて対物レンズ５をフォーカス及びトラッキング
方向に動作させ、レーザー光を所定トラックに追従させ
ている。ディスク７からの反射光は入射光路と逆光路を
たどり、λ／４波長板４を２度通過することにより入射
光と９００偏光された光となり偏光ビームスプリッタ３
を直進して、ハーフミラ−８に入る０反射光はヘーフミ
５−８によって２方向に分かれ、一方は集光レンズ９に
他方は光検出器１３に入射する。集光レンズ９を出た反
射光は分割ミラー１０によって分割され一方はフォーカ
ス制御用光検出器１１に集光され、他方はトラッキング
制御用光検出器１２に集光される。フォーカス制御用光
検出器１１及びトラッキング制御用光検出器１２は２分
割の光検出器より構成され、各々の光検出器からの出力
の差動を得ることによりフォーカス誤差信号及びトラッ
キング誤差信号を作シ出す。これらの誤差信号を前述し
た光学ピックアップ６の駆動回路（図示せ一カにフィー
ドバックすることによりフォーカス制御及びトラッキン
グ方向がなされる。一方、光検出器１３は１個の光検出
器より構成され、ディスク７の情報トランクからの反射
光量に比例した出力が得られる。例えばディスク７の情
報トラックにゴミが付着していればその部分での反射光
量が減り、光検出器１３には光量変化として検出される
。
２を通過し平行光となり偏光ビームスグリツタ３、λ／
４波長板４を介して、対物レンズ６によりディスク７に
形成された情報トラックに集光される。この時、ディス
ク７の情報トラックは面振れ及び偏芯をともなって回転
しているので、所定の情報トラックにレーザー光を集光
させるために、後述するフォーカス誤差信号及びトラッ
キング誤差信号に基づいた駆動電圧を光学ピックアップ
６に加えて対物レンズ５をフォーカス及びトラッキング
方向に動作させ、レーザー光を所定トラックに追従させ
ている。ディスク７からの反射光は入射光路と逆光路を
たどり、λ／４波長板４を２度通過することにより入射
光と９００偏光された光となり偏光ビームスプリッタ３
を直進して、ハーフミラ−８に入る０反射光はヘーフミ
５−８によって２方向に分かれ、一方は集光レンズ９に
他方は光検出器１３に入射する。集光レンズ９を出た反
射光は分割ミラー１０によって分割され一方はフォーカ
ス制御用光検出器１１に集光され、他方はトラッキング
制御用光検出器１２に集光される。フォーカス制御用光
検出器１１及びトラッキング制御用光検出器１２は２分
割の光検出器より構成され、各々の光検出器からの出力
の差動を得ることによりフォーカス誤差信号及びトラッ
キング誤差信号を作シ出す。これらの誤差信号を前述し
た光学ピックアップ６の駆動回路（図示せ一カにフィー
ドバックすることによりフォーカス制御及びトラッキン
グ方向がなされる。一方、光検出器１３は１個の光検出
器より構成され、ディスク７の情報トランクからの反射
光量に比例した出力が得られる。例えばディスク７の情
報トラックにゴミが付着していればその部分での反射光
量が減り、光検出器１３には光量変化として検出される
。
この光検出器１３からの出力をドロップアウトコンパレ
ータ回路１４に入力し、ドロップアウト基準電圧と比較
してドロップアウトを検出し、しかる後ドロップアウト
カウンター回路１５にてドロツブアウト個数を計数して
表示する。
ータ回路１４に入力し、ドロップアウト基準電圧と比較
してドロップアウトを検出し、しかる後ドロップアウト
カウンター回路１５にてドロツブアウト個数を計数して
表示する。
しかしながら上記のような構成では、レーザー光源１か
ら発光するレーザー光量が一定であり、かつドロップア
ウトコンパレータ回路１４のドロップアウト基準電圧が
一定であるため、同一の反射率からなる光ディスクでな
ければ、平均反射光量が異なり従ってゴミ、欠陥等によ
る光検出器１３の出力電圧も異なりドロップアウト計数
も変化し、正しい検査が行なえないことになる。特に、
光ディスクのドロップアウトの原因は前述したように原
盤、スタンパ、レプリカ、蒸着の４つの工程でのゴミの
付着や欠陥によるものであり、各々の工程でのドロップ
アウトの出方が正確に把握できれば、工程の改善が容易
に行なえるが、一般には４つの工程に訃けるディスクの
反射率は異なっており、従来の光デイスク検査装置では
正しいドロップアウト検査が不可能であり、的確な工程
改善が行なえないという問題を有していた。
ら発光するレーザー光量が一定であり、かつドロップア
ウトコンパレータ回路１４のドロップアウト基準電圧が
一定であるため、同一の反射率からなる光ディスクでな
ければ、平均反射光量が異なり従ってゴミ、欠陥等によ
る光検出器１３の出力電圧も異なりドロップアウト計数
も変化し、正しい検査が行なえないことになる。特に、
光ディスクのドロップアウトの原因は前述したように原
盤、スタンパ、レプリカ、蒸着の４つの工程でのゴミの
付着や欠陥によるものであり、各々の工程でのドロップ
アウトの出方が正確に把握できれば、工程の改善が容易
に行なえるが、一般には４つの工程に訃けるディスクの
反射率は異なっており、従来の光デイスク検査装置では
正しいドロップアウト検査が不可能であり、的確な工程
改善が行なえないという問題を有していた。
発明の目的
本発明は上記従来の問題点を解消するもので、反射率の
異なる原盤、スタンノく、レプリカ、蒸着の各工程にお
けるディスクのドロ・ノブアウト検査を一台の装置にて
正確に行なえる光デイスク検査装置を提供することを目
的とする。
異なる原盤、スタンノく、レプリカ、蒸着の各工程にお
けるディスクのドロ・ノブアウト検査を一台の装置にて
正確に行なえる光デイスク検査装置を提供することを目
的とする。
発明の構成
本発明は光デイスク上に形成された情報トラノザー光量
制御手段を有する光デイスク検査装置であり、光ディス
クからの平均反射光量を一定にすることにより、反射率
の異なる光ディスクのドロップアウトを正確に検査する
ことができるものである。
制御手段を有する光デイスク検査装置であり、光ディス
クからの平均反射光量を一定にすることにより、反射率
の異なる光ディスクのドロップアウトを正確に検査する
ことができるものである。
実施例の説明
第３図は本発明の第１の実施例における光デイスク検査
装置の概略図を示すものである。なお、第３図において
第２図と同一番号の部品は従来の構成と同一部品を示し
ており説明は省略する。第３図において、１６はローノ
くスフイルター回路で、光検出器１３からの出力の低周
波成分を取り出す。
装置の概略図を示すものである。なお、第３図において
第２図と同一番号の部品は従来の構成と同一部品を示し
ており説明は省略する。第３図において、１６はローノ
くスフイルター回路で、光検出器１３からの出力の低周
波成分を取り出す。
１７は基準電圧発生回路で、基準の反射率の光ディスク
によって得られる光検出器の平均出力電圧に基準電圧を
設定する。１８は比較回路で、ローパスフィルタ回路１
６の電圧と基準電圧発生回路１７の電圧を比較してその
差分の電圧を出力する。
によって得られる光検出器の平均出力電圧に基準電圧を
設定する。１８は比較回路で、ローパスフィルタ回路１
６の電圧と基準電圧発生回路１７の電圧を比較してその
差分の電圧を出力する。
１９はレーザー光源駆動回路で、比較回路１８からの電
圧に基づいてレーザー光源１への駆動電流を制御してレ
ーザー光源１から発光するレーザー光量を可変する。
圧に基づいてレーザー光源１への駆動電流を制御してレ
ーザー光源１から発光するレーザー光量を可変する。
以上のように構成されたこの実施例の光デイスク検査装
置について、以下その動作を説明する。
置について、以下その動作を説明する。
光ディスク７に基準の反射率と異なる光ディスクが搭載
されている場合を考える。通常基準の反射率に見合った
レーザー光量がレーザー光源から発光しているため、デ
ィスク７からの反射光量は基準の光ディスクと異なり光
検出器１３に入射する。光検出器１３の出力はドロップ
アウトコンノくレータ回路１４とローノくスフィルタ回
路１６に分配される。ただし、この時点においてはドロ
ップアウトコンパレータ回路１４は動作しないようにし
ておく。光検出器１３の出力はローパスフィルタ回路１
６を通ることにより、ゴミ、欠陥等のいわゆるドロップ
アウト成分や情報トランクにあるアドレス信号等の高周
波成分が除去され光ディスク７の情報トランクの平均反
射光量の電圧が出力される。この電圧を基準電圧発生回
路１７からの基準電圧と比較回路１８にて比較して差分
の電圧を出力し、レーザー光源駆動回路１９に入力され
る。レーザー光源駆動回路１９では比較回路１８からの
出力電圧に比例した制御用駆動電流をレーザー光源１へ
供給する駆動電流に重畳させ、レーザー光源１から発光
するレーザー光量を可変させる。以上説明したレーザー
光量制御手段は閉ループ制御系にて構成されており、上
記の動作が繰返され比較回路１８の差分出力が０になり
、光検出器１３には光ディスク７の反射率の相異にかか
わらず一定の平均反射光量が得られる。かかる時点にお
いて、例えば比較回路１８の差分出力○を検知してドロ
ップアウトコンパレータ回路１４を動作させれば、ドロ
ップアウトを検査することができる。
されている場合を考える。通常基準の反射率に見合った
レーザー光量がレーザー光源から発光しているため、デ
ィスク７からの反射光量は基準の光ディスクと異なり光
検出器１３に入射する。光検出器１３の出力はドロップ
アウトコンノくレータ回路１４とローノくスフィルタ回
路１６に分配される。ただし、この時点においてはドロ
ップアウトコンパレータ回路１４は動作しないようにし
ておく。光検出器１３の出力はローパスフィルタ回路１
６を通ることにより、ゴミ、欠陥等のいわゆるドロップ
アウト成分や情報トランクにあるアドレス信号等の高周
波成分が除去され光ディスク７の情報トランクの平均反
射光量の電圧が出力される。この電圧を基準電圧発生回
路１７からの基準電圧と比較回路１８にて比較して差分
の電圧を出力し、レーザー光源駆動回路１９に入力され
る。レーザー光源駆動回路１９では比較回路１８からの
出力電圧に比例した制御用駆動電流をレーザー光源１へ
供給する駆動電流に重畳させ、レーザー光源１から発光
するレーザー光量を可変させる。以上説明したレーザー
光量制御手段は閉ループ制御系にて構成されており、上
記の動作が繰返され比較回路１８の差分出力が０になり
、光検出器１３には光ディスク７の反射率の相異にかか
わらず一定の平均反射光量が得られる。かかる時点にお
いて、例えば比較回路１８の差分出力○を検知してドロ
ップアウトコンパレータ回路１４を動作させれば、ドロ
ップアウトを検査することができる。
以上のようにこの実施例によれば、光検出器１３の出力
をローパスフィルタ回路１６を通し基準電圧発生回路１
７の基準電圧と比較回路１８にて比較してその差分電圧
をレーザー光源駆動回路１９に入力してレーザー光源１
から発光するレーザー光量を可変することにより、異な
る反射率の光ディスク７からの平均反射光量を一定にす
ることができるため、異なる反射率の光ディスク７のド
ロップアウトを同一条件にて検査でき、特に光デイスク
製造工程における反射率の異なる原盤ディスク、スタン
パディスク、レプリカディスク、記録材料蒸着後の完成
ディスクのドロップアウトの出方を正確に検査できる。
をローパスフィルタ回路１６を通し基準電圧発生回路１
７の基準電圧と比較回路１８にて比較してその差分電圧
をレーザー光源駆動回路１９に入力してレーザー光源１
から発光するレーザー光量を可変することにより、異な
る反射率の光ディスク７からの平均反射光量を一定にす
ることができるため、異なる反射率の光ディスク７のド
ロップアウトを同一条件にて検査でき、特に光デイスク
製造工程における反射率の異なる原盤ディスク、スタン
パディスク、レプリカディスク、記録材料蒸着後の完成
ディスクのドロップアウトの出方を正確に検査できる。
上記実施例にかいては光検出器１３を別個に設けたが、
これをフォーカス制御用光検出器１１あるいはトラッキ
ング制御用光検出器１２と兼用してもよい。この場合、
フォーカス制御用光検出器１１及びトラッキング制御用
光検出器１２の２分割の光検出器の和信号にて代用する
。
これをフォーカス制御用光検出器１１あるいはトラッキ
ング制御用光検出器１２と兼用してもよい。この場合、
フォーカス制御用光検出器１１及びトラッキング制御用
光検出器１２の２分割の光検出器の和信号にて代用する
。
発明の効果
本発明の光デイスク検査装置は光デイスク上に形成され
た情報トラックからの平均反射光量が一定になるように
レーザー光源から発光するレーザー光量を制御するレー
ザー光量制御手段を・有することにより、反射率の異な
る光ディスクのドロップアウトを同一条件下で検査でき
るため、特に光デイスク製造工程における反射率の異な
る原盤ディスク、スタンパディスク、レプリカディスク
、記録材料蒸着後の完成ディスク各々のドロップアウト
を一台の光デイスク検査装置にて検査できるので光学系
の相異等に起因するドロップアウトの出方のバラツキが
なく正確な検査が行なえ、光デイスク製造工程のドロッ
プアウトの要因が把握しやすく、その実用的効果は大き
い。
た情報トラックからの平均反射光量が一定になるように
レーザー光源から発光するレーザー光量を制御するレー
ザー光量制御手段を・有することにより、反射率の異な
る光ディスクのドロップアウトを同一条件下で検査でき
るため、特に光デイスク製造工程における反射率の異な
る原盤ディスク、スタンパディスク、レプリカディスク
、記録材料蒸着後の完成ディスク各々のドロップアウト
を一台の光デイスク検査装置にて検査できるので光学系
の相異等に起因するドロップアウトの出方のバラツキが
なく正確な検査が行なえ、光デイスク製造工程のドロッ
プアウトの要因が把握しやすく、その実用的効果は大き
い。
第１図は光ディスクの製造工程を示すブロック図、第２
図は従来例における光デイスク検査装置の概略図、第３
図は本発明の一実施例における光デイスク検査装置の概
略図である。 １・・・・・・レーザー光源、２・・・・・・コリレー
タレンズ、３・・・・偏光ビームスプリッタ、４・・・
・・・λ／４波長板、５・・・・・対物レンズ、６・・
・・・・光学ピックアップ、了・・・・・光ティスフ、
８・・・・・・ハーフミラ−１９・・・・・・集光レン
ズ、１０・・・・・分割ミラー、１１・・・・・フォカ
ス制御用光検出器、１２・・・・・トラッキング制御用
光検出器、１３・・・・光検出器、１４・・・・・ドロ
ップアウトコンパレータ回路、１５ ・・・ドロップア
ウトカウンター回路、１６・・・・・・ローパスフィル
タ回路、１７・・・・・・基準電圧発生回路、１８・・
・・・・比較回路、１９・・・・・・レーザー光源駆動
回路。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ３図 ／７
図は従来例における光デイスク検査装置の概略図、第３
図は本発明の一実施例における光デイスク検査装置の概
略図である。 １・・・・・・レーザー光源、２・・・・・・コリレー
タレンズ、３・・・・偏光ビームスプリッタ、４・・・
・・・λ／４波長板、５・・・・・対物レンズ、６・・
・・・・光学ピックアップ、了・・・・・光ティスフ、
８・・・・・・ハーフミラ−１９・・・・・・集光レン
ズ、１０・・・・・分割ミラー、１１・・・・・フォカ
ス制御用光検出器、１２・・・・・トラッキング制御用
光検出器、１３・・・・光検出器、１４・・・・・ドロ
ップアウトコンパレータ回路、１５ ・・・ドロップア
ウトカウンター回路、１６・・・・・・ローパスフィル
タ回路、１７・・・・・・基準電圧発生回路、１８・・
・・・・比較回路、１９・・・・・・レーザー光源駆動
回路。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ３図 ／７
Claims (3)
- （１） レーザ光源から発光したレーザー光を光学系を
介して光デイスク上に形成された情報トラックに照射し
、この情報トラックからの反射光を光検出器に受光して
前記情報トラックのゴミ、欠陥等を検査するよう構成し
、前記情報トラックからの平均反射光量が一定になるよ
うにレーザー光量を制御するレーザー光量制御手段を設
けた光デイスク検査装置。 - （２） レーザー光量制御手段を光検出器からの低周波
成分を取り出すローパスフィルター回路と、基準電圧発
生回路と前記ローパスフィルター回路からの電圧と前記
基準電圧発生回路からの電圧を比較する比較回路と、こ
の比較回路からの電圧に応じて前記レーザー光源からの
レーザー光量を可変させるレーザー光源駆動回路とによ
り構成した特許請求の範囲第１項記載の光デイスク検査
装置。 - （３）光検出器としてレーザー光を光デイスク上の情報
トラックに制御するためのフォーカス制御用光検出器あ
るいはトラッキング制御用光検出器の少なくとも一方を
兼用するようにした特許請求の範囲第１項または第２項
記載の光デイスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58113096A JPS605440A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 光デイスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58113096A JPS605440A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 光デイスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS605440A true JPS605440A (ja) | 1985-01-12 |
Family
ID=14603371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58113096A Pending JPS605440A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 光デイスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS605440A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61204845A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 光学読取装置 |
| JPS6284433A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-17 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 光デイスク検査装置 |
| US4708700A (en) * | 1985-08-27 | 1987-11-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Driving force transmission mechanism using a timing belt for an internal combustion engine |
| US5275891A (en) * | 1990-10-04 | 1994-01-04 | Hitachi Metals, Ltd. | R-TM-B permanent magnet member having improved corrosion resistance and method of producing same |
-
1983
- 1983-06-22 JP JP58113096A patent/JPS605440A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS6284433A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-17 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 光デイスク検査装置 |
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