JPS6194561U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6194561U JPS6194561U JP18058584U JP18058584U JPS6194561U JP S6194561 U JPS6194561 U JP S6194561U JP 18058584 U JP18058584 U JP 18058584U JP 18058584 U JP18058584 U JP 18058584U JP S6194561 U JPS6194561 U JP S6194561U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- hexode
- support table
- substantially hemispherical
- reaction chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは各々この考案の一実施例による
プラズマエツチング装置の一部切開側面図及び底
面図、第２図ａ，ｂは各々上記装置のヘクソード
電極４の側面図及び底面図、第３図ａ，ｂは各々
上記装置のチヤンバ５の断面側面図及び底面図、
第４図ａ，ｂは各々従来のプラズマエツチング装
置のヘクソード電極の側面図及び底面図、第５図
ａ，ｂは各々従来の装置のチヤンバの断面側面図
及び底面図である。 １…支持台、４…ヘクソード電極、５…チヤン
バ、６…反応室。なお図中同一符号は同一又は相
当部分を示す。
プラズマエツチング装置の一部切開側面図及び底
面図、第２図ａ，ｂは各々上記装置のヘクソード
電極４の側面図及び底面図、第３図ａ，ｂは各々
上記装置のチヤンバ５の断面側面図及び底面図、
第４図ａ，ｂは各々従来のプラズマエツチング装
置のヘクソード電極の側面図及び底面図、第５図
ａ，ｂは各々従来の装置のチヤンバの断面側面図
及び底面図である。 １…支持台、４…ヘクソード電極、５…チヤン
バ、６…反応室。なお図中同一符号は同一又は相
当部分を示す。
Claims (1)
- ヘクソード型電極とこれを覆う釣鐘状チヤンバ
と両者を載置支持する支持台とで構成される反応
室内を、支持台側から排気して真空状態とし、こ
の反応室内でプラズマを発生させてエツチングを
行なうようにしたプラズマエツチング装置におい
て、上記へクソード型電極の上部を略半球状に形
成し、上記チヤンバの下部を略半球凹状に形成し
たことを特徴とするプラズマエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18058584U JPS6194561U (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18058584U JPS6194561U (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6194561U true JPS6194561U (ja) | 1986-06-18 |
Family
ID=30738138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18058584U Pending JPS6194561U (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6194561U (ja) |
-
1984
- 1984-11-28 JP JP18058584U patent/JPS6194561U/ja active Pending