JPH0189730U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0189730U JPH0189730U JP18512187U JP18512187U JPH0189730U JP H0189730 U JPH0189730 U JP H0189730U JP 18512187 U JP18512187 U JP 18512187U JP 18512187 U JP18512187 U JP 18512187U JP H0189730 U JPH0189730 U JP H0189730U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- vacuum
- manufacturing equipment
- semiconductor manufacturing
- curvature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本発明の一実施例になる真空容器を用
いたウエハ処理装置の構成図、第２図は第１図の
平面断面図、第３図は従来の真空容器を用いたウ
エハ処理装置の構成図、第４図は第３図の平面断
面図である。 ２１，２１ａ：真空容器（反応室）、２２，２
２ａ：真空容器（真空予備室）、４，４ａ：接合
部、９：円弧接続部。
いたウエハ処理装置の構成図、第２図は第１図の
平面断面図、第３図は従来の真空容器を用いたウ
エハ処理装置の構成図、第４図は第３図の平面断
面図である。 ２１，２１ａ：真空容器（反応室）、２２，２
２ａ：真空容器（真空予備室）、４，４ａ：接合
部、９：円弧接続部。
Claims (1)
- 真空中で半導体ウエハの処理を行う筒型の半導
体製造装置用真空容器において、少くとも該真空
容器を構成する底板と側板との接合部が、該真空
容器内面側において曲率半径５mm以上の円弧接続
部を備えて成ることを特徴とする半導体製造装置
用真空容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18512187U JPH0189730U (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18512187U JPH0189730U (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0189730U true JPH0189730U (ja) | 1989-06-13 |
Family
ID=31476449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18512187U Pending JPH0189730U (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0189730U (ja) |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP18512187U patent/JPH0189730U/ja active Pending